SU1157363A1 - Устройство дл определени структуры светового пучка - Google Patents

Устройство дл определени структуры светового пучка Download PDF

Info

Publication number
SU1157363A1
SU1157363A1 SU843687326A SU3687326A SU1157363A1 SU 1157363 A1 SU1157363 A1 SU 1157363A1 SU 843687326 A SU843687326 A SU 843687326A SU 3687326 A SU3687326 A SU 3687326A SU 1157363 A1 SU1157363 A1 SU 1157363A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
photodetector
oscilloscope
phase shifter
light beam
electromechanical transducer
Prior art date
Application number
SU843687326A
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Глебович Гончаров
Александр Петрович Грачев
Константин Борисович Дедушенко
Игорь Геннадиевич Лихачев
Анатолий Николаевич Мамаев
Original Assignee
Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт filed Critical Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт
Priority to SU843687326A priority Critical patent/SU1157363A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1157363A1 publication Critical patent/SU1157363A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ СВЕТОВОГО ПУЧКА, содержащее фотоприемник, расположенный на электромеханическом преобразова теле, и осциллограф, отличающеес  тем, что, с целью упрощени  устройства и повьшени  точности измерений структуры пучков произвольной формы и длительности, в устройство дополнительно введен фазовращатель, а в качестве фотопри емника использован полупроводниковый гетеррлазер с полосковой актив- ,ной областью, при этом вертикальна  развертка осциллографа соединена с фотоприемником, а горизонтальна  (Л развертка осциллографа соединена через фазовращатель с электромеханическим преобразователем. ел оо О) 00

Description

Изобретение относитс  к квантовой электронике и волоконно 4 оптике и может быть использовано, в частное ти, при определении структуры пучка света.
Известно устройство дл  оценки качества оптики по изображению точки , которое используетс  дл  проверк объективов. Устройство состоит из осветител , точечной диафрагмы, коллиматора, провер емого объектива и горизонтального микроскопа. Осветитель , коллиматор и точечна  диафрагма могут быть заменены лазером. Оценка качества изображени  производитс  при наблюдении с помощью горизонтального микроскопа изображени  точки, кружка Эйри - размеров сфокусированного пучка света СО.
Недостатком этого устройства  вл етс  то, что оно дает лишь качественные представлени  о размере лучка и не обеспечивает пр мого определени  структуры пучка.
Наиболее близким по технической
сущности к изобретению  вл етс  устройство дл  определени  структуры светового пучка, содержащее фотоприемник , расположенный на злектромеха ическом преобразователе, и осциллограф 2.
Недостатками известного устройств  вл ютс  сложность изготовлени  и .неприменимость дл  измерени  пучков произвольной формы. В устройстве использована ножева  диафрагма, что не позвол ет восстанавливать форму лучка в виде дифракционных колец. Кроме того, это устройство неприме- :нимо дл  обмера пучков произвольной .длительности.
Цель изобретени  - упрощение устройства и повьшхение точности измерений структуры пучков произвольной формы и длительности.
Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройство, содержащее фотоприемник , расположенный на злектромеханическом преобразователе, и ос- .циллограф, дополнительно введен фазовращатель, а в качестве фотопри- емника использван полупроводниковый гетеролазер с полосковой активной oблacтьЮj при этом вертикальна  развертка осциллографа соединена с фотоприемником, а горизонтальна  развертка осциллографа соединена
через фазовращатель с электромеханическим преобразователем.
На чертеже показана схема устройства .
Устройство содержит фотоприемник представл ющий из себ  полупроводниквый гетеролазер с полосковой активной областью, размещенный на подвижной части 2 электромеханического преобразовател  3 и св занный электрически с усилителем вертикального отклонени  оциллографа 4, горизонтальна  развертка которого соединена электрически с электромеханически преобразователем 3 через регулируемы фазовращатель 5.
Устройство работает следующим .образом.
При освещении пучком света активной области полупроводникового лазера , включенного в фотовольтаическом режиме, возникает сигнал фотоЭДС , пропорциональный интенсивности света, на приемную площадку - полосковую активную область. Полупроводниковый лазер установлен на подвижной части 2 электромеханического преобразовател  3, который запитьшаетс  переменньм синусоидальным напр жением и вызывает перемещение активной области в напралении , перпендикул рном ее ширине . в измер емом сечении пучка, что приводит к модул ции поглощенного света и образованию неравновесных носителей тока, часть которых рекомбинирует вне активной области, а часть носителей тока, проход пщх через .р-fi переход лазера, дает вклад в сигнал фото-ЭДС. Сигнал фото-ЭДС поступает на вход усилител  вертикальной развертки оциллографа 4, горизонтальна  развертка которого синхронизирована с положением активной области фотрприемника или пр мом и обратном ходе развертки, так как она св зана электрически через фазовращатель 5 на R-С цепочке с подстроечиым сопротивлением с напр жением питани  электромеханического преобразовател  3. Фазовращатель устран ет инерционное запаздывание положени  приемной площадки при пр мом или обратном ходе калиброванной развертки осциллрграфа и фотоприемной .площадки. В качестве фотоприемника использован полосковый полупровод никовый гетеролазер на GaAlAf 5aAs. При реализации устройства чувстви тельность фотоприемника 0,5 А/Вт. Размер активной области 0,4-10 мкм что обеспечивает точность определе ки  размеров пучка не хуже I мкм на длине волны 0,8 мкм, усредненног по полоске 10 мкм. Калибровку раз вертки осциллографа определ ют путем анализа интерференционной картины полос с периодом 1,2 мкм, полученных в области пересечени  сбитых под углом пучков от одного лазера, которые анализируют при колебани х фотоприемника в пределах 300 мкм. По числу наблюдаемых на экране осциллографа максимумов на деление определ ют масштаб горизонтальной развертки, ее линейность и разрешающую способность устройства в целом. Наименьший размер эллипти ческого пучка от полупроводникового лазера на длине волны 0,8 мкм, сфокусированного плоскосферической линзой радиусом 40 мкм с апертурой 1,5 из халькогенидного стекла составл ет по половине интенсивности 311 мкм. При регистрации того же пучка в импульсном режиме при длительности импульсов 10 МКС, Следующих с частотой 10 кГц, на зкране 634 осциллографа наблюдают огибающую импульсов при вращении переменного сопротивлени  фазовращател , котора  описывает форму распределени  интенсивности в сечении пучка. Приведенные конкретные параметры устройства за исключением размеров активной области, раздел ющей разрешение и точность измерени  размеров пучка, приведены только в качестве иллюстрации работы устройства Предлагаемое усГтройство можно использовать и дл  измерени  пучков большой мощности, так как зеркала лазера выдерживают плотность излучени  более 1 МВт/см , Изготавлива  гетеролазер из полупроводников с меньшей шириной запрещенной зоны, можно создать устройство дл  измерени  размеров пучков света в ИКдиапазоне , где визуализаци  пучков особенно затруднительна . Быстрое сканирование с частотой 50 Гц позвол ет вести измерени  на фоне низкочастотного механического шума, вибраций системы. Таким образом, устройство  вл етс  простым, позвол ет точно обмер ть структуру пучков произвольной формы и длительности и может найти широкое применение в народном хоз йстве.

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ СВЕТОВОГО ПУЧКА, содержащее фотоприемник, расположенный на электромеханическом преобразователе, и осциллограф, отличающееся тем, что, с целью упрощения устройства и повышения точности измерений структуры пучков произвольной формы и длительности, в устройство дополнительно введен фазовращатель, а в качестве фотоприемника использован полупроводниковый гетеррлазер с полосковой активной областью, при этом вертикальная развертка осциллографа соединена с фотоприемником, а горизонтальная развертка осциллографа соединена через фазовращатель с электромеханическим преобразователем.
    ι 1157363 2
SU843687326A 1984-01-04 1984-01-04 Устройство дл определени структуры светового пучка SU1157363A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843687326A SU1157363A1 (ru) 1984-01-04 1984-01-04 Устройство дл определени структуры светового пучка

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843687326A SU1157363A1 (ru) 1984-01-04 1984-01-04 Устройство дл определени структуры светового пучка

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1157363A1 true SU1157363A1 (ru) 1985-05-23

Family

ID=21098511

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843687326A SU1157363A1 (ru) 1984-01-04 1984-01-04 Устройство дл определени структуры светового пучка

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1157363A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Гвоздева И.П., Коркина Н.И. Прикладна оптика и оптические из мерени . М., Машиностроение, 1976, с.353. 2. Firester А. et al. Knife-edge scanning measurement of subwavelength focused light beams. - J. Appl. Optics,V.16.1977,7,jp. 1971 (прототип) . *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4129384A (en) Optical extensometer
US5382789A (en) Near field scanning optical microscope
US4241996A (en) Apparatus for measuring the quality of optical equipment
JP2732849B2 (ja) 干渉測長器
KR101085014B1 (ko) 광학식 표면 측정 장치 및 방법
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
US4719347A (en) Method and apparatus for investigating a sample under tension
US3549260A (en) Spatially dispersive correlation interferometer
JPH0118371B2 (ru)
SU393789A1 (ru) Способ измерения расходимости луча оптического квантового генератора
JPH0875433A (ja) 表面形状測定装置
SU1753271A1 (ru) Способ определени параметров вибрации
RU2166182C2 (ru) Интерференционный способ измерения угла поворота объекта
SU861936A1 (ru) Способ измерени поперечных размеров и глубины щели в объектах
SU761847A1 (ru) Устройство для бесконтактного измерения линейных перемещений и резонансных частот изделий 1
RU2061223C1 (ru) Способ измерения размеров микрочастиц
SU947791A1 (ru) Устройство дл неразрушающего контрол полупроводниковых структур
SU987864A1 (ru) Способ измерени плотности электронов в пучке
Fasching et al. Measurement of small angles between electromagnetic waves for refraction studies
SU1092393A1 (ru) Способ обнаружени нефт ной пленки на поверхности водоемов
JP2000252338A (ja) 半導体の評価方法および評価装置
SU593122A1 (ru) Способ измерени коэфициента преломлени веществ
SU1139990A1 (ru) Устройство дл контрол пр молинейности оси и величины диаметров отверстий
SU1040895A1 (ru) Способ измерени шероховатости изделий
SU1374060A1 (ru) Устройство дл измерени амплитуды колебаний объектов