SU655859A1 - Устройство дл передачи движени в вакуумную камеру - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к механизмам и устройствам дл  передачи вращательного и возвратно-поступательного движений в вакуумную камеру.

Известно вакуумное уплотнение вращающегос  вала, выполненное в виде коаксиально вращающихс  и неподвижных втулок с наклонными зеркально-симметричными прорез ми 1.

Известно также устройство дл  передачи движени  в вакуумную камеру, в корпусе которого, выполненного с откачиваемой полостью, установлен вращающийс  приводной вал с блоком щелевых уплотнений , выполненных в виде поочередно установленных опорных неподвижных и вращающихс  дисков, с наклонными зеркалььгосимметричными прорез ми 2. Известной конструкции свойственен существенный недостаток , св занный с тем, что невозможно осуществление возвратно-постунательного движени  вращающегос  вала.

Целью изобретени   вл етс  обеспечение надежной работы устройства при вращательном и возвратно-поступательном движени х вала.

Указанна  цель достигаетс  тем, что в корпусе размещен с возможностью перемещени  вдоль оси приводного вала цилиндрический перфорированный стакан, герметизированный относительно корпуса, например , спльфоном, а блок щелевых уплотнений с приводным валом установлен в цилиндрическом стакане, причем опорные неподвижные диски выполнены с радиальными сверлени ми.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство дл  Передачи движени  в вакуумную камеру, общий вид; на фиг. 2 - узел блока щелевых уплотнений.

Устройство дл  передачи движений а вакуумную камеру содержит корпус 1 с

присоединительным фланцем 2. патрубок откачиваемой полости 3, патрубок 4 дл  загрузки технологического объекта и цилиндрический перфорированный стакан 5 с окнами 6 дл  сообщени  с откачиваемой полостью. Корпус герметично соединен с

цилиндриче/: им стаканом сильфоном 7. К корпусу в месте креплени  сильфона 7 жестко закреплен кронштейн 8, который  вл етс  элементом узла 9 осевого перемещени .