Claims (66)
1. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกสำหรับการ ปล่อยหยด หมึกออกไปเกาะติดบนสื่อ บันทึก ห้องของเหลวสำหรับการบรรจุ หมึกที่จะจัดส่งไปยังช่องปล่อยหมึก ออก ดังกล่าว เส้นทางการไหลของหมึกสำหรับ การทำให้ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวติดต่อ กับห้อง ของเหลวดังกล่าว ชิ้นส่วนก่อเกิดพลัง งานที่จัดเตรียมไว้ในเส้นทางการไหลของ หมึกดังกล่าวและ เหมาะสมสำหรับการก่อ เกิดพลังงานสำหรับการปล่อยหมึกออกไป และช่องจัดส่งหมึกสำหรับการ จัดส่งหมึก จากภายนอกเข้าในห้องของเหลวดังกล่าว ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการเชื่อมประสาน หรือ ยึดติดชิ้นประกอบแผ่น ที่ซึ่ง เมื่อแผ่นรูที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าว จะได้รับการก่อรูปขึ้นมาได้รับการดำเนิน การสร้าง ด้วยเลเซอร์ จะใช้แสงเลเซอร์ที่มี พัลส์จำนวนหนึ่งซึ่งมีความหนาแน่นของ พลังงานในช่วงเวลาและ ระวางที่ที่สูงมาก และปล่อยออกมาจากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์ สำหรับการออสซิลเลตแสงเลเซอร์ด้วย เวลา ปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที และ ลำแสงเลเซอร์ได้รับการฉายออกมาจากด้าน พื้น ผิวด้านนอกของแผ่นรูซึ่งอยู่คนละด้านกัน กับด้านจัดส่งหมึก เพื่อการก่อรูปปลายการ ดำเนินการสร้าง ช่องปล่อยหมึกออกขึ้นมา บนพื้นผิวด้านนอกของแผ่นรูดังกล่าวโดย การฉายแบบมีการโฟกัส1. The method for manufacturing inkjet recording heads involves an ink discharge channel for releasing ink droplets onto the recording medium, a liquid chamber for containing the ink to be delivered to the discharge channel, an ink flow path for the discharge channel to contact the liquid chamber, an energizing component provided in the ink flow path suitable for energizing the ink discharge, and an ink delivery channel for externally delivering ink into the liquid chamber. These components are formed by welding or bonding the plate components. When the perforated plate where the ink discharge channel is formed is laser-fabricated, a laser beam with a high energy density over time and displacement is emitted from a laser oscillator for oscillation of the laser beam with a pulse release time of less than 1 picosecond. The laser beam is projected from the outer surface of the perforated plate, opposite to the ink delivery side, to form the ink discharge channel on the outer surface of the perforated plate using focused projection.
2. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออก จำนวนหนึ่งได้รับการก่อรูปขึ้นมาอย่างพร้อมๆกัน ณ ช่วงที่กำหนดไว้ล่วงหน้าโดยการฉายแสงเลเซอร์ ผ่านแผ่นกำบังที่มีลายช่องเปิดจำนวนหนึ่งที่ก่อรูปขึ้นมา ณ ช่วงระยะพิทย์ที่กำหนดไว้ล่วงหน้า2. A method for the manufacture of inkjet printing heads under claim 1 in which a number of ink outlets are simultaneously formed at a predetermined interval by projecting a laser beam through a shielding plate with a number of openings formed at a predetermined pitch interval.
3. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึก ที่ซึ่งหัวบันทึกแบบพ่นหมึกสำหรับการขับหยด หมึกให้ลอยเคลื่อนออกมาเกาะติดบนสื่อบันทึกโดยการส่งความดันไปยังช่องปล่อยหมึกออกโดยการ ให้พลังงานแก่หมึกโดยการทำให้หมึกสัมผัสกับแหล่งก่อเกิดความดันได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการ ดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ ที่ซึ่ง เมื่อแผ่นรูที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวจะได้รับการก่อรูปขึ้นมาได้รับการดำเนินการสร้าง ด้วยเลเซอร์ จะใช้แสงเลเซอร์ที่มีพัลส์จำนวนหนึ่งซึ่งมีความหนาแน่นของพลังงานในช่วงเวลาและ ระวางที่ที่สูงมากและปล่อยออกมาจากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์สำหรับการออสซิลเลตแสงเลเซอร์ด้วย เวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที และ มีการกระทำการดำเนินการสร้างในแบบสามมิติ เพื่อสร้างรูปกรวยที่มีภาคตัดของการดำเนินการที่เปลี่ยนแปลงอย่างต่อเนื่องจากสันฐานที่สองสู่ สัณฐานที่หนึ่ง โดยการฉายลำแสงเลเซอร์ที่ปล่อยออกมาจากเลเซอร์ออสชิลเลเตอร์ลงบนแผ่นรูดัง กล่าวภายใต้ความหนาแน่นของพลังงานที่กำหนดไว้ล่วงหน้า และช่องเปิดเชิงตัวเลขที่กำหนดไว้ล่วง หน้า ณ จุดโฟกัสของการฉายของลวดลายของแผ่นกำบังโดยอาศัยลายของแผ่นกำบังดังกล่าวซึ่งมี สัณฐานที่สองซึ่งแตกต่างไปจากสัณฐานที่หนึ่งซึ่งเป็นสัณฐานภาคตัดของลำแสง ณ จุดที่ไม่ใช่จุด โฟกัสของลำแสงเลเซอร์3. Method for Fabricating Inkjet Recording Heads: An inkjet recording head, which propels ink droplets onto a recording medium by applying pressure to the ink outlets, is energized by contact with a pressure source. This is achieved through laser fabrication. A laser is used to create the perforated plate where the ink outlets are formed. A high pulsed laser beam with a very high energy density over time and distance is emitted from a laser oscillator. The laser beam is oscillated with a pulse release time less than 1 picosecond. Three-dimensional fabrication is performed to create a cone shape with a continuously changing cross-section from the second to the first morphology. The laser beam is projected onto the perforated plate under a predetermined energy density and with predetermined numerically defined openings at the projection focal points of the shielding pattern. The shielding pattern then develops a second morphology that differs from the first morphology, which is the cross-section of the beam at points outside the laser beam focal points.
4. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ3 ที่ซึ่งสัณฐานที่หนึ่งซึ่งเป็น สัณฐานภาคตัดของลำแสง ณ จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์เป็นสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมโดย ประมาณ และสัณฐานที่สองที่แตกต่างไปจากสัณฐานที่หนึ่งในลายของแผ่นกำบังดังกล่าวเป็น สัณฐานรูปวงกลมหรือวงรี และ รูปกรวยที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดทางด้านปล่อยหมึกออกเป็นสัณฐานรูป วงกลมหรือวงรี และสัณฐานภาคตัดทางด้านจัดส่งหมึกเป็นสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณจะ ได้รับการก่อรูปขึ้นมา4. The method for manufacturing the inkjet print head under claim 3, whereby the first morphology, which is the cross-sectional shape of the beam at the non-focal point of the laser beam, is approximately a polygon, and a second morphology, different from the first morphology in the shielding pattern, is circular or elliptical and conical in which the ink discharge cross-section is circular or elliptical and the ink delivery cross-section is approximately a polygon, is formed.
5. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ4 ที่ซึ่งสัณฐานรูปหลาย เหลี่ยมโดยประมาณของสัณฐานที่หนึ่งได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการใช้ลายภาพรูรับแสงรูปหลาย เหลี่ยมของเลนส์การฉาย5. Method for the manufacture of inkjet recording heads according to claim 4, where an approximate polygonal morphology of the first morphology is formed by applying a polygonal aperture pattern of a projection lens.
6. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ4 ที่ซึ่งสัณฐานรูปหลาย เหลี่ยมโดยประมาณของสัณฐานที่หนึ่งได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการใช้ลายของตัวจำกัดแสงรูป หลายเหลี่ยมของเลนส์การฉาย6. Method for the manufacture of inkjet recording heads according to claim 4, where an approximate polygonal shape of the first shape is formed by the application of polygonal light-restricting patterns of projection lenses.
7. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ3 ถึง ข้อ 6 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง สัณฐานภาคตัดทางด้านจัดส่งหมึกได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณที่ เชื่อมต่ออย่างไม่มีรอยสะดุดกับช่องจัดส่งหมึก7. A method for manufacturing inkjet printing heads pursuant to any one of claims 3 through 6, in which the cross-sectional shape of the ink delivery side is formed into an approximate polygonal shape that is seamlessly connected to the ink delivery channel.
8. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ3 ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดของ ลำแสงเป็นสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณ และ มีการกระทำการดำเนินการสร้างในแบบสาม มิติเพื่อสรางรูปกรวยบิดที่เปลี่ยนแปลงไปอย่างต่อเนื่องตามแนวการบิดในขณะที่เพิ่มพื้นที่ภาคตัด ของสัณฐานภาคตัดของหัวฉีดขึ้นจากสัณฐานที่สองไปสู่สัณฐานรูปหลายเหลี่ยม โดยการฉาย สัณฐานภาคตัดของลำแสงลงงบนแผ่นรูดังกล่าว ในขณะที่หมุนสัณฐานภาคตัดของลำแสงไปรอบ แกนมุขยสำคัญ ณ จุดโฟกัสของการฉายของลายของแผ่นกำบังดังกล่าวโดยผ่านทางลายของแผ่น กำบังดังกล่าวที่มีสัณฐานที่สอง8. A method for fabricating inkjet printing heads under claim 3 where the beam cross-section is approximately a polygonal shape and a three-dimensional fabrication operation is performed to create a continuously changing torsional cone along the torsion direction while increasing the cross-sectional area of the nozzle cross-section from a secondary shape to a polygonal shape by projecting the beam cross-section onto such a perforated plate while rotating the beam cross-section around the principal axis at the focal point of the projection of the shielding pattern through the shielding pattern with a secondary shape.
9. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิ ข้อ8 ที่ซึ่งรูปร่างกรวยบิดได้รับ การก่อรูปขึ้นมาเป็นรูปกรวยบิดที่มีสัณฐานก้นรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณที่บิดไปอย่างต่อเนื่อง โดยค่อยเป็นค่อยไปและไร้รอยสะดุด9. Method for the manufacture of inkjet recording heads according to claim 8, in which a twisted cone shape is formed into a twisted cone with an approximate polygonal base that twists continuously, gradually and without interruption.
10. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ8 หรือ 9 ที่ซึ่งรูปกรวยบิดได้ รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการก่อรูปสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมของสัณฐานภาคตัดของลำแสง ขึ้นมาที่จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์โดยการใช้ลายภาพรูรับแสงรูปหลายเหลี่ยมของเลนส์ การฉายและโดยการหมุนลายภาพรูรับแสงไปรอบแกนมุขยสำคัญโดยสัมพันธ์กับทิศทางไปหน้าของ การดำเนินการของชิ้นงาน10. A method for fabricating inkjet recording heads according to claim 8 or 9 where a torsion cone is formed by the formation of a polygonal cross-sectional shape of the laser beam at a non-focal point using a polygonal aperture pattern of the projection lens and by rotating the aperture pattern around the principal axis relative to the forward direction of the workpiece operation.
11. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ8 หรือ 9 ที่ซึ่งรูปกรวยบิดได้ รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการก่อรูปสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมของสัณฐานภาคตัดของลำแสง ขึ้นมาที่จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์โดยการใช้ลายของตัวจำกัดแสงรูปหลายเหลี่ยมของ เลนส์การฉายและโดยการหมุนลายของตัวจำกัดแสงไปรอบแกนมุขยสำคัญโดยสัมพันธ์กับทิศทางไป หน้าของการดำเนินการของชิ้นงาน11. A method for fabricating inkjet recording heads according to claim 8 or 9 where a torsional cone is formed by the formation of a polygonal cross-sectional shape of the laser beam at a non-focal point using a polygonal limiting pattern of the projection lens and by rotating the limiting pattern around the principal axis relative to the direction of workpiece operation.
12. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ3 ถึง 11 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง จุดโฟกัสได้รับการกำหนดไว้ที่ด้านพื้นผิวของแผ่นรูดังกล่าวที่หันเข้าหาด้านการฉายของลำแสง เลเซอร์ หรือตำแหน่งที่เว้นระยะห่างจากด้านพื้นผิวของแผ่นรูดังกล่าวที่หันเข้าหาด้านการฉายของ ลำแสงเลเซอร์ ซึ่งทำให้เกิดการดำเนินการสร้างในแบบสามมิติสำหรับการสร้างรูปกรวยขึ้นมา12. A method for the fabrication of any one of the claims 3 through 11 of the inkjet recording heads, where the focal point is set on the surface of such perforated plate facing the projection side of the laser beam, or at a distance from the surface of such perforated plate facing the projection side of the laser beam, which results in a three-dimensional fabrication operation for the creation of a cone shape.
13. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ3 ถึง 12 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ณ ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวของหัวบันทึกแบบพ่นหมึกดังกล่าว ฟิล์มกันน้ำจะได้รับการก่อรูปขึ้น มาในบริเวณใกล้กับช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าว ณ ด้านปล่อยหมึกออกของช่องปล่อยหมึกออก13. A method for manufacturing inkjet recorders under any of the claims 3 through 12 where, at the said ink outlet of such inkjet recorder, a waterproof film is formed in the vicinity of the said ink outlet on the outlet side of the ink outlet.
14. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึก ที่ซึ่งหัวบันทึกแบบพ่นหมึกออกโดยการขับหยด หมึกให้ลอยเคลื่อนออกมาเกาะติดบนสื่อบันทึกโดยการส่งความดันไปยังช่องปล่อยหมึกออกโดยการ ให้พลังงานแก่หมึกโดยการทำให้หมึกสัมผัสกับแหล่งก่อเกิดความดันได้รับการก่อรุปขึ้นมาโดยการ ดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ ที่ซึ่ง เมื่อแผ่นรูที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวจะได้รับการก่อรูปขึ้นมาได้รับการก่อรูปขึ้นมาได้รับการสร้าง ด้วยเลเซอร์ จะใช้แสงเลเซอร์ที่มีพัลล์จำนวนหนึ่งซึ่งมีความหนาแน่นของพลังงานในช่วงเวลาและ ระวางที่ที่สูงมากและปล่อยออกมาจากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์สำหรับการออสซิลเลตแสงเลเซอร์ด้วย เวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที และ มีการดำเนินการสร้างสัณฐานที่ซึ่งส่วนรูปกรวยที่ บานออกสู่ด้านปล่อยหมึกออกได้รับการเชื่อมต่อเข้ากับส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านจัดส่งหมึกโดย มีแกนสามาตรร่วมกันโดยการฉายภาพที่มีลายตามที่กำหนดไว้ล่วงหน้าโดยอาศัยลำแสง เลเซอร์ที่ปล่อยออกมาจากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์ลงบนแผ่นรูดังกล่าวภายใต้ความหนาแน่นของพลัง งานที่กำหนดไว้ล่วงหน้า และช่องเปิดเชิงตัวเลขที่กำหนดไว้ล่วงหน้า ณ จุดโฟกัสของการฉาย14. Method for fabricating inkjet recording heads, where inkjet prints are propelled by pushing ink droplets onto a recording medium by applying pressure to the ink outlets. The ink is energized by contact with a pressure source and formed using a laser process. A laser beam with a high energy-duration and displacement density is emitted from a laser oscillator with a pulse release time less than 1 picosecond. The shape is then formed by connecting the flared cones towards the ink outlets to the flared cones towards the ink delivery sides, sharing a common axis. A predetermined pattern is projected onto the perforated plate using the laser beam from the laser oscillator, under a predetermined energy density and with predetermined numerically defined openings at the projection focal point.
15. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่ซึ่งส่วนรูปกรวยที่บาน ออกสู่ดด้านปล่อยหมึกออกได้รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการกำหนดจุดโฟกัสไว้ ณ ตำแหน่งที่ อยู่ถัดไปทางด้านหลังของพื้นผิวปล่อยหมึกออกของแผ่นรูดังกล่าว และ ส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ ด้านจัดส่งหมึกได้รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการกำหนดจุดโฟกัสไว้ ณ ส่วนที่ซึ่งส่วนรูปกรวย ได้รับการเชื่อมต่อกันโดยมีแกนสมมาตรร่วมกัน หลังจากที่ได้ดำเนินการสร้างส่วนรูปกรวยที่บานออก สู่ด้านปล่อยหมึกออกขึ้นมาแล้ว15. The method for fabricating the inkjet recording head pursuant to claim 14, whereby the flared cone towards the ink discharge side is fabricated by setting the focal point at a position adjacent to the ink discharge surface of the perforated plate, and the flared cone towards the ink delivery side is fabricated by setting the focal point at the point where the cones are connected by a common axis of symmetry, after which the flared cone towards the ink discharge side has been fabricated.
16. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ14 หรือ 15 ที่ซึ่งรูปกรวยที่ ซึ่งส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านปล่อยหมึกออกใหญ่กว่าส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านจัดส่งหมึกจะ ได้รับการก่อรูปขึ้นมา16. A method for the manufacture of inkjet recording heads according to claims 14 or 15, in which a cone shape in which the flared portion towards the ink discharge side is larger than the flared portion towards the ink delivery side is formed.
17. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ14 ถึง 16 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยวัสดุชนิดไฮโดรฟิลิก17. A method for manufacturing inkjet recording heads under any of the claims 14 through 16, in which such ink outlets are formed by hydrophilic material.
18. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ14 ถึง 17 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ฟิล์มกันน้ำได้รับการก่อรูปขึ้นมาบนพื้นผิวของส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านปล่อยมืออออก และ ณ พื้นที่ในบริเวณใกล้กับช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าว ณ ด้านปล่อยหมึกออกของช่องปล่อยหมึกออก18. A method for the manufacture of inkjet recording heads under any of the claims 14 through 17 where a waterproof film is formed on the surface of the flared conical section towards the discharge side and in the area near the discharge port at the discharge side of the discharge port.
19. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งฟิล์มกันน้ำดังกล่าว ได้รับการเคลือบลงบนด้านปล่อยหมึกออกหลังจากการดำเนินการสร้างส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ ด้านปล่อยหมึกออก และ หลังจากนั้น จะมีการดำเนินการสร้างส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านจัดส่ง หมึกขึ้นมา19. Method for manufacturing inkjet recording heads according to claim 18, in which such waterproof film is coated onto the discharge side after the formation of the flared cone section toward the discharge side, and subsequently the formation of the flared cone section toward the delivery side.
20. วิธีกาสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ14 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง รูปกรวยของช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นส่วนรูปกรวย20. A method for manufacturing inkjet recording heads under any of the claims 14 through 19, in which the cone shape of the ink outlet port is formed into a conical shape.
21. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ14 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง รูปกรวยของช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นส่วนรูปปิรามิดหลายเหลี่ยม21. A method for manufacturing inkjet recording heads according to any of the claims 14 through 19, in which the cone-shaped ink outlet is formed into a polygonal pyramid.
22. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ21 ที่ซึ่งส่วนรูปปิรามิดหลาย เหลี่ยมได้รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการใช้ลำแสงเลเซอร์ที่มีสัณฐานภาคตัดของลำแสงรูป หลายเหลี่ยม22. Method for the manufacture of inkjet recording heads according to claim 21, in which polygonal pyramidal sections are formed by the use of a laser beam with a polygonal cross-sectional shape.
23. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ22 ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดของ ลำแสงรูปหลายเหลี่ยมของลำแสงเลเซอร์ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการใช้ลายภาพรูรับแสงรูปหลาย เหลี่ยมของเลนส์การฉาย23. Method for the manufacture of inkjet recording heads according to claim 22, in which the cross-sectional morphology of the laser beam is formed by the application of a polygonal aperture pattern of the projection lens.
24. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ22 ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดของ ลำแสงรูปหลายเหลี่ยมของลำแสงเลเซอร์ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการใช้ลายของตัวจำกัดแสงรูป หลายเหลี่ยมของเลนส์การฉาย24. Method for the manufacture of inkjet recording heads according to claim 22, in which the cross-sectional shape of the laser beam polygon is formed by the application of polygonal light restrictor patterns of projection lenses.
25. วิธีการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง รูปกรวยของช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นส่วนรูปกรวยบิด25. Any method of manufacturing inkjet recording heads under claims 14 through 19 in which the cone shape of the ink outlet is formed into a twisted cone shape.
26. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 25 ที่ซึ่งส่วนรูปกรวยบิดได้ รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการฉายสัณฐานภาคตัดของลำแสงของลำแสงเลเซอร์ลงบนชิ้นงาน ในขณะที่หมุนไปรอบแกนมุขยสำคัญ26. Method for the fabrication of inkjet recording heads according to claim 25, in which a torsional cone is formed by projecting a cross-sectional shape of a laser beam onto a workpiece while it rotates around its principal axis.
27. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ16 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง รูปกรวยของช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาในรูปผสมของส่วนรูปกรวย ส่วนรูปปิรามิดหลายเหลี่ยม หรือ ส่วนรูปกรวยบิด27. Methods for manufacturing inkjet recording heads under any of the claims 16 to 19, where the ink discharge cone is constructed in a combination of conical, polygonal pyramidal, or torn conical sections.
28. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ1 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ชิ้นประกอบสำหรับการก่อรูปช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาจากเรซิน28. A method for manufacturing inkjet recording heads under any of the claims 1 through 27, in which the components for forming the ink outlet channels are formed from resin.
29. วิธีการสำหรับการผลิตหวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ1 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ชิ้นประกอบสำหรับการก่อรูปช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาจาก Si หรือ สาร ประกอบ Si29. A method for manufacturing any one of the inkjet recorders under claims 1 through 27, in which the components for forming the ink outlet channels are formed from Si or Si compounds.
30. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ1 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ความยาวคลื่นของแสงเลเซอร์อยู่ภายในช่วงจาก 350 นาโนเมตร ถึง 1000 นาโนเมตร30. A method for manufacturing inkjet recording heads pursuant to any of the claims 1 through 27, where the wavelength of the laser light is within the range of 350 nanometers to 1000 nanometers.
31. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นตามข้อถือสิทธิข้อ1 ถึง 30 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง เวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ของแสงเลเซอร์เท่ากับ 500 เฟมโตวินาที หรือน้อยกว่านั้น31. A method for the manufacture of spray-type recording heads under any of the claims 1 through 30, where the pulsed laser discharge time is 500 femtoseconds or less.
32. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ1 ถึง 31 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ความหนาแน่นของพลังงานของลำแสงเลเซอร์สอดคล้องตามความสัมพันธ์ที่ตามมานี้ (a x n x E)/t > 13 x106 (วัตต์/ชม.2) โดย a คืออัตราการดูดกลืนของวัสดุของชิ้นงานสำหรับความยาวคลื่นของเลเซอร์ที่ฉายลงไป n คือ ช่องเปิดเชิงตัวเลขของระบบเชิงแสงสำหรับการฉายลายการดำเนินการสร้างลงบนชิ้นงานที่ด้านข้าง ของชิ้นงาน E (หน่วย (จูล/ซม.2/พัลล์)) คือพลังงานต่อหนึ่งหน่วยเวลาของพัลล์การออสซิลเลตต่อ หนึ่งหน่วยพื้นที่ของแสงเลเซอร์ที่ฉายลงบนวัสดุของชิ้นงาน และ t (หน่วย (วินาที}) คือความกว้าง ของเวลาของพัลส์การออสซิลเลตของเลเซอร์ดังกล่าว32. A method for the manufacture of inkjet printing heads under any of the claims 1 through 31 where the energy density of the laser beam conforms to the following relationship (a x n x E)/t > 13 x 10⁶ (W/h²), where a is the absorption rate of the workpiece material for the wavelength of the projected laser, n is the numerical aperture of the optical system for projecting the fabrication pattern onto the workpiece side, E (J³/cm²/pulse) is the energy per unit time of the oscillation pulse per unit area of the projected laser beam onto the workpiece material, and t (t³) is the time width of the said laser oscillation pulse.
33. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ1 ถึง 32 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง เลเซอร์ออสซิลเลเตอร์ดังกล่าวมีอุปกรณ์อัดในระวางที่สำหรับการแผ่กระจายแสง33. A method for manufacturing inkjet recording heads under any of the claims 1 through 32, in which such laser oscillators have a compression device in the area for light emission.
34. วิธีการสำหรับการผลิตหัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 33 ที่ซึ่งอุปกรณ์อัดในระวาง ที่ดังกล่าวสำหรับการแผ่กระจายแสงประกอบสร้างขึ้นมาโดยอุปกรณ์ก่อเกิดเชิร์พพิงพัลส์ และ อุปกรณ์การชิงโครไนซ์แบบแผนตามยาวที่ใช้ประโยชน์จากสมบัติการกระจายของความยาวคลื่นแสง34. A method for the manufacture of inkjet recording heads pursuant to claim 33, in which the compression device for the light dispersion is constructed by a pulse-generating device and a longitudinal synchronization device that takes advantage of the light wavelength dispersion properties.
35. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกี่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกสำหรับการปล่อยหมึกออกดังกล่าว เส้นทาง การไหลของหมึกสำหรับการทำให้ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวติดต่อกับห้องของเหลวดังกล่าว ชิ้น ส่วนก่อเกิดพลังงานที่จัดเตรียมไว้ในเส้นทางการไหลของหมึกดังกล่าวและเหมาะสมสำหรับการก่อ เกิดพลังงานสำหรับการปล่อยหมึกออกไป และ ช่องจัดส่งหมึกสำหรับการจัดส่งหมึกจากภายนอก เข้าในห้องของเหลวดังกล่าว ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการเชื่อมประสานหรือยึดติดชิ้นประกอบแผ่น ที่ซึ่ง ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวมีสัณฐานภาคตัดที่เรียวเล็กลงซึ่งสัณฐานภาคตัดที่ได้รับการ ดำเนินการสร้างโดยการฉายลายการดำเนินการสร้างช่องปล่อยหมึกออกแบบมีการโฟกัสลงบนพื้น ผิวด้านนอกของแผ่นรูที่อยู่คนละด้านกันกับด้านจัดส่งหมึกโดยการฉายลำแสงเลเซอร์ที่มีพัลส์จำนวน หนึ่งซึ่งมีความหนาแน่นของพลังงานในช่วงเวลาและระวางที่ที่สูงมากและปล่อยออกมาจากเลเซอร์ ออสซิลเลเตอร์สำหรับการออสซิลเลตแสงเลเซอร์ด้วยเวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที ลงบนพื้นผิวด้านนอกของแผ่นรูดังกล่าว จะเรียวเล็กลงสู่พื้นผิวด้านนอกของแผ่นรูดังกล่าว35. An inkjet recording head with an ink outlet channel for ink discharge, an ink flow path for the outlet channel to connect to the liquid chamber, an energizing component provided in the ink flow path and suitable for energizing the ink discharge, and an ink delivery channel for external ink delivery into the liquid chamber are formed by bonding or gluing the plate components. The ink outlet channel has a tapered cross-section, which is created by projecting a focused laser beam with a high energy density over time and distance onto the outer surface of the perforated plate opposite to the ink delivery side. This is achieved by projecting a laser beam with a pulsed release time of less than 1 picosecond onto the outer surface of the perforated plate, tapering it towards the outer surface of the perforated plate.
36. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 35 ที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกจำนวนหนึ่งได้รับการ ก่อรูปขึ้นมา ณ ช่วงที่กำหนดไว้ล่วงหน้า36. An inkjet recording head pursuant to claim clause 35, in which a certain number of ink outlets are formed at predetermined intervals.
37. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกสำหรับการขับหยดหมึกให้ลอยเคลื่อนออกมาเกาะติดบนสื่อบันทึก โดยการส่งความดันไปยังช่องปล่อยหมึกออกโดยการให้พลังงานแก่หมึกโดยการทำให้หมึกสัมผัสกับ แหล่งก่อเกิดความดัน ที่ซึ่ง ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวมีสัณฐานภาคตัดรูปกรวยที่เปลี่ยนแปลงอย่างต่อเนื่องจาก สัณฐานที่สองสู่สัณฐานที่หนึ่งซึ่วด้รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการใช้แสงเลเซอร์ที่มีพัลส์ จำนวนหนึ่งซึ่งมีความหนาแน่นของพลังงานในช่วงเวลาและระวางที่ที่สูงมากและปลดปล่อยออกมาจาก เลเซอร์ออสซิลเลเตอร์สำหรับการออสซิลเลตแสงเลเซอร์ด้วยเวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที ในลักษณะที่ว่าแผ่นรูจะได้รับการฉายด้วยลำแสงเลเซอร์ที่ปล่อยออกมาจากเลเซอร์- ออสซิลเลเตอร์ภายใต้ความหนาแน่นของพลังงานที่กำหนดไว้ล่วงหน้า และช่องเปิดเชิงตัวเลขที่ กำหนดไว้ล่วงหน้า ณ จุดโฟกัสของการฉายของลายของแผ่นกำบังโดยอาศัยลายของแผ่นกำบังดัง กล่าวซึ่งมีสัณฐานที่สองซึ่งแตกต่างไปจากสัณฐานที่หนึ่งซึ่งเป็นสัณฐานภาคตัดของลำแสง ณ จุดที่ ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเเลเซอร์37. An inkjet recording head drives ink droplets to float and adhere to a recording medium by applying pressure to the ink outlet channel. This is achieved by energizing the ink through contact with a pressure source, where the outlet channel has a continuously changing cone-sectional shape from a second to a first shape. This shape is created using a series of pulsed laser beams with a very high energy density over time and space, emitted from a laser oscillator with a pulse emission time of less than 1 picosecond. The perforated plate is then projected with a laser beam emitted from the laser oscillator at a predetermined energy density, creating predetermined numerically defined openings at the focal points of the shielding pattern. This shielding pattern has a second shape, distinct from the first, which is the cross-sectional shape of the beam at a point outside the laser beam focal point.
38. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 37 ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดของช่องปล่อยหมึกออก ดังกล่าว ณ ด้านปล่อยหมึกออกเป็นรูปวงกลมหรือวงรี และสัณฐานภาคตัด ณ ด้านจัดส่งหมึก ของช่องปล่อยหมึกออกเป็นรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณ38. An inkjet recording head pursuant to claim 37 where the cross-sectional shape of the ink outlet port at the outlet side is circular or elliptical, and the cross-sectional shape at the ink delivery side of the ink outlet port is approximately a polygon.
39. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 38 ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัด ณ ด้านจัดส่งหมึกได้รับ การก่อรูปขึ้นมาเป็นสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณที่เชื่อมต่ออย่างไม่มีรอยสะดุดกับเส้นทาง จัดส่งหมึก39. An inkjet recording head pursuant to claim 38, where the cross-sectional shape at the ink delivery side is formed into an approximate polygonal shape that seamlessly connects to the ink delivery path.
40. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิ ข้อ 37 ที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวมีรูปร่างเป็นรูป กรวยบิตต่อเนื่องที่บิดไปอย่างค่อยเป็นค่อยไปไร้รอยสะดุด และ ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดของช่องปล่อย หมึกออกดังกล่าว ณ ด้านปล่อยหมึอออกเป็นรูปวงกลมหรือวงรี และสัณฐานภาคตัด ณ ด้านจัดส่ง หมึกของช่องปล่อยหมึกออกเป็นรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณ40. An inkjet recording head pursuant to claim paragraph 37 where the ink outlet is shaped like a continuous, smoothly twisting bit cone, and where the cross-section of the ink outlet at the outlet side is circular or elliptical, and the cross-section at the delivery side of the ink outlet is approximately a polygon.
41. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 40 ที่ซึ่งรูปร่างกรวยบิดเป็นรูปกรวยบิดที่มีสัณฐาน กันต่อเนื่องรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณที่บิดไปอย่างค่อยเป็นค่อยไปไร้รอยสะดุด41. An inkjet recording head pursuant to claim clause 40, in which the torn cone shape is a continuous, approximately polygonal shape that twists gradually and smoothly without interruption.
42. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ37 ถึง 41 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ณ ช่องปล่อยหมึก ออกดังกล่าว ฟิล์มกันน้ำได้รับการก่อรูปขึ้นมาในบริเวณใกล้กับช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าว ณ ด้าน ปล่อยหมึกออกของช่องปล่อยหมึกออก42. An inkjet recording head pursuant to any of the claims 37 to 41, where at the said ink outlet, a waterproof film is formed in the vicinity of the said ink outlet on the ink outlet side of the ink outlet.
43. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกสำหรับการขับหยดหมึกให้ลอยเคลื่อนออกมาเกาะติดบนสื่อบันทึก โดยการส่งความดันไปยังช่องปล่อยหมึกออกโดยการให้พลังงานแก่หมึกโดยการทำให้หมึกสัมผัสกับ แหล่งก่อเกิดความดัน ที่ซึ่ง ช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวมีสัณฐานภาคตัดที่ซึ่งส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านปล่อยหมึก ออกได้รับการเชื่อมต่อเข้ากับส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านจัดส่งหมึกโดยมีแกนสมมาตรร่วมกัน43. An inkjet recording head propels ink droplets to adhere to a recording medium by applying pressure to an ink discharge channel. This pressure is applied to the ink by energizing it through contact with a pressure source. The discharge channel has a cross-sectional shape where the flared cone facing the discharge side is connected to the flared cone facing the delivery side, sharing a common axis of symmetry.
44. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ43 ที่ซึ่งการขยายออกของส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ ด้านปล่อยหมึกออกจะมากกว่าการขยายออกของส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านจัดส่งหมึก44. An inkjet recording head pursuant to claim paragraph 43 where the expansion of the conical flare toward the ink discharge side is greater than the expansion of the conical flare toward the ink delivery side.
45. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 43 หรือ 44 ที่ซึ่งช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าวได้รับ การก่อรูปขึ้นมาโดยวัสดุชนิดไฮโดรฟิลิก45. An inkjet recording head as per claim 43 or 44, where the ink outlet is formed by a hydrophilic material.
46. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 43 ถึง 45 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งฟิล์มกันน้ำได้รับการ ก่อรูปขึ้นมาบนพื้นผิวของส่วนรูปกรวยที่บานออสู่ด้านปล่อยหมึกออก และ ณ พื้นที่ในบริเวณใกล้ กับช่องปล่อยหมึกออกดังกล่าว ณ ด้านปล่อยหมึกออกของช่องปล่อยหมึกออก46. An inkjet recording head pursuant to any of the claims 43 through 45 where a waterproof film is formed on the surface of the flared cone portion towards the ink outlet side and in the area near the said ink outlet port at the ink outlet side of the ink outlet port.
47. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 46 ที่ซึ่งฟิล์มกันน้ำดังกล่าวได้รับการเคลือบลงบน ด้านปล่อยหมึกออกหลังจากการดำเนินการสร้างส่วนรูปกรวยที่บานออกสู่ด้านปล่อยหมึกออก และ หลังจากนั้น จะมีการดำเนินการสร้างส่วนรูปกรวยที่บานอกสู่ด้านจัดส่งหมึกขึ้นมา47. An inkjet recording head pursuant to claim 46 where such waterproof film is coated onto the discharge side after the expansion of the discharge side cone formation operation and subsequently the expansion of the delivery side cone formation operation.
48. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 43 ถึง 47 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งรูปกรวยของช่องปล่อย หมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นส่วนรูปกรวย48. An inkjet recording head pursuant to any of the claims 43 through 47, where the cone shape of the ink outlet is formed into a conical shape.
49. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 43 ถึง 47 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งรูปกรวยของช่องปล่อย หมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นส่วนรูปปิรามิดหลายเหลี่ยม49. An inkjet recording head pursuant to any of the claims 43 through 47, where the cone-shaped ink outlet is formed into a polygonal pyramid.
50. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 43 ถึง 47 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งรูปกรวยของช่องปล่อย หมึกออกดังกล่าวได้รับการก่อรูปขึ้นมาเป็นส่วนรูปกรวยบิด50. An inkjet recording head pursuant to any of the claims 43 through 47, where the cone shape of the ink outlet is formed into a twisted cone shape.
51. หัวบันทึกแบบพ่นหมึกตามข้อถือสิทธิข้อ 43 ถึง 47 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งรูปกรวยของช่องปล่อย หมึกออกดังกล่าวได้รับการดำเนินการสร้างขึ้นมาในรูปผสมของส่วนรูปกรวย ส่วนรูปปิรามิดหลาย เหลี่ยม หรือ ส่วนรูปกรวยบิด51. An inkjet recording head pursuant to any of the claims 43 to 47 where the cone of the ink outlet is constructed in the form of a conical section, a polygonal pyramid, or a torn cone section.
52. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์สำหรับกระทำการดำเนินการกัดกร่อนด้วยเลเซอร์สำหรับ ชิ้นงานโดยการฉายลำแสงเลเซอร์ลงบนชิ้นงาน ที่ซึ่ง เมื่อรูทะลุได้รับการก่อรูปขึ้นมาในชิ้นงานโดยการดำเนินการกัดกร่อน จะใช้แสงเลเซอร์ที่มี พัลส์จำนวนหนึ่งซึ่งมีความหนาแน่นของพลังงานในช่วงเวลาและระวางที่ที่สูงมากและปล่อยออกมา จากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์สำหรับการออสซิลเลเซอร์ด้วยเวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที และ ลำแสงเลเซอร์ได้รับการฉายออกมาจากด้านพื้นผิวด้านนอกของชิ้นงานที่ซึ่งรูทะลุได้ รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการดำเนินการกัดกร่อนด้วยเลเซอร์ ด้วยเหตุนี้ จึงเป็นการดำเนินการกับชิ้น งานโดยการฉายลายการดำเนินการสร้างรูทะลุลงบนพื้นผิวด้านนอกของชิ้นงานแบบมีการโฟกัส52. Laser Fabrication Method for Laser Etching Workpieces: Laser etching is performed by projecting a laser beam onto the workpiece where holes are formed by the etching process. A series of pulsed laser beams with very high energy density over time and displacement are emitted from a laser oscillator with a pulse release time of less than 1 picosecond. The laser beam is projected from the outer surface of the workpiece where the holes are formed by laser etching. Therefore, the process involves projecting a focused hole-forming pattern onto the outer surface of the workpiece.
53. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิข้อ52 ที่ซึ่งรูทะลุจำนวนหนึ่งได้รับการก่อ รูปขึ้นมาอย่างพร้อมๆ กัน ณ ช่วงที่กำหนดไว้ล่วงหน้าโดยการฉายแสงเลเซอร์ผ่านแผ่นกำบังที่มีลาย ช่องเปิดจำนวนหนึ่งที่ก่อรูปขึ้นมา ณ ช่วงระยะพิทซ์ที่กำหนดไว้ล่วงหน้า53. The laser fabrication procedure pursuant to claim 52, in which a number of through holes are simultaneously formed at a predetermined interval by projecting a laser beam through a patterned shield with a number of openings formed at a predetermined pitch.
54. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์สำหรับการกระทำการดำเนินการกัดกร่อนด้วยเลเซอร์โดย การฉายลำแสงเลเซอร์จากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์ที่ปล่อยพัลล์ของแสงที่มีความหนาแน่นของพลังงาน ในช่วงเวลาและระวางที่ที่สูงออกมาด้วยเวลาปลดปล่อยเป็นพัลส์ที่ต่ำกว่า 1 พิโกวินาที ลงลนชิ้นงาน อย่างต่อเนื่อง ที่ซึ่ง มีการกระทำการดำเนินการสร้างในแบบสามมิติเพื่อสร้างรูปกรวยที่มีภาคตัดของการดำเนิน การที่เปลี่ยนแปลงอย่างต่อเนื่องจากสัณฐานที่ลองสู่สัณฐานที่หนึ่ง โดยการฉายลำแสงเลเซอร์ที่ ปล่อยออกมาจากเลเซอร์ออสซิลเลเตอร์ดังกล่าวลงบนชิ้นงานภายใต้ความหนาแน่นของพลังงานที่ กำหนดไว้ล่วงหน้า และช่องเปิดช่องตัวเลขที่กำหนดไว้ล่วงหน้า ณ จุดโฟกัสของการฉายของลายของ แผ่นกำบังที่กำหนดไว้ล่วงหน้าโดยอาศัยลายของแผ่นกำบังดังกล่าวซึ่งมีสัณฐานที่สองซึ่งแตกต่างไป จากสัณฐานที่หนึ่งซึ่งเป็นสัณฐานภาคตัดของลำแสง ณ จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์54. Laser Fabrication Method for Laser Etching: Laser etching is performed by continuously projecting a laser beam from a laser oscillator that emits pulses of high energy density over a short period and distance with a pulse release time of less than 1 picosecond onto the workpiece. This is done in three dimensions to create a cone shape with a continuously changing cross-section from the first morphology. The laser beam is projected onto the workpiece under a predetermined energy density and predetermined numerical openings at the focal points of a predetermined shielding pattern. This shielding pattern has a second morphology that differs from the first, which is the cross-section of the beam at a point outside the laser beam focal point.
55. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ54 ที่ซึ่งสัณฐานที่หนึ่งซึ่งเป็นสัณฐาน ภาคตัดของลำแสง ณ จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการใช้ลาย ภาพรูรับแสงรูปหลายเหลี่ยมของเลนส์การฉาย55. The laser fabrication procedure under claim 54, in which the first morphology, which is a cross-sectional morphology of the laser beam at a non-focal point of the laser beam, is formed by the application of a polygonal aperture pattern of the projection lens.
56. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ54 ที่ซึ่งสัณฐานที่หนึ่งซึ่งเป็นสัณฐาน ภาคตัดของลำแสง ณ จุดที่ไม่ใช่จุโฟกัสของลำแสงเลเซอร์ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการใช้ลายของ ตัวจำกัดแสงรูปหลายเหลี่ยมของเลนส์การฉาย56. The laser fabrication procedure under claim 54, in which the first morphology, which is a cross-section of the laser beam at a non-focal point, is formed by the application of a polygonal beam-restricting pattern of the projection lens.
57. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ54 ที่ซึ่งสัณฐานภาคตัดของลำแสงเป็น สัณฐานรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณ และ มีการกระทำการดำเนินการสร้างในแบบสามมิติเพื่อสร้าง รูปกรวยบิดที่เปลี่ยนแปลงไปอย่างต่อเนื่องตามแนวการบิดในขณะที่เพิ่มพื้นที่ภาคตัดของสัณฐาน ภาคตัดของชิ้นงานขึ้น จากสัณฐานที่กำหนดไว้ล่วงหน้าสู่สัณฐานรูปหลายเหลี่ยม โดยการฉาย สัณฐานภาคตัดของลำแสงลงบนชิ้นงาน ในขณะที่หมุนสัณฐานภาคตัดของลำแสงไปรอบแกน มุขยสำคัญ ณ จุดโฟกัสของการฉายของลายของแผ่นกำบังดังกล่าวโดยผ่านทางลายของแผ่นกำบัง ดังกล่าวที่มีสัณฐานที่สอง57. The laser fabrication procedure under claim 54, in which the beam cross-sectional shape is an approximate polygonal shape, is performed in three dimensions to create a continuously changing torsional cone while increasing the cross-sectional area of the workpiece from a predefined shape to a polygonal shape by projecting the beam cross-sectional shape onto the workpiece while rotating the beam cross-sectional shape around the principal axis at the focal point of the projection of the shielding pattern through the shielding pattern with a second shape.
58. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิข้อ57 ที่ซึ่งรูปร่างกรวยบิดได้รับการก่อรูป ขึ้นมาเป็นรูปกรวยบิดที่มีสัณฐานก้นรูปหลายเหลี่ยมโดยประมาณที่บิดไปอย่างต่อเนื่องโดยค่อยเป็น ค่อยไปและไร้รอยสะดุด58. The laser fabrication procedure pursuant to claim 57, in which a torsion cone is formed into a torsion cone of approximately polygonal base shape that is continuously and gradually twisted without interruption.
59. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ57 หรือ58 ที่ซึ่งรูปกรวยบิดได้รับการ ดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการก่อรูปสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมของสัณฐานภาคตัดของลำแสงขึ้นมาที่ จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์โดยการใช้ลายภาพรูรับแสงรูปหลายเหลี่ยมของเลนส์การฉาย และโดยการหมุนลายภาพรูรับแสงดังกล่าวไปรอบแกนมุขยสำคัญโดยสัมพันธ์กับทิศทางไปหน้าของ การดำเนินการของชิ้นงาน59. The laser fabrication procedure pursuant to claim 57 or 58, in which a torsion cone is fabricated by forming a polygonal cross-sectional shape of the laser beam at a non-focal point using a polygonal aperture pattern of the projection lens and by rotating such aperture pattern around the principal axis relative to the forward direction of the workpiece.
60. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ57 หรือ58 ที่ซึ่งรูปกรวยบิดได้รับการ ดำเนินการสร้างขึ้นมาโดยการก่อรูปสัณฐานรูปหลายเหลี่ยมของสัณฐานภาคตัดของลำแสงขึ้นมาที่ จุดที่ไม่ใช่จุดโฟกัสของลำแสงเลเซอร์โดยการใช้ลายของตัวจำกัดแสงรูปหลายเหลี่ยมของเลนส์การ ฉายและโดยการหมุนลายของตัวจำกัดแสงดังกล่าวไปรอบแกนมุขยสำคัญโดยสัมพันธ์กับทิศทางไป หน้าของการดำเนินการของชิ้นงาน60. The laser fabrication procedure pursuant to claim paragraph 57 or 58, in which a torsion cone is fabricated by the formation of a polygonal cross-sectional shape of the laser beam at a non-focal point using a polygonal limiting pattern of the projection lens and by rotating such limiting pattern around the principal axis relative to the direction of workpiece forward.
61. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ54 ถึง 60 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งจุดโฟกัส ได้รับการกำหนดไว้ที่ด้านพื้นผิวของชิ้นงานที่หันเข้าหาด้านการฉายของลำแสงเลเซอร์ หรือที่ ตำแหน่งที่เว้นระยะห่างจากด้านพื้นผิวของชิ้นงานที่หันเข้าหาด้านการฉายของลำแสงเลเซอร์ ซึ่งทำ ให้เกิดการดำเนินการสร้างในแบบสามมิติสำหรับการสร้างรูปกรวยขึ้นมา61. Any of the laser fabrication methods under Patents 54 through 60 where the focal point is set on the surface of the workpiece facing the projection side of the laser beam or at a position at a distance from the surface of the workpiece facing the projection side of the laser beam, resulting in a three-dimensional fabrication operation for the creation of a cone.
62. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ52 ถึง 61 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง ความยาวคลื่นของแสงเลเซอร์อยู่ภายในช่วงจาก 350 นาโนเมตร ถึง 1000 นาโนเมตร62. Any of the laser fabrication methods under claims 52 through 61, where the wavelength of the laser light is within the range of 350 nanometers to 1000 nanometers.
63. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ52 ถึง 62 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งเวลาปลด ปล่อยดเป็นพัลส์ของแสงเลเซอร์เท่ากับ 500 เฟมโตวินาที หรือน้อยกว่านั้น63. Any of the laser fabrication methods under claims 52 through 62 where the laser pulse release time is 500 femtoseconds or less.
64. วิธีการดำเนินการรสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ52 ถึง 63 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งชิ้นงานได้ รับการก่อรูปขึ้นมาจาก Si หรือ สารประกอบ Si64. Any of the laser fabrication methods under Patents 52 through 63 where the workpiece is formed from Si or a Si compound.
65. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ52 ถึง 64 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งเลเซอร์ ออสซิลเลเตอร์ดังกล่าวมีอุปกรณ์อัดในระวางที่สำหรับการแผ่กระจายแสง65. A method of laser fabrication pursuant to any one of the claims 52 through 64, in which such laser oscillator has a compression device in the area for light emission.
66. วิธีการดำเนินการสร้างด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิ ข้อ65 ที่ซึ่งอุปกรณ์อัดในระวางที่ดังกล่าว สำหรับการแผ่กระจายแสงประกอบสร้างขึ้นมาโดยอุปกรณ์ก่อเกิดเชิร์พพิงพัลส์ และ อุปกรณ์การ ซิงโครไนซ์แบบแผนตามยาวที่ใช้ประโยชน์จากสมบัติการกระจายของความยาวคลื่นแสง66. The procedure for the laser fabrication pursuant to claim paragraph 65, in which the aforementioned compression device for the light emission is constructed by a pulse-generating device and a longitudinal synchronization device that takes advantage of the wavelength dispersion properties of light.