TH69182A - การแยกและการประกอบรวมแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ - Google Patents

Abstract

DC60 (04/08/47) วิธีการและเครื่องมือเพื่อทำการแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวออกจากเวเฟอร์ของวัสดุ สารกึ่งตัวนำได้ทำการเปิดเผย ไว้ ประยุกต์ใช้สุญญากาศกับผิวหน้าของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยาย ยาวแต่ละชิ้น ซึ่งก่อรูปเป็นขอบขอบหนึ่งของเวเฟอร์ หรืออยู่ชิดกับขอบ ทำให้เวเฟอร์และแหล่งกำเนิด ของสุญญากาศ เปลี่ยนตำแหน่งเพื่อแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละ ชิ้นออกจากเวเฟอร์ นอกจากนี้ได้เปิดเผยถึงวิธีการและเครื่อง มือเพื่อทำการประกอบรวมแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ที่ แยกออกจากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่งตัวนำให้เป็นแถวลำดับของ แผ่นแถบ นอกเหนือจากกนี้อีก ได้ เปิดเผยถึงวิธีการ เครื่อง มือ และระบบเพื่อทำการประกอบรวมแถวลำดับแถวหนึ่งของ แผ่นแถบสาร สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวได้บนซับสเตรท วิธีการและเครื่องมือเพื่อทำการแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวออกจากเวเฟอร์ของวัสดุ สารกึ่งตัวนำได้ทำการเปิดเผย ไว้ ประยุกต์ใช้สุญญากาศกับผิวหน้าของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยาย ยาวแต่ละชิ้น ซึ่งก่อรูปเป็นขอบขอบหนึ่งของเวเฟอร์ หรืออยู่ชิดกับขอบ ทำให้เวเฟอร์และแหล่งกำเนิด ของสุญญากาศ เปลี่ยนตำแหน่งเพื่อแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละ ชิ้นออกจากเวเฟอร์ นอกจากนี้ได้เปิดเผยถึงวิธีการและเครื่อง มือเพื่อทำการประกอบรวมแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ที่ แยกออกจากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่งตัวนำให้เป็นแถวลำดับของ แผ่นแถบ นอกเหนือจากกนี้อีก ได้ เปิดเผยถึงวิธีการ เครื่อง มือ และระบบเพื่อทำการประกอบรวมแถวลำดับแถวหนึ่งของ แผ่นแถบสาร สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวได้บนซับสเตรท

Claims (65)

1. วิธีการของการแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวออกจากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่งตัวนำ วิธีการดังกล่าวประกอบรวมด้วยขั้นตอนต่างๆ ของ การจัดเตรียมแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวจำนวนหนึ่งที่ก่อรูปไว้ในเวเฟอร์ ในลักษณะที่ ขนานกันอย่างมีนัยสำคัญสัมพันธ์ซึ่งกันและกัน เวเฟอร์ดังกล่าวมีพื้นผิวแบนราบ อย่างมีนัยสำคัญ และมิติเชิงความหนาที่ทำมุมฉากกับพื้นผิวแบนราบอย่างมีนัยสำคัญ และส่วนกรอบที่ปลายซึ่งอยู่ตรง ข้ามกันของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำดังกล่าวสำหรับเชื่อมต่อแผ่นแถบดังกล่าวกับเวเฟอร์ดังกล่าว แผ่น แถบสารกึ่งตัวนำดังกล่าวแต่ละชิ้นมีความกว้างอย่างน้อยที่สุดเท่ากันอย่างมีนัยสำคัญกับความหนา ของเวเฟอร์ และมิติเชิงความหนาของแผ่นแถบดังกล่าวจะน้อยกว่าความกว้างดังกล่าว ผิวหน้าของ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้นจะก่อรูปตามความยาวเป็นขอบขอบหนึ่งของ เวเฟอร์ดังกล่าวหรืออยู่ชิดขอบดังกล่าวมากที่สุด การประยุกต์ใช้สุญญากาศกับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว ซึ่งก่อรูปเป็นขอบ ดังกล่าวหรืออยู่ชิดกับขอบดังกล่าว และ การย้ายที่เวเฟอร์ดังกล่าวและแหล่งกำเนิดของสุญญากาศดังกล่าวสัมพันธ์ซึ่งกันและกันเป็น ระยะทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้วเพื่อแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวซึ่งมีสุญญากาศที่ ประยุกต์ใช้กับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวออกจากเวเฟอร์ดังกล่าว

2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนต่างๆ ของ อย่างน้อยที่สุดการลดสุญญากาศดังกล่าวที่ประยุกต์ใช้กับ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่ แยกออกดังกล่าว และ การเคลื่อนย้ายแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่แยกออกดัง กล่าวและแหล่งกำเนิดดังกล่าว ของสุญญากาศดังกล่าวสัมพันธ์ ซึ่งกันและกัน

3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ขั้นตอนของอย่าง น้อยที่สุดการลดสุญญากาศดังกล่าว ประกอบรวมด้วยการยุติสุญญา กาศดังกล่าว

4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนของ การเคลื่อนที่เวเฟอร์ดังกล่าวในลักษณะที่แผ่นแถบสารกึ่งตัว นำที่ขยายยาวดังกล่าวเข้าไปอยู่ ในบริเวณชิดกับแหล่งกำเนิด ดังกล่าวของสุญญากาศดังกล่าว

5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนของ การเคลื่อนที่แหล่งกำเนิดดังกล่าวของสุญญากาศดังกล่าว สัมพันธ์กับเวเฟอร์ดังกล่าวใน ลักษณะที่แหล่งกำเนิดดังกล่าว ของสุญญากาศดังกล่าวอยู่ในบริเวณใกล้ชิดกับแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าว

6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ ที่ 1 ถึงข้อที่ 5 โดยที่ขั้นตอนต่างๆ ดังกล่าวได้ดำเนิน การให้บรรลุผลแบบทวนซ้ำ เพื่อแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวสองชิ้นหรือ มากกว่าของจำนวนดังกล่าวของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวออกจากเวเฟอร์ดังกล่าว

7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ ที่ 1 ถึงข้อที่ 6 โดยที่แหล่งกำเนิดดัง กล่าวของสุญญากาศ ดังกล่าวที่ลำตัวที่มีโพรงอย่างน้อยที่สุดหนึ่งโพรงที่ก่อ รูปไว้ในลำตัว เพื่อจัดให้มี สุญญากาศที่ประยุกต์ใช้ดังกล่าว โพรงดังกล่าวที่อยู่ชิดกับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ดังกล่าวมี ขนาดเท่ากับเป็นส่วนใหญ่กับหรือเล็กกว่ามิติหนึ่ง ของผิวหน้าของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ดังกล่าว

8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ ที่ 1 ถึงข้อที่ 7 ยังประกอบรวมต่อไป ด้วยขั้นตอนของ การก่อรูปจุดบอบบางขึ้นในส่วนต่างๆ ของเวเฟอร์ดังกล่าวที่ อยู่ชิดกับปลายที่อยู่ตรงข้ามกัน ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าว เพื่ออำนวยความสะดวกต่อการแยกแผ่นแถบสาร กึ่งตัว นำที่ขยายดังกล่าวออกจากเวเฟอร์ดังกล่าว

9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ ที่ 1 ถึงข้อที่ 8 โดยที่เวเฟอร์ดังกล่าว เป็นซิลิคอนผลึก เดี่ยวหรือซิลิคอนหลายผลึก

10. เครื่องมือเพื่อทำการแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ออกจากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่ง ตัวนำ เครื่องมือดังกล่าว ประกอบรวมด้วย วิถีทางเพื่อทำการยึดจับเวเฟอร์ ซึ่งมีแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยายยาวจำนวนหนึ่งที่ก่อรูปไว้ ในรูปแบบที่ขนานกันเป็น ส่วนใหญ่สัมพันธ์ซึ่งกันและกันในเวเฟอร์ดังกล่าว เวเฟอร์ดังกล่าวมีพื้นผิว แบนราบเป็นส่วนใหญ่และมิติเชิงความหนาที่ทำมุมฉากกับพื้น ผิวแบนราบเป็นส่วนใหญ่และส่วน กรอบที่ปลายซึ่งอยู่ตรงข้าม กันของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำดังกล่าว ซึ่งเชื่อมต่อแผ่นแถบ ดังกล่าวกับ เวเฟอร์ดังกล่าว แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำดังกล่าว แต่ละชิ้นมีความกว้างอย่างน้อยที่สุดเท่ากับเป็นอย่าง มาก กับความหนาของเวเฟอร์และมิติเชิงความหนาของแผ่นแถบดังกล่าว จะน้อยกว่าความกว้าง ดังกล่าว แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวอย่างน้อยทีสุดหนึ่งชิ้น จะก่อรูปตามความยาว เป็นขอบขอบ หนึ่งของเวเฟอร์ดังกล่าวหรืออยู่ชิดกับขอบดัง กล่าวมากที่สุด แหล่งกำเนิดสุญญากาศเพื่อประยุกต์ใช้สุญญากาศกับผิวหน้าดัง กล่าวของแผ่นแถบสารกึ่งตัว นำที่ขยายยาวดังกล่าว ซึ่งก่อรูป เป็นขอบดังกล่าวหรืออยู่ใกล้กับขอบดังกล่าวมากที่สุด และ วิถีทางเพื่อเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ดังกล่าวและแหล่งกำเนิดดัง กล่าวของสุญญากาศดังกล่าว สัมพันธ์ซึ่งกันและกันเป็นระยะทาง ที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว เพื่อแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาว ดังกล่าวซึ่งมีสุญญากาศที่ประยุกต์ใช้กับแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวออกจากเวเฟอร์ ดังกล่าว

11. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 10 โดยที่สุญญากาศดัง กล่าวที่ประยุกต์ใช้กับแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่ แยกออกดังกล่าวอย่างน้อยที่สุดทำให้ลดน้อยลง และยังประกอบ รวมต่อไปด้วย วิถีทางเพื่อทำการเคลื่อนย้ายแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวที่แยกออกดังกล่าว และแหล่งกำเนิด ดังกล่าว ของสุญญากาศดังกล่าวสัมพันธ์ซึ่งกันและกัน

12. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 10 โดยที่อย่างน้อยที่ สุดการลดสุญญากาศดังกล่าวประกอบ รวมด้วยการยุติสุญญากาศดัง กล่าว

13. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 10 ยังประกอบรวมต่อไป ด้วย วิถีทางเพื่อทำการเคลื่อนที่เวเฟอร์ดังกล่าวในลักษณะแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ดังกล่าวอยู่ในปริมาณใกล้ชิดกับ แหล่งกำเนิดดังกล่าวของสุญญากาศดังกล่าว

14. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 10 ยังประกอบรวมต่อไป ด้วย วิถีทางเพื่อทำการเคลื่อนที่แหล่งกำเนิดดังกล่าวของสุญญา กาศดังกล่าวสัมพันธ์กับเวเฟอร์ ดังกล่าวในลักษณะที่แหล่ง กำเนิดของสุญญากาศดังกล่าวอยู่ในบริเวณใกล้เคียงกับแผ่นแถบ สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว

15. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ ข้อที่ 10 ถึงข้อที่ 14 ยังประกอบ รวมต่อไปด้วยวิถีทางเพื่อ ทำการควบคุมการดำเนินการของอย่างน้อยที่สุดวิถีทางสำหรับ ยึดจับ ดังกล่าว แหล่งกำเนิดดังกล่าวของสุญญากาศดังกล่าว และวิถีทางการเคลื่อนย้ายดังกล่าวเพื่อการ ดำเนินการให้ บรรลุผลแบบทวนซ้ำเพื่อแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวสอง ชิ้นหรือมากกว่าของ จำนวนดังกล่าวของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวออกจากเวเฟอร์ดังกล่าว

16. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ ข้อที่ 10 ถึงข้อที่ 15 โดยที่แหล่งกำเนิด ดังกล่าวของสุญญา กาศดังกล่าวมีลำตัวที่มีโพรงอย่างน้อยที่สุดหนึ่งโพรงที่ ก่อรูปไว้ในลำตัวเพื่อจัดให้ มีสุญญากาศที่ประยุกต์ใช้ดัง กล่าว และโพรงดังกล่าวที่อยู่ชิดกับผิวหน้าดังกล่าวของแผ่น แถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว มีขนาดเท่ากันเป็นส่วน ใหญ่กับหรือเล็กกว่ามิติของผิวหน้าของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำ ที่ขยายยาวดังกล่าว

17. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ ข้อที่ 10 ถึงข้อที่ 16 ยังประกอบ รวมต่อไปด้วย วิถีทางเพื่อทำการก่อรูปจุดบอบบางในส่วนต่างๆ ของเวเฟอร์ ดังกล่าวชิดกับปลายที่อยู่ตรง ข้ามกันของแผ่นสารกึ่งตัวนำ ที่ขยายยาวดังกล่าวเพื่ออำนวยความสะดวกต่อการแยกแผ่นแถบสาร กึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวออกจากเวเฟอร์ดังกล่าว

18. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ ข้อที่ 10 ถึงข้อที่ 17 โดยที่เวเฟอร์ ดังกล่าวเป็นซิลิคอน ผลึกเดี่ยวหรือซิลิคอนหลายผลึก

19. วิธีการของการประกอบรวมแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว จำนวนหนึ่งที่แยกออกมา จากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่งตัวนำให้ เป็นแถวลำดับแถวหนึ่งของแผ่นแถบดงกล่าว วิธีการดังกล่าว ประกอบรวมด้วยขั้นตอนต่างๆ ของ การรับที่ตำแหน่งที่กำหนดไว้ก่อนแล้วของสายพานอย่างน้อยที่ สุดหนึ่งเส้น แผ่นแถบชิ้น หนึ่งของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวที่จัดทิศทางตามความยาวขวางข้ามสายพานดัง กล่าว การเคลื่อนที่สายพานดังกล่าวในทิศทางที่กำหนดเป็นระยะทาง ที่กำหนดไว้ก่อนแล้วซึ่งมาก กว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และ การทวนซ้ำขั้นตอนการรับและการเคลื่อนที่ดังกล่าวจนกระทั่ง แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวดังกล่าวผ่านการดำเนินกระบวน การหมดทุกชิ้น

20. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่แหล่งกำเนิด สุญญากาศจะประยุกต์ใช้สุญญากาศกับ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าว และใช้เพื่อนำส่งแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาว ดังกล่าว ที่ตำแหน่งที่กำหนดไว้ก่อนและดังกล่าว และ ระยะทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้วดังกล่าวจะสัมพันธ์กับ แหล่ง กำเนิดสุญญากาศดังกล่าว

21. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 19 หรือข้อที่ 20 ข้อใด ข้อหนึ่ง โดยที่สายพานดังกล่าวทำจาก สิ่งทอลักษณะแถบ และมี สารยึดติดบนพื้นผิวหนึ่งขณะทำการรับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาว ดังกล่าว

22. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 21 โดยที่สายพานดังกล่าวทำ จากไมลาร์

23. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 19 หรือข้อที่ 20 ข้อใด ข้อหนึ่งโดยที่สายพานดังกล่าวทำเป็น เชิงเทินและมีระยะห่าง เชิงเทินที่อยู่ชิดกันซึ่งโดยพื้นฐานทั่วไปกว้างกว่าความ กว้างแผ่นแถบสารกึ่งตัว นำที่ขยายยาวดังกล่าว ตำแหน่งที่ กำหนดไว้ก่อนแล้วได้จัดไว้ระหว่างเชิงเทินบนสายพานดังกล่าว และ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้น ได้จัดตำแหน่ง ที่ตั้งไประหว่างเชิงเทินที่อยู่ชิดกันสองชิ้นบน สายพานดัง กล่าว

24. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 23 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนต่างๆ ของ การถ่ายโอนแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว แต่ละชิ้นจากสายพานดังกล่าวไปที่สายพานอื่นอย่างน้อย ที่ สุดหนึ่งเส้นที่จัดตำแหน่งไว้ชิดกัน สายพานอื่น อย่างน้อย ที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวมีเชิงเทินที่มีระยะ ห่างระหว่าง เชิงเทินที่อยู่กันมากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยายยาวแต่โดยพื้นฐาน แล้วน้อยกว่าเชิงเทินที่อยู่ชิดกัน ของสายพานดังกล่าวซึ่งรับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าว การเคลื่อนที่สายพานอื่นดังกล่าวในทิศทางที่กำหนดด้วยระยะ ทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว ซึ่ง มากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และ การทวนซ้ำขั้นตอนการถ่ายโอนและการเคลื่อนที่ดังกล่าวจน กระทั่งอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่ง ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวผ่านการดำเนินกระบวนการซึ่งก่อรูปเป็นแถวลำ ดับของ แผ่นแถบดังกล่าว

25. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 24 โดยที่ขั้นตอนการถ่าย โอนดังกล่าวประกอบรวมด้วยการ ประยุกต์ใช้สุญญากาศกับแผ่นแถบ สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นในระหว่างการเคลื่อนที่ของ สายพานอื่นดังกล่าว

26. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 19 ถึงข้อที่ 23 โดยที่สายพาน อย่างน้อยที่สุดเส้นดังกล่าว ประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้น

27. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 24 หรือข้อที่ 25 ข้อใด ข้อหนึ่ง โดยที่สายพานอย่างน้อยที่สุด หนึ่งเส้นดังกล่าว ประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้น และสายพานอื่นอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งเส้น ดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานอื่นขนานกับสอง เส้น

28. เครื่องมือเพื่อทำการประกอบรวมแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวจำนวนหนึ่งที่แยกออก จากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่งตัวนำ ให้เป็นแถวลำดับแถวหนึ่งของแผ่นแถบดังกล่าว เครื่องมือดัง กล่าว ประกอบรวมด้วย สายพานอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้น สำหรับรับแผ่นแถบชิ้นหนึ่ง ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวที่จัดทิศทางตาม ความยาวขวางข้ามสายพายดังกล่าวที่ตำแหน่งที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว มอเตอร์สำหรับทำให้สายพานดังกล่าวเคลื่อนที่ในทิศทางที่ กำหนดเป็นระยะทางที่กำหนดไว้ ก่อนแล้ว ซึ่งมากกว่าความกว้าง ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และ ส่วนควบคุมที่ต่อเชื่อมกับมอเตอร์ดังกล่าวสำหรับทวนซ้ำการ ดำเนินการในการรับและการ เคลื่อนที่ดังกล่าวจนกระทั่งแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวผ่านการดำเนินการกระบวน การหมด ทุกชิ้น

29. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 28 ยังประกอบรวมต่อไป ด้วยแหล่งกำเนิดสุญญากาศ สำหรับประยุกต์ใช้สุญญากาศกับแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และใช้เพื่อนำส่งแผ่น แถบ สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และใช้เพื่อนำส่งแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวที่ตำแหน่ง ที่กำหนดไว้ ก่อนแล้ว ระยะทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้วดังกล่าวได้ทำให้ สัมพันธ์กับแหล่งกำเนิด สุญญากาศดังกล่าว

30. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 28 หรือข้อที่ 29 ข้อ ใดข้อหนึ่ง โดยที่สายพานดังกล่าวทำ จากสิ่งทอลักษณะแถบและมี สารยึดบนพื้นผิวหนึ่ง ขณะทำการรับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาว ดังกล่าว

31. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 29 โดยที่สายพานดัง กล่าวทำจากไมลาร์

32. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 28 หรือข้อที่ 29 ข้อใด ข้อหนึ่ง โดยที่สายพานดังกล่าวทำ เป็นเชิงเทินและมีระยะห่าง เชิงเทินที่อยู่ชิดกัน ซึ่งโดยพื้นฐานทั่วไปกว้างกว่าความ กว้างของ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว ตำแหน่งที่ กำหนดไว้ก่อนแล้วดังกล่าวได้จัดไว้ระหว่าง เชิงเทินบนสายพานแต่ละเส้น และแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นได้จัดไว้ ระหว่างเชิงเทินที่ อยู่ชิดกันสองชิ้นบนสายพานดังกล่าว

33. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 29 ยังประกอบรวมต่อไป ด้วย สายพานอื่นอย่างน้อยที่สุดหนึ่งที่จัดตำแหน่งไว้ชิดกับสาย พานอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้น ดังกล่าว วิถีทางเพื่อทำการถ่ายโอนแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว แต่ละชิ้นจากสายพานดังกล่าวไป ที่สายพานอื่นดังกล่าว สายพาน อื่นอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวมีเชิงเทินที่มีระยะ ห่างระหว่าง เชิงเทินที่อยู่ชิดกันซึ่งมากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว แต่โดยพื้นฐานแล้วน้อย กว่าเชิงเทินที่อยู่ชิดกันของสายพานดังกล่าว ซึ่งรับเอาแผ่นแถบสานกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และ มอเตอร์สำหรับทำให้สายพานอื่นดังกล่าวเคลื่อนที่ในทิศทาง ที่กำหนด เป็นระยะทางที่ กำหนดไว้ก่อนแล้ว ซึ่งมากกว่าความ กว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว โดยที่ส่วนควบคุมดังกล่าวจะทวนซ้ำการดำเนินการในการถ่ายโอน และการเคลื่อนที่ดังกล่าว จนกระทั่งอย่างน้อยที่สุดส่วน หนึ่งของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวผ่านการดำ เนิน กระบวนการสำหรับก่อรูปแถวลำดับแผ่นแถบแล้ว

34. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 33 โดยที่วิถีทางการ ถ่ายโอนดังกล่าวประกอบรวมด้วย แหล่างกำเนิดสุญญากาศที่สอง สำหรับประยุกต์ใช้สุญญากาศกับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวแต่ละ ชิ้นในระหว่างการเคลื่อนที่ของสายพานอื่นดังกล่าว

35. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ ข้อที่ 28 ถึง ข้อถือสิทธิที่ 32 โดยที่ สายพานอย่างน้อยที่ สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานขนานกับสองเส้น

36. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 33 หรือ ข้อที่ 34 ข้อ ใดข้อหนึ่ง โดยที่สายพานอย่างน้อยที่ สุดหนึ่งเส้นดังกล่าว ประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้น และสายพานอื่นอย่างน้อย ที่สุด หนึ่ง เส้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานอื่นขนานกัน สองเส้น

37. วิธีการของการประกอบรวมแถวลำดับแถวหนึ่งของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวบน ซับสเตรท วิธีการดังกล่าวประกอบรวม ด้วยขั้นตอนต่าง ๆ ของ การประยุกต์ใช้วัสดุการยึดติดบนซับสเตรทดังกล่าวในลักษณะ ที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว การประยุกต์ใช้สุญญากาศกับแผ่นแถบแต่ละชิ้นของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาว ดังกล่าว เพื่อคงแผ่นแถบดังกล่าวไว้ใน แถวลำดับดังกล่าว แถวลำดับดังกล่าวเป็นการจัดเรียงที่กำหนด ไว้ก่อนล่วงหน้า ของแผ่นแถบดังกล่าว การถ่ายโอนแถวลำดับดังกล่าวของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวไปที่ซับสเตรทดังกล่าว และทำการชักนำผิวหน้าของแผ่นแถบ สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นเข้าไปสัมผัสกับส่วนหนึ่ง ของวัสดุสารยึดติดดังกล่าว และ การยุติสุญญากาศดังกล่าวที่ประยุกต์ใช้กับแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้น เพื่อจัด ให้มีแถวลำดับดังกล่าว ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่จัดไว้ที่ตำแหน่งเดิมบน ซับสเตรท ดังกล่าวและยึดติดกับซับสเตรท ดังกล่าว

38. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 37 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนของการประยุกต์ใช้ วัสดุนำไฟฟ้ากับซับสเตรทดังกล่าว เพื่อเชื่อมต่อแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวสอง ชิ้นหรือ มากกว่าทางไฟฟ้าในแถวลำดับดังกล่าว ซึ่งยึดติดกับ ซับสเตรทดังกล่าว

39. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 38 โดยที่ขั้นตอนการ ประยุกต์ใช้ดังกล่าวประกอบรวมด้วย การพิมพ์แผ่นรองของวัสดุ นำไฟฟ้าดังกล่าวบนซับสเตรทดังกล่าว

40. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 38 โดยที่ประยุกต์ใช้ วัสดุสารยึดติดดังกล่าวบนซับสเตรท ดังกล่าวในแผ่นแถบที่ขยาย ยาว

41. เครื่องมือเพื่อทำการประกอบรวมแถวลำดับแถวหนึ่งของแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวบนซับสเตรท เครื่องมือดังกล่าว ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ วิถีทางสำหรับการประยุกต์ใช้วัสดุยึดติดบนซับสเตรทดังกล่าว ในลักษณะที่กำหนดไว้ก่อน แล้ว แหล่งกำเนิดสุญญากาศสำหรับประยุกต์ใช้สุญญากาศกับแต่ละชิ้น ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยายยาวดังกล่าว เพื่อคงแผ่นแถบ ดังกล่าวไว้ในแถวลำดับดังกล่าว แถวลำดับดังกล่าวเป็นการจัด เรียงที่กำหนดไว้ก่อน ล่วงหน้าของแผ่นแถบดังกล่าว และ วิถีทางเพื่อทำการถ่ายโอนแถวลำดับดังกล่าว ของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวไปที่ ซับสเตรท ดังกล่าว และทำการชักนำ ผิวหน้าหนึ่งของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้น เข้าไป สัมผัสกับส่วนหนึ่งของวัสดุสารยึดติดดังกล่าว โดยที่แหล่งกำเนิดสุญญากาศดังกล่าวจะยุติสุญญากาศที่ ประยุกต์ใช้กับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยายยาวแต่ละชิ้นดัง กล่าว เพื่อจัดให้มีแถวลำดับดังกล่าวของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวที่จัด ตำแหน่งไว้ที่เดิมบนซับสเตรทดังกล่าว และยึดติด กับซับสเตรทดังกล่าว

42. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 41 ยังประกอบรวมต่อไป ด้วยวิธีทางสำหรับการประยุกต์ ใช้วัสดุนำไฟฟ้ากับซับสเตรท ดังกล่าว เพื่อเชื่อมต่อแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดัง กล่าวสองชิ้น หรือมากกว่าทางไฟฟ้าในแถวลำดับดังกล่าวซึ่งยึด ติดกับซับสเตรทดังกล่าว

43. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 42 โดยที่วิถีทางการ ประยุกต์ใช้ดังกล่าว ประกอบรวมด้วย เครื่องพิมพ์สำหรับพิมพ์ แผ่นรองของวัสดุนำไฟฟ้าดังกล่าวบนซับสเตรทดังกล่าว

44. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 42 โดยที่ประยุกต์ใช้ วัสดุสารยึดติดดังกล่าวบนซับสเตรท ดังกล่าวในแผ่นแถบที่ขยาย ยาว

45. วิธีการของการประกอบรวมแถวลำดับแถวหนึ่งของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวบน ซับสเตรท แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวดับงกล่าวที่ก่อรูปอยู่ในเวเฟอร์ในลักษณะขนานกันเป็น ส่วนใหญ่สัมพันธ์ซึ่งกันและกัน เวเฟอร์ดังกล่าวมีพื้นผิว แบนราบเป็นส่วนใหญ่และมิติเชิงความหนาที่ ตั้งฉากกับพื้นผิว แบนราบเป็นส่วนใหญ่ และส่วนกรอบที่ปลายซึ่งตรงข้ามกันของ แผ่นแถบสารกึ่งตัว นำดังกล่าว สำหรับเชื่อมต่อแผ่นแถบดัง กล่าวกับเวเฟรอ์ดังกล่าว วิธีการดังกล่าว ประกอบรวมด้วย ขั้น ตอนต่างๆ ของ การแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวชิ้นหนึ่งออก จากเวเฟอร์ดังกล่าว โดยใช้สุญญากาศที่ ประยุกต์ใช้กับแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวซึ่งก่อรูปเป็นขอบขอบ หนึ่งหรืออยู่ชิดกับขอบ ของเวเฟอร์ดังกล่าว การย้ายที่เวเฟอร์ดังกล่าวจากแหล่งกำเนิดสุญญากาศดังกล่าว แบบสัมพัทธ์ด้วยระยะทางที่ กำหนดไว้ก่อนแล้ว การรับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวที่จัดทิศทาง ตามความยาวขวางข้ามสายพาน ดังกล่าวบนสายพานที่หนึ่งอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งเส้น การเคลื่อนที่สายพานดังกล่าวในทิศทางที่กำหนดไว้เป็นระยะ ทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว ซึ่ง มากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว การทวนซ้ำขั้นตอนที่กล่าวมาข้างต้นจนกว่าแผ่นแถบสารกึ่งตัว นำที่ขยายดังกล่าวผ่านการ ดำเนินกระบวนการหมดแล้วทุกชิ้น

46. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 45 โดยที่สายพานที่หนึ่ง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวทำ จากสิ่งทอลักษณะแถบและ มีสารยึดติดบนพื้นผิว ขณะเวลาซึ่งรับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำ ที่ขยายยาว ดังกล่าว

47. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 45 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนของการเคลื่อนย้าย แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่ แยกออกดังกล่าว และแหล่งกำเนิดดังกล่าวของสุญญากาศดังกล่าว สัมพันธ์ซึ่งกันและกัน

48. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 45 หรือข้อที่ 47 ข้อใด ข้อหนึ่ง โดยที่สายพานที่หนึ่งอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งเส้นดัง กล่าวได้ทำเป็นเชิงเทินและมีระยะห่างระหว่างเชิงเทินที่ อยู่ชิดกันซึ่งโดยพื้นฐาน แล้วกว้างกว่าความกว้างของแผ่นแถบ สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนต่างๆ ของ การถ่ายโอนแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นจากสาย พานที่หนึ่งดังกล่าวไปที่ สายพานที่สอง อย่างน้อยที่สุด หนึ่งเส้นโดยการใช้สุญญากาศ สายพานที่สองดังกล่าวมีเชิง เทินที่มี ระยะห่างระหว่างเชิงเทินที่อยู่ชิดกันมากกว่าความ กว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่โดย พื้นฐานแล้ว น้อยกว่าเชิงเทินที่อยู่ชิดกันของสายพานที่หนึ่งดังกล่าว การเคลื่อนที่สายพานที่สองอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดัง กล่าวในทิศทางที่กำหนดไว้ด้วยระยะ ทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว ซึ่งมากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดัง กล่าว และ การทวนซ้ำขั้นตอนการถ่ายโอนและการเคลื่อนที่ดังกล่าวจน กระทั่งอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่ง ของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวผ่านการดำเนินกระบวนการสำหรับก่อรูปแถวลำ ดับของ แผ่นแถบดังกล่าวแล้ว

49. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 48 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นตอนต่างๆ ของ การถ่ายโอนแถวลำดับดังกล่าวของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาว โดยการใช้สุญญากาศ กับซับสเตรทดังกล่าว ซึ่งมีวัสดุสาร ยึดติดที่ประยุกต์ใช้กับพื้นผิวของซับสเตรทดังกล่าวและชัก นำผิว หน้าหนึ่งของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้น เข้าไปสัมผัสกับส่วนหนึ่งของวัสดุสารยึดต่อ ดังกล่าว และ การปลดปล่อยแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นโดยการ ยุติสุญญากาศเพื่อจัดการ แถวลำดับดังกล่าวของแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวอยู่ที่ตำแหน่งเดิมบนซับสเตรทดังกล่าว และ ยึดติดกับซับสเตรทดังกล่าว

50. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 49 โดยที่ซับสเตรทดัง กล่าวยังมีวัสดุนำไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ กับซับสเตรทดังกล่าว เพื่อเชื่อมต่อแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวสอง ชิ้นหรือมากกว่าทาง ไฟฟ้าในแถวลำดับดังกล่าว ซึ่งยึดติดกับซับสเตรท

51. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ ที่ 45 ถึง ข้อที่ 50 โดยที่เวเฟอร์ ดังกล่าวเป็นซิลิคอนผลึก เดี่ยวหรือซิลิคอนหลายผลึก

52. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ ที่ 45 ถึง ข้อที่ 57 โดยที่สายพานที่ หนึ่งอย่างน้อยที่สุด หนึ่งเส้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้น

53. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 48 หรือ ข้อที่ 49 ข้อใดข้อ หนึ่ง โดยที่สายพานที่หนึ่งอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งเส้นดัง กล่าวประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้นและสายพานที่สอง อย่างน้อยที่ สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานอื่น ขนานกันสองเส้น

54. ระบบเพื่อทำการประกอบรวมแถวลำดับแถวหนึ่งของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาว บนซับสเตรท แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวดังกล่าวได้ก่อรูปขึ้นในเวเฟอร์ในลักษณะขนานกัน เป็นส่วน ใหญ่สัมพันธ์ซึ่งกันและกัน เวเฟอร์ดังกล่าวมีพื้นผิวแบนราบ เป็นส่วนใหญ่ และมิติเชิงความ หนาที่ตั้งฉากกับพื้นผิวแบน ราบเป็นส่วนใหญ่และส่วนกรอบที่ปลายที่อยู่ตรงข้ามกันของ แผ่นแถบ สารกึ่งตัวนำดังกล่าว ซึ่งเชื่อมต่อแผ่นแถบดังกล่าว กับเวเฟอร์ดังกล่าว ระบบดังกล่าวประกอบรวมด้วย ขั้นตอนต่างๆ ของ แหล่งกำเนิดสุญญากาศเพื่อทำการแยกแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวออกจากเวเฟอร์ ดังกล่าวโดยการใช้สุญญากาศที่ประยุกต์ ใช้กับแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว ซึ่งก่อรูป เป็น ขอบขอบหนึ่ง หรืออยู่ชิดกับขอบขอบหนึ่งของเวเฟอร์ดัง กล่าว วิถีทางเพื่อทำการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ดังกล่าวจากแหล่ง กำเนิดของสุญญากาศดังกล่าวแบบ สัมพัทธ์ด้วยระยะทางที่กำหนด ไว้ก่อน สายพานที่หนึ่งอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นเพื่อทำการรับแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว ดังกล่าวที่วัดทิศทางตามความยาว ขวางข้ามสายพานดังกล่าว มอเตอร์สำหรับทำให้สายพานอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าว เคลื่อนที่ในทิศทางที่กำหนด ไว้เป็นระยะทางที่กำหนดไว้ก่อน แล้ว ซึ่งมากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาว ดังกล่าว ส่วนควบคุมสำหรับทวนซ้ำ การดำเนินการที่กล่าวมาข้างต้นจน กว่าแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวผ่านการดำเนิน กระบวนการหมดทุกชิ้นแล้ว

55. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อที่ 54 โดยที่สายพานที่หนึ่ง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวทำ จากสิ่งทอ ลักษณะแถบและ มีสารยึดติดบนพื้นผิวหนึ่ง ขณะเวลาซึ่งทำการรับแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าว

56. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อที่ 54 โดยที่สามารถทำให้แผ่นแถบ สารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่ แยกออกมาดังกล่าว และแหล่ง กำเนิดสุญญากาศดังกล่าวย้ายมีสัมพันธ์ซึ่งกันและกัน

57. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อที่ 54 หรือ 56 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยที่สายพานที่หนึ่งอย่างน้อยที่สุด หนึ่งเส้นดังกล่าวได้ ทำเป็นเชิงเทินและมีระยะห่างระหว่างเชิงเทินที่อยู่ชิดกัน ซึ่ง โดยพื้นฐานแล้วกว้าง กว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าว และยังประกอบรวมต่อไปด้วย สายพานที่สองอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นซึ่งมีเชิงเทินที่มี ระยะห่างระหว่างเชิงเทินที่อยู่ชิดกัน มากกว่าความกว้างของ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว แต่โดยพื้นฐานแล้วน้อยกว่า เชิงเทินที่อยู่ชิด กันของสายพานที่หนึ่งอย่างน้อยที่สุด หนึ่งเส้นดังกล่าว วิถีทางเพื่อทำการถ่ายโอนแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ ละชิ้น จากสายพานที่หนึ่งอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าว ไปที่สายพานที่สองอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวโดยการ ใช้สุญญากาศ และ มอเตอร์สำหรับทำให้สายพานที่สองอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นดังกล่าว เคลื่อนที่ในทิศทางที่ กำหนดด้วยระยะทางที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว ซึ่งมากกว่าความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยาย ยาวดัง กล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวสำหรับทวนซ้ำ การดำเนินการในการถ่ายโอนและการ เคลื่อนที่ดังกล่าว จนกว่าอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่งของแผ่น แถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวผ่านการดำเนินกระบวน การสำหรับก่อรูปแถวลำดับดังกล่าวของแผ่นแถบแล้ว

58. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อที่ 57 ยังประกอบรวมต่อไปด้วย วิถีทางเพื่อทำการถ่ายโอนแถวลำดับดังกล่าวของแผ่นแถบสาร กึ่งตัวนำที่ขยายยาว โดยการใช้ สุญญากาศไปที่ซับสเตรทดัง กล่าวซึ่งมีวัสดุสารยึดติดที่ประยุกต์ใช้กับพื้นผิวหนึ่งของซับสเตรท ดังกล่าวและทำการชักนำผิวหน้าหนึ่งของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวเข้าไปสัมผัสกับ ส่วนหนึ่งของวัสดุสารยึดติด ดังกล่าว และ วิถีทางเพื่อทำการปลดปล่อยแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาว แต่ละชิ้น โดยการยุติสุญญากาศ ดังกล่าว เพื่อจัดให้มีแถวลำ ดับดังกล่าวของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่จัดไว้ที่ ตำแหน่งเดิมบน ซับสเตรทดังกล่าวและยึดติดกับซับสเตรทดัง กล่าว

59. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อที่ 58 โดยที่ซับสเตรทดังกล่าว ยังมีวัสดุนำไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้กับ ซับสเตรทดังกล่าวเพื่อ เชื่อมต่อแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวสองชิ้น หรือมากกว่าทาง ไฟฟ้าในแถวลำดับดังกล่าวซึ่งยึดติดกับ ซับสเตรทดังกล่าว

60. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อที่ 54 ถึงข้อที่ 59 โดยที่เวเฟอร์ ดังกล่าวเป็นซิลิคอนผลึก เดี่ยวหรือซิลิคอนหลายผลึก

61. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ ข้อที่ 54 ถึงข้อที่ 56 โดยที่สายพาน ที่หนึ่งอย่างน้อยที่ สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้น

62. เครื่องมือตามข้อถือสิทธิข้อที่ 57 หรือ ข้อที่ 58 ข้อ ใดข้อหนึ่ง โดยที่สายพานที่หนึ่งอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งเส้น ดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานขนานกันสองเส้นและสายพานที่สอง อย่างน้อยที่ สุดหนึ่งเส้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยสายพานอื่น ขนานกันสองเส้น

63. อุปกรณ์ ประกอบรวมด้วย ซับสเตรท แถวลำดับของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวที่แยกออก จากเวเฟอร์ของวัสดุสารกึ่งตัวนำ แผ่นแถบสารกึ่งตัวนำดัง กล่าวแต่ละชิ้นมีความกว้างเท่ากับเป็นส่วนใหญ่กับความหนา ของเวเฟอร์และ มิติเชิงความหนาของแผ่นแถบดังกล่าวน้อยกว่า ความกว้าง วัสดุสารยึดติดที่พอกพูนไว้ระหว่างซับสเตรทดังกล่าวกับผิว หน้าหนึ่งของแผ่นแถบสารกึ่งตัว นำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นเพื่อยึดติดซับสเตรทดังกล่าวกับสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้นเข้าด้วยกัน ผิว หน้าดังกล่าวมีความกว้างของแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ขยายยาวดังกล่าวเป็น มิติหนึ่งของมิติแผ่น แถบ และ วัสดุนำไฟฟ้าที่พอกพูนลงบนซับสเตรทดังกล่าว สำหรับเชื่อม ต่อแผ่นแถบสารกึ่งตัวนำที่ ขยายยาวดังกล่าวอย่างน้อยที่สุด สองชิ้นเข้าด้วยกัน

64. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 63 โดยที่แผ่นแถบสารกึ่ง ตัวนำที่ขยายยาวแต่ละชิ้น ประกอบรวมด้วยเซลล์แสงอาทิตย์ที่ ให้แรงดันพลังแสงที่เป็นแผ่นบาง

65. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 64 โดยที่อุปกรณ์ดังกล่าว เป็นมอดูลของเซลล์แสง อาทิตย์