RU98103272A

RU98103272A - Способ изготовления монокристаллов карбида кремния

Info

Publication number: RU98103272A
Application number: RU98103272/12A
Authority: RU
Inventors: Штайн Рене; Рупп Роланд; Фелькл Йоханнес
Original assignee: Сименс Акциенгезелльшафт
Priority date: 1995-07-27
Filing date: 1996-07-17
Publication date: 1999-12-20

Claims

1. Способ изготовления монокристаллов карбида кремния, при котором а) в прочный к давлению резервуар вводят растворитель, исходный материал в твердой форме, а также по меньшей мере один затравочный кристалл, b) в резервуаре устанавливают давление, которое лежит выше 10⁵ Па и которое настолько высоко, что по меньшей мере один исходный материал по меньшей мере частично растворяется в растворителе, с) причем растворитель и исходный материал выбраны таким образом, что раствор из исходного материала и растворителя содержит как кремний, так и углерод и при котором d) из раствора на по меньшем мере одном затравочном кристалле растет монокристалл карбида кремния.

2. Способ по п. 1, при котором используют твердый исходный материал, который содержит только один из обоих элементов кремний и углерод.

3. Способ по п. 1, при котором используют твердый исходный материал, который содержит как кремний, так и углерод.

4. Способ по п. 3, при котором в качестве твердого исходного материала используют карбид кремния.

5. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором используют растворитель, который содержит по меньшей мере один из обоих элементов кремний и углерод.

6. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором растворитель содержит воду.

7. Способ по п. 6, при котором водородный показатель рН воды изменяют путем добавки электролита.

8. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором используют растворитель, который содержит углеводородное соединение.

9. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором для легирования наращиваемого монокристалла карбида кремния в прочный к давлению резервуар вводят по меньшей мере один легирующий материал.

10. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором давление в резервуаре устанавливают путем подвода тепла.

11. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором давление в резервуаре устанавливают по меньшей мере 10⁷ Па.

12. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором исходный материал поддерживают при более высокой температуре, чем по меньшей мере один затравочный кристалл.

13. Способ по любому из предыдущих пунктов, при котором физически растворенный в растворителе кислород удаляют по меньшей мере почти полностью.