RU2005129946A

RU2005129946A - Способ и система для монтажа в корпус устройств на основе мэмс с внедренным газопоглотителем

Info

Publication number: RU2005129946A
Application number: RU2005129946/28A
Authority: RU
Inventors: Лорен ПАЛМАТИР (US); Лорен ПАЛМАТИР; Уилль м Дж. КАММИНГЗ (US); Уилльям Дж. КАММИНГЗ; Брайан Дж. ГАЛЛИ (US); Брайан Дж. ГАЛЛИ; Клэренс ЧУЙ (US); Клэренс ЧУЙ; Маниш КОТХАРИ (US); Маниш КОТХАРИ
Original assignee: АйДиСи, ЭлЭлСи (US); АйДиСи, ЭлЭлСи
Priority date: 2004-09-27
Filing date: 2005-09-26
Publication date: 2007-04-10
Also published as: TW200620590A; EP1640327A2; JP2006121052A; AU2005204607A1; US20110290552A1; EP1640327A3; US20090189230A1; SG155949A1; KR20060092914A; BRPI0503873A; RU2379227C2; CA2519656A1; SG121122A1; MXPA05010246A; US20060076634A1; US8735225B2

Claims

1. Система, содержащая подложку, устройство на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), сформированное на подложке, объединительную плату, уплотнение, расположенное вблизи периметра устройства на основе МЭМС и контактирующее с подложкой и объединительной платой, причем уплотнение содержит химически активный газопоглотитель.

2. Система по п.1, отличающаяся тем, что уплотнение содержит некоторое количество газопоглотителя, достаточное для поглощения по существу всех веществ, выделившихся из уплотнения, по меньшей мере, при изготовлении или сборке.

3. Система по п.1, отличающаяся тем, что уплотнение содержит клей.

4. Система по п.1, отличающаяся тем, что химически активный газопоглотитель содержит по меньшей мере одно вещество, выбранное из группы, состоящей из оксида кальция, стронция, оксида стронция и комплекса алюминия.

5. Система по п.1, отличающаяся тем, что устройство на основе МЭМС содержит интерферометрический модулятор.

6. Система по п.1, отличающаяся тем, что подложка содержит прозрачную подложку.

7. Система по п.6, отличающаяся тем, что прозрачная подложка содержит стекло.

8. Система по п.1, отличающаяся тем, что дополнительно содержит вспомогательное уплотнение, расположенное вблизи упомянутого уплотнения, расположенного вблизи периметра устройства.

9. Система по п.8, отличающаяся тем, что вспомогательное уплотнение расположено у внешней периферии упомянутого уплотнения, расположенного вблизи периметра устройства.

10. Система по п.8, отличающаяся тем, что вспомогательное уплотнение расположено у внутренней периферии упомянутого уплотнения, расположенного вблизи периметра устройства.

11. Система по п.8, отличающаяся тем, что вспомогательное уплотнение содержит гидрофобный материал.

12. Система по п.1, отличающаяся тем, что химически активный газопоглотитель содержит влагопоглотитель.

13. Система по п.1, отличающаяся тем, что дополнительно содержит процессор, электрически связанный с устройством на основе МЭМС, причем процессор выполнен с возможностью обработки данных изображения, запоминающее устройство, электрически связанное с процессором.

14. Система по п.13, отличающаяся тем, что дополнительно содержит схему возбуждения, выполненную с возможностью направления по меньшей мере одного сигнала в устройство на основе МЭМС.

15. Система по п.14, отличающаяся тем, что дополнительно содержит контроллер, обеспечивающий направление по меньшей мере части данных изображения в схему возбуждения.

16. Система по п.13, отличающаяся тем, что дополнительно содержит модуль источника изображения, предназначенный для направления данных изображения в процессор.

17. Система по п.16, отличающаяся тем, что модуль источника изображения содержит по меньшей мере один компонент, выбранный из группы, состоящей из приемника, приемопередатчика и передатчика.

18. Система по п.13, отличающаяся тем, что дополнительно содержит устройство ввода, выполненное с возможностью ввода данных и передачи вводимых данных в процессор.

19. Способ уплотнения корпуса устройства на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), заключающийся в том, что используют подложку и объединительную плату, причем положка содержит сформированное на ней устройство на основе МЭМС, формируют уплотнение вблизи периметра устройства на основе МЭМС, причем уплотнение содержит химически активный газопоглотитель, скрепляют между собой подложку, уплотнение и объединительную плату, тем самым заключают устройство на основе МЭМС в корпус.

20. Способ по п.19, отличающийся тем, что используют уплотнение, содержащее некоторое количество газопоглотителя, достаточное для поглощения по существу всех веществ, выделившихся из уплотнения, по меньшей мере, при изготовлении или сборке.

21. Способ по п.19, отличающийся тем, что используют уплотнение, содержащее клей.

22. Способ по п.19, отличающийся тем, что используют химически активный газопоглотитель, содержащий по меньшей мере одно вещество, выбранное из группы, состоящей из оксида кальция, стронция, оксида стронция и комплекса алюминия.

23. Способ по п.19, отличающийся тем, что используют устройство на основе МЭМС, содержащее интерферометрический модулятор.

24. Способ по п.19, отличающийся тем, что используют подложку, содержащую прозрачную подложку.

25. Способ по п.19, отличающийся тем, что дополнительно осуществляют формирование вспомогательного уплотнения вблизи упомянутого уплотнения, расположенного вблизи периметра устройства.

26. Способ по п.25, отличающийся тем, что вспомогательное уплотнение формируют у внешней периферии упомянутого уплотнения, расположенного вблизи периметра устройства.

27. Способ по п.25, отличающийся тем, что вспомогательное уплотнение формируют у внутренней периферии упомянутого уплотнения, расположенного вблизи периметра устройства.

28. Способ по п.25, отличающийся тем, что используют вспомогательное уплотнение, содержащее гидрофобный материал.

29. Способ по п.19, отличающийся тем, что используют газопоглотитель, содержащий влагопоглотитель.

30. Корпус устройства на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), изготовленный способом по п. 19.

31. Устройство на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), содержащее пропускающее средство, предназначенное для пропускания через него света, модулирующее средство, предназначенное для модуляции света, пропущенного через пропускающее средство, закрывающее средство, предназначенное для закрывания модулирующего средства, уплотняющее средство, предназначенное для формирования полости между пропускающим средством и закрывающим средством, причем уплотняющее средство содержит химически активное средство для химического взаимодействия с веществами, которые контактируют с уплотняющим средством.

32. Устройство по п.31, отличающееся тем, что передающее средство содержит прозрачную подложку.

33. Устройство по п.31, отличающееся тем, что модулирующее средство содержит интерферометрический модулятор.

34. Устройство по п.31, отличающееся тем, что закрывающее средство содержит объединительную плату.

35. Устройство по п.31, отличающееся тем, что уплотняющее средство содержит клей.

36. Устройство по п.31, отличающееся тем, что химически активное средство содержит химически активный газопоглотитель.

37. Устройство по п.36, отличающееся тем, что уплотняющее средство содержит некоторое количество газопоглотителя, достаточное для поглощения по существу всех веществ, выделившихся из уплотнения, по меньшей мере, при изготовлении и сборке.

38. Устройство по п.36, отличающееся тем, что химически активный газопоглотитель содержит по меньшей мере одно вещество, выбранное из группы, состоящей из оксида кальция, стронция, оксида стронция и комплекса алюминия.

39. Устройство по п. 31, отличающееся тем, что дополнительно содержит вспомогательное уплотнение, сформированное вблизи упомянутого уплотняющего средства.

40. Устройство по п.39, отличающееся тем, что вспомогательное уплотнение содержит гидрофобный материал.

41. Устройство по п.39, отличающееся тем, что вспомогательное уплотнение сформировано вокруг внешней периферии уплотняющего средства.

42. Устройство по п.39, отличающееся тем, что вспомогательное уплотнение сформировано вокруг внутренней периферии уплотняющего средства.