SU1157363A1 - Устройство дл определени структуры светового пучка - Google Patents
Устройство дл определени структуры светового пучка Download PDFInfo
- Publication number
- SU1157363A1 SU1157363A1 SU843687326A SU3687326A SU1157363A1 SU 1157363 A1 SU1157363 A1 SU 1157363A1 SU 843687326 A SU843687326 A SU 843687326A SU 3687326 A SU3687326 A SU 3687326A SU 1157363 A1 SU1157363 A1 SU 1157363A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- photodetector
- oscilloscope
- phase shifter
- light beam
- electromechanical transducer
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 9
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 241000234282 Allium Species 0.000 description 1
- 235000002732 Allium cepa var. cepa Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000005387 chalcogenide glass Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ СВЕТОВОГО ПУЧКА, содержащее фотоприемник, расположенный на электромеханическом преобразова теле, и осциллограф, отличающеес тем, что, с целью упрощени устройства и повьшени точности измерений структуры пучков произвольной формы и длительности, в устройство дополнительно введен фазовращатель, а в качестве фотопри емника использован полупроводниковый гетеррлазер с полосковой актив- ,ной областью, при этом вертикальна развертка осциллографа соединена с фотоприемником, а горизонтальна (Л развертка осциллографа соединена через фазовращатель с электромеханическим преобразователем. ел оо О) 00
Description
Изобретение относитс к квантовой электронике и волоконно 4 оптике и может быть использовано, в частное ти, при определении структуры пучка света.
Известно устройство дл оценки качества оптики по изображению точки , которое используетс дл проверк объективов. Устройство состоит из осветител , точечной диафрагмы, коллиматора, провер емого объектива и горизонтального микроскопа. Осветитель , коллиматор и точечна диафрагма могут быть заменены лазером. Оценка качества изображени производитс при наблюдении с помощью горизонтального микроскопа изображени точки, кружка Эйри - размеров сфокусированного пучка света СО.
Недостатком этого устройства вл етс то, что оно дает лишь качественные представлени о размере лучка и не обеспечивает пр мого определени структуры пучка.
Наиболее близким по технической
сущности к изобретению вл етс устройство дл определени структуры светового пучка, содержащее фотоприемник , расположенный на злектромеха ическом преобразователе, и осциллограф 2.
Недостатками известного устройств вл ютс сложность изготовлени и .неприменимость дл измерени пучков произвольной формы. В устройстве использована ножева диафрагма, что не позвол ет восстанавливать форму лучка в виде дифракционных колец. Кроме того, это устройство неприме- :нимо дл обмера пучков произвольной .длительности.
Цель изобретени - упрощение устройства и повьшхение точности измерений структуры пучков произвольной формы и длительности.
Указанна цель достигаетс тем, что в устройство, содержащее фотоприемник , расположенный на злектромеханическом преобразователе, и ос- .циллограф, дополнительно введен фазовращатель, а в качестве фотопри- емника использван полупроводниковый гетеролазер с полосковой активной oблacтьЮj при этом вертикальна развертка осциллографа соединена с фотоприемником, а горизонтальна развертка осциллографа соединена
через фазовращатель с электромеханическим преобразователем.
На чертеже показана схема устройства .
Устройство содержит фотоприемник представл ющий из себ полупроводниквый гетеролазер с полосковой активной областью, размещенный на подвижной части 2 электромеханического преобразовател 3 и св занный электрически с усилителем вертикального отклонени оциллографа 4, горизонтальна развертка которого соединена электрически с электромеханически преобразователем 3 через регулируемы фазовращатель 5.
Устройство работает следующим .образом.
При освещении пучком света активной области полупроводникового лазера , включенного в фотовольтаическом режиме, возникает сигнал фотоЭДС , пропорциональный интенсивности света, на приемную площадку - полосковую активную область. Полупроводниковый лазер установлен на подвижной части 2 электромеханического преобразовател 3, который запитьшаетс переменньм синусоидальным напр жением и вызывает перемещение активной области в напралении , перпендикул рном ее ширине . в измер емом сечении пучка, что приводит к модул ции поглощенного света и образованию неравновесных носителей тока, часть которых рекомбинирует вне активной области, а часть носителей тока, проход пщх через .р-fi переход лазера, дает вклад в сигнал фото-ЭДС. Сигнал фото-ЭДС поступает на вход усилител вертикальной развертки оциллографа 4, горизонтальна развертка которого синхронизирована с положением активной области фотрприемника или пр мом и обратном ходе развертки, так как она св зана электрически через фазовращатель 5 на R-С цепочке с подстроечиым сопротивлением с напр жением питани электромеханического преобразовател 3. Фазовращатель устран ет инерционное запаздывание положени приемной площадки при пр мом или обратном ходе калиброванной развертки осциллрграфа и фотоприемной .площадки. В качестве фотоприемника использован полосковый полупровод никовый гетеролазер на GaAlAf 5aAs. При реализации устройства чувстви тельность фотоприемника 0,5 А/Вт. Размер активной области 0,4-10 мкм что обеспечивает точность определе ки размеров пучка не хуже I мкм на длине волны 0,8 мкм, усредненног по полоске 10 мкм. Калибровку раз вертки осциллографа определ ют путем анализа интерференционной картины полос с периодом 1,2 мкм, полученных в области пересечени сбитых под углом пучков от одного лазера, которые анализируют при колебани х фотоприемника в пределах 300 мкм. По числу наблюдаемых на экране осциллографа максимумов на деление определ ют масштаб горизонтальной развертки, ее линейность и разрешающую способность устройства в целом. Наименьший размер эллипти ческого пучка от полупроводникового лазера на длине волны 0,8 мкм, сфокусированного плоскосферической линзой радиусом 40 мкм с апертурой 1,5 из халькогенидного стекла составл ет по половине интенсивности 311 мкм. При регистрации того же пучка в импульсном режиме при длительности импульсов 10 МКС, Следующих с частотой 10 кГц, на зкране 634 осциллографа наблюдают огибающую импульсов при вращении переменного сопротивлени фазовращател , котора описывает форму распределени интенсивности в сечении пучка. Приведенные конкретные параметры устройства за исключением размеров активной области, раздел ющей разрешение и точность измерени размеров пучка, приведены только в качестве иллюстрации работы устройства Предлагаемое усГтройство можно использовать и дл измерени пучков большой мощности, так как зеркала лазера выдерживают плотность излучени более 1 МВт/см , Изготавлива гетеролазер из полупроводников с меньшей шириной запрещенной зоны, можно создать устройство дл измерени размеров пучков света в ИКдиапазоне , где визуализаци пучков особенно затруднительна . Быстрое сканирование с частотой 50 Гц позвол ет вести измерени на фоне низкочастотного механического шума, вибраций системы. Таким образом, устройство вл етс простым, позвол ет точно обмер ть структуру пучков произвольной формы и длительности и может найти широкое применение в народном хоз йстве.
Claims (1)
- УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ СВЕТОВОГО ПУЧКА, содержащее фотоприемник, расположенный на электромеханическом преобразователе, и осциллограф, отличающееся тем, что, с целью упрощения устройства и повышения точности измерений структуры пучков произвольной формы и длительности, в устройство дополнительно введен фазовращатель, а в качестве фотоприемника использован полупроводниковый гетеррлазер с полосковой активной областью, при этом вертикальная развертка осциллографа соединена с фотоприемником, а горизонтальная развертка осциллографа соединена через фазовращатель с электромеханическим преобразователем.ι 1157363 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843687326A SU1157363A1 (ru) | 1984-01-04 | 1984-01-04 | Устройство дл определени структуры светового пучка |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843687326A SU1157363A1 (ru) | 1984-01-04 | 1984-01-04 | Устройство дл определени структуры светового пучка |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1157363A1 true SU1157363A1 (ru) | 1985-05-23 |
Family
ID=21098511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU843687326A SU1157363A1 (ru) | 1984-01-04 | 1984-01-04 | Устройство дл определени структуры светового пучка |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1157363A1 (ru) |
-
1984
- 1984-01-04 SU SU843687326A patent/SU1157363A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1. Гвоздева И.П., Коркина Н.И. Прикладна оптика и оптические из мерени . М., Машиностроение, 1976, с.353. 2. Firester А. et al. Knife-edge scanning measurement of subwavelength focused light beams. - J. Appl. Optics,V.16.1977,7,jp. 1971 (прототип) . * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4129384A (en) | Optical extensometer | |
| US5382789A (en) | Near field scanning optical microscope | |
| US4241996A (en) | Apparatus for measuring the quality of optical equipment | |
| JP2732849B2 (ja) | 干渉測長器 | |
| KR101085014B1 (ko) | 광학식 표면 측정 장치 및 방법 | |
| UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
| US4719347A (en) | Method and apparatus for investigating a sample under tension | |
| US3549260A (en) | Spatially dispersive correlation interferometer | |
| JPH0118371B2 (ru) | ||
| SU393789A1 (ru) | Способ измерения расходимости луча оптического квантового генератора | |
| JPH0875433A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| SU1753271A1 (ru) | Способ определени параметров вибрации | |
| RU2166182C2 (ru) | Интерференционный способ измерения угла поворота объекта | |
| SU861936A1 (ru) | Способ измерени поперечных размеров и глубины щели в объектах | |
| SU761847A1 (ru) | Устройство для бесконтактного измерения линейных перемещений и резонансных частот изделий 1 | |
| RU2061223C1 (ru) | Способ измерения размеров микрочастиц | |
| SU947791A1 (ru) | Устройство дл неразрушающего контрол полупроводниковых структур | |
| SU987864A1 (ru) | Способ измерени плотности электронов в пучке | |
| Fasching et al. | Measurement of small angles between electromagnetic waves for refraction studies | |
| SU1092393A1 (ru) | Способ обнаружени нефт ной пленки на поверхности водоемов | |
| JP2000252338A (ja) | 半導体の評価方法および評価装置 | |
| SU593122A1 (ru) | Способ измерени коэфициента преломлени веществ | |
| SU1139990A1 (ru) | Устройство дл контрол пр молинейности оси и величины диаметров отверстий | |
| SU1040895A1 (ru) | Способ измерени шероховатости изделий | |
| SU1374060A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды колебаний объектов |