SU948603A1 - Двухкоординатный стол - Google Patents

Двухкоординатный стол Download PDF

Info

Publication number
SU948603A1
SU948603A1 SU802910370A SU2910370A SU948603A1 SU 948603 A1 SU948603 A1 SU 948603A1 SU 802910370 A SU802910370 A SU 802910370A SU 2910370 A SU2910370 A SU 2910370A SU 948603 A1 SU948603 A1 SU 948603A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
carriages
guides
vibration
carriage
moving
Prior art date
Application number
SU802910370A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Павлович Ершов
Юрий Николаевич Храмов
Казимирас Миколо Рагульскис
Ричардас-Викторас Козевич Улозас
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8657
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8657 filed Critical Предприятие П/Я В-8657
Priority to SU802910370A priority Critical patent/SU948603A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU948603A1 publication Critical patent/SU948603A1/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

Изобретение относитс  к области точной механики, а именно к устройствам , осуществл ющим точные шаговые перемещени  в системе координат, и может найти применение в прецизионном технологическом оборудовании, особенно при большой степени автоматизации .
Известен двухкоординатный стол 1, содержащий предметную плиту с кронштейном, промежуточные салазки, . основание и приводные двигатели. Перемещение предметной плиты по координате X осуществл етс  вместе с промежуточными салазками через ходо .вую гайку и винт, соединенными муфтой с выходным валом двигател . Перемещение по координате X осуществл етс  от второго двигател  через муфту, винт-гайку, котора  удерживаетс  от поворота линейкой. В паре винт-гайка последн   имеет-ведущий палец, вхо-д щий в паз кронштейна, проход щего через окна в салазках.
Недостатками этого стола  вл етс  то, что перемещение предметной плиты осуществл етс  на направл ющих трени  скольжени , что влечет за собой -изнашивание контактных пар, т.е. низ- .ка  износостойкость. Кроме того,все
координатные столы содержат согласующие звень  типа винт-гайка, которые представл ют собой упругие системы. Поэтому при перемещении на малых скорост х в них наблюдаетс  скачкообразное движение. В таких системах получить высокую разрешающую способность невозможно, т.е. нельз  получить гарантированные наименьшие перемещени .
Наиболее близким техническим решением к изобретению  вл етс  устройство , содержащее каретки, направл ющие, между КОТ9РЫМИ размещены виброопоры, и приводы перемещени  кареток. При включении привода (магнистрикторов) каретка (стол) всплывает. При этом трение между контактирующими поверхност ми значительно снижаетс  за счет газового клина, создаваемого магнитострикционными преобразовател ми Г2 Недостатками данного устройства  вл ютс  снижение точности позиционировани  объекта за счет поперечных смещений каретки и температурных деформаций из-за наличи  больших питающих токов магнитострикционных преобразователей , а также значительные энергозатраты.
Цель изобретени  - повышение точности позицировани  объекта путем
устранени  поперечного смещени  каретки .
Указанна  цель достигаетс  тем, что в двухкоор инатном столе, содержащем каретки, направл ющие, между которыми размешены виброопоры, и при волы перемещени  кареток, направл ющие снабжены П-образными посто нными магнитами, образующими замкнутый магнитопровод , между которыми расположены указанные виброопоры.
Приводы выполнены в виде подпружиненных пьезокерамичегких вибродвигателей , взаимодействующих с кареткой. Зиброопори выполнены в виде набора отдельных пьезокерамических элемёнтов .
Изготовление направл ющих с П-образным посто нными магнитами, внутри которых размещены виброопоры на пьезкерамике ударного действи , которые колеблютс  с ультразвуковой частотой и малыми амплитудами и вследствие этго образуетс  газовое сжатие п ленки между вибраторами и кареткой,и позвол ет каретке перемещатьс  без механического контакта и без поперечного смещени , что повышает износоустойчивость , а значит надежность и точность стола. Подпружиненный вибродвигатель , осуществл ющий перемещение каретки на пьезокерамике с асимметри ческими циклами колебаний, также повышает точ1|ость перемещени  стола.
На фиг. 1 показан общий вид координатного стола; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 --схема магнитных силовых линий в магнитопроводе .
Двухкоординатный стол содержит каретки 1 и 2, направл ющие 3 и 4, пьезокерамический вибродвигатель 5, .основание 6. Направл юща  3, установленна  на основании 6, и направл юща  4, закрепленна  на каретке 1, выполнены из магнитопровод щих пластин . Направл юща  3 снабжена П-образным посто нным магнитом 7. Между направл ющими 3 и 4 размещены виброопоры 8 на пьезокерамике ударного действи , которые создают между направл ющими 3 и 4 газовую пленку 9. Они могут быть выполнены на стержневой , кольцевой и также из наборов дисков пьезокерамики. Вибродвигатель 5 установлен на пружине 10 и представл ет собой пьезокерамическую пластину, электроды которой разделены на четыре сектора и соединены попарно по диагонали.
Стол работает следующим образом.
При подаче управл ющего напр жени  на пьезокерамические виброопори 8 от генератора (на фигурах не показан) импульсов ультразвуковой частоты виброопоры начинают деформироватьс  с такой же частотой, создава  газовую ежа тую пленку 9 определенной величины между направл ющими 3 и 4. Каретка 1 Удерживаетс  от поперечного смещени  магнитосиловыми лини ми магнитопровода , составленного из направл ющих 3 и 4 и магнита 7. Перемещение каретки 2 вдоль оси V осуществл етс  вибродвигателем 5. Он работает следующим образом. При подаче напр жени  на пластины вибродвигател  5, в них создаютс  асимметрические циклы колебаний ввиду разделени  электродов пластины на четыре сектора. Это поле вызывает продольные и поперечные деформации в пьезокерамической пластине . Наход сь в упругом контакте с каретками , пластины, расшир  сь, перемещают в том или ином направлении каретки на газовой пленке. Верхн   каретка 2 работает аналогично каретке 1.

Claims (3)

1.Двухкоординатный стол, содержащий каретки, направл ющие, между которыми размещены виброопоры, и приводы перемещени  кареток, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности позиционировани  объекта за счет устранени  поперечного смещени  кареток, направл ющие снабжены П-образными посто нными магнитами , образующими замкнутый магнитопровод , между которыми расположены указанные виброопоры.
2.Стол по п. 1, о т л -и ч а ющ и и с   тем, что приводы перемещени  кареток выполнены в виде подпружиненных пьезокерамических вибродвигателей .
3.Стол по п. 1, о т л и ющ и и с   тем, что виброопоры выполнены в виде набора отдельных пьезокерамических элементов.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе
1.Авторское свидетельство СССР 365238, кл. В 23 Q 1/14, 1975.
2.Авторское свидетельство СССР 218610, кл. В 23 Q 1/02, 1966
прототип) .
8
/
I 6
фе/г.
А-А
SU802910370A 1980-04-14 1980-04-14 Двухкоординатный стол SU948603A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802910370A SU948603A1 (ru) 1980-04-14 1980-04-14 Двухкоординатный стол

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802910370A SU948603A1 (ru) 1980-04-14 1980-04-14 Двухкоординатный стол

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU948603A1 true SU948603A1 (ru) 1982-08-07

Family

ID=20889820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802910370A SU948603A1 (ru) 1980-04-14 1980-04-14 Двухкоординатный стол

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU948603A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2839543B2 (ja) 変位発生装置
CN1879232B (zh) 超声导螺杆电动机
JP2506170B2 (ja) X−yステ―ジ
Shi et al. Simple new ultrasonic piezoelectric actuator for precision linear positioning
Delibas et al. L1B2 piezo motor using D33 effect
SU948603A1 (ru) Двухкоординатный стол
US3808488A (en) Means for making precision microadjustments in the position of a movable element
KR101177139B1 (ko) 초음파 리드 나사 모터
KR850000278A (ko) 공작기계
Suzuki et al. Resonant-type smooth impact drive mechanism actuator with two Langevin transducers
JPH06233560A (ja) 超音波アクチュエータ
JPH01264582A (ja) 超音波リニアモータ
SU928470A1 (ru) Устройство прецизионного позицировани
JP3523488B2 (ja) 超音波リニアモータおよびこれを用いた駆動装置
JPH081911Y2 (ja) X−y座標位置決め機構
JPS6139871A (ja) 圧電形直線モ−タ
Yun et al. A high power ultrasonic linear motor with a longitudinal-bending hybrid transducer for high-speed and precise drive of a heavy stage
JPH11299269A (ja) リニアアクチュエータ
SU1522318A1 (ru) Предметный столик растрового электронного микроскопа
Shafik et al. Computer simulation and modelling of 3D travelling wave piezoelectric ultrasonic motor using a flexural vibration ring transducer
SU546012A1 (ru) Устройство дл перемещени ленточного сигналоносител
Zhao Design, Modeling and Experiments of An In-pipe Magnetostrictive Impact Drive Mechanism
JPS61295881A (ja) 振動波モ−タ−
SU801149A1 (ru) Линейный двигатель
JPH079254Y2 (ja) 磁気ディスク装置のアクセス機構