PL223008B1 - Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych - Google Patents

Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych

Info

Publication number
PL223008B1
PL223008B1 PL398452A PL39845212A PL223008B1 PL 223008 B1 PL223008 B1 PL 223008B1 PL 398452 A PL398452 A PL 398452A PL 39845212 A PL39845212 A PL 39845212A PL 223008 B1 PL223008 B1 PL 223008B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
silicon
carbon
implant
range
bearing
Prior art date
Application number
PL398452A
Other languages
English (en)
Other versions
PL398452A1 (pl
Inventor
Piotr Niedzielski
Hieronim Szymanowski
Damian Batory
Dorota Bociąga
Urszula Borowska
Marian Cłapa
Jacek Grabarczyk
Witold Kaczorowski
Anna Sobczyk-Guzenda
Original Assignee
Borowski Józef Przedsiębiorstwo Produkcyjno Usługowo Handlowe Medgal
Politechnika Łódzka
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Borowski Józef Przedsiębiorstwo Produkcyjno Usługowo Handlowe Medgal, Politechnika Łódzka filed Critical Borowski Józef Przedsiębiorstwo Produkcyjno Usługowo Handlowe Medgal
Priority to PL398452A priority Critical patent/PL223008B1/pl
Priority to DE201210215855 priority patent/DE102012215855A1/de
Publication of PL398452A1 publication Critical patent/PL398452A1/pl
Publication of PL223008B1 publication Critical patent/PL223008B1/pl

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45523Pulsed gas flow or change of composition over time
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/505Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, zwłaszcza ze stali AISI 316L oraz z innych stopów medycznych, mających skomplikowane kształty i przestrzennie rozwinięte powierzchnie.
Z opisu JP 2008031544 (A) znany jest sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na powierzchniach pary ciernej, w którym w pierwszym etapie powierzchnie poddaje się azotowaniu, w celu uzyskania warstwy pośredniej podwyższającej adhezję warstwy właściwej do podłoża, a w drugim etapie, w temperaturze mieszczącej się w zakresie od 350 do 430°C wytwarza się właśc iwą warstwę węglową zawierającą krzem przy wykorzystaniu plazmowej metody PA CVD. (ang.: Plasma Assisted/ Activated Chemical Vapour Depostion).
Z opisu JP 2003268571 (A) znany jest sposób wytwarzania kompozytowej, twardej powłoki węglowej zawierającej krzem, składającej się z wytworzonej metodą PVD (ang.: Physical Vapour Depostion) warstwy azotku lub tlenku lub węglika chromu i/albo glinu i/albo tytanu i/albo neodymu i/albo cyrkonu, o wysokiej adhezji do podłoża, a następnie międzywarstwy zawierającej krzem wytworzonej metodą PE CVD (ang.: Plasma Enchanced Chemical Vapour Depostion) z gazowego prekursora zawierającego krzem oraz właściwej niskotarciowej powłoki węglowo-krzemowej naniesionej metodą PE CVD.
Opis JP 2000128516 (A) ujawnia sposób wytwarzania niskotarciowej, odpornej na ścieranie powłoki kompozytowej DLC (ang.: diamondlike-carbon), o wysokiej adhezji do podłoża, składającej się z jednej albo ewentualnie dwóch międzywarstw diamentopodobnych. Pierwsza międzywarstwa jest wytwarzana przez rozpylanie węgla, na przykład grafitu, w łuku elektrycznym, a druga, właściwa warstwa diamentopodobna jest wytwarzana plazmową metodą CVD z gazu węglonośnego.
Opis JP 3082979 (B2) ujawnia sposób syntezy powłoki DLC, wykorzystujący jako źródło jonów węgla technologię elektronowego rezonansu cyklotronowego ECR (Elektron Cyclotron Resonance), w której gaz węglonośny ulega jonizacji, a strumień jonów węgla kierowany jest na podłoże. W tym samym czasie krzemowa katoda, usytuowana naprzeciwko modyfikowanego podłoża w komorze roboczej, jest odparowywana za pomocą wiązki lasera i tworzy źródło materiału domieszki. Otrzymana warstwa DLC-Si charakteryzuje się bardzo dobrą adhezją.
Z opisu US 2009246243 (A1) znana jest wielofunkcyjna powłoka ochronna zawierająca węgiel, która jest tak wytwarzana, że w pierwszym etapie prowadzi się proces modyfikacji powierzchni podłoża ze stali nierdzewnej lub stopów za pomocą związków krzemu w celu podwyższenia adhezji właśc iwej warstwy węglowej do podłoża, a następnie w drugim etapie, na tak przygotowanej warstwie pośredniej prowadzi się proces nakładania powłoki DLC, ewentualnie domieszkowanej krzemem.
Z opisu WO 9526169 (A1) znane jest wytwarzanie na powierzchniach, np. implantów ortopedycznych, międzywarstwy na bazie krzemu, zwiększającej adhezję do podłoża właściwej diamentopodobnej warstwy węglowej o niskim współczynniku tarcia.
Opis KR 20020024665 (A1) również dotyczy kilkuetapowego sposobu wytwarzania powłoki DLC na kompleksie transplantacyjnym z tytanu lub jego stopów. Na podłożu wytwarza się warstwę krzemową z SiH4 pod ciśnieniem 2,67 Pa, przy wyładowaniu plazmowym wzbudzanym przez 2,5 minuty i napięciu polaryzacji -200 V, a następnie poddaje się ją działaniu gazu węglonośnego pod ciśnieniem 1,33 Pa i za pomocą takiego samego rodzaju wyładowania, w czasie 10 minut, wytwarza się właściwą powłokę diamentopodobną.
Z opisu US 5725573 (A) znany jest sposób pokrywania implantów medycznych, ze stopów tyt anu, warstwą diamentopodobną DLC, przez osadzanie, wspomagane wiązką jonową, warstwy pośredniej, zawierającej stop metalu/krzemek metalu/lub krzem lub german/węglik krzemu lub german/DLC.
Z opisu PL 351417 A1 znany jest również sposób wytwarzania na powierzchni metalowych gwoździ śródszpikowych nanokrystalicznych warstw diamentowych, w którym gwóźdź umieszcza się na elektrodzie wysokiej częstotliwości i prowadzi się proces przy ujemnym potencjale autopolaryzacji mieszczącym się w zakresie -450 V do -800 V z natężeniem przepływu metanu mieszczącym się w zakresie od 10 do 80 Ncm , utrzymując ciśnienie 0,1 x 10- MPa, w czasie mieszczącym się od 5 do 10 minut. Zastosowanie warstwy nanokrystalicznego węgla jako warstwy pośredniej, poprawiającej adhezję powłoki HAp (hydroksyapatytu) oraz ograniczającej dyfuzję szkodliwych jonów metali podłoża jest ujawnione w opisach patentowych nr PL 207771 B1 i PL 207772 B1 , w których opisano sposób wytwarzania powłok kompozytowych NCD/Ca-P, w którym proces prowadzi się trójetapowo. Przed procesem syntezy powłoki HAp prowadzi się sezonowanie międzywarstwy NCD w temperaturze otoPL 223 008 B1 czenia lub przez obróbkę plazmową w atmosferze tlenu, w polu elektromagnetycznym częstotliwości radiowej.
Z opisu PL 384523 A1 znany jest sposób syntezy cienkiej warstwy kompozytowej na powierzchni wyrobów medycznych, zwłaszcza implantów, instrumentów medycznych i endoprotez ze stali austenitycznej. Wyrób poddaje się procesowi niskotemperaturowego azotowania jarzeniowego w temperaturze mieszczącej się w zakresie od 400°C do 500°C w obecności mieszaniny gazów reaktywnych azotu (N2) oraz wodoru (H2) i wytwarza się warstwę austenitu azotowego, o zawartości 5% wagowych azotu, a następnie za pomocą technologii RF PACVD prowadzi się proces syntezy warstwy
NCD, przy wykorzystaniu gazu węglonośnego, korzystnie metanu o natężeniu przepływu 10 Ncm do 3
Ncm i ciśnieniu 10 do 70 Pa w czasie od 5 do 10 minut.
Celem wynalazku jest opracowanie sposobu wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, która odznaczałaby się w swoim przekroju poprzecznym stałą albo zmienną koncentracją krzemu.
Zadanie to zostało rozwiązane dzięki sposobowi według wynalazku wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, zwłaszcza ze stali AISI 316L oraz stopów tytanu, mających skomplikowane kształty i przestrzennie rozwinięte powierzchnie. W sposobie według wynalazku implant umieszcza się na elektrodzie częstotliwości radiowej w komorze reaktora i poddaje się modyfikacji w plazmie niskotemperaturowej, wzbudzonej w gazie węglonośnym i/albo krzemonośnym, inicjowanej polem elektromagnetycznym częstotliwości radiowej, który charakteryzuje się tym, że w trakcie osadzania warstwy węglowej na implancie utrzymuje się temperaturę mieszczącą się w zakresie od 200 do 550°C, przy potencjale autopolaryzacji mieszczącym się w zakresie od -600 V do -1200 V i jednocześnie wprowadza się do komory gaz węglonośny, który stanowi metan, oraz pary związków krzemoorganicznych, które stanowią pochodne alifatyczne silanów lub siloksanów, w takich ilościach, że stosunek związku krzemoorganicznego do związku węglonośnego mieści się w zakresie od 1:25 do 1:1, ciśnienie w komorze reaktora mieści się w zakresie od 30 Pa do 60 Pa, a czas trwania procesu mieści się w zakresie od 3 do 6 minut.
Korzystnie związek krzemoorganiczny wprowadza się za pomocą argonu o przepływie mies zczącym się w zakresie od 0,5 do 1 ml/min.
Korzystnie pary związków organicznych wprowadza się w zmieniającym się stosunku do zwią zku węglonośnego w zakresie od 1:25 do 1:1, a ciśnienie w komorze reaktora utrzymuje się na stałym poziomie mieszczącym się w zakresie 30 do 60 Pa.
Zaletą sposobu według wynalazku jest uzyskanie na międzywarstwie węglowej warstwy diamentopodobnej DLC, która odznacza się w swoim przekroju poprzecznym stałą albo zmienną koncentracją krzemu, to znaczy koncentracja krzemu w powłoce węglowej jest albo stała i nie zmienia się od międzywarstwy do powierzchni właściwej powłoki lub zmienia się od 0 do 15% na przekroju właściwej warstwy diamentopodobnej. Dzięki temu implanty medyczne zawierają powłokę zapewniającą nie tylko odporność korozyjną, w tym szczególnie odporność na korozję międzykrystaliczną, ale także uniemożliwiającą aktywację płytek krwi pacjenta. Jednocześnie z uwagi na wysoki stopień adhezji oraz szczelność powłoki uzyskuje się wysoce efektywną barierę dla dyfuzji jonów metali z podłoża do organizmu pacjenta, co skutecznie zabezpiecza pacjenta przed występowaniem ewentualnych alergii, których efektem może być całkowite odrzucenie implantu.
Sposób wytwarzania warstwy węglowej na implantach medycznych polega na tym, że implant, wykonany ze stali AISI 316L lub stopu tytanu umieszcza się wewnątrz komory reaktora na elektrodzie wysokiej częstotliwości, po czym obniża się ciśnienie do około 8 Pa i w pierwszym etapie prowadzi się za pomocą wyładowania o częstotliwości radiowej proces trawienia, który powoduje oczyszcze nie, nagrzanie i aktywowanie powierzchni podłoża (powierzchni implantu medycznego). Następnie w drugim etapie prowadzi się proces osadzania warstwy węglowej zawierającej krzem. Jako źródło jonów węgla stosuje się metan, wprowadzany za pomocą regulatora przepływu, a jako źródło jonów krzemu stosuje się wprowadzane podciśnieniowo pary związków krzemoorganicznych. Oba te prekursory wprowadza się jednocześnie i w takiej ilości, aby wynikowe ciśnienie w komorze mieściło się w zakr esie od 30 do 60 Pa.
Możliwe jest również wspomaganie procesu parowania związków krzemoorganicznych przez przedmuchiwanie zasobnika z wprowadzanym związkiem krzemoorganicznym argonem w ilości mieszczącej się w zakresie od 0,5 do 1 ml/min.
Zmiana proporcji metan/związek krzemoorganiczny zgodnie z badaniami mieści się w zakresie od 25:1 do 1:1 i prowadzi do uzyskania koncentracji krzemu w powłoce węglowej w mieszczącym się
PL 223 008 B1 zakresie od 0,5 do 15%, obniżenia kąta zwilżania wody o około 14% dla 10% zawartości Si, przy jednoczesnym wzroście składowej dyspersyjnej swobodnej energii powierzchniowej o około 50% oraz dla niskich koncentracji Si mieszczącej się w zakresie od 1 do 4% do wzrostu twardości powłoki DLC-Si o 1 do 4 GPa. Natomiast potencjał autopolaryzacji wpływa na szybkość osadzania powłoki DLC-Si, która mieści się w zakresie od 10 do 40 nm/min oraz twardość mieszczącą się w zakresie 12 GPa dla potencjału autopolaryzacji -600 V do 16 GPa dla potencjału autopolaryzacji -1200 V.
P r z y k ł a d 1
Implant ze stali medycznej AISI 316L ustawiony na elektrodzie roboczej reaktora poddano procesowi trawienia, który trwał 10 minut w plazmie wyładowania częstotliwości radiowej (13,56 MHz), w temperaturze 450°C i potencjale autopolaryzacji wynoszącym -1000 V. Następnie do komory reaktora wprowadzono jako gaz węglonośny metan w ilości 38 Ncm oraz HMDSO w ilości 1% obj., a potencjał autopolaryzacji ustalono na -800 V. Po 5 minutach proces przerwano. Na powierzchni implantu uzyskano zawierającą krzem powłokę węglową o grubości 200 nm, twardości 15 GPa, o swobodnej energii powierzchniowej mieszczącej się w zakresie od 25 do 40 mJ/m przy udziale składowej dys2 persyjnej mieszczącej się w zakresie od 24 do 34 mJ/m . Koncentracja krzemu wynosiła około 1% at. w całym przekroju otrzymanej powłoki.
P r z y k ł a d 2
Implant ze stopu tytanu TIGA14V poddano procesowi trawienia, jak w przykładzie 1, przy potencjale autopolaryzacji wynoszącym -1400 V i w temperaturze 500°C. Następnie do komory reaktora 3 wprowadzono jako gaz węglonośny metan w ilości 30 Ncm1 * 3 oraz HMDSO w ilości 5% obj., wprowa3 dzany za pośrednictwem gazu nośnego, korzystnie argonu (0,5 do 1 Ncm ), a potencjał autopolaryzacji ustalono na -1200 V. Proces przerwano po 5 minutach. Na powierzchni implantu uzyskano zawierającą krzem powłokę węglową grubości 200 nm, o twardości 20 GPa i swobodnej energii powierzch2 niowej mieszczącej się w zakresie od 40 do 55 mJ/m przy udziale składowej dyspersyjnej mieszczą2 cej się w zakresie od 30 do 45 mJ/m . Koncentracja krzemu wynosiła około 5% at. w całym przekroju otrzymanej powłoki.
P r z y k ł a d 3
Implant ze stali medycznej AISI 316L. poddano procesowi trawienia, jak w przykładzie 1, przy potencjale autopolaryzacji wynoszącym -1000 V i w temperaturze 450°C. Następnie do komory reak3 tora wprowadzono jako gaz węglonośny metan w ilości 40 Ncm3, a potencjał autopolaryzacji ustalono na -800 V. Po jednej minucie trwania procesu do komory reaktora rozpoczęto wprowadzanie pary związku krzemonośnego (HMDSO) w zmieniającym się stosunku do metanu w zakresie od 1:25 do 1:1, które trwało 4 min. Jednocześnie obniżano przepływ metanu tak, aby wynikowe ciśnienie w kom orze reaktora było na stałym poziomie wynoszącym 60 Pa. W wyniku procesu trwającego 5 minut otrzymano zawierającą krzem powłokę węglową o koncentracji krzemu od 0,5% at. na powierzchni międzywarstwy węglowej do 15% at. na powierzchni właściwej powłoki, o twardości 14 GPa i swobod2 nej energii powierzchniowej mieszczącej się w zakresie od 50 do 65 mJ/m , przy udziale składowej 2 dyspersyjnej mieszczącej się w zakresie od 45 do 55 mJ/m .
Sposób wytwarzania według wynalazku pozwala na uzyskanie w jednym procesie na implantach medycznych cienkiej powłoki węglowej zawierającej krzem o podwyższonej twardości i odporn ości korozyjnej, bez konieczności wytwarzania dodatkowych międzywarstw na bazie pierwiastków z grup VB, VIB oraz V1A układu okresowego pierwiastków, które są powszechnie stosowane do obniżenia naprężeń oraz poprawy adhezji warstwy węglowej na powierzchni, ale niejednokrotnie wywołują alergie u pacjentów. Dzięki niższej temperaturze procesu, maksimum 450°C dla stali medycznej AISI 316L, sposób według wynalazku nie prowadzi do zubożenia austenitu w zawarty w roztworze stałym chrom, który jak powszechnie wiadomo, dzięki wysokiemu powinowactwu do węgla w temperaturac h około 480°C i wyżej prowadzi do tworzenia się węglików typu M23C6, będących przyczyną osłabionej odporności korozyjnej materiału implantu i postępującej korozji międzykrystalicznej.

Claims (3)

  1. Zastrzeżenia patentowe
    1. Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych, zwłaszcza ze stali AISI 316L oraz stopów tytanu, mających skomplikowane kształty i przestrzennie rozwinięte powierzchnie, w którym implant umieszcza się na elektrodzie częstotliwości radiowej w komorze reaktora i poddaje się modyfikacji w plazmie niskotemperaturowej, wzbudzonej w gazie
    PL 223 008 B1 węglonośnym i/albo krzemonośnym, inicjowanej polem elektromagnetycznym częstotliwości radiowej, znamienny tym, że w trakcie osadzania warstwy węglowej na implancie utrzymuje się temperaturę mieszczącą się w zakresie od 200 do 550°C, przy potencjale autopolaryzacji mieszczącym się w zakresie od -600 V do -1200 V i jednocześnie wprowadza się do komory gaz węglonośny, który stanowi metan, oraz pary związków krzemoorganicznych, które stanowią pochodne alifatyczne silanów lub siloksanów, w takich ilościach, że stosunek związku krzemoorganicznego do związku węglonośnego mieści się w zakresie od 1:25 do 1:1, ciśnienie w komorze reaktora mieści się w zakresie od 30 Pa do 60 Pa, przy czym czas trwania procesu mieści się w zakresie od 3 do 6 minut.
  2. 2. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że związek krzemoorganiczny wprowadza się za pomocą argonu o przepływie mieszczącym się w zakresie od 0,5 do 1 ml/min.
  3. 3. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że pary związków organicznych wprowadza się w zmieniającym się stosunku do związku węglonośnego w zakresie od 1:25 do 1:1, a ciśnienie w komorze reaktora utrzymuje się na stałym poziomie mieszczącym się w zakresie 30 do 60 Pa.
PL398452A 2012-03-15 2012-03-15 Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych PL223008B1 (pl)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL398452A PL223008B1 (pl) 2012-03-15 2012-03-15 Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych
DE201210215855 DE102012215855A1 (de) 2012-03-15 2012-09-06 Verfahren zur Bildung einer siliziumhaltigen Kohlenstoffschicht auf medizinischen Implantaten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL398452A PL223008B1 (pl) 2012-03-15 2012-03-15 Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL398452A1 PL398452A1 (pl) 2013-09-16
PL223008B1 true PL223008B1 (pl) 2016-09-30

Family

ID=49044036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL398452A PL223008B1 (pl) 2012-03-15 2012-03-15 Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102012215855A1 (pl)
PL (1) PL223008B1 (pl)

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3082979B2 (ja) 1991-11-15 2000-09-04 トヨタ自動車株式会社 a−DLC−Si膜の形成方法
US5593719A (en) 1994-03-29 1997-01-14 Southwest Research Institute Treatments to reduce frictional wear between components made of ultra-high molecular weight polyethylene and metal alloys
US5725573A (en) 1994-03-29 1998-03-10 Southwest Research Institute Medical implants made of metal alloys bearing cohesive diamond like carbon coatings
JP4331292B2 (ja) 1998-10-30 2009-09-16 株式会社リケン 低摩耗性と優れた密着性を有する複合ダイヤモンドライクカーボン皮膜
KR100392476B1 (ko) 2000-09-26 2003-07-22 김현이 디엘시가 코팅되는 생체이식용 복합체 및 그 제조방법
PL199898B1 (pl) 2001-12-28 2008-11-28 Jozef Borowski Sposób wytwarzania warstw nanokrystalicznego diamentu na powierzchni wyrobów metalowych, zwłaszcza na powierzchni gwoździ śródszpikowych
JP4122387B2 (ja) 2002-03-15 2008-07-23 山口県 複合硬質皮膜、その製造方法及び成膜装置
PL207771B1 (pl) 2005-04-12 2011-01-31 Politechnika Łódzka Inst Inżynierii Materiałowej Sposób wytwarzania kompozytowych powłok NCD/Ca-P na podłożach metalicznych stosowanych w medycynie i weterynarii
PL207772B1 (pl) 2005-05-06 2011-01-31 Politechnika Łódzka Inst Inżynierii Materiałowej Sposób wytwarzania kompozytowych powłok NCD/Ca-P na podłożach metalicznych stosowanych w medycynie i weterynarii wytwarzanymi metodą plazmową
JP4291342B2 (ja) 2006-07-31 2009-07-08 株式会社東海理化電機製作所 摺動部材の表面処理方法、摺動部材、メカニカルキー及び携帯機
PL212780B1 (pl) 2008-02-21 2012-11-30 Borowski Jozef Przed Prod Uslugowo Handlowe Medgal Sposób wytwarzania cienkiej warstwy kompozytowej na powierzchni wyrobów medycznych, zwłaszcza implantów, instrumentariów medycznych
US20090246243A1 (en) 2008-03-25 2009-10-01 La Corporation De I'ecole Polytechnique Carbonaceous Protective Multifunctional Coatings

Also Published As

Publication number Publication date
DE102012215855A1 (de) 2013-09-19
PL398452A1 (pl) 2013-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2526977B1 (en) A peek medical implant and a method of formation of surface layers on medical implants
Oguri et al. Low friction coatings of diamond-like carbon with silicon prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition
Ebrahimi et al. Wear behavior of DLC film on plasma nitrocarburized AISI 4140 steel by pulsed DC PACVD: effect of nitrocarburizing temperature
Batory et al. Influence of the process parameters on the characteristics of silicon-incorporated aC: H: SiOx coatings
Capote et al. Influence of acetylene precursor diluted with argon on the microstructure and the mechanical and tribological properties of aC: H films deposited via the modified pulsed-DC PECVD method
WO2000075394A1 (en) A doped diamond-like carbon coating
JPH0578844A (ja) 固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法
Xu et al. Effects of bias voltage on the microstructure and properties of Al-doped hydrogenated amorphous carbon films synthesized by a hybrid deposition technique
Bi et al. Effect of Si/O doping on the thermal stability of non-bonded hydrogenated diamondlike carbon coatings
Dai et al. Influence of frequency and C2H2 flow on growth properties of diamond-like carbon coatings with AlCrSi co-doping deposited using a reactive high power impulse magnetron sputtering
WO2019035397A1 (ja) 珪炭窒化バナジウム膜、珪炭窒化バナジウム膜被覆部材およびその製造方法
Xia et al. The frictional behavior of DLC films against bearing steel balls and Si3N4 balls in different humid air and vacuum environments
Jedrzejczak et al. Titanium (IV) isopropoxide as a source of titanium and oxygen atoms in carbon based coatings deposited by Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition method
Hilton et al. TiN coatings on M2 steel produced by plasma-assisted chemical vapor deposition
EP1979505B1 (en) Thin-film multilayer structure, component comprising said structure and its method of deposition
Ye et al. Effects of anode layer linear ion source on the microstructure and mechanical properties of amorphous carbon nitride films
PL223008B1 (pl) Sposób wytwarzania warstwy węglowej zawierającej krzem na implantach medycznych
Sharifahmadian et al. Comprehensive tribological study of optimized N-DLC/DLC coatings fabricated by active screen DC-pulsed PACVD technique
Precht et al. Structure and tribological properties of carbon and carbon nitride films, obtained by the ARC method
Liepack et al. Characteristics of excess carbon in PACVD TiC-amorphous carbon layers
Grenadyorov et al. Kinetics of plasma-assisted chemical vapor deposition combined with inductively excited RF discharge and properties of aC: H: SiOx coatings
Choi et al. Thermal stability of diamond-like carbon films deposited by plasma based ion implantation technique with bipolar pulses
Hosseini et al. Single and dual-mode plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated diamond-like carbon films
CN116457494A (zh) 通过PVD由金属靶产生的富Al的AlCrN涂层
Gascón-Pérez et al. Electrochemical characterization of Cr/CrN/B4C/BCN films deposited by magnetron sputtering under mixed Ar-Ne atmospheres