TH41952A - การนำของเสียกลับคืน ณ ที่ทำการสำหรับกรรมวิธีการ?ผลิตสถานะของแข็ง - Google Patents

Abstract

ได้เสนอกรรมวิธีและระบบที่ให้สำหรับการนำของเสียกลับคืนของแก๊สและของเหลวที่มีประโยชน์ในชนิดต่าง ๆ ของกรรมวิธี ตัว อย่างเช่น สครับบ์เปียกกระแสของเสียจากห้อง CVD ด้วย แคลเซียม ไฮดรอกไซด์ เพื่อผลิตให้ แคลเซียม ฟลูออไรด์, แคลเซียม ฟลูออไรด์ ทำปฏิกิริยา กับ ซัลฟิวริก แอซิด เพื่อ ผลิตให้แก๊ส ไฮโดรเจน ฟลูออไรด์ (HF) ซึ่งอาจส่งไปยัง เครื่องก่อกำเนิดทางเคมีของเหลว ณ ที่ทำการ หรือนอกที่ทำ การ ซึ่ง ผสม HF ที่เป็ฯแก๊สกับน้ำความบริสุทธิ์สูงยิ่ง เพื่อก่อเกิด ไฮโดรเจน ฟลูออไรด์ ในน้ำความบริสุทธิ์สูง ยิ่ง อาจส่งแก๊สที่ไม่ละลายจากเครื่องสครับบ์เปียก ไปยัง หน่วยการนำกลับคืน ที่ซึ่งอาจแยกแก๊สที่มีประโยชน์อื่น ๆ ออกจาก แก๊สพาหะ

Claims (28)

1.กรรมวิธีการนำของเสียกลับคืน ที่ให้ลักษณะเฉพาะโดยขั้นตอนของ a) การให้กระแสของเสียที่ประกอบด้วยแก๊สที่เติม เฮโลเจน แล้ว ; b) การสครับบ์เปียกกระแสของเสีย โดยใช้สารผสมที่ประกอบด้วย ไฮดรอกไซด์อนินทรีย์ เพื่อก่อกำเนิดกระแสที่ประกอบด้วย เกลืออนินทรีย์ของ F,C] และ/หรือ I; และ c) การผ่านกระแสที่ประกอบด้วยเกลืออนินทรีย์นั้นผ่าน เครื่องก่อกำเนิดพร้อม ซิลฟิริคแอซิด เพื่อผลิตให้กระแสที่ ประกอบด้วยแก๊ส HX ซึ่งเลือก X จากหมู่ที่ประกอบด้วย F,Cl และ I

2.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยการก่อกำเนิดกระแสของเสียจากกรรมวิธี SACVD

3.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยเลือกแก๊สที่เติมเฮโลเจน ที่กล่าวแล้วนั้น จากหมู่ที่ ประกอบด้วย COF2,HF, และสารที่คล้ายกัน

4.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่งกระแสที่ประกอบด้วยแก๊ส HX ที่กล่าวแล้วนั้น ไปยัง เครื่องก่อกำเนิดทางเคมี ซึ่งละลายแก๊ส HX ที่กล่าวแล้ว นั้นในน้ำความบริสุทธิ์สูงยิ่ง เพื่อก่อ HX ในน้ำความ บริสุทธิ์สูงยิ่ง

5.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยขั้นตอน B ยังผลิตกระแสแก๊สที่ประกอบด้วยแก๊สซึ่งไม่ละ ลายในน้ำด้วย

6.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่งแก๊สที่ไม่ละลายที่กล่าวแล้วนั้น ไปยังหน่วยการแยก บริสุทธิ์กลับคืน เพื่อแยกแก๊สที่มีประโยชน์ ออกจากแก๊ส พาหะ

7.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยแก๊สที่ไม่ละลายที่กล่าวแล้วนั้นประกอบด้วย C2F6 และ CF4, หน่วยการแยกบริสุทธิ์กลับคืนที่กล่าวแล้วนั้นเป็น เครื่องแยกด้วยเยื่อ ซึ่งถือได้ว่าแยกทั้งหมดของ C2F6 และ CF4 ออกจากแก๊สพาหะที่กล่าวแล้วนั้น

8.กรรมวิธีสำหรับการผลิต HNO3 ในน้ำ, ที่ให้ลักษณะเฉพาะโดย ขั้นตอนของ : a) การให้กระแสแก๊สที่ประกอบด้วยอย่างน้อยหนึ่งแก๊ส ซึ่ง เมื่อเผาไหม้ด้วย ออกซิเจนให้ NO2 ; b) การส่งกระแสแก๊สที่กล่าวแล้วงนั้นไปยังกรรมวิธีการเผา ไหม้ด้วยแก๊สตัวออกซิไดซ์ ที่ประกอบด้วย ออกซิเจน ; c) การเผาไหม้อย่างน้อยหนึ่งแก๊สที่กล่าวแล้วนั้นด้วย ออกซิเจน ที่กล่าวแล้วนั้น เพื่อก่อกระแสที่มี NO2; d) การส่งกระแสที่มี NO2 ที่กล่าวแล้วนั้น ไปยังเครื่องแยก และการแยก NO2 ออกจากกลุ่มสารที่ไม่ใช่ NO2 ; และ e) การส่ง NO2 ที่กล่าวแล้วนั้นไปยังเครื่องก่อกำเนิดทาง เคมี เพื่อก่อกำเนิด HNO3 ในน้ำ

9.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 8 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยกระแสแก๊สที่กล่าวแล้วนั้นเป็นกระแสปล่อยออกของกรรมวิธี ไนไทรด์, กรรมวิธี ไนไทรด์ ที่กล่าวแล้วนั้น มีแก๊สป้อนที่ ประกอบด้วย SiH4,NF3,N2,O, และ NH3

10.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 8 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยเลือกอย่างน้อยหนึ่งแก๊สที่กล่าวแล้วนั้นจากหมู่ที่ ประกอบด้วย NF3,N2,N2O, และ NH3

11.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 8 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยแก๊สตัวออกซิไดซืที่กล่าวแล้วนั้น เป็นกระแสที่มี ออกซิเจน มากที่ปล่อยออกมาจากกรรมวิธีการแยกที่เลือกจาก หมู่ที่ประกอบด้วยการแยกอากาศที่สภาวะเย็นเยือก, VSA,PSA, และการแยกด้วยเยื่อ

12.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 8 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยเลือกเครื่องแยกที่กล่าวแล้วนั้นจากหมู่ที่ประกอบด้วย หน่วยการแยกอากาศที่สภาวะเย็นเยือง และหน่วยการแยกด้วย เยื่อ

13.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 8 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยเครื่องก่อกำเนิดทางเคมีที่กล่าวแล้วนั้น เป็นแบบ ณ ที่ ทำการ ของส่วนช่วยการผลิตสารกึ่งตัวนำ

14.กรรมวิธีสำหรับการผลิต HC1 และแก๊ส NH3 โดยพร้อมกัน, ที่ให้ลักษณะเฉพาะโดยขั้นตอนของ : a) การให้สารผสมแก๊สที่ประกอบด้วย Sicla,H2,N2, และ HCl; b) การสครับบ์เปียกสารผสมแก๊สที่กล่าวแล้วนั้น ด้วยน้ำ เพื่อให้กระแสแก๊ส Hcl เปียกและกระแสที่มี H2 และ N2 มาก ; c) การส่งกระแสแก๊ส HCl เปียกที่กล่าวแล้วนั้น ไปยัง เครื่องก่อกำเนิดทางเคมี ซึ่งผสมน้ำกับ HCl เปียก ; และ d) การส่งกระแสที่มี H2 และ N2 มากที่กล่าวแล้วนั้น ไปยัง เครื่องสังเคราะห์แอมโมเนีย NH3

15.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่ง NH3 ที่กล่าวแล้วนั้นต่อไปยังกรรมวิธี ไนไทรด์

16.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่ง NH3 ที่กล่าวแล้วนั้นต่อไปยังเครื่องก่อกำเนิด HNO3

17.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่ง NH3 ที่กล่าวแล้วนั้นต่อไปยังเครื่องก่อกำเนิด NH4OH เพื่อผลิต NH4OH

18.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่ง NH4OH ที่กล่าวแล้วนั้นไปยังเครื่องก่อกำเนิด NH4F

19.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่ง NH4OH ที่กล่าวแล้วนั้นไปยังเครื่องก่อกำเนิด NF3

20.กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีก โดยส่ง NF3 ที่กล่าวแล้วนั้นต่อไปยังกรรมวิธี ไนไทรด์

21.ระบบที่มีลักษณะเฉพาะโดย : a) แหล่งกำเนิดของกระแสของเสียที่ประกอบด้วยแก๊สที่เติม เฮโลเจน แล้ว ; b) เครื่องสครับบ์เปียกที่เชื่อมต่อกับแหล่งกำเนิดโดยท่อ ส่ง, ท่อส่งที่ปรับเพื่อนำกระแสของเสียไปยังเครื่องสครับบ์ เปียก, เครื่องสครับบ์เปียกที่ปรับเพื่อสัมผัสกระแสของเสีย ด้วยสารผสมที่ประกอบด้วย ไฮดรอกไซด์ อนินทรีย์ เพื่อก่อ กำเนิดกระแสที่ประกอบด้วยเกลืออนินทรีย์ ของไฮดรอกไซด์ อ นินทรีย์ และ F,Cl และ/หรือ I; และ c) เครื่องก่อกำเนิดที่เชื่อมต่อกับเครื่องสครับบ์โดยท่อ ส่งที่สอง, ท่อส่งที่สองนำกระแสที่ประกอบเกลืออนินทรีย์ไป ยังเครื่องก่อกำเนิด,เครื่องก่อกำเนิดที่ปรับเพื่อสัมผัส กระแสที่ประกอบด้วยเกลืออนินทรีย์ กับ ซัลฟิวริก แอซิด เพื่อให้กระแสที่ประกอบด้วยแก๊ส HX

22.ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 21 ที่มีลักษณะเฉพาะต่อไปอีกโดย แหล่งกำเนิดของกระแสของเสียเป็นเครื่องมือ SACVD, และเลือก แก๊สที่เติม เฮโลเจน แล้วจากหมู่ที่ประกอบด้วย COF2,HF, และสารที่คล้ายกัน

23.ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 21 ที่รวมนอกจากนั้นด้วยเครื่อง ก่อกำเนิดทางเคมี ดังได้บรรยายไว้ก่อนหน้านี้ในวิธีดำเนิน กรรมวิธีที่สอดคล้องกันของการประดิษฐ์นี้

24.ระบบที่ปรับเพื่อผลิต HNO3 ในน้ำ, ที่มีลักษณะเฉพาะโดย ; a) แหล่งกำเนิดของกระแสแก๊สที่ประกอบด้วยอย่างน้อยหนึ่ง แก๊ส ซึ่ง เมื่อเผาไหม้กับออกซิเจน ผลิตให้กลุ่มสาร NO2 และกลุ่มสารที่ไม่ใช่ NO2; b) หน่วยการเผาไหม้ที่เชื่อมต่อกับแหล่งกำเนิดผ่านท่อส่ง, ท่อส่งที่ปรับเพื่อส่งกระแสแก๊สไปยังหน่วยการเผาไหม้, หน่วยการเผาไหม้ที่ปรับเพื่อเผาไหม้อย่างน้อยหนึ่งแก๊ส เพื่อก่อเกิดกลุ่มสาร NOx กับแก๊สตัวออกซิไดซืประกอบด้วย ออกซิเจน ; c) เครื่องแยกที่เชื่อมต่อกับหน่วยการเผาไหม้โดยท่อส่งที่ สอง, ท่อส่งที่สองที่ปรับเพื่อส่งกระแสที่มี NOx ไปยัง เครื่องแยก, เครื่องแยกที่ปรับเพื่อแยกกลุ่มสาร NOx ออกจาก กลุ่มสารที่ไม่ใช่ NOx; และ d) เครื่องก่อกำเนิด HNO3 ที่เชื่อมต่อกับเครื่องแยก โดย ท่อส่งที่สาม, ท่อส่งที่สามที่ปรับเพื่อส่งกลุ่มสาร NOx ไป ยังเครื่องก่อกำเนิด HNO3, เครื่องก่อกำเนิด HNO3 ที่ปรับ เพื่อก่อกำเนิด HNO3 ในน้ำจาก HNO3 และน้ำ ระบบที่ควรใช้ ตามแง่นี้ของการประดิษฐ์นี้ คือ บรรดาซึ่งแหล่งกำเนิดของ กระแสแก๊สเป็นเครื่องมือกรรมวิธี ไนไทรด์, ถึงแม้ว่าสิ่ง นี้ไม่ใช่สิ่งที่ต้องการโดยเด็ดขาด

25.ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 24 ที่มีลักษณะเฉพาะโดยแหล่ง กำเนิดที่กล่าวแล้วนั้นเป็นเครื่องมือกรรมวิธี ไนไทรด์

26.ระบบที่ปรับเพื่อผลิต HCl ในน้ำ และแก๊ส NH3, ที่มี ลักษณะเฉพาะโดย : a) แหล่งกำเนิดของกระแสแก๊สที่ประกอบด้วย SiCl4,H2,N2, และ HCl; b) เครื่องสครับบ์เปียกที่เชื่อมต่อกับแหล่งกำเนิดโดยท่อ ส่งแรก, ท่อส่งแรกที่ปรับเพื่อส่งตรงสารผสมแก๊ส ไปยัง เครื่องสครับบ์เปียก ในขณะที่มีน้ำ เพื่อให้กระแสแก๊ส HCl เปียก และ กระแสที่มี H2 และ N2 มาก ; และ c) เครื่องก่อกำเนิดทางเคมีที่เชื่อมต่อกับเครื่องสครับบ์ เปียกโดยท่ส่งที่สอง,ท่อส่งที่สองที่รปับเพื่อส่งตรงกระแส แก๊ส HCl เปียก ไปยังเครืองกำเนิดทางเคมี วึ่งผสมน้ำ กับ HCl เปียก เพื่อผลิต HCl ในน้ำ ; และ d) เครื่องสังเคราะห์ แอมโมเนีย ที่เชื่อมต่อกับเครื่องส ครับบ์เปียก โดยท่อส่งที่สาม, ท่อส่งที่สามส่งกระแสที่มี H2 และ N2 มาก ไปยังเครื่องสังเคราะห์ แอมโมเนีย NH3

27.ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ยังรวมนอกจากนั้นด้วย เครื่องก่อกำเนิด NH4OH ซึ่งส่ง NH3 เข้าในนั้น

28.ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ยังรวมนอกจากนั้นด้วย เครื่องก่อกำเนิด NH4F ซึ่งส่ง NH4OH เข้าในนั้น (ข้อถือสิทธิ 28 ข้อ, 6 หน้า, 3 รูป)