SU1177657A1 - Способ индикации напыленных металлических пленок - Google Patents
Способ индикации напыленных металлических пленок Download PDFInfo
- Publication number
- SU1177657A1 SU1177657A1 SU833618535A SU3618535A SU1177657A1 SU 1177657 A1 SU1177657 A1 SU 1177657A1 SU 833618535 A SU833618535 A SU 833618535A SU 3618535 A SU3618535 A SU 3618535A SU 1177657 A1 SU1177657 A1 SU 1177657A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring electrode
- controlled surface
- voltage
- saturated
- vacuum
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 5
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002547 anomalous effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 241000282994 Cervidae Species 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
,1. СПОСОБ ИНДИКАЦИИ НАПЬЬ , ЛЕННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийс в том, что контролируемую поверхность и измерительный электрод помещают в вакуум, .к контролируемой поверхности подключают отрицательный полюс источника напр жени , а к измерительному электроду - положительный и снимают зависимость автоэлектронного тока от напр женности электрического пол , отличающийс тем, что, с целью повышени разрешающей способности, контролируемую поверхность предварительно насьщают неинертным газом, измер ют автоэлектронные токи при фиксированном промежутке между контролируемой поверхностью и измерительным электродом, а о наличии напыленной металлической пленки суд т по по влению аномального участка зависимости авто .9 электронного тока от напр женности (Л электрического пол . 2. Способ по П.1, о т л и ч а.ющ и и с тем, что контролируемую поверхность насыщают газом при взаимодействии с атмосферой. О) СП
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в област х, где возможно по вление напыленных металлических пленок в результате воздействи ион ной бомбардировки, пробоев вакуума и работы накаленных катодов.
Цель изобретени - повышение разрешающей способности обнаружени напыленной пленки, что позвол ет улучшить характеристики электровакуумных приборов и установок.
На фиг.1 приведена схема устройства , с помощью которого реализуетс предлагаемьй способ-, на фиг.2 - хахарак- еристики автоэлектронных токо ( Фаулера-Нордгейма) с аномальными участками после выдержки напыленной пленки в остаточном вакууме; на фиг.З - то же, дл случа , когда насьш ение пленки осуществл етс за счет контакта напыленной пленки с атмосферой воздуха.
К исследуемой поверхности 1, на которой индуцируетс металлическа напыпенна пленка, подводитс измерительный электрод 2 на рассто нии . h в несколько миллиметров. Исследуемую поверхность подключают к отрицательному полюсу источника 3 питани , а измерительный электрод к положительному полюсу через токовый прибор 4. Если напыленна пленка не насыщена газом, то создают услови поглощени пленкой неинертного газа. Эта процедура зависит от условий работающей установки, где индицируетс оленка и может включать вьщержку в остаточном вакууме или впуск атмосферы. Между поверхностью 1 и электродом 2 создаетс высокий вакуум, измер ют автоэлектронные токи с исследуемой поверхности и. стро т, характеристики Фаулера-Нордгейма . На фиг.2 и 3 видна рко выраженна аномали , котора возникает лишь при наличии металлической напыленной пленки. Измерени провод тс при фиксированной длине вакуумного промежутка h; измерение с другими h вли ет на диапазон автоэлектронных . Токов, где наблюдаетс ано мали .
trt77
50
Claims (2)
- ,1 . СПОСОБ ИНДИКАЦИИ НАПЫ- . ЛЕННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что контролируемую поверхность и измерительный электрод помещают в вакуум, к контролируемой поверхности подключают отрицательный полюс источника на- пряжения, а к измерительному электроду - положительный и снимают зависимость автоэлектронного тока от напряженности электрического поля, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, контролируемую поверхность предварительно насыщают неинертным газом, измеряют автоэлектронные токи при фиксированном промежутке между контролируемой поверхностью и измерительным электродом, а о наличии напыленной металлической пленки судят по появлению аномального участка зависимости авто- § электронного тока от напряженности электрического поля.
- 2. Способ по п.1, о т л и ч а.ющ и й с я тем, что контролируемую поверхность насыщают газом при взаимодействии с атмосферой.SU ,,,1177657Фиг.1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833618535A SU1177657A1 (ru) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Способ индикации напыленных металлических пленок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833618535A SU1177657A1 (ru) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Способ индикации напыленных металлических пленок |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1177657A1 true SU1177657A1 (ru) | 1985-09-07 |
Family
ID=21073243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU833618535A SU1177657A1 (ru) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Способ индикации напыленных металлических пленок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1177657A1 (ru) |
-
1983
- 1983-07-08 SU SU833618535A patent/SU1177657A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 107101, кл. G 01 В 7/06, 1956. Авторское свидетельство СССР. № 808834, кл. G 01 В 7/34, 1979. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Koenig et al. | Application of RF discharges to sputtering | |
| US3869665A (en) | Device for detecting corona discharge in an enclosed electric device | |
| KR101355728B1 (ko) | 평면 이온 플럭스 프로빙 장치의 이용을 통해 유도된 파라미터를 이용한 플라즈마 처리의 제어 | |
| Baumgartner et al. | Partial discharge. IX. PD in gas-insulated substations-fundamental considerations | |
| JPH02210749A (ja) | 荷電二次粒子の検出装置 | |
| SU1177657A1 (ru) | Способ индикации напыленных металлических пленок | |
| Wetzer | Vacuum insulator flashover mechanisms, diagnostics and design implications | |
| US20230280277A1 (en) | Gas analyzer | |
| HU227170B1 (en) | Surface passivation method and arrangement for measuring life time of minority carrier of semiconductors | |
| US3594754A (en) | Pressure measurement arrangements for a vacuum-type circuit interrupter | |
| MacAlpine et al. | Impulse breakdown of compressed gases between dielectric-covered electrodes | |
| CN113539903B (zh) | 处理腔室的漏率侦测方法和装置 | |
| US3580052A (en) | Discharge gage for helium leak detector use | |
| HU189555B (en) | Vacuum-chamber circuit-breaker with vacuum indicator | |
| Menes et al. | Positive point-to-plane corona studies in air | |
| SU458725A1 (ru) | Способ определени вакуума в герметизированных электровакуумных приборах | |
| KR100536601B1 (ko) | 플라즈마 증착 설비 | |
| Wright | The positive potential of aluminum as a function of the wave-length of the incident light | |
| Treanor et al. | Incipient fault detection in locomotive DC traction motors | |
| SU786689A1 (ru) | Способ очистки магниторазр дных насосов систем индикации водорода | |
| SU133123A1 (ru) | Способ обнаружени пор или мелких отверстий в пленках или тонких покрыти х из диэлектрического материала | |
| JPH0765676A (ja) | 真空インタラプタの真空度低下検出装置 | |
| SU1357738A1 (ru) | Устройство дл контрол герметичности | |
| JPH04275422A (ja) | ドライエッチング装置におけるモニタリング方法 | |
| SU1282011A1 (ru) | Способ измерени скорости газового потока |