PL73488Y1 - Przystawka pomiarowa - Google Patents

Przystawka pomiarowa Download PDF

Info

Publication number
PL73488Y1
PL73488Y1 PL129849U PL12984921U PL73488Y1 PL 73488 Y1 PL73488 Y1 PL 73488Y1 PL 129849 U PL129849 U PL 129849U PL 12984921 U PL12984921 U PL 12984921U PL 73488 Y1 PL73488 Y1 PL 73488Y1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
plate
base
recess
pair
side wall
Prior art date
Application number
PL129849U
Other languages
English (en)
Other versions
PL129849U1 (pl
Inventor
Rafał Budzich
Adrianna Chamryga
Artur Dobrowolski
Anna Harmasz
Jakub Jagiełło
Kamil Kaszyca
Original Assignee
Siec Badawcza Lukasiewicz Inst Mikroelektroniki I Fotoniki
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siec Badawcza Lukasiewicz Inst Mikroelektroniki I Fotoniki filed Critical Siec Badawcza Lukasiewicz Inst Mikroelektroniki I Fotoniki
Priority to PL129849U priority Critical patent/PL73488Y1/pl
Publication of PL129849U1 publication Critical patent/PL129849U1/pl
Publication of PL73488Y1 publication Critical patent/PL73488Y1/pl

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Przedmiotem wzoru użytkowego jest przystawka pomiarowa przeznaczona do pomiarów prowadzonych za pomocą mikroskopu sił atomowych (AFM). Przystawka ma prostopadłościenną podstawę (1), która z jednej strony, ma parę otworów stabilizujących (8) oraz prostokątne wybranie (5). W wybraniu (5) umieszczona jest płytka podłożowa (2) zawierająca poddawany pomiarom materiał/strukturę (6) z zaznaczonym miejscem pozycjonowania „A” oraz element dociskający (7). Z drugiej strony podstawa (1) ma obejmę mocującą (3) w kształcie litery „E” z wystającymi ponad szerokość i grubość podstawy (1) krawędziami bocznymi i z wewnętrznym wypustem mocującym. Natomiast w dłuższej ściance bocznej wybrania (5) podstawy (1), w odległości nieco mniejszej niż długość płytki (2) znajduje się para otworów regulujących (10).

Description

Opis wzoru Przedmiotem wzoru uzytkowego jest przystawka pomiarowa przeznaczona do pomiarów prowa- dzonych za pomoca mikroskopu sil atomowych (AFM). W sklad standardowego wyposazenia mikroskopu AFM wchodzi stolik przesuwny w kierunkach x i y, na którym znajduje sie obrotowy dysk. Plytki czy tez badane struktury, ze wzgledu na ich male wymiary, mocuje sie najpierw na pomocniczych plytkach pomiarowych najczesciej za pomoca klejenia. Nastepnie na takich plytkach, wykonanych najczesciej ze szkla, sa one przenoszone i umieszczane na dysku mikroskopu, gdzie sa odpowiednio pozycjonowane. Rozwiniete metody optyczne w diagnostyce pomiarowej materialów opieraja sie na informacjach pozyskiwanych róznymi metodami. W zakresie pomiarów optycznych do najczesciej stosowanych na- leza pomiary wykonywane na spektrometrze Ramana, na mikroskopie sil atomowych (AFM) oraz na profilometrze i elipsometrze optycznym. W pomiarach tych istotnym jest aby informacje pomiarowe po- chodzily z tego samego obszaru. Zebrane w ten sposób dane pozwalaja na wiarygodna obserwacje pojedynczych artefaktów na powierzchni wybranego obszaru próbki, jak i na ocene rozrzutu jakosci calej powierzchni. Pozyskane informacje moga byc pomocne w optymalizacji procesu produkcji mate- rialów i lepszego poznania procesów zachodzacych na powierzchni, a co za tym idzie pozwola na po- prawe jakosci produkowanego materialu. Znanych jest wiele rozwiazan pomocnych w rozwiazywaniu problemów zwiazanych z odpowiednim pozycjonowaniem badanego materialu podczas prowadzonych pomiarów. Na przyklad z opisu zgloszenia CN208902761U znany jest uchwyt stosowany przy pomia- rach prowadzonych na mikroskopie AFM, który jest kompatybilny z mikroskopami AFM o róznych kon- strukcjach. Z opisu zgloszenia CN105891549A znany jest system, w którym sondy badawcze mozna przelaczac na rózne funkcje, które pozwalaja, miedzy innymi, na róznorodne badanie powierzchni ma- terialów. Ze zgloszenia WO2019200983A znane jest skomplikowane urzadzenie, które przelacza sonde obrotowa mikroskopu zwiekszajac spektrum pomiarowe tak aby funkcje takie jak skanowanie topografii powierzchni, analiza widma Ramana, wyszukiwanie mikroskopowe itp. byly prowadzone w tym samym srodowisku. W zgloszeniu CN111077347A ujawniono urzadzenie mocujace sonde do mikroskopu sil atomowych, w którym podstawa sondy ustawiana jest pod odpowiednim katem w rowku pozycjonuja- cym, natomiast w zgloszeniach CN109932530A i CN105092900A opisane sa uchwyty sond skanuja- cych mikroskopu AFM wyposazone w zaciski, które pozwalaja na wygodne zaciskanie i zwolnienie sondy oraz ulatwiaja jej montaz i demontaz. Celem wzoru uzytkowego jest opracowanie przystawki pomiarowej do mikroskopu sil atomowych, która bylaby przystawka na tyle uniwersalna, aby jej czesc zawierajaca strukture umieszczona na plytce pomiarowej mozna bylo latwo zdemontowac i przeniesc do innego urzadzenia pomiarowego. Przystawka pomiarowa przeznaczona zwlaszcza do pomiarów prowadzonych za pomoca mikro- skopu sil atomowych, charakteryzuje sie tym, ze ma podstawe w ksztalcie prostopadlosciennej plytki, która od góry, z jednej strony ma pare otworów ze srubami stabilizujacymi, a po srodku prostokatne wybranie, w którym umieszczana jest plytka podlozowa dla badanego materialu, wyposazona w pozy- cjonujacy element znacznikowy „A" oraz sprezysty element dociskajacy, a z drugiej strony prostopadlo- scienna plytka ma obejme mocujaca w ksztalcie litery „L" z wystajacymi poza szerokosc i ponad wyso- kosc tejze plytki krawedziami bocznymi i zawierajaca wewnetrzny wypust mocujacy, natomiast w dluz- szej sciance bocznej prostopadlosciennej plytki, w odleglosci mniejszej niz dluzszy wymiar plytki podlo- zowej, znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania, otwory ze srubami regulacyjnymi. Przystawka wedlug przedmiotowego wzoru uzytkowego zilustrowana zostala na rysunku, na któ- rym fig. 1 przedstawia widok kompletnej przystawki pomiarowej zamocowanej na stoliku mikroskopu AFM, natomiast fig. 2 pokazuje sama podstawe przystawki (bez obejmy). Przedmiotowa przystawka sklada sie z trzech podstawowych elementów jakimi sa: podstawa w ksztalcie plytki 1, plytka podlozowa 2 oraz obejma 3. Plytka 1 ma postac prostopadloscianu, który od góry, w srodkowej czesci posiada prostokatne wybranie 5. W wybraniu tym umieszczona jest plytka podlozowa 2, na której znajduje sie poddawany pomiarom badany material 6 oraz dociskajacy plytke 2 element sprezysty 7, który unieruchamia ja w wybraniu 5 w kierunku wzdluznym. Plytka podlozowa 2 ma obok miejsca sytuowania badanego materialu 6 element znacznikowy „A", wedlug którego naste- puje pozycjonowanie materialu 6 zarówno w podstawie, tj. plytce 1, przystawki, jak i po przeniesieniu3 go do innych urzadzen pomiarowych. Identyfikacja miejsca pomiarowego w badanym materiale 6 po- lega, na wyzerowaniu wspólrzednych (skladowych) X i Y na kazdym z tych urzadzen, a nastepnie usta- leniu przed pomiarami, ze srodek obszaru badanego materialu jest oddalony od miejsca zerowania o okreslona, znana wielkosc. W sciance bocznej wybrania plytki 1 znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania 5, otwory 10 ze srubami regulacyjnymi, za pomoca których blokowany jest ruch plytki podlozowej 2 w kierunku poprzecznym. Otwory te znajduja sie w obszarze wyznaczonym przez dlugosc wybrania 5, a odleglosc miedzy nimi jest mniejsza niz dluzszy wymiar plytki podlozowej 2. Plytka 1, równiez od góry, przy krawedzi jednego krótszego boku i zakonczenia wybrania 2 ma pare otworów 8, w których umieszczone sa sruby stabilizujace, za pomoca których unieruchamia sie plytke 1 na dysku 9 stolika mikroskopu AFM, natomiast po przeciwnej stronie wybrania 2 plytka 1 ma pare otworów 4, w których umieszczone sa sruby stabilizujace plytke 1 w obejmie 3. Obejma ma w przekroju ksztalt zblizony do litery „L", której ramie obejmuje dysk 9 stolika i plytke 1 uniemozliwiajac ruch pod- stawy w pionie. Od wewnetrznej strony obejma 3 ma wewnetrzny wypust wchodzacy w wybranie 11 dysku stolika AFM, co unieruchamia plytke 1 i blokuje obrót dysku 9 na stoliku. PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL

Claims (1)

Zastrzezenie ochronne
1. Przystawka pomiarowa przeznaczona zwlaszcza do pomiarów prowadzonych za pomoca mi- kroskopu sil atomowych, znamienna tym, ze ma podstawe w ksztalcie prostopadlosciennej plytki (1), która od góry, z jednej strony ma pare otworów (8) ze srubami stabilizujacymi, a po srodku prostokatne wybranie (5), w którym umieszczana jest plytka podlozowa (2) dla bada- nego materialu (6), wyposazona w pozycjonujacy element znacznikowy „A” oraz sprezysty element dociskajacy (7), a z drugiej strony plytka (1) ma obejme mocujaca (3) w ksztalcie litery „L” z wystajacymi poza szerokosc i ponad wysokosc plytki (1) krawedziami bocznymi i zawie- rajaca wewnetrzny wypust mocujacy, natomiast w dluzszej sciance bocznej plytki (1), w odle- glosci mniejszej niz dluzszy wymiar plytki podlozowej (2), znajduja sie dwa, dochodzace do scianki bocznej wybrania (5), otwory (10) ze srubami regulacyjnymi.
PL129849U 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa PL73488Y1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL129849U PL73488Y1 (pl) 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL129849U PL73488Y1 (pl) 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL129849U1 PL129849U1 (pl) 2022-08-22
PL73488Y1 true PL73488Y1 (pl) 2024-07-08

Family

ID=83723919

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL129849U PL73488Y1 (pl) 2021-02-17 2021-02-17 Przystawka pomiarowa

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL73488Y1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL129849U1 (pl) 2022-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110987995A (zh) 扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座
US7576317B1 (en) Calibration standard for a dual beam (FIB/SEM) machine
KR102426300B1 (ko) 스캐닝 음향 현미경용 조절가능 고정구
TW201344339A (zh) 鏡頭模組測試治具
US11579056B2 (en) Universal material tester with several consecutively arranged test units
TWI700721B (zh) 試料保持具及試料保持具群
WO2020018677A4 (en) Laboratory liquid handler head check planarity guide
PL73488Y1 (pl) Przystawka pomiarowa
CN110470441B (zh) 施力结构以及基于其测量原子力显微镜探针的法向弹性常数的方法和应用
PL73489Y1 (pl) Przystawka pomiarowa
CN207423023U (zh) 万能角度尺
CN211453418U (zh) 一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座
CN215338077U (zh) 一种精密机械零件尺寸快速测量装置
ES2991891T3 (es) Disposición de fijación para fijar un portamuestras a un dispositivo de medición de fuerza, portamuestras y contrasoporte para dicha disposición de fijación, y dispositivo de medición de fuerza con dicha disposición de fijación
KR20080049166A (ko) 시편 제조 장치 및 방법
CN224109317U (zh) 一种测量小尺寸样品化学成分的固定装置
CN107966408B (zh) 一种用于光学元件吸收率测量的标定工装
CN215418104U (zh) 一种晶片翘曲测试装置
CN206479112U (zh) 测量装置
JP4578315B2 (ja) ウエーハ位置決め用治具及びウエーハ固定用スタンド並びにウエーハ分析方法
CN223122171U (zh) 一种显微物镜齐焦距离的检测工装
CN223770112U (zh) 一种x射线衍射样品台
JP2013156239A (ja) 単眼拡大鏡用接触角値換算スケール板
CN210834962U (zh) 一种适用于扫描电镜ebsd测试的试验台
CN209656594U (zh) 一种xrd样品台支架