Opis wzoru Przedmiotem wzoru uzytkowego jest przystawka pomiarowa przeznaczona zwlaszcza do pomia- rów prowadzonych za pomoca elipsometru. W sklad standardowego wyposazenia elipsometru wchodzi stolik, który posiada mozliwosc prze- suwu w kierunkach x i y. Plytki czy tez badane struktury, ze wzgledu na ich male wymiary, mocuje sie najpierw na pomocniczych plytkach pomiarowych na przyklad za pomoca klejenia. Nastepnie na takich plytkach, wykonanych najczesciej ze szkla, sa one przenoszone i umieszczane na stoliku elipsometru, gdzie sa odpowiednio pozycjonowane. Rozwiniete metody optyczne w diagnostyce pomiarowej materialów opieraja sie na informacjach pozyskiwanych róznymi metodami. W zakresie pomiarów optycznych do najczesciej stosowanych na- leza pomiary wykonywane na spektrometrze Ramana, na mikroskopie sil atomowych (AFM) oraz na profilometrze i elipsometrze optycznym. W pomiarach tych istotnym jest aby informacje pomiarowe po- chodzily z tego samego obszaru. Zebrane w ten sposób dane pozwalaja na wiarygodna obserwacje pojedynczych artefaktów na powierzchni wybranego obszaru próbki, jak i na ocene rozrzutu jakosci calej powierzchni. Pozyskane informacje sa pomocne w optymalizacji procesu produkcji materialów i lepszego poznania procesów zachodzacych na powierzchni, a co za tym idzie poprawe jakosci produ- kowanego materialu. Znanych jest wiele rozwiazan pomocnych w rozwiazywaniu problemów zwiaza- nych z odpowiednim pozycjonowaniem badanego materialu podczas prowadzonych pomiarów. Na przyklad z opisu zgloszenia CN208902761U znany jest uchwyt stosowany przy pomiarach prowadzo- nych na mikroskopie AFM, który jest kompatybilny z mikroskopami AFM o róznych konstrukcjach. Z opisu zgloszenia CN105891549A znany jest system, w którym sondy badawcze mozna przelaczac na rózne funkcje, które pozwalaja, miedzy innymi, na róznorodne badanie powierzchni materialów. Ze zgloszenia WO2019200983A znane jest skomplikowane urzadzenie (stosowane glównie na mikrosko- pie AFM), które przelacza sonde obrotowa mikroskopu zwiekszajac spektrum pomiarowe tak, aby funk- cje takie jak skanowanie topografii powierzchni, analiza widma Ramana, wyszukiwanie mikroskopowe itp. byly prowadzone w tym samym srodowisku. Celem wzoru uzytkowego bylo opracowanie przystawki pomiarowej do elipsometru, która bylaby przystawka na tyle uniwersalna, aby jej czesc zawierajaca mierzony material/strukture mozna bylo latwo zdemontowac i przeniesc do innego urzadzenia pomiarowego. Przystawka pomiarowa przeznaczona zwlaszcza do pomiarów prowadzonych za pomoca elipso- metru, charakteryzuje sie tym, ze ma podstawe w ksztalcie prostopadlosciennej, z zaokragleniem na jednym dluzszym boku, plytki z prostokatnym wybraniem na srodku górnej powierzchni, w którym to wybraniu umieszczona jest plytka podlozowa dla badanego materialu, przy czym plytka podlozowa ma obok miejsca sytuowania badanego materialu pozycjonujacy element znacznikowy „A", do pozycjono- wania badanego materialu, ponadto plytka podstawy ma od góry, przy krawedzi jednego krótszego boku i zakonczeniu prostokatnego wybrania, dwa otwory ze srubami mocujacymi, a z drugiej strony, przy zakonczeniu wybrania, ma element sprezysty wyposazony w dwa otwory ze srubami mocujacymi, na- tomiast w jednej sciance bocznej plytki podstawy, w odleglosci mniejszej niz dluzszy wymiar plytki pod- lozowej, znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania, otwory ze srubami regulacyjnymi. Przedstawiona przystawka ma szereg zalet, a do najwazniejszej nalezy latwosc przenoszenia i pozycjonowania plytki podlozowej zarówno podczas pomiarów elipsometrycznych, jak i podczas po- miarów prowadzonych na innych stanowiskach pomiarowych. Przystawka wedlug przedmiotowego wzoru uzytkowego, zilustrowana na rysunku, ma podstawe w ksztalcie prostopadlosciennej plytki 1, która od góry, w swojej srodkowej czesci, posiada prostokatne wybranie 2, w którym umieszczona jest plytka podlozowa 3 zawierajaca poddawany pomiarom badany material 4. Plytka podlozowa 3 ma obok miejsca sytuowania badanego materialu 4 element znaczni- kowy „A", wedlug którego nastepuje pozycjonowanie badanego materialu 4 zarówno w podstawie, tj. plytce 1, przystawki, jak i po przeniesieniu plytki podlozowej 3 do innych urzadzen pomiarowych. Identyfikacja miejsca pomiarowego w badanym materiale 4 polega na wyzerowaniu wspólrzednych (skladowych) X i Y na kazdym z tych urzadzen, a nastepnie ustaleniu przed pomiarami, ze srodek ob- szaru badanego materialu, jest oddalony od miejsca zerowania o okreslona, znana wielkosc. Plytka 1 ma od góry, przy krawedzi jednego krótszego boku i zakonczeniu wybrania 2, dwa otwory 5 ze srubami mocujacymi plytke 1 do stolika urzadzenia pomiarowego (elipsometru). Natomiast z drugiej strony, przy zakonczeniu wybrania 2, plytka 1 ma element sprezysty 6 dociskajacy plytke podlozowa 3 do krótszego3 boku wybrania 2. Element sprezysty 6 mocowany do plytki 1 za pomoca srub umieszczonych w otwo- rach 7. Ponadto, w sciance bocznej plytki 1 znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania 2, otwory 8, w których umieszczone sa sruby regulujace polozenie plytki podlozowej 3 w wybraniu 2 poprzez jej docisniecie do przeciwleglej krawedzi wybrania 2. Wybranie 2 ma równiez trzy podciecia 9 ulatwiajace wyjecie plytki podlozowej 3 z wybrania 2. Dla prawidlowego przeprowadzenia pomiaru nalezy najpierw stabilnie zamocowac plytke 1, za pomoca elementów mocujacych (srub czy wkretów) umieszczonych w otworach 5, do stolika elipsome- tru. Nastepnie przykleja sie badany material 4 do plytki podlozowej 3, a po jego przyklejeniu plytke podlozowa 3 umieszcza sie w wybraniu 2 i za pomoca srub w otworach 8 unieruchamia sie ja w plytce 1 w kierunku dluzszego boku wybrania 2, zas za pomoca elementu sprezystego 6 unieruchamia sie plytke 3 w kierunku krótszego boku wybrania 2, pozycjonujac jednoczesnie jej polozenie wzgledem elementu znacznikowego „A". PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL