PL73489Y1 - Przystawka pomiarowa - Google Patents

Przystawka pomiarowa Download PDF

Info

Publication number
PL73489Y1
PL73489Y1 PL129848U PL12984821U PL73489Y1 PL 73489 Y1 PL73489 Y1 PL 73489Y1 PL 129848 U PL129848 U PL 129848U PL 12984821 U PL12984821 U PL 12984821U PL 73489 Y1 PL73489 Y1 PL 73489Y1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
recess
plate
holes
base plate
base
Prior art date
Application number
PL129848U
Other languages
English (en)
Other versions
PL129848U1 (pl
Inventor
Rafał Budzich
Adrianna Chamryga
Artur Dobrowolski
Anna Harmasz
Jakub Jagiełło
Kamil Kaszyca
Original Assignee
Siec Badawcza Lukasiewicz Inst Mikroelektroniki I Fotoniki
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siec Badawcza Lukasiewicz Inst Mikroelektroniki I Fotoniki filed Critical Siec Badawcza Lukasiewicz Inst Mikroelektroniki I Fotoniki
Priority to PL129848U priority Critical patent/PL73489Y1/pl
Publication of PL129848U1 publication Critical patent/PL129848U1/pl
Publication of PL73489Y1 publication Critical patent/PL73489Y1/pl

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest przystawka pomiarowa przeznaczona zwłaszcza do pomiarów prowadzonych za pomocą elipsometru. Przystawka ma podstawę (1) w kształcie prostopadłościanu z prostokątnym wybraniem (2) na górnej powierzchni, w którym umieszczona jest płytka podłożowa (3) zawierająca poddawany pomiarom materiał/strukturę (4). Ponadto podstawa (1) również od góry, w pobliżu krawędzi jednego krótszego boku i zakończenia wybrania (2) ma dwa otwory ze śrubami mocującymi (5), a z drugiej strony, w pobliżu zakończenia wybrania (2) ma element sprężysty (6) dociskający płytkę (3) do krótszej krawędzi wybrania (2). Natomiast w ściance bocznej wybrania (2), w odległości nieco mniejszej niż długość płytki (3) znajdują się dwa otwory ze śrubami regulacyjnymi (8) dociskającymi płytkę (3) do dłuższej ściany wybrania (2).

Description

Opis wzoru Przedmiotem wzoru uzytkowego jest przystawka pomiarowa przeznaczona zwlaszcza do pomia- rów prowadzonych za pomoca elipsometru. W sklad standardowego wyposazenia elipsometru wchodzi stolik, który posiada mozliwosc prze- suwu w kierunkach x i y. Plytki czy tez badane struktury, ze wzgledu na ich male wymiary, mocuje sie najpierw na pomocniczych plytkach pomiarowych na przyklad za pomoca klejenia. Nastepnie na takich plytkach, wykonanych najczesciej ze szkla, sa one przenoszone i umieszczane na stoliku elipsometru, gdzie sa odpowiednio pozycjonowane. Rozwiniete metody optyczne w diagnostyce pomiarowej materialów opieraja sie na informacjach pozyskiwanych róznymi metodami. W zakresie pomiarów optycznych do najczesciej stosowanych na- leza pomiary wykonywane na spektrometrze Ramana, na mikroskopie sil atomowych (AFM) oraz na profilometrze i elipsometrze optycznym. W pomiarach tych istotnym jest aby informacje pomiarowe po- chodzily z tego samego obszaru. Zebrane w ten sposób dane pozwalaja na wiarygodna obserwacje pojedynczych artefaktów na powierzchni wybranego obszaru próbki, jak i na ocene rozrzutu jakosci calej powierzchni. Pozyskane informacje sa pomocne w optymalizacji procesu produkcji materialów i lepszego poznania procesów zachodzacych na powierzchni, a co za tym idzie poprawe jakosci produ- kowanego materialu. Znanych jest wiele rozwiazan pomocnych w rozwiazywaniu problemów zwiaza- nych z odpowiednim pozycjonowaniem badanego materialu podczas prowadzonych pomiarów. Na przyklad z opisu zgloszenia CN208902761U znany jest uchwyt stosowany przy pomiarach prowadzo- nych na mikroskopie AFM, który jest kompatybilny z mikroskopami AFM o róznych konstrukcjach. Z opisu zgloszenia CN105891549A znany jest system, w którym sondy badawcze mozna przelaczac na rózne funkcje, które pozwalaja, miedzy innymi, na róznorodne badanie powierzchni materialów. Ze zgloszenia WO2019200983A znane jest skomplikowane urzadzenie (stosowane glównie na mikrosko- pie AFM), które przelacza sonde obrotowa mikroskopu zwiekszajac spektrum pomiarowe tak, aby funk- cje takie jak skanowanie topografii powierzchni, analiza widma Ramana, wyszukiwanie mikroskopowe itp. byly prowadzone w tym samym srodowisku. Celem wzoru uzytkowego bylo opracowanie przystawki pomiarowej do elipsometru, która bylaby przystawka na tyle uniwersalna, aby jej czesc zawierajaca mierzony material/strukture mozna bylo latwo zdemontowac i przeniesc do innego urzadzenia pomiarowego. Przystawka pomiarowa przeznaczona zwlaszcza do pomiarów prowadzonych za pomoca elipso- metru, charakteryzuje sie tym, ze ma podstawe w ksztalcie prostopadlosciennej, z zaokragleniem na jednym dluzszym boku, plytki z prostokatnym wybraniem na srodku górnej powierzchni, w którym to wybraniu umieszczona jest plytka podlozowa dla badanego materialu, przy czym plytka podlozowa ma obok miejsca sytuowania badanego materialu pozycjonujacy element znacznikowy „A", do pozycjono- wania badanego materialu, ponadto plytka podstawy ma od góry, przy krawedzi jednego krótszego boku i zakonczeniu prostokatnego wybrania, dwa otwory ze srubami mocujacymi, a z drugiej strony, przy zakonczeniu wybrania, ma element sprezysty wyposazony w dwa otwory ze srubami mocujacymi, na- tomiast w jednej sciance bocznej plytki podstawy, w odleglosci mniejszej niz dluzszy wymiar plytki pod- lozowej, znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania, otwory ze srubami regulacyjnymi. Przedstawiona przystawka ma szereg zalet, a do najwazniejszej nalezy latwosc przenoszenia i pozycjonowania plytki podlozowej zarówno podczas pomiarów elipsometrycznych, jak i podczas po- miarów prowadzonych na innych stanowiskach pomiarowych. Przystawka wedlug przedmiotowego wzoru uzytkowego, zilustrowana na rysunku, ma podstawe w ksztalcie prostopadlosciennej plytki 1, która od góry, w swojej srodkowej czesci, posiada prostokatne wybranie 2, w którym umieszczona jest plytka podlozowa 3 zawierajaca poddawany pomiarom badany material 4. Plytka podlozowa 3 ma obok miejsca sytuowania badanego materialu 4 element znaczni- kowy „A", wedlug którego nastepuje pozycjonowanie badanego materialu 4 zarówno w podstawie, tj. plytce 1, przystawki, jak i po przeniesieniu plytki podlozowej 3 do innych urzadzen pomiarowych. Identyfikacja miejsca pomiarowego w badanym materiale 4 polega na wyzerowaniu wspólrzednych (skladowych) X i Y na kazdym z tych urzadzen, a nastepnie ustaleniu przed pomiarami, ze srodek ob- szaru badanego materialu, jest oddalony od miejsca zerowania o okreslona, znana wielkosc. Plytka 1 ma od góry, przy krawedzi jednego krótszego boku i zakonczeniu wybrania 2, dwa otwory 5 ze srubami mocujacymi plytke 1 do stolika urzadzenia pomiarowego (elipsometru). Natomiast z drugiej strony, przy zakonczeniu wybrania 2, plytka 1 ma element sprezysty 6 dociskajacy plytke podlozowa 3 do krótszego3 boku wybrania 2. Element sprezysty 6 mocowany do plytki 1 za pomoca srub umieszczonych w otwo- rach 7. Ponadto, w sciance bocznej plytki 1 znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania 2, otwory 8, w których umieszczone sa sruby regulujace polozenie plytki podlozowej 3 w wybraniu 2 poprzez jej docisniecie do przeciwleglej krawedzi wybrania 2. Wybranie 2 ma równiez trzy podciecia 9 ulatwiajace wyjecie plytki podlozowej 3 z wybrania 2. Dla prawidlowego przeprowadzenia pomiaru nalezy najpierw stabilnie zamocowac plytke 1, za pomoca elementów mocujacych (srub czy wkretów) umieszczonych w otworach 5, do stolika elipsome- tru. Nastepnie przykleja sie badany material 4 do plytki podlozowej 3, a po jego przyklejeniu plytke podlozowa 3 umieszcza sie w wybraniu 2 i za pomoca srub w otworach 8 unieruchamia sie ja w plytce 1 w kierunku dluzszego boku wybrania 2, zas za pomoca elementu sprezystego 6 unieruchamia sie plytke 3 w kierunku krótszego boku wybrania 2, pozycjonujac jednoczesnie jej polozenie wzgledem elementu znacznikowego „A". PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL
PL129848U 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa PL73489Y1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL129848U PL73489Y1 (pl) 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL129848U PL73489Y1 (pl) 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL129848U1 PL129848U1 (pl) 2022-08-22
PL73489Y1 true PL73489Y1 (pl) 2024-07-08

Family

ID=83723915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL129848U PL73489Y1 (pl) 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL73489Y1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL129848U1 (pl) 2022-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102426300B1 (ko) 스캐닝 음향 현미경용 조절가능 고정구
WO2020018677A4 (en) Laboratory liquid handler head check planarity guide
CN204405501U (zh) 一种水泥基材料孔结构的测试分析系统
PL73489Y1 (pl) Przystawka pomiarowa
CN210604990U (zh) 天线相位中心校准夹具
CN201215469Y (zh) 中心距测量机构
PL73488Y1 (pl) Przystawka pomiarowa
CN104793019B (zh) 在原子力显微镜上标定微悬臂梁弹性常数的溯源方法
CN101319865A (zh) 中心距测量机构
CN207423023U (zh) 万能角度尺
CN116718433B (zh) 一种在线式矿浆取样器及取样方法
CN218726360U (zh) 一种水泥稠度与凝结时间测定仪
CN206270369U (zh) 一种指纹芯片测试插座
CN214223918U (zh) 一种多尺度试件坐标式定位装置
CN211453418U (zh) 一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座
CN211576069U (zh) 一种改进型接触式混凝土膨胀收缩仪
CN207570920U (zh) 一种棒状拉伸试验断面收缩率及断后伸长率辅助测定装置
CN210173537U (zh) 一种自动探针台的标记装置
CN107966408B (zh) 一种用于光学元件吸收率测量的标定工装
CN220472934U (zh) 一种光纤检测的定位装置
CN215339852U (zh) 混凝土收缩膨胀测定仪
CN223770112U (zh) 一种x射线衍射样品台
CN215418104U (zh) 一种晶片翘曲测试装置
JP4578315B2 (ja) ウエーハ位置決め用治具及びウエーハ固定用スタンド並びにウエーハ分析方法
CN222189469U (zh) 一种角度可调的激光标定仪