SU856757A1 - Станок дл ультразвукового шлифовани - Google Patents

Description

I

Изобргтение относитс  к ультразвуковой обработке, а именно к шлифованию и разделению пластин, например, полупроводниковых материалов и может быть применено в различных отрасл х приборостроени .

Известен станок дл  разрезани  алмазов, в котором алмаз крепитс  к торцу концентратора ультразвуковых колебаний, а инструмент-диск имеет принудительное вращение.

Однако такой станок не обеспечивает качественной разрезки из-за недостаточной надежности и больших от- ходов материала.

Известно также устройство дл  резки твердых и.хрупких материалов дисковым инструментом с внутренней режущей кромкой, снабженное преобразователем , соединенным с волноводом изгибных колебаний, на котором установлена обрабатываема  деталь.

Недостатком этого устройства  вл етс  то, что схема обработки

не обеспечивает сохранение качественной поверхности обеих сторон детали.

Цель изобретени  - повьшение производительности обработки при сохра«ении качества лицевой стороны обрабатываемой детали.

Указанна  цель достигаетс  тем, что на координатный стол устанавливают подложкодержатель, вьтолненный ввиде перевернутого стакана с окнами по боковым поверхност м, через которые вводитс  волновод изгибных колебаний, прижимаемый к. внутреннему торцу стакана с возможностью , скольжени .

На чертеже показана конструктивна  схема предлагаемого станка.

Станок содержит координатный стол I, станину 2, закрепленный на птинделе 3 дисковый инструмент 4. К столу присоединен подложкодержатель 5, выполненный в виде полого тонкостенного стакана с окнами по боковым

поверхност м. На торце подложкодержател  закреплена обрабатываема  деталь 6. Ультразвуковой преобразователь 7 с концентратором крепитс  к станине 2 с помощью фланца 8. К концентратору присоединен волновод 9 изгибных колебаний с выступающей впгерх на свободном конце опорой 10 скольжени .

Дл  контакта с внутренним торцом

1Iподложкодержател  5 волновод 9 вводитс  в подложкодержатель через одно из его боковых окон. При этом волновод 9 имеет резьбовое отверстие

12в узле изгибных колебаний, в кото рое входит винт 13, ввернутый в станину 2, который служит дл  регулировки усили  прижима опоры волновода 9 к подложкодержателю. Гайка

14 и шайба 15 установлены дл  предотвращени  самопроизвольного отвинчивани  винта 13 под действием вибрации.

Предлагаемый станок работает следующим образом.

Координатный стол 1 введен из зон обработки вправо, его положение по высоте задает глубину реза. Винтом

13задают положение опоры скольжени волновода 9 по высоте. Включают вращение шпиндел  3 и подают ультраг )вуковые колебани  на деталь 6. Перемещение координатного стола задают влево. Подложкодержатель 5 отжимает волновод 9 вниз благодар  наличию у последнего заходной части, чем обеспечиваетс  необходимое усилие

прижима волновода 9 к подложкодержателю 5. Отрезной диск 4 разрезает перемещающуюс  на него деталь 6. При перемещении стола 1 опора 10 волновода 9 скользит по внутреннему торцу Ii подложкодержател  5, а если она выполнена в виде подшипника, то катитс  по нему.

Конструкци  предлагаемого станка позвол ет повысить производительност обработки и предохранить обе стороны пластины от непосредственного контакта с опорой волновода. При разделении пластин наиболее важно предохранить лицевую сторону детали.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Станок дл  ультразвукового шлифовани  или разделени  пластин посредством дискового инструмента, закрепленного на шпинделе, снабжённьп, соединенной с изгибно колеблющимс  волноводом колебательной системой, установленной на станине, и координатным столом с подложкодержателем, отличающийс  тем, что, с целью повышени  производительности обработки при сохранении качества лицевой стороны обрабатываемой детал подложкодержатель выполнен в виде перевернутого стакана, на боковой поверхности которого выполнены окна дп  ввода волновода изгнбных колебаний , поджимаемого к внутреннему торцу стакана с возможностью скольжени .