RU2012102492A - Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта - Google Patents
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012102492A RU2012102492A RU2012102492/28A RU2012102492A RU2012102492A RU 2012102492 A RU2012102492 A RU 2012102492A RU 2012102492/28 A RU2012102492/28 A RU 2012102492/28A RU 2012102492 A RU2012102492 A RU 2012102492A RU 2012102492 A RU2012102492 A RU 2012102492A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- drive
- probe microscope
- sample
- microscope according
- scanning probe
- Prior art date
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract 43
- 230000004048 modification Effects 0.000 title 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 title 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности образца (40), содержащий:- основание (1), на котором установлены:- пуансон (2) с первым приводом (4), адаптированный по меньшей мере для модификации поверхности образца (40), и- механизм (6) перемещения образца (40) со вторым приводом (7),- сканирующее устройство (33), установленое на механизме (6) перемещения образца (40),- образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33),- первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), и- блок управления (107), адаптированный для управления по меньшей мере сканирующим устройством (33) и зондом (28),характеризующийся тем, что он содержит платформу (18) с первой и второй направляющими (22), (23), на которых установлена подвижная каретка (26),тем, что платформа (18) закреплена на механизме (6) перемещения образца (40), итем, что первый зажим (27) с зондом (28) установлены на подвижной каретке (26).2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит третий привод (31), сопряженный с подвижной кареткой (26) и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления третьим приводом (31).3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на платформе (18).4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на основании (1).5. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что первый привод (4) сопряжен с подвижной кареткой (26), и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления первым приводом (4).6. Сканирующий зондовый микроскоп по любому одному из пп.1-5, характеризующийся тем, что он содержит перв
Claims (11)
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности образца (40), содержащий:
- основание (1), на котором установлены:
- пуансон (2) с первым приводом (4), адаптированный по меньшей мере для модификации поверхности образца (40), и
- механизм (6) перемещения образца (40) со вторым приводом (7),
- сканирующее устройство (33), установленое на механизме (6) перемещения образца (40),
- образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33),
- первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), и
- блок управления (107), адаптированный для управления по меньшей мере сканирующим устройством (33) и зондом (28),
характеризующийся тем, что он содержит платформу (18) с первой и второй направляющими (22), (23), на которых установлена подвижная каретка (26),
тем, что платформа (18) закреплена на механизме (6) перемещения образца (40), и
тем, что первый зажим (27) с зондом (28) установлены на подвижной каретке (26).
2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит третий привод (31), сопряженный с подвижной кареткой (26) и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления третьим приводом (31).
3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на платформе (18).
4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на основании (1).
5. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что первый привод (4) сопряжен с подвижной кареткой (26), и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления первым приводом (4).
6. Сканирующий зондовый микроскоп по любому одному из пп.1-5, характеризующийся тем, что он содержит первый экран (42), установленный на платформе (18) с возможностью подвижки относительно нее.
7. Сканирующий зондовый микроскоп по п.6, характеризующийся тем, что он содержит второй экран (95), установленный на платформе (18) с возможностью подвижки относительно нее.
8. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что сканирующее устройство (33) закреплено на платформе (18).
9. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что на первом приводе (4) установлен модуль воздействия на зонд (28), и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления первым приводом (4).
10. Сканирующий зондовый микроскоп по п.9, характеризующийся тем, что модуль воздействия на зонд (28) содержит держатель (3) и кольцевой электрод (57) с электролитом (58), и тем, что кольцевой электрод (57) закреплен в держателе (3).
11. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что пуансон (2), первый зажим (27) с зондом (28) и сканирующее устройство (33) с образцом (40) расположены в криогенной камере (103) с возможностью их охлаждения.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP1115796 | 2011-01-31 | ||
| EP2011015796 | 2011-01-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012102492A true RU2012102492A (ru) | 2014-03-27 |
| RU2572522C2 RU2572522C2 (ru) | 2016-01-20 |
Family
ID=50342562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012102492/28A RU2572522C2 (ru) | 2011-01-31 | 2012-01-26 | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2572522C2 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10690698B2 (en) | 2016-05-18 | 2020-06-23 | Chastnoe Uchrezhdenie “Nazarbayev University Research And Innovation System” | Scanning probe microscope combined with a device for acting on a probe and a specimen |
| US11150266B2 (en) | 2016-05-18 | 2021-10-19 | Nazarbayev University Research and Innovation System | Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module |
| US11237186B2 (en) | 2016-05-18 | 2022-02-01 | Chastnoe Uchrezhdenie Nazarbayev University Research And Innovation System | Wide-field scanning probe microscope combined with an apparatus for modifying an object |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2653190C1 (ru) * | 2017-02-06 | 2018-05-07 | Константин Евгеньевич Мочалов | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности образца |
| RU2703607C1 (ru) * | 2019-04-09 | 2019-10-21 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Устройство компенсации собственных колебаний иглы зонда сканирующего микроскопа |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5672816A (en) * | 1992-03-13 | 1997-09-30 | Park Scientific Instruments | Large stage system for scanning probe microscopes and other instruments |
| JP2002062243A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-28 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡およびその試料ステージ |
| RU2282257C1 (ru) * | 2005-08-24 | 2006-08-20 | Зао "Нт-Мдт" | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта |
| RU2389032C2 (ru) * | 2008-07-24 | 2010-05-10 | Антон Евгеньевич Ефимов | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта |
-
2012
- 2012-01-26 RU RU2012102492/28A patent/RU2572522C2/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10690698B2 (en) | 2016-05-18 | 2020-06-23 | Chastnoe Uchrezhdenie “Nazarbayev University Research And Innovation System” | Scanning probe microscope combined with a device for acting on a probe and a specimen |
| US11150266B2 (en) | 2016-05-18 | 2021-10-19 | Nazarbayev University Research and Innovation System | Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module |
| US11237186B2 (en) | 2016-05-18 | 2022-02-01 | Chastnoe Uchrezhdenie Nazarbayev University Research And Innovation System | Wide-field scanning probe microscope combined with an apparatus for modifying an object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2572522C2 (ru) | 2016-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012102492A (ru) | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта | |
| ES2658709T3 (es) | Aparato para medir el potencial oxidación-reducción | |
| CN208398802U (zh) | 一种后壳尺寸测量设备 | |
| IN2014DN03134A (ru) | ||
| CN104729912A (zh) | 一种可调节式多功能实验夹具装置 | |
| ATE519139T1 (de) | Bilderfassungsvorrichtung für biologische proben, bilderfassungsverfahren für biologische proben und programm | |
| MX2009000759A (es) | Aparato para capturar una imagen. | |
| JP2015083310A (ja) | 被溶接物固定装置 | |
| EP2636481A3 (en) | Apparatus having cup attaching unit | |
| CN205333011U (zh) | 手机成品检测装置 | |
| JP2014056783A5 (ru) | ||
| CN203037445U (zh) | 移动工作台 | |
| JP5806537B2 (ja) | 顕微鏡セット | |
| ES2634088T3 (es) | Dispositivo sistema y procedimiento para su utilización en máquinas para la replicación electroquímica de patrones | |
| TW200951539A (en) | Lighting inspection apparatus | |
| RU2012147674A (ru) | Устройство для исследования материалов в деформированных состояниях методом атомно-силового микроскопа | |
| CN104569863A (zh) | 灯具的点亮测试工装及点亮测试方法 | |
| CN101629808A (zh) | 探针卡校正设备 | |
| CN205448995U (zh) | 手机成品检测装置 | |
| CN204007522U (zh) | 一种激光厚度测量设备 | |
| CN204594577U8 (zh) | 一种激光辐射测试装置 | |
| RU2010153396A (ru) | Способ оценки энергии активации пластической деформации поверхностного слоя и переносной склерометр для его осуществления | |
| TW201129789A (en) | Goniophotometry testing apparatus | |
| CN206311511U (zh) | 一种镜面投影式减震衬套检测装置 | |
| CN203054447U (zh) | 摄像机滤光片检测治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180127 |