RU2012131801A - Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме - Google Patents
Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012131801A RU2012131801A RU2012131801/02A RU2012131801A RU2012131801A RU 2012131801 A RU2012131801 A RU 2012131801A RU 2012131801/02 A RU2012131801/02 A RU 2012131801/02A RU 2012131801 A RU2012131801 A RU 2012131801A RU 2012131801 A RU2012131801 A RU 2012131801A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- arc discharge
- vacuum
- products
- Prior art date
Links
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 title claims abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 3
- 230000004807 localization Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims abstract 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме, осуществляемый катодными пятнами дугового разряда, горящего в режиме возрастающего участка вольтамперной характеристики, между анодом и катодом, который является обрабатываемой поверхностью, отличающийся тем, что для локализации области существования катодных пятен на обрабатываемой поверхности применяют анод с минимально допустимой площадью токоприемной поверхности, устанавливаемый на расстоянии от катода, обеспечивающем положительное анодное падение напряжения, при этом смещение области локализации катодных пятен осуществляют путем перемещения анода со скоростью, определяющей предельно допустимые тепловые нагрузки поверхности обрабатываемого изделия.
Claims (1)
- Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме, осуществляемый катодными пятнами дугового разряда, горящего в режиме возрастающего участка вольтамперной характеристики, между анодом и катодом, который является обрабатываемой поверхностью, отличающийся тем, что для локализации области существования катодных пятен на обрабатываемой поверхности применяют анод с минимально допустимой площадью токоприемной поверхности, устанавливаемый на расстоянии от катода, обеспечивающем положительное анодное падение напряжения, при этом смещение области локализации катодных пятен осуществляют путем перемещения анода со скоростью, определяющей предельно допустимые тепловые нагрузки поверхности обрабатываемого изделия.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012131801/02A RU2509824C1 (ru) | 2012-07-24 | 2012-07-24 | Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012131801/02A RU2509824C1 (ru) | 2012-07-24 | 2012-07-24 | Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012131801A true RU2012131801A (ru) | 2014-02-10 |
| RU2509824C1 RU2509824C1 (ru) | 2014-03-20 |
Family
ID=50031690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012131801/02A RU2509824C1 (ru) | 2012-07-24 | 2012-07-24 | Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2509824C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2724106C1 (ru) * | 2019-03-22 | 2020-06-22 | Федеральное государственное бюджетное учреждение наук Институт проблем машиноведения Российской академии наук (ИПМаш РАН) | Способ дезактивации металлических поверхностей |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1340829A1 (ru) * | 1986-02-06 | 1994-12-15 | Старо-Краматорский машиностроительный завод им.Орджоникидзе | Установка для очистки проката катодным дуговым разрядом в вакууме |
| SU1781899A1 (ru) * | 1987-02-11 | 1994-12-15 | Институт электроники им.У.А.Арифова | Установка для очистки ленточного проката электродуговым разрядом в вакууме |
| DE4340952A1 (de) * | 1992-12-24 | 1994-06-30 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur Reinigung von nachmals zu beschichtenden Oberflächen |
| JP3349815B2 (ja) * | 1994-02-17 | 2002-11-25 | 新日本製鐵株式会社 | 真空アークデスケール方法 |
| JPH07236910A (ja) * | 1994-03-01 | 1995-09-12 | Nippon Steel Corp | 真空アークデスケール装置 |
| US5948294A (en) * | 1996-08-30 | 1999-09-07 | Mcdermott Technology, Inc. | Device for cathodic cleaning of wire |
| JP3405439B2 (ja) * | 1996-11-05 | 2003-05-12 | 株式会社荏原製作所 | 固体表面の清浄化方法 |
| DE19725930C2 (de) * | 1997-06-16 | 2002-07-18 | Eberhard Moll Gmbh Dr | Verfahren und Anlage zum Behandeln von Substraten mittels Ionen aus einer Niedervoltbogenentladung |
| RU2144096C1 (ru) * | 1998-05-18 | 2000-01-10 | Антипов Борис Федорович | Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме |
-
2012
- 2012-07-24 RU RU2012131801/02A patent/RU2509824C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2509824C1 (ru) | 2014-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20180084647A (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
| EA201791234A1 (ru) | Плазменный источник с полым катодом | |
| TW201614711A (en) | Plasma processing device | |
| MX2018004893A (es) | Sistema de generacion de gas reactivo y metodo de tratamiento mediante el uso de gas reactivo. | |
| MX359250B (es) | Extracción de la longitud del arco a partir de la retroalimentación del voltaje y la corriente. | |
| MY206629A (en) | Detection processes using sites of chromosome interaction | |
| MX379348B (es) | Metodo de soldadura por puntos. | |
| MY175526A (en) | High-power sputtering source | |
| WO2013156352A3 (de) | Plasmaroller | |
| WO2012073142A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ionenimplantation | |
| MX2015008261A (es) | Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato. | |
| BR112017000692A2 (pt) | método para solda protegida de tungstênio | |
| MX2014006252A (es) | Celda de plasma no termica. | |
| WO2015124353A3 (en) | Power supply unit | |
| RU2012131801A (ru) | Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме | |
| SG11202112557VA (en) | Process chamber with reduced plasma arc | |
| MX2015014529A (es) | Aparato para el tratamiento por plasma de superficies y metodo para el tratamiento de superficies con plasma. | |
| RU2013115736A (ru) | Способ локальной обработки материала при азотировании в тлеющем разряде | |
| RU2014149397A (ru) | Способ плазменной обработки металлов | |
| TW201612341A (en) | Insulating material target | |
| RU2012105581A (ru) | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме | |
| RU2013117842A (ru) | Способ локальной обработки материала с эффектом полого катода при ионном азотировании | |
| RU2015143244A (ru) | Способ формирования микрорельефа на поверхности металлических изделий | |
| FI20146177A7 (fi) | Menetelmä katalyyttisen nanopinnoitteen muodostamiseksi | |
| RU2013116338A (ru) | Способ локальной обработки материала с эффектом полого катода при инном азотировании |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170725 |