PL426539A1 - Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu - Google Patents

Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Info

Publication number
PL426539A1
PL426539A1 PL426539A PL42653918A PL426539A1 PL 426539 A1 PL426539 A1 PL 426539A1 PL 426539 A PL426539 A PL 426539A PL 42653918 A PL42653918 A PL 42653918A PL 426539 A1 PL426539 A1 PL 426539A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
electrodes
chamber
glow discharge
generate
gas pressure
Prior art date
Application number
PL426539A
Other languages
English (en)
Other versions
PL235522B1 (pl
Inventor
Edward Reszke
Ihar Yelkin
Original Assignee
Edward Reszke
Ihar Yelkin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Edward Reszke, Ihar Yelkin filed Critical Edward Reszke
Priority to PL426539A priority Critical patent/PL235522B1/pl
Priority to PCT/PL2019/000061 priority patent/WO2020027672A1/en
Priority to PL19779619.6T priority patent/PL3831168T3/pl
Priority to EP19779619.6A priority patent/EP3831168B1/en
Publication of PL426539A1 publication Critical patent/PL426539A1/pl
Publication of PL235522B1 publication Critical patent/PL235522B1/pl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/4697—Generating plasma using glow discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • H01J37/32045—Circuits specially adapted for controlling the glow discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B47/00—Circuit arrangements for operating light sources in general, i.e. where the type of light source is not relevant
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2242/00—Auxiliary systems
    • H05H2242/20—Power circuits
    • H05H2242/22—DC, AC or pulsed generators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Sposób polega na tym, że za pomocą generatora małej mocy (PWM) generuje się impulsy, po czym wzmacnia się ich moc i napięcie do poziomu niezbędnego do zapalenia i podtrzymania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami (A, K), przy czym dobiera się ich kształt, amplitudę, częstotliwość powtarzania i ewentualnie poziom amplitudy napięcia stałego tak, aby ilość i intensywność pobudzeń rezonansowych oscylacji plazmy w jednostce czasu odpowiadała maksymalnej mocy koherentnych oscylacji rezonansowych. Układ charakteryzuje się tym, że równolegle z zaciskami co najmniej jednej pary elektrod stanowiących anodę (A) i katodę (K), z których każda para elektrod (A, K) zamknięta jest w komorze (LA), połączony jest kondensator wysokiej częstotliwości (CHF), jednocześnie do zacisków elektrod (A, K) połączony jest wzmacniacz impulsów, a ten z kolei połączony ze źródłem sygnałów sterujących.
PL426539A 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu PL235522B1 (pl)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426539A PL235522B1 (pl) 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
PCT/PL2019/000061 WO2020027672A1 (en) 2018-08-03 2019-08-01 A method for preparation of supply pulses to generate a glow discharge between electrodes enclosed in a chamber with reduced gas pressure and a circuit for preparation of supply pulses to generate a glow discharge between electrodes enclosed in a chamber with reduced gas pressure
PL19779619.6T PL3831168T3 (pl) 2018-08-03 2019-08-01 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
EP19779619.6A EP3831168B1 (en) 2018-08-03 2019-08-01 A method for preparation of supply pulses to generate a glow discharge between electrodes enclosed in a chamber with reduced gas pressure and a circuit for preparation of supply pulses to generate a glow discharge between electrodes enclosed in a chamber with reduced gas pressure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426539A PL235522B1 (pl) 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL426539A1 true PL426539A1 (pl) 2020-02-10
PL235522B1 PL235522B1 (pl) 2020-08-24

Family

ID=68084920

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL426539A PL235522B1 (pl) 2018-08-03 2018-08-03 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
PL19779619.6T PL3831168T3 (pl) 2018-08-03 2019-08-01 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL19779619.6T PL3831168T3 (pl) 2018-08-03 2019-08-01 Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP3831168B1 (pl)
PL (2) PL235522B1 (pl)
WO (1) WO2020027672A1 (pl)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PL128487B1 (en) 1980-02-21 1984-01-31 Przemyslowy Instytut Automatyk Jamproof input circuit with transoptor
US5111115A (en) * 1990-02-05 1992-05-05 Electronic & Transformer Engineering Limited Fluorescent lamp controller
DE4121009C2 (de) * 1991-06-21 1994-01-13 Prolux Maschinenbau Gmbh Schaltungsanordnung zum Betrieb einer Entladungslampe
US20070080649A1 (en) * 2003-11-06 2007-04-12 Sumida Corporation High voltage discharge lamp lighting apparatus
PL227530B1 (pl) 2013-04-19 2017-12-29 Oszczęda Zdzisław Stomadent Lampa plazmowa z zasilaczem
PL421774A1 (pl) 2013-04-19 2017-12-18 Oszczęda Zdzisław Stomadent Sposób zasilania lampy plazmowej

Also Published As

Publication number Publication date
EP3831168A1 (en) 2021-06-09
PL3831168T3 (pl) 2024-09-23
EP3831168B1 (en) 2024-05-29
WO2020027672A1 (en) 2020-02-06
EP3831168C0 (en) 2024-05-29
PL235522B1 (pl) 2020-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2025075070A5 (pl)
WO2006012467A3 (en) A programmable radio frequency waveform generator for a synchrocyclotron
CN103746595A (zh) 一种高功率长脉冲功率源
Galimzyanov et al. Characteristics of the development of electric discharge between jet anode and liquid cathode
PL426539A1 (pl) Sposób wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu i układ do wytwarzania impulsów zasilających do generowania wyładowania jarzeniowego pomiędzy elektrodami zamkniętymi w komorze z obniżonym ciśnieniem gazu
Rainwater et al. A 160 J, 100 Hz rep rate, compact Marx generator for driving and HPM source
Ranjandish et al. An active charge balancing method based on self-oscillation of the anodic current
Davari et al. Analysing DBD plasma lamp intensity versus power consumption using a push-pull pulsed power supply
CN112180432A (zh) 一种基于电晕放电的高效率电火花震源系统及设置方法
RU2001130671A (ru) Способ формирования высоковольтных импульсов
US20160175191A1 (en) Spectral electrotherapy device and method of controlling the same
JP2020119982A5 (pl)
RU145556U1 (ru) Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом
RU2462783C1 (ru) Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом
RU178906U1 (ru) Генератор высокочастотных импульсов на основе разряда с полым катодом
Ivanov et al. New approach toward the laser transient processes using double pulse method
Sato et al. Development of high power burst pulse generator for cancer treatment and investigation of superiority of high power burst pulse as against single pulse
Vyalykh et al. Observation of nonlinear generation of higher RF harmonics in hollow-cathode discharge
RU2751542C1 (ru) Газоразрядный генератор высокочастотных импульсов
RU189839U1 (ru) Генератор высокочастотных импульсов на основе разряда с полым катодом
RU2003120867A (ru) Способ возбуждения импульсных лазеров на самоограниченных переходах атомов металлов, работающих в режиме саморазогрева и устройство для его осуществления
RU2226030C1 (ru) Импульсный подмодулятор генератора наносекундных импульсов
RU2785411C1 (ru) Генератор прямоугольных импульсов напряжения
Saifutdinova et al. Numerical study of transients in the negative DC corona discharge
JP4493967B2 (ja) Ｃｏ２レーザ加工方法およびレーザ加工装置