TH85401A - อุปกรณ์และวิธีการสำหรับการเคลือบซับสเตรต - Google Patents
อุปกรณ์และวิธีการสำหรับการเคลือบซับสเตรตInfo
- Publication number
- TH85401A TH85401A TH601002433A TH0601002433A TH85401A TH 85401 A TH85401 A TH 85401A TH 601002433 A TH601002433 A TH 601002433A TH 0601002433 A TH0601002433 A TH 0601002433A TH 85401 A TH85401 A TH 85401A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- coil
- substrate
- coating
- physical vapor
- conductive material
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract 4
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 claims abstract 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract 4
- 238000004321 preservation Methods 0.000 claims abstract 4
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims abstract 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims 1
Abstract
DC60 (24/08/49) การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทาง กายภาพ ซึ่งประกอบด้วยช่องสุญญากาศซึ่งขดลวดได้รับการใส่ไว้สำหรับการคงวัสดุนำไฟฟ้า ปริมาณหนึ่งไว้ในการลอยและสำหรับทำความร้อนและทำให้วัสดุนั้นกลายเป็นไอ โดยใช้กระแส ไฟ ฟ้าแปรผันในขดลวด และซึ่งวิถีทางได้รับการใส่ไว้ในขดลวดเพื่อกั้นแยกขดลวดจากวัสดุลอย ดัง กล่าว ตามการประดิษฐ์นี้ อุปกรณ์มีลักษณะเฉพาะซึ่งวิถีทางการกั้นแยกเป็นส่วนหนึ่งของ ภาชนะ บรรจุที่ทำมาจากวัสดุไม่นำไฟฟ้า ภาชนะบรรจุมีช่องเปิดหนึ่งหรือหลายช่องสำหรับการนำ วัสดุนำ ไฟฟ้าที่กลายเป็นไอแล้วไปยังซับสเตรตที่จะได้รับการเคลือบ การประดิษฐ์นี้ยังเกี่ยวข้อง กับวิธีการ สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทางกายภาพอีกด้วย การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทาง กายภาพ ซึ่งประกอบด้วยช่องสุญญากาศซึ่งขดลวดได้รับการใส่ไว้สำหรับการคงวัสดุนำไฟฟ้า ปริมาณหนึ่งไว้ในการลอยและสำหรับทำความร้อนและทำให้วัสดุนั้นกลายเป็นไอ โดยใช้กระแส ไฟฟ้าแปรผันในขดลวด และซึ่งวิถีทางได้รับการใส่ไว้ในขดลวดเพื่อกั้นแยกขดลวดจากวัสดุลอย ดังกล่าว ตามการประดิษฐ์นี้ อุปกรณ์มีลักษณะเฉพาะซึ่งวิถีทางการกั้นแยกเป็นส่วนหนึ่งของภาชนะ บรรจุที่ทำมาจากวัสดุไม่นำไฟฟ้า ภาชนะบรรจุมีช่องเปิดหนึ่งหรือหลายช่องสำหรับการนำวัสดุนำ ไฟฟ้าที่กลายเป็นไอแล้วไปยังซับสเตรตที่จะได้รับการเคลือบ การประดิษฐ์นี้ยังเกี่ยวข้องกับวิธีการ สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทางกายภาพอีกด้วย
Claims (1)
1. อุปกรณ์สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยการใช้การเกาะจับไอทางกายภาพ ซึ่ง ประกอบด้วยห้องสุญญากาศที่ซึ่งขดลวด (1) ได้รับการใส่สำหรับการคงปริมาณวัสดุนำไฟฟ้าที่ ลอยอยู่และสำหรับทำความร้อนและทำให้วัสดุนั้นระเหยเป็นไอ โดยที่ใช้กระแสไฟฟ้าแปรผันใน ขดลวด (1) ที่ซึ่งวิถีทางได้รับการใส่ไว้ในขดลวดเพื่อกั้นแยกขดลวด (1) จากวัสดุลอย และที่ซึ่งวิถีแท็ก :
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH85401B TH85401B (th) | 2007-07-05 |
| TH85401A true TH85401A (th) | 2007-07-05 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY141409A (en) | Apparatus and method for coating a substrate | |
| CN108291713B (zh) | 蒸发装置及蒸发流体的方法 | |
| RU2020135824A (ru) | Изделие для использования с устройством для нагрева образующего дым материала | |
| TW200801228A (en) | Method and apparatus for photo-excitation of chemicals for atomic layer deposition of dielectric film | |
| WO2008105287A1 (ja) | 蒸着源、蒸着装置、有機薄膜の成膜方法 | |
| PL1752554T3 (pl) | Urządzenie do naparowywania | |
| TWI245808B (en) | Organic EL of evaporation device for evaporation | |
| US20100206713A1 (en) | PZT Depositing Using Vapor Deposition | |
| TW200602512A (en) | High thickness uniformity vaporization source | |
| BR0307800B1 (pt) | método e dispositivo para o revestimento de um substrato. | |
| CN109072425A (zh) | 等离子体沉积方法 | |
| CN102511080A (zh) | 钝化粘合层以改善无定形碳到金属附着力 | |
| WO2007080594A3 (en) | Method and apparatus for generating ion beam | |
| RU2009128025A (ru) | Постоянный магнит и способ его изготовления | |
| TH85401A (th) | อุปกรณ์และวิธีการสำหรับการเคลือบซับสเตรต | |
| TH85401B (th) | อุปกรณ์และวิธีการสำหรับการเคลือบซับสเตรต | |
| DE102004034103A1 (de) | Verfahren zur Abscheidung von Silizium und Germanium enthaltenen Schichten und Schichtfolgen unter Verwendung von nicht-kontinuierlicher Injektion von flüssigen und gelösten Ausgangssubstanzen über eine Mehrkanalinjektionseinheit | |
| TW200622013A (en) | Arrangement for coating substrate | |
| WO2011005008A3 (ko) | 증착장치의 증착용 기판, 상기 증착용 기판을 사용한 성막 방법 및 유기전계발광표시장치의 제조방법 | |
| RU2009141711A (ru) | Детектирование отпечатка пальца | |
| Liu et al. | Theoretical and experimental studies of the prevention mechanism of organic inhibitors on silver anti-tarnish | |
| Pshchelko et al. | Increase of adhesion of conductive films on dielectric substrates by means of electric field | |
| TW200624577A (en) | Controlling the vaporization of organic material | |
| JP2019089311A (ja) | ガスバリア膜、ガスバリアフィルム、有機エレクトロルミネッセンス素子及び電子ペーパー並びにガスバリアフィルムの製造方法 | |
| US20160013032A1 (en) | Cathode assembly, physical vapor deposition system, and method for physical vapor deposition |