TH76162A - ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงาน - Google Patents

ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงาน

Info

Publication number
TH76162A
TH76162A TH501004403A TH0501004403A TH76162A TH 76162 A TH76162 A TH 76162A TH 501004403 A TH501004403 A TH 501004403A TH 0501004403 A TH0501004403 A TH 0501004403A TH 76162 A TH76162 A TH 76162A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
gas
activated
reactive gas
equipment
internal space
Prior art date
Application number
TH501004403A
Other languages
English (en)
Inventor
ที่สาม
การ์จ นายไดวาการ์
อาร์โนลด์ ครูส นายสตีเวน
แอนโธนี่ย์ โรเบิร์ตสัน นายอีริค
Original Assignee
นายธเนศ เปเรร่า
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นายธเนศ เปเรร่า, นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า, นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า filed Critical นายธเนศ เปเรร่า
Publication of TH76162A publication Critical patent/TH76162A/th

Links

Abstract

DC60 (19/12/48) เนื้อหาในที่นี้เป็นการอธิบายเกี่ยวกับชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อย ส่วนหนึ่งของพื้นผิวของฐานรอง ในลักษณะอย่างหนึ่งนั้น ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวจะมี ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่ว่างภายใน, ฐานรองและท่อร่วมไอเสีย แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยาโดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยก๊าซทำปฏิกิริยา ตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปและตัวเลือกที่ไม่บังคับคือก๊าซเติมแต่งจะถูกกระตุ้นให้ทำงาน โดยแหล่งพลังงาน ตั้งแต่หนึ่งแห่งขึ้นไปเพื่อให้ได้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานและ ท่อแจกจ่ายซึ่งมีเส้นทางเชื่อมต่อของไหลเข้ากับและแหล่งจ่ายซึ่งประกอบด้วยช่องเปิดจำนวน มากกว่าหนึ่งช่องซึ่งส่งก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานเข้าไปในเนื้อที่ว่างภายในโดยที่ก๊าซทำ ปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานจะมีสัมผัสกับพื้นผิวและทำให้มีก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกระตุ้นให้ทำงานซึ่ง ผ่านการใช้งานและ/หรือผลิตผลที่ระเหยได้ซึ่งถูกดูดออกมาจากเนื้อที่ว่างภายในดังกล่าวโดยผ่านทางท่อ ร่วมไอเสีย เนื่อหาในที่นี้เป็นการอธิบายเกี่ยวกับชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อย ส่วนหนึ่งของพื้นผิวของฐานรอง ในลักษณะอย่างหนึ่งนั้น ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวจะมี ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่วางภายใน, ฐานรองและท่อร่วมไอเสีย แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยา โดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยก๊าซทำปฏิกิริยา ตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปและตัวเลือกที่ไม่บังคับคือก๊าซเติมแต่งจะถูกกระตุ้นให้ทำงาน โดยแหล่งพลังงาน ตั้งแต่หนึ่งแห่งขึ้นไปเพื่อให้ได้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานและ ท่อแจกจ่ายซึ่งมีเส้นทางเชื่อมต่อของไหลเข้ากับและแหล่งจ่ายซึ่งประกอบด้วยช่องเปิดจำนวน มากกว่าหนึ่งช่องซึ่งส่งก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานเข้าไปในเนื้อที่ว่างภายในโดยที่ก๊าซทำ ปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานจะมีสัมผัสกับพื้นผิวและทำให้มีก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกระตุ้นให้ทำงานซึ่ง ผ่านการใช้งานและ/หรือผลิตผลที่ระเหยได้ซึ่งถูกดูดออกมาจากเนื้อที่ว่างภายในดังกล่าว โดยผ่านทางท่อ ร่วมไอเสีย

Claims (1)

1. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อยส่วนของพื้นผิดของฐานรองที่มีความ ยาวมากกว่า 2 ฟุตและมีความกว้างมากกว่า 1 ฟุตและ/หรือมีพื้นที่ผิว 2 ตารางฟุตหรือมากว่านี้โดยใช้ ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานโดยที่ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย - ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่ว่างภายในที่ได้รับการปรับแต่งเพื่อให้สามารถ รองรับพื้นผิวของฐานรองได้อย่างน้อยส่วนหนึ่งและท่อร่วมไอเสีย - แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานโดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินแท็ก :
TH501004403A 2005-09-20 ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงาน TH76162A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH76162A true TH76162A (th) 2006-03-02

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006034130A3 (en) Apparatus and process for surface treatment of substrate using an activated reactive gas
FR2874628A1 (fr) Appareil de repassage comportant un fer a repasser et une base portative
TW200610482A (en) Heat pipe heatsink
TW200745727A (en) Lithographic projection apparatus, gas purging method, device manufacturing method and purge gas supply system
TW200504861A (en) Uniform etch system
TW200614962A (en) Cleaning appliance
ATE463852T1 (de) Brennstoffzellenheizgerät sowie verfahren zum betreiben eines brennstoffzellenheizgeräts
DE502005001185D1 (de) Gargerät mit einem Garraumablauf und einem Siphon
TH76162A (th) ชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพพื้นผิวของฐานรองโดยใช้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงาน
RU2011128436A (ru) Устройство для каталитического химического осаждения из паровой фазы
TW200619115A (en) Substrate transferring apparatus
TW200740576A (en) Transferring device
EA201100141A1 (ru) Устройство для снижения уровня диоксида углерода в дымовых газах сгорания
ITBO20040343A1 (it) Un apparecchio per il trattamento dell'aria di un ambiente, in particolare sotto forma di un condizionatore d'aria.
SG143132A1 (en) Lithographic apparatus and device manufacturing method
TH88220A (th) อุปกรณ์และกระบวนการสำหรับการปฏิบัติพื้นผิวของซับสเทรตโดยใช้ก๊าซไวปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้น
DK1750071T3 (da) Kaminovn
Wu et al. Numerical simulation of VOCs emission from building materials: A comparison of different material shapes
TW200704431A (en) Holding and sealing member and exhaust emission control device
ITPI20050094A1 (it) Composto chimico per la catalisi della combustione ed apparati impieganti detto composto
TW200720453A (en) Apparatus and method of vacuum deposition
TW200733854A (en) Plate type heat pipe
ATE361710T1 (de) Kryoapplikator zum lokalen kühlen einer oberfläche
FIU20000327U0 (fi) Puutavaran kuivaus- ja lämpökäsittelylaitteisto
JP2008294104A5 (ja) 基板処理装置及び半導体装置の製造方法