TH76162A - ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงาน - Google Patents
ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานInfo
- Publication number
- TH76162A TH76162A TH501004403A TH0501004403A TH76162A TH 76162 A TH76162 A TH 76162A TH 501004403 A TH501004403 A TH 501004403A TH 0501004403 A TH0501004403 A TH 0501004403A TH 76162 A TH76162 A TH 76162A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- gas
- activated
- reactive gas
- equipment
- internal space
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (19/12/48) เนื้อหาในที่นี้เป็นการอธิบายเกี่ยวกับชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อย ส่วนหนึ่งของพื้นผิวของฐานรอง ในลักษณะอย่างหนึ่งนั้น ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวจะมี ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่ว่างภายใน, ฐานรองและท่อร่วมไอเสีย แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยาโดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยก๊าซทำปฏิกิริยา ตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปและตัวเลือกที่ไม่บังคับคือก๊าซเติมแต่งจะถูกกระตุ้นให้ทำงาน โดยแหล่งพลังงาน ตั้งแต่หนึ่งแห่งขึ้นไปเพื่อให้ได้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานและ ท่อแจกจ่ายซึ่งมีเส้นทางเชื่อมต่อของไหลเข้ากับและแหล่งจ่ายซึ่งประกอบด้วยช่องเปิดจำนวน มากกว่าหนึ่งช่องซึ่งส่งก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานเข้าไปในเนื้อที่ว่างภายในโดยที่ก๊าซทำ ปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานจะมีสัมผัสกับพื้นผิวและทำให้มีก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกระตุ้นให้ทำงานซึ่ง ผ่านการใช้งานและ/หรือผลิตผลที่ระเหยได้ซึ่งถูกดูดออกมาจากเนื้อที่ว่างภายในดังกล่าวโดยผ่านทางท่อ ร่วมไอเสีย เนื่อหาในที่นี้เป็นการอธิบายเกี่ยวกับชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อย ส่วนหนึ่งของพื้นผิวของฐานรอง ในลักษณะอย่างหนึ่งนั้น ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวจะมี ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่วางภายใน, ฐานรองและท่อร่วมไอเสีย แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยา โดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยก๊าซทำปฏิกิริยา ตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปและตัวเลือกที่ไม่บังคับคือก๊าซเติมแต่งจะถูกกระตุ้นให้ทำงาน โดยแหล่งพลังงาน ตั้งแต่หนึ่งแห่งขึ้นไปเพื่อให้ได้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานและ ท่อแจกจ่ายซึ่งมีเส้นทางเชื่อมต่อของไหลเข้ากับและแหล่งจ่ายซึ่งประกอบด้วยช่องเปิดจำนวน มากกว่าหนึ่งช่องซึ่งส่งก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานเข้าไปในเนื้อที่ว่างภายในโดยที่ก๊าซทำ ปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานจะมีสัมผัสกับพื้นผิวและทำให้มีก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกระตุ้นให้ทำงานซึ่ง ผ่านการใช้งานและ/หรือผลิตผลที่ระเหยได้ซึ่งถูกดูดออกมาจากเนื้อที่ว่างภายในดังกล่าว โดยผ่านทางท่อ ร่วมไอเสีย
Claims (1)
1. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อยส่วนของพื้นผิดของฐานรองที่มีความ ยาวมากกว่า 2 ฟุตและมีความกว้างมากกว่า 1 ฟุตและ/หรือมีพื้นที่ผิว 2 ตารางฟุตหรือมากว่านี้โดยใช้ ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานโดยที่ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย - ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่ว่างภายในที่ได้รับการปรับแต่งเพื่อให้สามารถ รองรับพื้นผิวของฐานรองได้อย่างน้อยส่วนหนึ่งและท่อร่วมไอเสีย - แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานโดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH76162A true TH76162A (th) | 2006-03-02 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2006034130A3 (en) | Apparatus and process for surface treatment of substrate using an activated reactive gas | |
| FR2874628A1 (fr) | Appareil de repassage comportant un fer a repasser et une base portative | |
| TW200610482A (en) | Heat pipe heatsink | |
| TW200745727A (en) | Lithographic projection apparatus, gas purging method, device manufacturing method and purge gas supply system | |
| TW200504861A (en) | Uniform etch system | |
| TW200614962A (en) | Cleaning appliance | |
| ATE463852T1 (de) | Brennstoffzellenheizgerät sowie verfahren zum betreiben eines brennstoffzellenheizgeräts | |
| DE502005001185D1 (de) | Gargerät mit einem Garraumablauf und einem Siphon | |
| TH76162A (th) | ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงาน | |
| RU2011128436A (ru) | Устройство для каталитического химического осаждения из паровой фазы | |
| TW200619115A (en) | Substrate transferring apparatus | |
| TW200740576A (en) | Transferring device | |
| EA201100141A1 (ru) | Устройство для снижения уровня диоксида углерода в дымовых газах сгорания | |
| ITBO20040343A1 (it) | Un apparecchio per il trattamento dell'aria di un ambiente, in particolare sotto forma di un condizionatore d'aria. | |
| SG143132A1 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
| TH88220A (th) | อุปกรณ์และกระบวนการสำหรับการปฏิบัติพื้นผิวของซับสเทรตโดยใช้ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้น | |
| DK1750071T3 (da) | Kaminovn | |
| Wu et al. | Numerical simulation of VOCs emission from building materials: A comparison of different material shapes | |
| TW200704431A (en) | Holding and sealing member and exhaust emission control device | |
| ITPI20050094A1 (it) | Composto chimico per la catalisi della combustione ed apparati impieganti detto composto | |
| TW200720453A (en) | Apparatus and method of vacuum deposition | |
| TW200733854A (en) | Plate type heat pipe | |
| ATE361710T1 (de) | Kryoapplikator zum lokalen kühlen einer oberfläche | |
| FIU20000327U0 (fi) | Puutavaran kuivaus- ja lämpökäsittelylaitteisto | |
| JP2008294104A5 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |