RU2012131801A - Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме - Google Patents

Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме Download PDF

Info

Publication number
RU2012131801A
RU2012131801A RU2012131801/02A RU2012131801A RU2012131801A RU 2012131801 A RU2012131801 A RU 2012131801A RU 2012131801/02 A RU2012131801/02 A RU 2012131801/02A RU 2012131801 A RU2012131801 A RU 2012131801A RU 2012131801 A RU2012131801 A RU 2012131801A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
anode
cathode
arc discharge
vacuum
products
Prior art date
Application number
RU2012131801/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2509824C1 (ru
Inventor
Владимир Тимофеевич Барченко
Вадим Дмитриевич Гончаров
Александр Аркадьевич Лисенков
Дарья Михайловна Репеева
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)"
Priority to RU2012131801/02A priority Critical patent/RU2509824C1/ru
Publication of RU2012131801A publication Critical patent/RU2012131801A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2509824C1 publication Critical patent/RU2509824C1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме, осуществляемый катодными пятнами дугового разряда, горящего в режиме возрастающего участка вольтамперной характеристики, между анодом и катодом, который является обрабатываемой поверхностью, отличающийся тем, что для локализации области существования катодных пятен на обрабатываемой поверхности применяют анод с минимально допустимой площадью токоприемной поверхности, устанавливаемый на расстоянии от катода, обеспечивающем положительное анодное падение напряжения, при этом смещение области локализации катодных пятен осуществляют путем перемещения анода со скоростью, определяющей предельно допустимые тепловые нагрузки поверхности обрабатываемого изделия.

Claims (1)

  1. Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме, осуществляемый катодными пятнами дугового разряда, горящего в режиме возрастающего участка вольтамперной характеристики, между анодом и катодом, который является обрабатываемой поверхностью, отличающийся тем, что для локализации области существования катодных пятен на обрабатываемой поверхности применяют анод с минимально допустимой площадью токоприемной поверхности, устанавливаемый на расстоянии от катода, обеспечивающем положительное анодное падение напряжения, при этом смещение области локализации катодных пятен осуществляют путем перемещения анода со скоростью, определяющей предельно допустимые тепловые нагрузки поверхности обрабатываемого изделия.
RU2012131801/02A 2012-07-24 2012-07-24 Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме RU2509824C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012131801/02A RU2509824C1 (ru) 2012-07-24 2012-07-24 Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012131801/02A RU2509824C1 (ru) 2012-07-24 2012-07-24 Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012131801A true RU2012131801A (ru) 2014-02-10
RU2509824C1 RU2509824C1 (ru) 2014-03-20

Family

ID=50031690

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012131801/02A RU2509824C1 (ru) 2012-07-24 2012-07-24 Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2509824C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2724106C1 (ru) * 2019-03-22 2020-06-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение наук Институт проблем машиноведения Российской академии наук (ИПМаш РАН) Способ дезактивации металлических поверхностей

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1340829A1 (ru) * 1986-02-06 1994-12-15 Старо-Краматорский машиностроительный завод им.Орджоникидзе Установка для очистки проката катодным дуговым разрядом в вакууме
SU1781899A1 (ru) * 1987-02-11 1994-12-15 Институт электроники им.У.А.Арифова Установка для очистки ленточного проката электродуговым разрядом в вакууме
DE4340952A1 (de) * 1992-12-24 1994-06-30 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Reinigung von nachmals zu beschichtenden Oberflächen
JP3349815B2 (ja) * 1994-02-17 2002-11-25 新日本製鐵株式会社 真空アークデスケール方法
JPH07236910A (ja) * 1994-03-01 1995-09-12 Nippon Steel Corp 真空アークデスケール装置
US5948294A (en) * 1996-08-30 1999-09-07 Mcdermott Technology, Inc. Device for cathodic cleaning of wire
JP3405439B2 (ja) * 1996-11-05 2003-05-12 株式会社荏原製作所 固体表面の清浄化方法
DE19725930C2 (de) * 1997-06-16 2002-07-18 Eberhard Moll Gmbh Dr Verfahren und Anlage zum Behandeln von Substraten mittels Ionen aus einer Niedervoltbogenentladung
RU2144096C1 (ru) * 1998-05-18 2000-01-10 Антипов Борис Федорович Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме

Also Published As

Publication number Publication date
RU2509824C1 (ru) 2014-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20180084647A (ko) 플라즈마 처리 장치
EA201791234A1 (ru) Плазменный источник с полым катодом
TW201614711A (en) Plasma processing device
MX2018004893A (es) Sistema de generacion de gas reactivo y metodo de tratamiento mediante el uso de gas reactivo.
MX359250B (es) Extracción de la longitud del arco a partir de la retroalimentación del voltaje y la corriente.
MY206629A (en) Detection processes using sites of chromosome interaction
MX379348B (es) Metodo de soldadura por puntos.
MY175526A (en) High-power sputtering source
WO2013156352A3 (de) Plasmaroller
WO2012073142A3 (de) Verfahren und vorrichtung zur ionenimplantation
MX2015008261A (es) Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato.
BR112017000692A2 (pt) método para solda protegida de tungstênio
MX2014006252A (es) Celda de plasma no termica.
WO2015124353A3 (en) Power supply unit
RU2012131801A (ru) Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме
SG11202112557VA (en) Process chamber with reduced plasma arc
MX2015014529A (es) Aparato para el tratamiento por plasma de superficies y metodo para el tratamiento de superficies con plasma.
RU2013115736A (ru) Способ локальной обработки материала при азотировании в тлеющем разряде
RU2014149397A (ru) Способ плазменной обработки металлов
TW201612341A (en) Insulating material target
RU2012105581A (ru) Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме
RU2013117842A (ru) Способ локальной обработки материала с эффектом полого катода при ионном азотировании
RU2015143244A (ru) Способ формирования микрорельефа на поверхности металлических изделий
FI20146177A7 (fi) Menetelmä katalyyttisen nanopinnoitteen muodostamiseksi
RU2013116338A (ru) Способ локальной обработки материала с эффектом полого катода при инном азотировании

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170725