TH30519B - " การต่อประกบที่ถูกติดวาล์วสำหรับระบบการกระจายก๊าซที่มี-ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ " - Google Patents
" การต่อประกบที่ถูกติดวาล์วสำหรับระบบการกระจายก๊าซที่มี-ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ "Info
- Publication number
- TH30519B TH30519B TH9701000551A TH9701000551A TH30519B TH 30519 B TH30519 B TH 30519B TH 9701000551 A TH9701000551 A TH 9701000551A TH 9701000551 A TH9701000551 A TH 9701000551A TH 30519 B TH30519 B TH 30519B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- valve
- splice
- gas
- couplings
- gas distribution
- Prior art date
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 2
- 241000269799 Perca fluviatilis Species 0.000 abstract 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 abstract 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
Abstract
ตัวต่อประกบแบบมีวาล์ว 20 และส่นประกอบในการแปรรูปก๊าซที่เหมาะสมโดยเฉพาะสำหรับการกระจายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง เป็นพิเศษสำหรับใช้ในการผลิตสารกึ่งตัวนำในตัวต่อประกบ, ก้านวาล์ว/หัวปิดช่อง 34 จะผนึกรูเปิดของตัวต่อประกบ 56 ที่อยู่ดักไปในทันทีจากภายนอกของตัวต่อประกบเพื่อให้ปริมาณ ต่ำสุดของผิวหน้าที่ถูกทำให้เปียกของตัวต่อประกบเท่านั้น ที่จะถูกทำให้โผล่ขึ้นมาเจอกับสภาพแวดล้อมภายนอกส่วนประกอบ ในการ แปรรูปก๊าซ (เช่น ตัวกรอง 120) หรือชุดประกอบแท่งก๊าซรวม ทั้งสิ้น 12 อาจจะถูกผนึกจากสภาพแวดล้อมภายนอกที่ทั้งด้าน ช่องออกและช่องเข้าโดยตัวต่อประกบแบบมีวาล์วของมันเหล่านี้ ผลก็คืออุปกรณ์ทั้งหมด สามารถที่จะถูกทำให้บริสุทธิ์หลัง จากการผลิต และเหลืออยู่ในสภาพแวดล้อมที่ถูกควบคุมใน ระหว่างการขนส่งสินค้าและการติดตั้งซึ่งลดความต้องการ สำหรับการเพิร์จหลังจากที่ทำการติดตั้ง
Claims (1)
1. ตัวต่อประกบที่ถูกติดวาล์วสำหรับการกระจายก๊าซแบบที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซึ่งประกอบด้วยกรอบหุ้มวาล์วก๊าซ ที่มีผิวหน้าภายนอก ผิวหน้าภายในที่กำหนดขอบเขตห้องที่ ลำเลียงก๊าซ และผิวหน้าที่กำหนดขอบเขตของรูเปิดที่หนึ่ง และสองที่ทอดออกไปจากผิวหน้าด้านในดังกล่าวไปยังผิวหน้า ด้านนอกดังกล่าว และกำหนดขอบเขตรูเปิดที่หนึ่งและสองที่ยอม ให้มีการไหลของก๊าซขึ้นระหว่างห้องที่ลำเลียงก๊าซดังกล่าว และสภาพ แวดล้อมภายนอกซึ่งผิวหน้าภายนอกของกรอบหุ้มจะถูกทำให้โผล่ ขึ้นมา ก้านวาล์วที่มีปลายที่อยู่ใกล้เคียงและห่างออ
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH30519B true TH30519B (th) | 1998-10-20 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW406761U (en) | Gas stick for ultra highpurity gas distribution and component having integral valve couplings for connecting to an ultra highpurity gas distribution system | |
| TW413293U (en) | Valved coupling for ultra high purity gas distribution systems | |
| SE8402027D0 (sv) | Filter- och anslutningsaggregat for andningsmask | |
| US6203074B1 (en) | Duct system and method | |
| IT1263482B (it) | Riduttore di pressione per primo stadio di autorespiratori bistadio. | |
| TH30519B (th) | " การต่อประกบที่ถูกติดวาล์วสำหรับระบบการกระจายก๊าซที่มี-ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ " | |
| TWI233377B (en) | Continuous coating apparatus | |
| ES2168899A1 (es) | Construccion mejorada de una torre de refrigeracion. | |
| TH30087B (th) | ส่วนประกอบสำหรับการกระจายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษที่มีการต่อประกบแบบติดวาล์วรวม และวิธีการใช้ | |
| CN109821678B (zh) | 一种应用于粉末喷涂生产线的粉泵 | |
| SU1571077A1 (ru) | Клапан дл трубопроводов, транспортирующих сжатые гор чие газы | |
| FI20011506A7 (fi) | Tyhjiökeräysjärjestelmä | |
| KR200203865Y1 (ko) | 가스 분리용 3웨이 밸브 | |
| JPH1089517A (ja) | マニホールド | |
| JPS56160497A (en) | Method of preventing pulsation in conveyance of pressurized fluid | |
| JP2880726B2 (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPS51141918A (en) | Control equipment of intenal combustion engine | |
| CN109751511B (zh) | 一种管路保护装置及方法 | |
| US6855882B2 (en) | Cascaded inert gas purging system | |
| KR20030039452A (ko) | 반도체 제조 장비의 로드락 챔버 | |
| KR20010086661A (ko) | 저압화학기상증착 설비내의 개선된 플랜지 구조 | |
| KR100203406B1 (ko) | 스퍼터링 장치의 펌핑라인 | |
| KR200324759Y1 (ko) | 발전소 배기관용 캡 | |
| JPS5825712Y2 (ja) | ダム付スタブケ−ブル | |
| CN116697086A (zh) | 一种柔性阀芯的补排气阀和运输管路 |