SE453737B - Forfarande for framstellning av en optisk komponent med spegelreflekterande egenskaper - Google Patents
Forfarande for framstellning av en optisk komponent med spegelreflekterande egenskaperInfo
- Publication number
- SE453737B SE453737B SE8500918A SE8500918A SE453737B SE 453737 B SE453737 B SE 453737B SE 8500918 A SE8500918 A SE 8500918A SE 8500918 A SE8500918 A SE 8500918A SE 453737 B SE453737 B SE 453737B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- layer
- coating
- mirror
- microns
- thickness
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00605—Production of reflex reflectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00596—Mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00865—Applying coatings; tinting; colouring
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
45s 7s7_ klart eller opakt plastmaterial, vanligen akrylnitril- butadien-styren-polymerer. Denna metod är mycket dyrbar och är förenad med produktionstekniska problem. Den leder också till en spegelliknande produkt med sämre reflektionsförmåga än som âstadkommes med hjälp av kon- ventionella silver- eller aluminiumytor. Trots använd- ning av ett relativt inert underlagsmaterial av plast för spegeln kan förfarandet för anbringande av flera metallskikt genom elektroplätering ge upphov till besvär- liga elektrolytiska korrosionsproblem då spegeln utsättes för skadliga miljöbetingelser.' Vid en annan teknik förångas aluminium termiskt på baksidan av ett redan överdraget, genomsynligt plastmaterial, vars beläggning är nötningsbeständig till viss grad och tidigare pâförts genom ett separat och dyrbart vâtkemiskt förfarande.
Föremål framställda genom denna teknik begränsas av de överdragna plastunderlagsmaterialens storlek, form och konfiguration, varvid dessa material vanligen utgöres av planalster, och blir dyrbara på grund av att fram- ställningsförfarandena inbegriper flera steg.
Vakuumunderstödd utfällning av metall på icke be- handlat plastmaterial, som åtföljes av ett vâtkemiskt förfarande för att åstadkomma nötningsbeständighet, är också känd, men är dyrbar och leder till optiska fel- aktigheter.
Ett ändamål med uppfinningen är att komma från de ovan angivna nackdelarna.
Enligt en aspekt av föreliggande uppfinning omfattar ett förfarande för framställning av en optisk komponent med spegelreflekterande egenskaper från ett motsvarande plastmaterialstycke åtgärderna att man underkastar plast- materialstycket avfettning medelst fluorkolvätelösnings- medelsànga, därpå överför plastmaterialstycket till en med ultraljud vibrerad, upphettad lösning av samma lösnings- medel, utför molekylär rening, efter överföring av mate- rialstycket i ett vakuumkärl anbringar ett ytskikt bestå- 453 737 3 i* ende av glas eller oxid av ett spegelreflekterande ämne och därefter genom magnetron-förstoftning påför en be- läggning av det spegelreflekterande ämnet med en tjock- lek av intill 5,0 mikron.
Ytskiktslagret av oxider kan påföras genom magnetrön- förstoftning i ett vakuumkärl i en atmosfär av syre och argon vid ett tryck i omrâdet 2 x 10-3 mbar.
Omedelbart efter molekylarreningen kan trycket i vakuumkärlet minskas till 1 x 10_5 föras, tills trycket när värdet 5 x 1o'4 syrgas tillföras, tills trycket stigit till 2 X 10' mbar.
Nyckelskiktet anbringas därefter genom magnetron- mbar och argongas in- mbar, varvid 3 förstoftning med användning av ett mål av den metall som skall avsättas på nyckelskiktslagret. Det senares tjock- lek är företrädesvis av storleksordningen 0,5 - 1,0 mikron.
Beläggningen av reflekterande material kan sedan på- föras direkt på nyckelskiktslagret och i så fall kan det reflekterande materialet anbringas genom likströms- magnetronförstoftning. ' Vid en utföringsform utgöres beläggningen av spegel- reflekterande material av krom, varvid nyckelskiktslag- ret företrädesvis är ett tunt skikt av kromoxider med en tjocklek mellan 0,5 och 1,0 mikron.
Vid en alternativ utföringsform utgöres beläggning- en av spegelreflekterande material av aluminium, i vil- ket fall nyckelskiktslagret företrädesvis är ett tunt lager av aluminiumoxider med en tjocklek mellan 0,5 och 1,0 mikronf I sistnämnda fallet kan även en hård nöt- ningsbeständig beläggning anbringas på aluminiumet och i detta fall kan ett ovanskikt påföras med hjälp av ett lager av dielektrisk oxid med en tjocklek mellan 0,5 och 5,0 mikron.
Vid en annan alternativ utföringsform av uppfin- ningen kan ytskiktet bildas genom framställning av glas 453 737 in situ, varvid man under plasmaaktiverade betingelser reagerar typiska glasbildande ämnen såsom ett kalcium- karbonat, natriumkarbonat och oxider av kisel med varand- ra. Dylika ämnen kan överföras i reaktivt tillstànd genom bombardemang med ett elektronknippe med hög energi.
Uppfinningen kan utövas på olika sätt och en spe- cifik utföringsform kommer nu att beskrivas i form av ett exempel.
I detta exempel omfattar underlagsmaterialet av plast en polykondensatpolymer framställd genom omsätt- ning av en polyhydroxiförening med ett karbonsyraderivat, i det typiska fallet reaktionsprodukten mellan bis-fenol- A och antingen fosgen eller difenylkarbonat, som finns tillgängligt kommersiellt under varumärket "Lexan"-poly- karbonat och tillverkas av General Electric Co-, USA.
Passande form och storlek kan erhållas antingen genom ett vanligt förfarande för sprutning av termoplast eller genom skärning till en given, önskad profil ur ett precisionstillverkat, extruderat ark.
Underlagsmaterialet ângavfettas i fluorkollösnings- medel, i det typiska fallet "Arklon" P (ICI) i tre 453 737 <* minuter, överföres sedan till en ultraljudvibrerad, upp- värmd lösning av samma lösningsmedel ytterligare tre minuter för rengöring. Det kan vara lämpligt att genom- föra ângavfettningen under tre minuter. Plastmaterialet överföres sedan till en lämplig lokaliseringsjigg i ett processvakuumkärl, varvid operationen utföres under mycket stränga krav på renhet.
Vakuumkärleš tillslutes och evakueras till ett mbar. trycket uppnår värdet 1 x 10- Sedan införes argongas, tills 1 mbar. av 1,5 kilovolt appliceras sedan på elektroder i vakuum- tryck av 1 x 10- En växelspänning kärlet och i omedelbar närhet av ytan av det underlags- material av plast som skall behandlas. Den sålunda ini- tierade glimurladdningen upprätthâlles under en period av upp till 20 min, under vilken plastytan undergår "molekylarrening“, vilken behandling, även om den med avseende på verkan är en rening, åstadkommer en yta som lämpar sig bättre för att mottaga det nedan beskrivna överdragsskiktet.
Efter molekylarreningen utföres en reaktiv oxida- tionsprocess i syfte att åstadkomma ett nyckelskikts- ytlager på följande sätt. Kärlet evakueras på nytt till 1 x 10-5 mbar tryck och argongas införes, tills trycket når 5 x 10-4 mbar. tills trycket stigit till 2 X 1o'3 mbar.
Därefter initieras en magnetronförstoftning med Syrgas tillföres sedan, användning av ett mål av krom i vakuumkärlet, så att de laddade kromatomerna samverkar reaktivt med syre för avsättning av nyckelskiktsytlagret av kromoxider på ytan av det intilliggande polykarbonatet. Detta lager består av en eller flera oxider av krom och möjligen också själva metallen. Lagret har företrädesvis en tjocklek av 0,5 - 1,0 mikron.
Syretillförseln avbrytes sedan och konventionell magnetronförstoftning med likström av krom igångsättes 453 737 vid måleffekttäthetsnivåer, som successivt ökar från 4 W/cm” till 12 W/cnß. krom är känsliga för antingen tryck- eller sträckpåkän- Det är känt att tunna lager av ningar och att försiktighet är nödvändig på detta sta- dium. I det typiska fallet anbringas ett reflekterande lager i en tjocklek av 0,5 till 5,0 mikron. Även om uppfinningen beskrivits under hänvisning till kromoxider och ett system av flera kromlager, är den icke begränsad härtill.
En bättre reflekterande aluminiumspegel kan fram- ställas på liknande sätt med ett reaktivt förstoftnings- skikt av aluminium, som skulle likna kromskiktet och bestå av aluminiumoxider och eventuellt själva alumi- niummetallen, följt av ett skikt av aluminiummetall.
I fråga om en mjukare metall såsom denna kan det bli nödvändigt att påföra ett hårt nötningsresistent över- drag av en dielektrisk oxid såsom en oxid av kisel, som antingen förstoftats med hjälp av ett radiofrekvent fält eller en elektronknippeförångning. Båda tekniker- Ett typiskt tjockleks- område för detta överdragsskikt skulle vara 0,5 till 5,0 na är välkända bland fackmännen. mikron.
Alternativt kan de översta överdragsskikten av glas bildas på ett flertal olika sätt, t.ex. genom bildning av glas in situ, varvid typiska glasbildande ämnen såsom kalciumkarbonat, natriumkarbonat och kisel- oxider bringas att reagera med varandra under plasma- aktiverande betingelser. Genom denna metod kan man framställa konventionellt kalcium-natrium-kisel-glas på ytan av plastmaterialet. Alternativt kan också alumi- niumoxid-kisel-glasfilmer och blyglasfilmer framställas på liknande sätt. En annan metod att avsätta ett glas- skikt är genom direkt förångning i vakuum av ett redan bildat glas, t.ex. borsilikat, under användning av elek- tronknippen eller konventionella elektriska upphettnings- 453 737 t v 7 ._ anordningar för att inducera förångning.
Det är även möjligt att använda s.k. utdrygade plaster såsom med glas, talk och krita eller andra mine- ralutdrygade polypropenmaterial. Även om dessa fyll- medel i första hand är avsedda att nedbringa kostnaderna och förbättra egenskaperna, kan även fyllmedelskomponen- ten samreagera med ämnen i ett vakuumkärl för att för- bättra den glasförankrande beläggningens bindning.
Claims (15)
1. 453 '_7§7 8 w Patentkrav_ J. Förfarande för framställning av en optisk komponent med spegelreflekterande egenskaper från ett motsvarande plastmaterialstycke, k ä n n e t e c k n a t av att man underkastar plastmaterialstycket avfettning medelst fluor- kolvätelösningsmedelsånga, därpå överför plastmaterial- stycket till en med ultraljud vibrerad, upphettad lösning av samma lösningsmedel, utför molekylär rening, efter över- föring av materialstycket i ett vakuumkärl anbringar ett ytskikt bestående av glas eller oxid av ett spegelreflek- terande ämne och därefter genom magnetron-förstoftning pâ- för en beläggning av det spegelreflekterande ämnet med en tjocklek av intill 5,0 mikron.
2. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att ytlagret anbringas till en tjocklek mellan 0,5 och 1,0 mikron.
3. Förfarande enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k - n a t av att beläggningen av spegelreflekterande material har en tjocklek mellan 0,5 och 5,0 mikron.
4. Förfarande enligt något av krav 1-3, k ä n n e - t e c k n a t av att ytlagret bildas genom påförande av en beläggning av oxider av det material som användes för att åstadkomma de spegelreflekterande egenskaperna, varvid be- läggningen av oxider anbringas i ett vakuumkärl i en atmos- fär av syre och argon.
5. Förfarande enligt krav 4, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen av oxider påföres genom magnetron-förstoft- ning i ett vakuumkärl i en atmosfär av syre och argon vid ett tryck i omrâdet 2 x 10-3 mbar.
6. Förfarande enligt krav 5, k ä n n e t e c k n a t av omedelbart efter den molekylära reningen trycket i vakuum- kärlet sänkes till 1 x 10-5 mbar och argongas införes, tills 453 737 ¶ U: trycket når värdet 5 x 10-4, varefter syre tillföres, tills trycket har stigit till 2 x 10-3 mbar. - '
7. Förfarande enligt krav 6, k ä n n e t e c k n a t av skiktet av oxider bygges upp till nämnda tjocklek mellan 0,5 och 1,0 mikron genom magnetronförstoftning med använd- ning av ett mål av den metall, som skall bringas att avsätta sig för att bilda nämnda metall.
8. Förfarande enligt krav 7, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen av reflekterande material anbringas direkt på nämnda skikt.
9. Förfarande enligt krav 8, k ä n n e t e c k n a t av det att det reflekterande materialet anbringas genom lik- strömsmagnetronförstoftning under användning av mâleffekt- täthetsnivåer,som successivt ökas från 4 W/cm2 till 12 W/cmz, till en skikttjocklek av 0,5 till 5,0 mikron uppnås.
10. Förfarande enligt krav 9, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen av spegelreflekterande material är av krom och har en tjocklek av 0,5 till 5,0 mikron.
11. Förfarande enligt krav 9, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen av spegelreflekterande material är av alu- minium.
12. Förfarande enligt krav 11, k ä n n e t e c k n a t av att ett hårt nötningsbeständigt ovanskikt anbringas på alu- miniumet med hjälp av ett radiofrekvent fält.
13. Förfarande enligt krav 11, k ä n n e t e c k n a t av att ett hårt nötningsbeständigt ovanskikt anbringas på alu- miniumet genom elektronknippeförångning.
14. Förfarande enligt krav 12, k ä n n e t e c k n a t av att ovanskiktet omfattar ett skikt av dielektrisk oxid med en tjocklek mellan 0,5 och 5,0 mikron. 453 737 _' 10 _:
15. Förfarande enligt krav 14, k ä n n e t e c k n a t av att skiktet av glas anbringas i ett vakuumkärl génøm elektron- knippeförångning.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB838302165A GB8302165D0 (en) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | Producing optical component |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE8500918D0 SE8500918D0 (sv) | 1985-02-25 |
| SE8500918L SE8500918L (sv) | 1985-02-25 |
| SE453737B true SE453737B (sv) | 1988-02-29 |
Family
ID=10536991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE8500918A SE453737B (sv) | 1983-01-26 | 1985-02-25 | Forfarande for framstellning av en optisk komponent med spegelreflekterande egenskaper |
Country Status (20)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60500502A (sv) |
| AU (1) | AU576487B2 (sv) |
| BE (1) | BE898767A (sv) |
| CA (1) | CA1246370A (sv) |
| CH (1) | CH665488A5 (sv) |
| DE (1) | DE3490033T1 (sv) |
| DK (1) | DK161754C (sv) |
| ES (1) | ES8501536A1 (sv) |
| FR (1) | FR2539881B1 (sv) |
| GB (2) | GB8302165D0 (sv) |
| GR (1) | GR81664B (sv) |
| IE (1) | IE55013B1 (sv) |
| IT (1) | IT1173135B (sv) |
| NL (1) | NL8420019A (sv) |
| NO (1) | NO843782L (sv) |
| PH (1) | PH23007A (sv) |
| PT (1) | PT78009B (sv) |
| SE (1) | SE453737B (sv) |
| WO (1) | WO1984002875A1 (sv) |
| ZA (1) | ZA84518B (sv) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5394317A (en) * | 1992-11-03 | 1995-02-28 | Grenga; John J. | Lamp reflector |
| FI121061B (sv) * | 2007-07-04 | 2010-06-30 | Reate Oy | Förfarande för framställning av en optisk produkt och anordning |
| DE102011007557B4 (de) | 2011-04-16 | 2023-09-28 | EvoChem Advanced Materials GmbH | Verfahren zur Steigerung der Wischfestigkeit bzw. Kratzfestigkeit von Kunststoffoberflächen |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1002584B (de) * | 1940-12-14 | 1957-02-14 | Dr Georg Hass | Verfahren zur Verbesserung der Haftfestigkeit von metallischen UEberzuegen |
| US3372008A (en) * | 1961-05-29 | 1968-03-05 | Philips Corp | Metal reflector and method of manufacturing such reflectors |
| DE1521157C3 (de) * | 1965-09-21 | 1978-12-21 | Balzers Hochvakuum Gmbh, 6201 Nordenstadt | Verfahren zur Erhöhung der Festigkeit der Bindung zwischen dünnen Schichten |
| US3530055A (en) * | 1968-08-26 | 1970-09-22 | Ibm | Formation of layers of solids on substrates |
| CH494409A (de) * | 1969-07-16 | 1970-07-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Vorderflächenspiegel und Verfahren zu seiner Herstellung |
| JPS4958171A (sv) * | 1972-10-06 | 1974-06-05 | ||
| JPS5216586A (en) * | 1975-07-30 | 1977-02-07 | Daicel Chem Ind Ltd | Surface-treated product of plastics and its preparation |
| US4022947A (en) * | 1975-11-06 | 1977-05-10 | Airco, Inc. | Transparent panel having high reflectivity for solar radiation and a method for preparing same |
| DE2833133C3 (de) * | 1978-07-28 | 1982-02-18 | Glasplakatefabrik Offenburg Fritz Borsi KG, 7600 Offenburg | Spiegel mit Acrylglasträger und Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE2852341A1 (de) * | 1978-12-04 | 1980-06-26 | Ver Flugtechnische Werke | Verfahren zur metallisierung von kunststoffoberflaechen |
| DE3017713A1 (de) * | 1980-05-08 | 1981-11-12 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur fortlaufenden beschichtung von kunststoffolien mit metallschichten |
| JPS5713405A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-23 | Nhk Spring Co Ltd | Reflecting mirror and its manufacture |
-
1983
- 1983-01-26 GB GB838302165A patent/GB8302165D0/en active Pending
-
1984
- 1984-01-20 IE IE138/84A patent/IE55013B1/en unknown
- 1984-01-20 CA CA000445714A patent/CA1246370A/en not_active Expired
- 1984-01-24 ZA ZA84518A patent/ZA84518B/xx unknown
- 1984-01-25 JP JP59500766A patent/JPS60500502A/ja active Pending
- 1984-01-25 GR GR73617A patent/GR81664B/el unknown
- 1984-01-25 CH CH4593/84A patent/CH665488A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1984-01-25 GB GB08503825A patent/GB2152703B/en not_active Expired
- 1984-01-25 IT IT19314/84A patent/IT1173135B/it active
- 1984-01-25 PT PT78009A patent/PT78009B/pt not_active IP Right Cessation
- 1984-01-25 DE DE19843490033 patent/DE3490033T1/de not_active Ceased
- 1984-01-25 AU AU24955/84A patent/AU576487B2/en not_active Ceased
- 1984-01-25 NL NL8420019A patent/NL8420019A/nl unknown
- 1984-01-25 WO PCT/GB1984/000020 patent/WO1984002875A1/en not_active Ceased
- 1984-01-26 ES ES529203A patent/ES8501536A1/es not_active Expired
- 1984-01-26 FR FR8401191A patent/FR2539881B1/fr not_active Expired
- 1984-01-26 BE BE0/212284A patent/BE898767A/fr not_active IP Right Cessation
- 1984-01-30 PH PH30173A patent/PH23007A/en unknown
- 1984-09-21 NO NO843782A patent/NO843782L/no unknown
- 1984-09-25 DK DK458684A patent/DK161754C/da not_active IP Right Cessation
-
1985
- 1985-02-25 SE SE8500918A patent/SE453737B/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE8500918D0 (sv) | 1985-02-25 |
| PT78009A (en) | 1984-02-01 |
| SE8500918L (sv) | 1985-02-25 |
| FR2539881B1 (fr) | 1988-05-27 |
| JPS60500502A (ja) | 1985-04-11 |
| AU2495584A (en) | 1984-08-15 |
| DK458684A (da) | 1984-09-25 |
| CH665488A5 (fr) | 1988-05-13 |
| GB2152703B (en) | 1987-11-25 |
| DE3490033T1 (de) | 1986-03-13 |
| BE898767A (fr) | 1984-05-16 |
| GB8302165D0 (en) | 1983-03-02 |
| IE55013B1 (en) | 1990-04-25 |
| DK458684D0 (da) | 1984-09-25 |
| NO843782L (no) | 1984-09-21 |
| DK161754C (da) | 1992-02-17 |
| WO1984002875A1 (en) | 1984-08-02 |
| PT78009B (en) | 1986-03-27 |
| PH23007A (en) | 1989-02-24 |
| ES529203A0 (es) | 1984-11-16 |
| IT1173135B (it) | 1987-06-18 |
| IT8419314A0 (it) | 1984-01-25 |
| GB2152703A (en) | 1985-08-07 |
| ES8501536A1 (es) | 1984-11-16 |
| CA1246370A (en) | 1988-12-13 |
| IE840138L (en) | 1984-07-26 |
| DK161754B (da) | 1991-08-12 |
| IT8419314A1 (it) | 1985-07-25 |
| AU576487B2 (en) | 1988-09-01 |
| NL8420019A (nl) | 1985-10-01 |
| GB8503825D0 (en) | 1985-03-20 |
| FR2539881A1 (fr) | 1984-07-27 |
| GR81664B (sv) | 1984-12-12 |
| ZA84518B (en) | 1984-12-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4022947A (en) | Transparent panel having high reflectivity for solar radiation and a method for preparing same | |
| EP0754777B1 (en) | Process for producing thin film, and thin film formed by the same | |
| Lambaré et al. | Plasma functionalization and etching for enhancing metal adhesion onto polymeric substrates | |
| GB2105729A (en) | Surface processing of a substrate material | |
| EP0947601A1 (en) | Organic substrate having optical layers deposited by magnetron sputtering and method for preparing it | |
| CA1332330C (en) | Surface treatment of polymers | |
| JPH0931630A (ja) | 透明導電膜およびその製造方法 | |
| KR20010083477A (ko) | 고분자 기판 위의 인듐산화물 또는 인듐주석산화물 박막증착 방법 | |
| SE453737B (sv) | Forfarande for framstellning av en optisk komponent med spegelreflekterande egenskaper | |
| US20110111131A1 (en) | Method for producing a multicomponent, polymer- and metal-containing layer system, device and coated article | |
| JP5442375B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
| JP4260907B2 (ja) | フィルム積層体 | |
| RU2300579C2 (ru) | Способ нанесения покрытия на поверхность металлического материала, устройство для его осуществления и полученное изделие | |
| JP2012228786A (ja) | ガスバリア性フィルム及びその製造方法 | |
| US5009761A (en) | Method of producing an optical component, and components formed thereby | |
| JPH06306591A (ja) | 撥水性ハードコート皮膜の製造方法 | |
| JPH01119662A (ja) | 有機物薄膜の製造法 | |
| JPH06272054A (ja) | 有機薄膜形成用基板及びその製造方法 | |
| RU2709069C1 (ru) | Способ электронно-лучевого нанесения упрочняющего покрытия на изделия из полимерных материалов | |
| JPH0560904A (ja) | 光学部品およびその製造方法 | |
| JP3332271B2 (ja) | 反射鏡及びその製造方法 | |
| KR101541256B1 (ko) | 이온소스를 활용한 알루미늄 금속층위에 hmdso층 및 af층이 함께 형성되는 코팅방법 | |
| JP3150839B2 (ja) | 機能性有機膜 | |
| KR101541255B1 (ko) | 알루미늄 금속층위에 hmdso층 및 af층이 함께 형성되는 코팅방법 | |
| JP2001105538A (ja) | 結露防止・防曇性有機膜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8500918-1 Effective date: 19920806 Format of ref document f/p: F |