PL223008B1 - Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych - Google Patents
Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznychInfo
- Publication number
- PL223008B1 PL223008B1 PL398452A PL39845212A PL223008B1 PL 223008 B1 PL223008 B1 PL 223008B1 PL 398452 A PL398452 A PL 398452A PL 39845212 A PL39845212 A PL 39845212A PL 223008 B1 PL223008 B1 PL 223008B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- silicon
- carbon
- implant
- range
- bearing
- Prior art date
Links
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 44
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 41
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 33
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 32
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 31
- 239000007943 implant Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 38
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 20
- -1 siloxanes Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims abstract description 4
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims abstract 3
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 claims abstract 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 12
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 8
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract 4
- 241001076960 Argon Species 0.000 abstract 1
- 235000013876 argon Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 25
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052588 hydroxylapatite Inorganic materials 0.000 description 3
- XYJRXVWERLGGKC-UHFFFAOYSA-D pentacalcium;hydroxide;triphosphate Chemical compound [OH-].[Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O XYJRXVWERLGGKC-UHFFFAOYSA-D 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010020751 Hypersensitivity Diseases 0.000 description 2
- 230000007815 allergy Effects 0.000 description 2
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 2
- 241000167854 Bourreria succulenta Species 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N [C].[Si] Chemical compound [C].[Si] HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 235000019693 cherries Nutrition 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007735 ion beam assisted deposition Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000000399 orthopedic effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical group 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, zwłaszcza ze stali AISI 316L oraz z innych stopów medycznych, mających skomplikowane kształty i przestrzennie rozwinięte powierzchnie.
Z opisu JP 2008031544 (A) znany jest sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na powierzchniach pary ciernej, w którym w pierwszym etapie powierzchnie poddaje się azotowaniu, w celu uzyskania warstwy pośredniej podwyższającej adhezję warstwy właściwej do podłoża, a w drugim etapie, w temperaturze mieszczącej się w zakresie od 350 do 430°C wytwarza się właśc iwą warstwę węglową zawierającą krzem przy wykorzystaniu plazmowej metody PA CVD. (ang.: Plasma Assisted/ Activated Chemical Vapour Depostion).
Z opisu JP 2003268571 (A) znany jest sposób wytwarzania kompozytowej, twardej powłoki węglowej zawierającej krzem, składającej się z wytworzonej metodą PVD (ang.: Physical Vapour Depostion) warstwy azotku lub tlenku lub węglika chromu i/albo glinu i/albo tytanu i/albo neodymu i/albo cyrkonu, o wysokiej adhezji do podłoża, a następnie międzywarstwy zawierającej krzem wytworzonej metodą PE CVD (ang.: Plasma Enchanced Chemical Vapour Depostion) z gazowego prekursora zawierającego krzem oraz właściwej niskotarciowej powłoki węglowo-krzemowej naniesionej metodą PE CVD.
Opis JP 2000128516 (A) ujawnia sposób wytwarzania niskotarciowej, odpornej na ścieranie powłoki kompozytowej DLC (ang.: diamondlike-carbon), o wysokiej adhezji do podłoża, składającej się z jednej albo ewentualnie dwóch międzywarstw diamentopodobnych. Pierwsza międzywarstwa jest wytwarzana przez rozpylanie węgla, na przykład grafitu, w łuku elektrycznym, a druga, właściwa warstwa diamentopodobna jest wytwarzana plazmową metodą CVD z gazu węglonośnego.
Opis JP 3082979 (B2) ujawnia sposób syntezy powłoki DLC, wykorzystujący jako źródło jonów węgla technologię elektronowego rezonansu cyklotronowego ECR (Elektron Cyclotron Resonance), w której gaz węglonośny ulega jonizacji, a strumień jonów węgla kierowany jest na podłoże. W tym samym czasie krzemowa katoda, usytuowana naprzeciwko modyfikowanego podłoża w komorze roboczej, jest odparowywana za pomocą wiązki lasera i tworzy źródło materiału domieszki. Otrzymana warstwa DLC-Si charakteryzuje się bardzo dobrą adhezją.
Z opisu US 2009246243 (A1) znana jest wielofunkcyjna powłoka ochronna zawierająca węgiel, która jest tak wytwarzana, że w pierwszym etapie prowadzi się proces modyfikacji powierzchni podłoża ze stali nierdzewnej lub stopów za pomocą związków krzemu w celu podwyższenia adhezji właśc iwej warstwy węglowej do podłoża, a następnie w drugim etapie, na tak przygotowanej warstwie pośredniej prowadzi się proces nakładania powłoki DLC, ewentualnie domieszkowanej krzemem.
Z opisu WO 9526169 (A1) znane jest wytwarzanie na powierzchniach, np. implantów ortopedycznych, międzywarstwy na bazie krzemu, zwiększającej adhezję do podłoża właściwej diamentopodobnej warstwy węglowej o niskim współczynniku tarcia.
Opis KR 20020024665 (A1) również dotyczy kilkuetapowego sposobu wytwarzania powłoki DLC na kompleksie transplantacyjnym z tytanu lub jego stopów. Na podłożu wytwarza się warstwę krzemową z SiH4 pod ciśnieniem 2,67 Pa, przy wyładowaniu plazmowym wzbudzanym przez 2,5 minuty i napięciu polaryzacji -200 V, a następnie poddaje się ją działaniu gazu węglonośnego pod ciśnieniem 1,33 Pa i za pomocą takiego samego rodzaju wyładowania, w czasie 10 minut, wytwarza się właściwą powłokę diamentopodobną.
Z opisu US 5725573 (A) znany jest sposób pokrywania implantów medycznych, ze stopów tyt anu, warstwą diamentopodobną DLC, przez osadzanie, wspomagane wiązką jonową, warstwy pośredniej, zawierającej stop metalu/krzemek metalu/lub krzem lub german/węglik krzemu lub german/DLC.
Z opisu PL 351417 A1 znany jest również sposób wytwarzania na powierzchni metalowych gwoździ śródszpikowych nanokrystalicznych warstw diamentowych, w którym gwóźdź umieszcza się na elektrodzie wysokiej częstotliwości i prowadzi się proces przy ujemnym potencjale autopolaryzacji mieszczącym się w zakresie -450 V do -800 V z natężeniem przepływu metanu mieszczącym się w zakresie od 10 do 80 Ncm , utrzymując ciśnienie 0,1 x 10- MPa, w czasie mieszczącym się od 5 do 10 minut. Zastosowanie warstwy nanokrystalicznego węgla jako warstwy pośredniej, poprawiającej adhezję powłoki HAp (hydroksyapatytu) oraz ograniczającej dyfuzję szkodliwych jonów metali podłoża jest ujawnione w opisach patentowych nr PL 207771 B1 i PL 207772 B1 , w których opisano sposób wytwarzania powłok kompozytowych NCD/Ca-P, w którym proces prowadzi się trójetapowo. Przed procesem syntezy powłoki HAp prowadzi się sezonowanie międzywarstwy NCD w temperaturze otoPL 223 008 B1 czenia lub przez obróbkę plazmową w atmosferze tlenu, w polu elektromagnetycznym częstotliwości radiowej.
Z opisu PL 384523 A1 znany jest sposób syntezy cienkiej warstwy kompozytowej na powierzchni wyrobów medycznych, zwłaszcza implantów, instrumentów medycznych i endoprotez ze stali austenitycznej. Wyrób poddaje się procesowi niskotemperaturowego azotowania jarzeniowego w temperaturze mieszczącej się w zakresie od 400°C do 500°C w obecności mieszaniny gazów reaktywnych azotu (N2) oraz wodoru (H2) i wytwarza się warstwę austenitu azotowego, o zawartości 5% wagowych azotu, a następnie za pomocą technologii RF PACVD prowadzi się proces syntezy warstwy
NCD, przy wykorzystaniu gazu węglonośnego, korzystnie metanu o natężeniu przepływu 10 Ncm do 3
Ncm i ciśnieniu 10 do 70 Pa w czasie od 5 do 10 minut.
Celem wynalazku jest opracowanie sposobu wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, która odznaczałaby się w swoim przekroju poprzecznym stałą albo zmienną koncentracją krzemu.
Zadanie to zostało rozwiązane dzięki sposobowi według wynalazku wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, zwłaszcza ze stali AISI 316L oraz stopów tytanu, mających skomplikowane kształty i przestrzennie rozwinięte powierzchnie. W sposobie według wynalazku implant umieszcza się na elektrodzie częstotliwości radiowej w komorze reaktora i poddaje się modyfikacji w plazmie niskotemperaturowej, wzbudzonej w gazie węglonośnym i/albo krzemonośnym, inicjowanej polem elektromagnetycznym częstotliwości radiowej, który charakteryzuje się tym, że w trakcie osadzania warstwy węglowej na implancie utrzymuje się temperaturę mieszczącą się w zakresie od 200 do 550°C, przy potencjale autopolaryzacji mieszczącym się w zakresie od -600 V do -1200 V i jednocześnie wprowadza się do komory gaz węglonośny, który stanowi metan, oraz pary związków krzemoorganicznych, które stanowią pochodne alifatyczne silanów lub siloksanów, w takich ilościach, że stosunek związku krzemoorganicznego do związku węglonośnego mieści się w zakresie od 1:25 do 1:1, ciśnienie w komorze reaktora mieści się w zakresie od 30 Pa do 60 Pa, a czas trwania procesu mieści się w zakresie od 3 do 6 minut.
Korzystnie związek krzemoorganiczny wprowadza się za pomocą argonu o przepływie mies zczącym się w zakresie od 0,5 do 1 ml/min.
Korzystnie pary związków organicznych wprowadza się w zmieniającym się stosunku do zwią zku węglonośnego w zakresie od 1:25 do 1:1, a ciśnienie w komorze reaktora utrzymuje się na stałym poziomie mieszczącym się w zakresie 30 do 60 Pa.
Zaletą sposobu według wynalazku jest uzyskanie na międzywarstwie węglowej warstwy diamentopodobnej DLC, która odznacza się w swoim przekroju poprzecznym stałą albo zmienną koncentracją krzemu, to znaczy koncentracja krzemu w powłoce węglowej jest albo stała i nie zmienia się od międzywarstwy do powierzchni właściwej powłoki lub zmienia się od 0 do 15% na przekroju właściwej warstwy diamentopodobnej. Dzięki temu implanty medyczne zawierają powłokę zapewniającą nie tylko odporność korozyjną, w tym szczególnie odporność na korozję międzykrystaliczną, ale także uniemożliwiającą aktywację płytek krwi pacjenta. Jednocześnie z uwagi na wysoki stopień adhezji oraz szczelność powłoki uzyskuje się wysoce efektywną barierę dla dyfuzji jonów metali z podłoża do organizmu pacjenta, co skutecznie zabezpiecza pacjenta przed występowaniem ewentualnych alergii, których efektem może być całkowite odrzucenie implantu.
Sposób wytwarzania warstwy węglowej na implantach medycznych polega na tym, że implant, wykonany ze stali AISI 316L lub stopu tytanu umieszcza się wewnątrz komory reaktora na elektrodzie wysokiej częstotliwości, po czym obniża się ciśnienie do około 8 Pa i w pierwszym etapie prowadzi się za pomocą wyładowania o częstotliwości radiowej proces trawienia, który powoduje oczyszcze nie, nagrzanie i aktywowanie powierzchni podłoża (powierzchni implantu medycznego). Następnie w drugim etapie prowadzi się proces osadzania warstwy węglowej zawierającej krzem. Jako źródło jonów węgla stosuje się metan, wprowadzany za pomocą regulatora przepływu, a jako źródło jonów krzemu stosuje się wprowadzane podciśnieniowo pary związków krzemoorganicznych. Oba te prekursory wprowadza się jednocześnie i w takiej ilości, aby wynikowe ciśnienie w komorze mieściło się w zakr esie od 30 do 60 Pa.
Możliwe jest również wspomaganie procesu parowania związków krzemoorganicznych przez przedmuchiwanie zasobnika z wprowadzanym związkiem krzemoorganicznym argonem w ilości mieszczącej się w zakresie od 0,5 do 1 ml/min.
Zmiana proporcji metan/związek krzemoorganiczny zgodnie z badaniami mieści się w zakresie od 25:1 do 1:1 i prowadzi do uzyskania koncentracji krzemu w powłoce węglowej w mieszczącym się
PL 223 008 B1 zakresie od 0,5 do 15%, obniżenia kąta zwilżania wody o około 14% dla 10% zawartości Si, przy jednoczesnym wzroście składowej dyspersyjnej swobodnej energii powierzchniowej o około 50% oraz dla niskich koncentracji Si mieszczącej się w zakresie od 1 do 4% do wzrostu twardości powłoki DLC-Si o 1 do 4 GPa. Natomiast potencjał autopolaryzacji wpływa na szybkość osadzania powłoki DLC-Si, która mieści się w zakresie od 10 do 40 nm/min oraz twardość mieszczącą się w zakresie 12 GPa dla potencjału autopolaryzacji -600 V do 16 GPa dla potencjału autopolaryzacji -1200 V.
P r z y k ł a d 1
Implant ze stali medycznej AISI 316L ustawiony na elektrodzie roboczej reaktora poddano procesowi trawienia, który trwał 10 minut w plazmie wyładowania częstotliwości radiowej (13,56 MHz), w temperaturze 450°C i potencjale autopolaryzacji wynoszącym -1000 V. Następnie do komory reaktora wprowadzono jako gaz węglonośny metan w ilości 38 Ncm oraz HMDSO w ilości 1% obj., a potencjał autopolaryzacji ustalono na -800 V. Po 5 minutach proces przerwano. Na powierzchni implantu uzyskano zawierającą krzem powłokę węglową o grubości 200 nm, twardości 15 GPa, o swobodnej energii powierzchniowej mieszczącej się w zakresie od 25 do 40 mJ/m przy udziale składowej dys2 persyjnej mieszczącej się w zakresie od 24 do 34 mJ/m . Koncentracja krzemu wynosiła około 1% at. w całym przekroju otrzymanej powłoki.
P r z y k ł a d 2
Implant ze stopu tytanu TIGA14V poddano procesowi trawienia, jak w przykładzie 1, przy potencjale autopolaryzacji wynoszącym -1400 V i w temperaturze 500°C. Następnie do komory reaktora 3 wprowadzono jako gaz węglonośny metan w ilości 30 Ncm1 * 3 oraz HMDSO w ilości 5% obj., wprowa3 dzany za pośrednictwem gazu nośnego, korzystnie argonu (0,5 do 1 Ncm ), a potencjał autopolaryzacji ustalono na -1200 V. Proces przerwano po 5 minutach. Na powierzchni implantu uzyskano zawierającą krzem powłokę węglową grubości 200 nm, o twardości 20 GPa i swobodnej energii powierzch2 niowej mieszczącej się w zakresie od 40 do 55 mJ/m przy udziale składowej dyspersyjnej mieszczą2 cej się w zakresie od 30 do 45 mJ/m . Koncentracja krzemu wynosiła około 5% at. w całym przekroju otrzymanej powłoki.
P r z y k ł a d 3
Implant ze stali medycznej AISI 316L. poddano procesowi trawienia, jak w przykładzie 1, przy potencjale autopolaryzacji wynoszącym -1000 V i w temperaturze 450°C. Następnie do komory reak3 tora wprowadzono jako gaz węglonośny metan w ilości 40 Ncm3, a potencjał autopolaryzacji ustalono na -800 V. Po jednej minucie trwania procesu do komory reaktora rozpoczęto wprowadzanie pary związku krzemonośnego (HMDSO) w zmieniającym się stosunku do metanu w zakresie od 1:25 do 1:1, które trwało 4 min. Jednocześnie obniżano przepływ metanu tak, aby wynikowe ciśnienie w kom orze reaktora było na stałym poziomie wynoszącym 60 Pa. W wyniku procesu trwającego 5 minut otrzymano zawierającą krzem powłokę węglową o koncentracji krzemu od 0,5% at. na powierzchni międzywarstwy węglowej do 15% at. na powierzchni właściwej powłoki, o twardości 14 GPa i swobod2 nej energii powierzchniowej mieszczącej się w zakresie od 50 do 65 mJ/m , przy udziale składowej 2 dyspersyjnej mieszczącej się w zakresie od 45 do 55 mJ/m .
Sposób wytwarzania według wynalazku pozwala na uzyskanie w jednym procesie na implantach medycznych cienkiej powłoki węglowej zawierającej krzem o podwyższonej twardości i odporn ości korozyjnej, bez konieczności wytwarzania dodatkowych międzywarstw na bazie pierwiastków z grup VB, VIB oraz V1A układu okresowego pierwiastków, które są powszechnie stosowane do obniżenia naprężeń oraz poprawy adhezji warstwy węglowej na powierzchni, ale niejednokrotnie wywołują alergie u pacjentów. Dzięki niższej temperaturze procesu, maksimum 450°C dla stali medycznej AISI 316L, sposób według wynalazku nie prowadzi do zubożenia austenitu w zawarty w roztworze stałym chrom, który jak powszechnie wiadomo, dzięki wysokiemu powinowactwu do węgla w temperaturac h około 480°C i wyżej prowadzi do tworzenia się węglików typu M23C6, będących przyczyną osłabionej odporności korozyjnej materiału implantu i postępującej korozji międzykrystalicznej.
Claims (3)
- Zastrzeżenia patentowe1. Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, zwłaszcza ze stali AISI 316L oraz stopów tytanu, mających skomplikowane kształty i przestrzennie rozwinięte powierzchnie, w którym implant umieszcza się na elektrodzie częstotliwości radiowej w komorze reaktora i poddaje się modyfikacji w plazmie niskotemperaturowej, wzbudzonej w gaziePL 223 008 B1 węglonośnym i/albo krzemonośnym, inicjowanej polem elektromagnetycznym częstotliwości radiowej, znamienny tym, że w trakcie osadzania warstwy węglowej na implancie utrzymuje się temperaturę mieszczącą się w zakresie od 200 do 550°C, przy potencjale autopolaryzacji mieszczącym się w zakresie od -600 V do -1200 V i jednocześnie wprowadza się do komory gaz węglonośny, który stanowi metan, oraz pary związków krzemoorganicznych, które stanowią pochodne alifatyczne silanów lub siloksanów, w takich ilościach, że stosunek związku krzemoorganicznego do związku węglonośnego mieści się w zakresie od 1:25 do 1:1, ciśnienie w komorze reaktora mieści się w zakresie od 30 Pa do 60 Pa, przy czym czas trwania procesu mieści się w zakresie od 3 do 6 minut.
- 2. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że związek krzemoorganiczny wprowadza się za pomocą argonu o przepływie mieszczącym się w zakresie od 0,5 do 1 ml/min.
- 3. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że pary związków organicznych wprowadza się w zmieniającym się stosunku do związku węglonośnego w zakresie od 1:25 do 1:1, a ciśnienie w komorze reaktora utrzymuje się na stałym poziomie mieszczącym się w zakresie 30 do 60 Pa.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL398452A PL223008B1 (pl) | 2012-03-15 | 2012-03-15 | Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych |
| DE201210215855 DE102012215855A1 (de) | 2012-03-15 | 2012-09-06 | Verfahren zur Bildung einer siliziumhaltigen Kohlenstoffschicht auf medizinischen Implantaten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL398452A PL223008B1 (pl) | 2012-03-15 | 2012-03-15 | Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL398452A1 PL398452A1 (pl) | 2013-09-16 |
| PL223008B1 true PL223008B1 (pl) | 2016-09-30 |
Family
ID=49044036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL398452A PL223008B1 (pl) | 2012-03-15 | 2012-03-15 | Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102012215855A1 (pl) |
| PL (1) | PL223008B1 (pl) |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3082979B2 (ja) | 1991-11-15 | 2000-09-04 | トヨタ自動車株式会社 | a−DLC−Si膜の形成方法 |
| US5593719A (en) | 1994-03-29 | 1997-01-14 | Southwest Research Institute | Treatments to reduce frictional wear between components made of ultra-high molecular weight polyethylene and metal alloys |
| US5725573A (en) | 1994-03-29 | 1998-03-10 | Southwest Research Institute | Medical implants made of metal alloys bearing cohesive diamond like carbon coatings |
| JP4331292B2 (ja) | 1998-10-30 | 2009-09-16 | 株式会社リケン | 低摩耗性と優れた密着性を有する複合ダイヤモンドライクカーボン皮膜 |
| KR100392476B1 (ko) | 2000-09-26 | 2003-07-22 | 김현이 | 디엘시가 코팅되는 생체이식용 복합체 및 그 제조방법 |
| PL199898B1 (pl) | 2001-12-28 | 2008-11-28 | Jozef Borowski | Sposób wytwarzania warstw nanokrystalicznego diamentu na powierzchni wyrobów metalowych, zwłaszcza na powierzchni gwoździ śródszpikowych |
| JP4122387B2 (ja) | 2002-03-15 | 2008-07-23 | 山口県 | 複合硬質皮膜、その製造方法及び成膜装置 |
| PL207771B1 (pl) | 2005-04-12 | 2011-01-31 | Politechnika Łódzka Inst Inżynierii Materiałowej | Sposób wytwarzania kompozytowych powłok NCD/Ca-P na podłożach metalicznych stosowanych w medycynie i weterynarii |
| PL207772B1 (pl) | 2005-05-06 | 2011-01-31 | Politechnika Łódzka Inst Inżynierii Materiałowej | Sposób wytwarzania kompozytowych powłok NCD/Ca-P na podłożach metalicznych stosowanych w medycynie i weterynarii wytwarzanymi metodą plazmową |
| JP4291342B2 (ja) | 2006-07-31 | 2009-07-08 | 株式会社東海理化電機製作所 | 摺動部材の表面処理方法、摺動部材、メカニカルキー及び携帯機 |
| PL212780B1 (pl) | 2008-02-21 | 2012-11-30 | Borowski Jozef Przed Prod Uslugowo Handlowe Medgal | Sposób wytwarzania cienkiej warstwy kompozytowej na powierzchni wyrobów medycznych, zwłaszcza implantów, instrumentariów medycznych |
| US20090246243A1 (en) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | La Corporation De I'ecole Polytechnique | Carbonaceous Protective Multifunctional Coatings |
-
2012
- 2012-03-15 PL PL398452A patent/PL223008B1/pl unknown
- 2012-09-06 DE DE201210215855 patent/DE102012215855A1/de active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102012215855A1 (de) | 2013-09-19 |
| PL398452A1 (pl) | 2013-09-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2526977B1 (en) | A peek medical implant and a method of formation of surface layers on medical implants | |
| Oguri et al. | Low friction coatings of diamond-like carbon with silicon prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition | |
| Ebrahimi et al. | Wear behavior of DLC film on plasma nitrocarburized AISI 4140 steel by pulsed DC PACVD: effect of nitrocarburizing temperature | |
| Batory et al. | Influence of the process parameters on the characteristics of silicon-incorporated aC: H: SiOx coatings | |
| Capote et al. | Influence of acetylene precursor diluted with argon on the microstructure and the mechanical and tribological properties of aC: H films deposited via the modified pulsed-DC PECVD method | |
| WO2000075394A1 (en) | A doped diamond-like carbon coating | |
| JPH0578844A (ja) | 固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法 | |
| Xu et al. | Effects of bias voltage on the microstructure and properties of Al-doped hydrogenated amorphous carbon films synthesized by a hybrid deposition technique | |
| Bi et al. | Effect of Si/O doping on the thermal stability of non-bonded hydrogenated diamondlike carbon coatings | |
| Dai et al. | Influence of frequency and C2H2 flow on growth properties of diamond-like carbon coatings with AlCrSi co-doping deposited using a reactive high power impulse magnetron sputtering | |
| WO2019035397A1 (ja) | 珪炭窒化バナジウム膜、珪炭窒化バナジウム膜被覆部材およびその製造方法 | |
| Xia et al. | The frictional behavior of DLC films against bearing steel balls and Si3N4 balls in different humid air and vacuum environments | |
| Jedrzejczak et al. | Titanium (IV) isopropoxide as a source of titanium and oxygen atoms in carbon based coatings deposited by Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition method | |
| Hilton et al. | TiN coatings on M2 steel produced by plasma-assisted chemical vapor deposition | |
| EP1979505B1 (en) | Thin-film multilayer structure, component comprising said structure and its method of deposition | |
| Ye et al. | Effects of anode layer linear ion source on the microstructure and mechanical properties of amorphous carbon nitride films | |
| PL223008B1 (pl) | Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych | |
| Sharifahmadian et al. | Comprehensive tribological study of optimized N-DLC/DLC coatings fabricated by active screen DC-pulsed PACVD technique | |
| Precht et al. | Structure and tribological properties of carbon and carbon nitride films, obtained by the ARC method | |
| Liepack et al. | Characteristics of excess carbon in PACVD TiC-amorphous carbon layers | |
| Grenadyorov et al. | Kinetics of plasma-assisted chemical vapor deposition combined with inductively excited RF discharge and properties of aC: H: SiOx coatings | |
| Choi et al. | Thermal stability of diamond-like carbon films deposited by plasma based ion implantation technique with bipolar pulses | |
| Hosseini et al. | Single and dual-mode plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated diamond-like carbon films | |
| CN116457494A (zh) | 通过PVD由金属靶产生的富Al的AlCrN涂层 | |
| Gascón-Pérez et al. | Electrochemical characterization of Cr/CrN/B4C/BCN films deposited by magnetron sputtering under mixed Ar-Ne atmospheres |