SU1176219A1 - Рефлектометр - Google Patents

Abstract

РЕФЛЕКТОМЕТР, содержащий гониометр с предметным и поворотны столиками, электродвигатель, фотоприемник , соединенный с синхронным Фi/t.f детектором, отличающийс  тем, что, с целью расширени  диапазона рабочих частот модул ции угла падени  и упрощени  конструкции, в него введен дисковый обтюратор с двум  диаметрально противоположными одинаковыми прорез ми, размещенный на валу электродвигател  перпендикул рно оси вращени  вала, при этом электродвигатель размещен на поворотном столике, а предметный столик установлен перпендикул рно плоскости,проход щей через линию соединени  центров прорезей обтюратора и ось вращени  вала, причем угол л Ч между предметным столиком и дисковым обтюратором выбираетс  из услови  Л ( где РИГ- соответственно радиусы окна фотоприемника и светового пучка , поступающего на его вход; рассто ние между осью вращени  гониометра и окном фотоприемника.

Description

Изобретение относится к модуляционной спектроскопии и может быть использовано в рефлектометрии и эллипсометрии для контроля качества обработки плоских зеркальных поверхностей.

Цель изобретения - расширение диапазона рабочих частот модуляции угла падения и упрощение конструкции устройства.

На фиг.1 изображена схема рефлектометра; на фиг.2 - то же, вид сбоку.

На предметном столике 1 гониометра 2 закреплен электродвигатель 3. На . валу электродвигателя закреплены испытуемый образец 4 и дисковый обтюратор 5 с двумя диаметрально противоположными одинаковыми прорезями. Устройство содержит фотодиод 6 и лампочку 7 накаливания в канале формирования опорного сигнала синхронного детектора 8. Фотоприемником 9 регистрируют полезный сигнал.

Ось Z вала электродвигателя перпендикулярна оси поворота гониометра 2, пересекает ее и направлена по биссектрисе Z «образованного направлением сх падающего 30 пучка и направлением fc соответствующим направлению отклоненного образцом 4 пучка света при Δ4 = 0.

Прерыванием светового пучка дисковым обтюратором 5 формируют опорные · сигналы в синхронном детекторе. За счет выбора угла ΔЧ обеспечивают амплитуду угловой модуляции падаю1176219 щего на образец 4 света при повороте вала на 360 ° вокруг оси Ζ. Дисковый обтюратор с двумя диаметрально противоположными прорезями ориен5 тирован перпендикулярно оси вращения вала, а плоская поверхность образца 4 перпендикулярна плоскости, проходящей через линию соединения центров отверстий обтюратора и ось Ю вращения вала.

Устройство работает следующим образом.

Падающий на испытуемый образец 15 4 в направлении « пучок света отклоняется плоской поверхностью образца при повороте вала электродвигателя 3 вокруг оси Ζ. При полном повороте вала значения углов паде20 ния и отражения изменяются при угле падения Ч в пределах от 4 + 2аЧ до 4-2δ^вблизи направления Ь. Причем центр отклоненного светового пучка движется вокруг направления Ъ 25 по окружности в плоскости зрачка фотоприемника 9. При этом полезный сигнал с фотоприемника 9 поступает на вход синхронного детектора 8 только в те моменты времени, когда через прорези обтюратора 5 проходит световой пучок, формирующий управляющие импульсы в опорном канале синхронного детектора, а образец 4 направляет измеряемый пучок света вблизи направления Ъ на фотоприемник либо под углом Ч- 2&Ч, либо Ч’-2дЧ’, когда плоская поверхность образца совпадает с осью поворота гониометра

Фиг.2

Claims (1)

1. РЕФЛЕКТОМЕТР, содержащий · гониометр с предметным и поворотным столиками, электродвигатель, фотоприемник, соединенный с синхронным соответственно радиусы окна фотоприемника и светового ка, поступающего на его вход; расстояние между осью вращения метра и окном фотоприемника.

   пуче гонио·

   Фиг. 1 >