SU338948A1 - Установка для изготовления фотошаблонов - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к технологии изготовлени  электронных приборов, в частности фотошаблонов микроэлектронных схем.

Известны установки дл  изготовлени  фотошаблонов , содержащие неподвижную фотоэлектрическую систему и перемещающийс  относительно нее по координатам х и у стол с заготовка ми фотощаблонов.

Недостатком таких установок  вл етс  наличие механических элементов, движущихс  неравномерно во врем  фо-рмированн  изображен .и .

С целью повышени  .производительности и надежности установки дл  изготовлени  фотошаблонов изображение формируетс  на равномерно движущейс  заготовке фотошаблона с ПОМОЩЬЮ составной диафрагмы, образуемой неподвижной щелевой диафрагмой и совмещаемыми с ней дуговыми диафрагмами на равномерно вращающемс  диске.

На фиг. 1, 2 представлена схема установки, вид сбоку и сверху; на фиг. 3 - узел диафрагмы; на фиг. 4 - полученное на заготовке фотошаблона изображение.

Установка содержит щелевую диафрагму / и расположенный под ней диск 2. Экспонирование заготовки фотощаблона 3, распололсенной на столе 4, осуществл етс  источником света 5 через объектив 6. Диск 2 и стол 4 получают движение от привода 7. Над диском 2 установлен фотодатчик 8, св занный с управл ющим устройством 9.

При равномерном вращении диска 2 отверстие 10 диафрагмы / (практически имеющее форму квадрата - см. фиг. 3) перемещаетс  скачками вдоль щели диафрагмы, пробега  ее за полный оборот диска. Оно проектируетс  через объектив 5 на заготовку фотошаблона 3, который равномерно перемещаетс  вместе со столом 4 перпендикул рно направлению движени  изображени  отверсти . За один оборот диска 2 стол 4 смещаетс  на ширину этого изображени , и за один проход

стола оно обегает всю поверхность заготовки фотошаблона 3. Информаци  об угловом положении диска 2, т. е. о положении изображени  отверсти  10 на заготовке фотошаблона , поступает с фотодатчика 8 в счетно-решающее управл ющее устройство 9, которое .включает .импульсный распределенный источник света 5 в соответствии с программой, экспониру  заданные участки (на фиг. 4 экспонированные участки заштрихованы). Размеры получаемого на заготовке фотошаблона изобрал ;ени  кратны размерам стороны .изображени  отверсти . Угол между осью щелевой диафрагмы и направлением движени  стола отличаетс  от пр мого на небольшую

ность фигур на фотошаблоне, возникающую из-за сложени  движений стола и изображени  отверсти .

Фотошаблоны, получаемые на такой установке , могут быть, налрлмер, размером 50X70 мм при кратности всех размеров 50 ж/с и точности 5 мк. Их можно использовать в качестве пр моугольных фотошаблонов больших интегральных схем. Врем  изготовлени  фотошаблона не зависит от его сложности и определ етс  практически только быстродействием источника света. При параметрах фотошаблона 50X70 мм оно может быть менее 20 мин.

Предмет изобретени 

Установка дл  изготовлени  фотошаблонов пр.и производстве нолупроводниковых приборов , содержаш,а  стол с заготовкой фотошаблона , диск с дуговыми прорез ми, привод, объектив, фотоэлектрическую систему, устройство программного управлени  импульсным источником света, отличающа с  тем, что, с целью повышени  производительности и надел ности, в нее введено устройство программного диафрагмировани , выполненное в виде неподвижной ш.елевой диафрагмы, совмешенной с дуговыми прорез ми на диске.

Ci

т

if Риг. I

чзаг.г

Риг.З

у 6.