TH45060B - วิธีการและอุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติเชิงอิเล็กโทรไลต์ของพื้นผิวนำไฟฟ้าของชิ้นวัสดุรูปแผ่นและแผ่นบางที่คั่นแยกจากกัน และ การประยุกต์ใช้วิธีการ - Google Patents

Abstract

DC60 สำหรับการปฏิบัติเชิงอิเล็กโทรไลต์ของแผงวงจรและแผ่นบาง LP จะใช้วิธีการและ อุปกรณ์ที่ซึ่งมีการ ลำเลียงแผ่นและแผ่นบางผ่านชุดการปฏิบัติ และ ด้วย เหตุนี้ ได้รับการนำเข้าสัมผัส กับของไหลเพื่อการ ปฏิบัติ 3 แผ่นและแผ่นบางได้รับการนำในระหว่าง การลำเลียงผ่านชุดระบบ อิเล็กโทรดอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชุดซึ่งประกอบด้วยอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทด 6 และอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแอโนด 7 ตามลำดับ โดยอิเล็กโทรดผ่าน การทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทดและแอโนดได้รับ การทำให้เข้าสัมผัสกับของไหลเพื่อการปฏิบัติ อิเล็ก โทรดผ่าน การทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทดและอิเล็ก โทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแอโนดได้รับการ เชื่อมต่อ เข้ากับแหล่งกระแส/แรงดัน 8 เพื่อให้มีการ ไหลของกระแสผ่านอิเล็กโทรด 6, 7 และพื้นผิวนำไฟ ฟ้า 4 สำหรับการปฏิบัติด้วยการแยกด้วยไฟฟ้าต่อแผงวงจรและแผ่นบาง LP จะใช้วิธีการและ อุปกรณ์ที่ซึ่งมีการ ลำเลียงแผ่นและแผ่นบางผ่านชุดการปฏิบัติ และ ด้วย เหตุนี้ ได้รับการนำเข้าสัมผัส กับของไหลเพื่อการ ปฏิบัติ 3 แผ่นและแผ่นบางได้รับการนำในระหว่าง การลำเลียงผ่านชุดระบบ อิเล็กโทรดอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชุดซึ่งประกอบด้วยอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทด 6 และอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแอโนด 7 ตามลำดับ โดยอิเล็กโทรดผ่าน การทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทดและแอโนดได้รับ การทำให้เข้าสัมผัสกับของไหลเพื่อการปฏิบัติ อิเล็ก โทรดผ่าน การทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทดและอิเล็ก โทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแอโนดได้รับการ เชื่อมต่อ เข้ากับแหล่งกระแส/แรงดัน 8 เพื่อให้มีการ ไหลของกระแสผ่านอิเล็กโทรด 6,7 และพื้นผิวนำไฟ ฟ้า 4

Claims (28)

1. วิธีการสำหรับการปฏิบัติด้วยไฟฟ้าต่อพื้นผิวนำไฟฟ้า(4) ของชิ้นวัสดุรูปแผ่นและแผ่นบางที่ คั่นแยก จากกกัน (LP) ที่ซึ่งชิ้นวัสดุ(LP) a) ได้รับการลำเลียงผ่านชุดการปฏิบัติ และ ด้วยเหตุนี้ ได้รับการนำเข้าสัมผัสกับของไหล เพื่อการปฏิบัติ(3) b) ได้รับการนำในระหว่างการลำเลียงผ่านชุดระบบอิ เล็กโทรดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชุดซึ่ง ประกอบด้วยอิ เล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทดอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (6) และอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแอโนดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (7) โดยที่ อิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทดอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (6) และ อิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแอโนดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (7) ได้รับ การทำ ให้เข้าสัมผัสกับของไหลเพื่อการปฏิบัติ (3) และได้รับการเชื่อมต่อเข้ากับแหล่งกระแส/ แรงดัน (8) เพื่อให้กระแสไหลผ่านอิเล็กโทรด (6,7) และพื้นผิว นำไฟฟ้า (4) c) อิเล็กโทรด (6, 7) ของชุดระบบอิเล็กโทรดได้รับการ จัดวางไว้ในลักษณะที่ให้จัดวางตัว อยู่บนด้านข้าง ด้านหนึ่งของชิ้นวัสดุ (LP) และ ผนังคั่นแยกอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งผนัง (9) ได้รับการจัดวางไว้ระหว่างอิเล็กโท รด (6,7)

2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าผนัง คั่นแยกอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผนัง (9) ได้รับการจัดวางไว้ใน ลักษณะที่ให้สัมผัสกับชิ้นวัสดุ (LP) ในระหว่างการลำเลียง ผ่านชุดการ ปฏิบัติ หรื อ อย่างน้อยที่สุดให้ยื่นโดยตรงถึง ชิ้นวัสดุ(LP)

3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อก่อนหน้านี้ข้อใดข้อหนึ่งมี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชิ้นวัสดุ(LP) ได้รับ การนำอย่างต่อ เนื่องตามลำดับผ่านชุดระบบอิเล็กโทรดอย่างน้อยที่สุดสองชุด

4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อก่อนหน้านี้ข้อใดข้อหนึ่งมี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชิ้นวัสดุ(LP) ได้รับ การลำเลียงไปใน ทิศทางการลำเลียง (5) และในระนาบการลำเลียง และตรงที่ว่าอิ เล็กโทรด (6, 7) มี สัณฐานยื่นยาว และได้รับการจัดวางไว้ อย่างขนานกันโดยประมาณกับระนาบการลำเลียง

5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิ เล็กโทรด (6, 7) ยื่นไปเหนือความ กว้างทั้งหมดของชิ้นวัสดุ (LP) โดยประมาณ และตั้งฉากโดยประมาณกับทิศทางการ ลำเลียง (5)

6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิ เล็กโทรด (6, 7) ทำมุม อัลฟา ไม่เท่ากับ 90 ํ กับ ทิศทางการลำเลียง (5)

7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 4 ถึง 6 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชิ้นวัสดุ (LP) ได้รับ การนำผ่านชุด ระบบอิเล็กโทรดอย่างน้อยที่สุดสองชุดที่มีอิเล็กโทรด (6, 7) ในสัณฐานยื่นยาว โดย อิเล็กโทรด (6, 7) ของชุดระบบอิเล็กโทรด คนละชุดกันทำมุมต่างกันกับทิศทางการลำเลียง (5)

8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 4 ถึง 7 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิเล็กโทรด (6, 7) ได้รับการทำให้ เคลื่อนที่ไปในลักษณะแกว่งในแนวขนานโดยประมาณกับระนาบการ ลำเลียง

9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 4 ถึง 8 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชุดระบบ อิเล็กโทรดได้รับการล้อมรอบไว้ โดยผนังคั่นแยก (13, 14) ช่องเปิด (12k, 12a) สู่ชุดระบบอิเล็ก โทรด ซึ่งช่องเปิดวางตัวเข้าหาพื้นผิวของชิ้นวัสดุ (LP) ได้ รับการก่อรูปขึ้นมาโดยผนังคั่นแยก (13, 14) และ ผนังคั่นแยก (9) ซึ่งจัดวางไว้ระหว่างอิเล็กโทรด (6, 7) และ ช่องเปิด (12k,12a) เหล่านี้เมื่อสังเกตใน ทิศทางการลำเลียง (5) มีความ กว้างที่ทำให้ช่องเปิด (12k) ที่เกี่ยวข้องกับอิเล็กโทรด ผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทด (6) เล็กกว่าช่องเปิด (12a) ซึ่งเกี่ยวข้องกับอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้ว เป็นแอโนด (7) เมื่อประยุกต์ใช้วิธีการสำหรับการพอกพูน โลหะลงบนชิ้นวัสดุ (LP) หรือทำให้ช่องเปิด (12k) ซึ่ง เกี่ยวข้องกับอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทด (6) ใหญ่กว่าช่องเปิด (12a) ซึ่ง เกี่ยวข้องกับอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแอโนด (7) เมื่อประยุกต์ใช้วิธีการสำหรับการกัด พื้นผิวโลหะ (4) บนชิ้นวัสดุ (LP)

10. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 4 ถึง 9 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าหลังจากที่เคลื่อน ผ่านชุดระบบอิเล็กโท รดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชุด ชิ้นวัสดุ (LP) จะได้รับการหมุน ไป 180 ํ รอบแกนที่ตั้ง ฉากกับระนายการลำเลียง

11. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อก่อนหน้านี้ข้อใดข้อหนึ่งมี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชุดระบบ อิเล็กโทรดจำนวนหนึ่งซึ่งได้ รับการจัดไว้อย่างขนานกันและใกล้กันจะมีอิเล็กโทรด (6, 7) ในสัณฐาน ยื่นยาว และอิเล็กโทรด (6, 7) ที่อยู่ใกล้กันได้รับ การเชื่อมต่อเข้ากับแหล่งกระแส/แรงดัน (8) อย่าง ตามลำดับ

12. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 11 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่า ได้กำหนดตั้งความหนาแน่นของ กระแสที่โครงสร้าง (4) ซึ่งอยู่ ตรงกันข้ามกับชุดระบบอิเล็กโทรดที่หนึ่งให้เป็นสองเท่าโดย ประมาณ ของความหนาแน่นของกระแสที่โครงสร้าง (4) ซึ่งอยู่ตรง กันข้ามกันกับชุดระบบอิเล็กโทรดที่สอง

13. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อก่อนหน้านี้ข้อใดข้อหนึ่งมี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าพื้นที่การแยกด้วย ไฟฟ้า (10) ซึ่งล้อม รอบอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทด (6) ได้รับ การกั้นกันโดยแผ่น เยื่อไวต่อไอออน (16)

14. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อก่อนหน้านี้ข้อใดข้อหนึ่งมี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่ากระแสไฟฟ้าได้รับ การมอดูเลตในลักษณะ ที่ทำให้มีการไหลเป็นลำดับของพัลส์แบบหนึ่งสภาพขั้วหรือสอง สภาพขั้วผ่าน อิเล็กโทรด (6, 7) และพื้นผิว (4)

15. การประยุกต์ใช้วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 14 ข้อ ใดข้อหนึ่งสำหรับการปฏิบัติด้วยการ แยกด้วยไฟฟ้าต่อชิ้น วัสดุรูปแผ่นและแผ่นบางที่คั่นแยกจากกัน (LP) ซึ่งมีโครง สร้างนำไฟฟ้าที่คั่น แยกจากกันทางไฟฟ้า (4)

16. การประยุกต์ใช้วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 14 ข้อ ใดข้อหนึ่งสำหรับการพอกพูนโลหะลง บนชิ้นวัสดุ (LP) โดยที่ ชิ้นวัสดุ (LP) ได้รับการนำผ่านอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทด อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (6) ก่อน และ จากนั้นผ่านอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแอโนด อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (7)

17. การประยุกต์ใช้ตามข้อถือสิทธิข้อ 16 สำหรับการพอกพูน ดีบุกลงบนพื้นผิวทองแดง (4) บน ชิ้นวัสดุ (LP)

18. การประยุกต์ใช้วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 14 ข้อ ใดข้อหนึ่งสำหรับการกัดพื้นผิวโลหะ (4) บนชิ้นวัสดุ (LP) โดยที่ชิ้นวัสดุ (LP) ได้รับการนำผ่านอิเล็กโทรดผ่านการทำ ให้มีสภาพขั้วเป็น แอโนดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (7) ก่อน และ จากนั้นผ่านอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็น แคโทด อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (6)

19. อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติด้วยการแยกด้วยไฟฟ้าต่อพื้นผิว นำไฟฟ้า (4) บนชิ้นวัสดุรูปแผ่น และแผ่นบางที่คั่นแยกจากกัน (LP) ซึ่งมีส่วนลักษณะเฉพาะดังที่ตามมานี้ a) อุปกรณ์อย่างน้อยที่สุดหนึ่งอุปกรณ์สำหรับการนำชิ้น วัสดุ (LP) เข้าสัมผัสกับของไหล เพื่อการปฏิบัติ (3) b) อุปกรณ์ลำเลียงที่เหมาะสมสำหรับการลำเลียงชิ้นวัสดุที่ คั่นแยก (LP) ผ่านชุดการปฏิบัติ ในทิศทางการลำเลียง (5) และ ในระนาบการลำเลียง c) ชุดระบบอิเล็กโทรดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชุด ที่ประกอบ ด้วยอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มี สภาพขั้วเป็นแคโทดอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชิ้น (6) และอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้ว เป็นแอโนดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (7) ตามลำดับ โดยที่อิ เล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพ ขั้วเป็นแคโทดอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชิ้น (6) และอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็น แอโนดอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้น (7) สามารถได้รับการนำเข้า สัมผัสกับของไหลเพื่อการ ปฏิบัติ (3) ได้ d) อิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทด (6) และอิ เล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพ ขั้วเป็นแอโนด (7) ของชุดระบบอิ เล็กโทรดได้รับการจัดวางตัวไว้บนด้านข้างหนึ่งด้าน ของระนาบ การลำเลียง e) ผนังคั่นแยกอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผนัง (9) ระหว่างอิเล็ก โทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วตรง กันข้ามกัน (6) และ (7) ใน ชุดระบบอิเล็กโทรด และ f) แหล่งกระแส/แรงดันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งแหล่ง (8) ซึ่ง ได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับ ชุดระบบอิเล็กโทรดเพื่อ การก่อให้เกิดการไหลของกระแสผ่านอิเล็กโทรด (6, 7) ของชุด ระบบอิเล็กโทรด

20. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 19 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่า ผนังคั่นแยกอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผนัง (9) ได้รับการจัดวาง ไว้ในลักษณะที่ให้สัมผัสกับชิ้นวัสดุ (LP) ในระหว่างการ ลำเลียงผ่านชุดการ ปฏิบัติ หรือ อย่างน้อยที่สุดให้ยื่นโดย ตรงถึงชิ้นวัสดุ(LP)

21. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 19 และ 20 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิเล็กโทรด (6, 7) มีสัณฐานยื่นยาว และ ได้รับการจัดวางไว้อย่างขนานกันโดยประมาณกับระนาบการ ลำเลียง

22. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 21 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิ เล็กโทรด (6, 7) ยื่นไปเหนือความ กว้างทั้งหมดของระนาบการ ลำเลียงที่ครอบครองโดยชิ้นวัสดุ (LP) โดยประมาณ และตั้งฉาก โดย ประมาณกับทิศทางการลำเลียง (5)

23. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 21 มีลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิ เล็กโทรด (6, 7) ทำมุม อัลฟา ไม่เท่ากับ 90 ํ กับทิศทางการลำเลียง (5)

24. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 23 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าได้มีการจัด เตรียมชุดระบบอิเล็กโทรด ไว้อย่างน้อยที่สุดสองชุดที่มีอิเล็กโทรด(6, 7) ในสัณฐาน ยื่นยาว โดย อิเล็กโทรด (6, 7) ของชุดระบบอิเล็กโทรดคนละชุด กันทำมุมต่างกันกับทิศทางการลำเลียง (5)

25. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 21 ถึง 24 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าอิเล็กโทรด (6, 7) ที่มีสัณฐานยื่นยาว ได้รับการสร้างให้มีสัณฐานที่สามารถได้รับการทำให้เคลื่อน ที่ไปในลักษณะ แกว่งในแนวขนานโดยประมาณกับระนาบการลำเลียง ได้

26. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 25 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชุดระบบ อิเล็กโทรดได้รับการล้อมรอบไว้ โดยผนังคั่นแยก (13, 14) ช่องเปิด (12k, 12a) สู่ชุดระบบอิ เล็กโทรด ซึ่งช่องเปิดวางตัวเข้าหาพื้นผิวของระนาบการ ลำเลียงได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยผนังคั่นแยก (13, 14) และ ผนังคั่นแยก (9) ซึ่งจัดวางไว้ระหว่างอิเล็กโทรด (6, 7) และ ช่องเปิด (12k, 12a) เหล่านี้เมื่อสังเกต ในทิศทางการลำเลียง (5) มีความกว้างที่ทำให้ช่องเปิด (12k) ที่เกี่ยวข้องกับอิเล็ก โทรดผ่านการทำให้ มีสภาพขั้วเป็นแคโทด (6) เล็กกว่าช่องเปิด (12a) ซึ่งเกี่ยวข้องกับอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้ว เป็นแอโนด (7) เมื่อใช้อุปกรณ์สำหรับการพอกพูน โลหะลงบนชิ้นวัสดุ (LP) หรือทำให้ช่องเปิด (12k) ซึ่ง เกี่ยวข้องกับอิเล็กโทรดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทด (6) ใหญ่กว่าช่องเปิด (12a) ซึ่งเกี่ยว ข้องกับอิเล็กโทรด ผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแอโนด (7) เมื่อใช้อุปกรณ์ สำหรับการกัดพื้นผิวโลหะ (4)

27. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 26 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าพื้นที่การแยก ด้วยไฟฟ้า (10) ซึ่งล้อม รอบอิเล็กโทดผ่านการทำให้มีสภาพขั้วเป็นแคโทด (6) ได้รับ การกั้นกันโดย แผ่นเยื่อไวต่อไอออน (16)

28. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่ง มี ลักษณะเฉพาะตรงที่ว่าชุดระบบ อิเล็กโทรดจำนวนหนึ่งซึ่งได้ รับการจัดไว้อย่างขนานกันและใกล้กันจะมีอิเล็กโทรด (6, 7) ใน สัณฐาน ยื่นยาว และอิเล็กโทรด (6, 7) ที่อยู่ใกล้กันได้รับ การเชื่อมต่อเข้ากับแหล่งกระแส/แรงดัน (8) ที่แยก ต่างหาก