PL3831168T3 - Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu - Google Patents

Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Info

Publication number
PL3831168T3
PL3831168T3 PL19779619.6T PL19779619T PL3831168T3 PL 3831168 T3 PL3831168 T3 PL 3831168T3 PL 19779619 T PL19779619 T PL 19779619T PL 3831168 T3 PL3831168 T3 PL 3831168T3
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
chamber
preparation
generate
gas pressure
glow discharge
Prior art date
Application number
PL19779619.6T
Other languages
English (en)
Inventor
Edward Reszke
Ihar Yelkin
Original Assignee
PLASMA INVESTMENT SP. z o.o.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by PLASMA INVESTMENT SP. z o.o. filed Critical PLASMA INVESTMENT SP. z o.o.
Publication of PL3831168T3 publication Critical patent/PL3831168T3/pl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/4697—Generating plasma using glow discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • H01J37/32045—Circuits specially adapted for controlling the glow discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B47/00—Circuit arrangements for operating light sources in general, i.e. where the type of light source is not relevant
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2242/00—Auxiliary systems
    • H05H2242/20—Power circuits
    • H05H2242/22—DC, AC or pulsed generators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
PL19779619.6T 2018-08-03 2019-08-01 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu PL3831168T3 (pl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426539A PL235522B1 (pl) 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
PCT/PL2019/000061 WO2020027672A1 (en) 2018-08-03 2019-08-01 A method for preparation of supply pulses to generate a glow discharge between electrodes enclosed in a chamber with reduced gas pressure and a circuit for preparation of supply pulses to generate a glow discharge between electrodes enclosed in a chamber with reduced gas pressure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL3831168T3 true PL3831168T3 (pl) 2024-09-23

Family

ID=68084920

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL426539A PL235522B1 (pl) 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
PL19779619.6T PL3831168T3 (pl) 2018-08-03 2019-08-01 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL426539A PL235522B1 (pl) 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP3831168B1 (pl)
PL (2) PL235522B1 (pl)
WO (1) WO2020027672A1 (pl)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PL128487B1 (en) 1980-02-21 1984-01-31 Przemyslowy Instytut Automatyk Jamproof input circuit with transoptor
US5111115A (en) * 1990-02-05 1992-05-05 Electronic & Transformer Engineering Limited Fluorescent lamp controller
DE4121009C2 (de) * 1991-06-21 1994-01-13 Prolux Maschinenbau Gmbh Schaltungsanordnung zum Betrieb einer Entladungslampe
US20070080649A1 (en) * 2003-11-06 2007-04-12 Sumida Corporation High voltage discharge lamp lighting apparatus
PL227530B1 (pl) 2013-04-19 2017-12-29 Oszczęda Zdzisław Stomadent Lampa plazmowa z zasilaczem
PL421774A1 (pl) 2013-04-19 2017-12-18 Oszczęda Zdzisław Stomadent Sposób zasilania lampy plazmowej

Also Published As

Publication number Publication date
EP3831168A1 (en) 2021-06-09
EP3831168B1 (en) 2024-05-29
PL426539A1 (pl) 2020-02-10
WO2020027672A1 (en) 2020-02-06
EP3831168C0 (en) 2024-05-29
PL235522B1 (pl) 2020-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SG11202105321TA (en) Method and apparatus for supplying improved gas flow to a processing volume of a processing chamber
GB2479702A (en) Method and apparatus of providing power to ignite and sustain a plasma in a reactive gas generator
MX2017012780A (es) Dispositivo de estimulacion en forma de punta.
GB2496830A (en) System for and method of fast pulse gas delivery
HK1244188A1 (zh) 气溶胶生成材料
UA90595U (uk) Спосіб інтенсифікації видобування нафти
MX2016009504A (es) Plasma no termico.
WO2011037757A3 (en) Method and apparatus for high efficiency gas dissociation in inductive coupled plasma reactor
WO2015110784A3 (en) Plasma device
SG11202100149RA (en) Real-time control of temperature in a plasma chamber
MX357937B (es) Bujía de microondas para inyectar enería de microondas.
GB2572853B (en) A fuel injector, a combustion chamber comprising a fuel injector and a method of detecting coking in a combustion chamber fuel injector
PL3831168T3 (pl) Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
EP4226999A3 (en) Plasma reactor for liquid and gas and related methods
GB201513777D0 (en) Control of gas flow and power supplied to a plasma torch in a multiple process chamber gas treatment system
IL288648B1 (en) System and method for producing nanocarbon materials using pulsed electrical discharge in a liquid
NZ728523A (en) Pulsed plasma engine and method
WO2012013544A3 (en) Ignition circuit for igniting a plasma fed with alternating power
GB2581398B (en) Seal and method for a fuel gas supply to a pre-combustion chamber
UA85913U (ru) СПОСОБ азотирования в тлеющем разряде В МУЛЬТИФАЗОВОМ АНАЛОГОВОМ РЕЖИМЕ
GB2580622B (en) Method to improve the pressure variation tolerance of gas measurement devices
UA67738U (ru) Устройство для разгона ударника с конусной камерой сгорания
ATE505059T1 (de) Verfahren zur zündung und zum start von hochdruckentladungslampen
PL409000A1 (pl) Sposób obniżenia napięcia zapłonu wyładowania w reaktorze mikroplazmowym
PL399607A1 (pl) Sposób wytwarzania impulsowej plazmy o wysokiej gestosci do czyszczenia powierzchni targetów magnetronów