TW202420B - - Google Patents

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經濟部中央標準局貝工消费合作社印製

-024SO Λ6 _ 五、發明説明（1 ) 本發明有關隔熱及/或防護陽光照射之窗玻璃，尤其 是具有真空蒸鍍之功能薄膜之玻璃襯底。 此種具多層膜之襯底在此特別欲應用於建築物及船。 事實上，藉作陽光輻射能量之量的作用，其使窗内過熱， 在夏天尤其令人不適，可由之避免並因此限制該室空諝所 需之能量損耗。此點在目前建築物外觀鑲玻璃比例增加之 趨勢下更顯重要。 但是，要使此種具薄膜之襯底極適於建物仍有其他需 求，主要需求為薄膜之耐用性，尤其是窗玻璃欲以整體性 玻璃使用時。 事實上，對此種塗有薄膜之襯底言之，適用於整體性 玻璃極重要。此意指薄膜應耐時，即使其不像在層積窗玻 璃或雙層玻璃之多層窗玻璃内部般受到保護。現在之整體 性玻璃中，該薄膜同時遭受機槭性，例如磨擦産生之刮痕 而致之透射以及反射外觀之缺陷，以及化學性，例如與溼 汽接觸及/或四周空氣污染或在窗玻璃以化學品清潔之侵 害。 ' 美觀性必不能遣忘；期望窗玻璃，就外觀反射視之， 應可具不同色澤，尤其之柔和色澤。 建築用之窗玻璃雖不如汽車用者，例如擋風玻璃，般 需極高透光度，但較好能提供具不同透光度之窗玻璃。 至於薄膜之製法，真空蒸鍍技術，尤其是使用陰極濺 射者，為已知者且可充分控制所得膜之光學性能。尤其， 已知在磁場存在下進行之技術，其倍增離子對靶極之撞擊 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝* 訂_ 線- 本紙張尺度逍用中國國家樣準（CNS)甲4規格(210x297公货) -3 - 81. 5. 20f000(H) ^0242*0 Λ6 __B_6 五、發明説明（2 ) 並加速澱積。例如，專利DE-24 63 431 C2,其有使用平 面磁控管之方法，且專利US-4 116 806揉用帶狀之靶極， 所諝之''帶狀軌道〃。 相同地，反應性陰極極濺射技術為已知，其可使耙極 材料與電漿氣體反應而製得薄膜；專利US-3 907 660示出 一種在玻璃上蒸鍍金屬氣化物之方法。 在對陽光照射作用，尤其是同時藉吸收及射減少能量 透射之薄金屬或其他膜中，已知者為以鉻一鎳合金或 鐵一鉻一鎳合金為主之膜。因此專利US-4 022 947特別出 示具有製自此類合金之一之膜及對應於該合金之氧化物膜 之玻璃襯底。此氣化物膜或置於功能膜上，其自身澱積於 襯底上，或於襯底及該功能膜間。前一種情況下，其扮演 實質保護之角色，但此保護性未經計算。後一種情況下， 其扮演實質干擾之角色，以調節玻璃面之顔色，但未顯示 其強度。 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此本發明標的係得到一種具薄多層膜之襯底，其應 有效地發揮對太陽照射之防護功能，膜面應具高度機槭及 化學阻抗，玻璃面應具各種顔色及反射色澤純度。 依本發明，玻璃襯底包括實質為鉻及鎳為主之金屬合 金功能膜。除了此二金屬外，合金亦可含鐵，而屬於不誘 鋼類（諸如銷316L,依A. I.S. I.標準）。較 好，該合金經氮化，産生較大之機械強度。其厚度可變化 ，較好少於lOOnm,尤其是10及lOOnm間。事 實上，就是此膜藉由值之降低而賦予最終窗玻璃陽光 本紙張尺度逍用中Η Β家楳準(CHS)甲4規格(210X297公龙) -4 - 81. 5. 20.000(H) 0242,0 Λ 6 Β6 五、發明説明（3 ) 照射防護性。本發明另一種功能膜以鉅為主，其厚度依期 望之透光度調整。 應注意此種膜不可能僅作用於Tf因子而不作用於透 光因子Τι,其中有50%太陽能僳為波長0. 38及 0. 78nm間者，即可見光範圍。此導致，依所用合金 膜之厚度而定，窗玻璃具不同Ti及Tf值、'對〃，各對 應於在可接受之熱舒適度下得到充分之可見透光度，若僅 為欲使用最終窗玻璃之國家的緯度之函數。但是，厚度通 常保持少於1〇0nm。 較好使用以鎳-鉻為主之合金，因其易於加工且價格 適中。此外，此種合金易於使用，因其陰離濺射澱積可高 速進行。其性質亦有利，因其具良好性能，尤其是改良之 發射率。鎳及鉻共軛存在亦可具有膜之玻璃面上之反光之 外觀適眼。鎳對鉻之質量比較好為5 5/4 5之大小，若 合金實質含鎳及鉻。 經濟部中央標準局貝工消t合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明以金屬及/或金屬化合物為主之膜置於以下所 稱之 > 底膜〃，且，本身，直接澱積於玻璃襯底的金屬氣 物膜上。此外，覆以另一層金屬化合物膜，其以下稱為 ''覆膜"。 底膜較好以氣化鉅Ta2〇5,氣化錫Sn〇2或氣化 欽T i 〇2為主，且厚度由1 ◦至220nm。其具三重 功能：除了促進功能膜與櫬底之粘合外，些微之厚度對玻 璃之光反射外觀産生干擾功能之作用，對整値堆積膜亦有 物化阻抗之主要功能。意外地，事實上，本發明之作者證 本紙張尺度逍用中國Η家樣準(CNS)甲4規格(210x297公龙) -5 — 81. 5. 20,000(H) __136 ^〇24ίυ〇 Λ6 五、發明説明（4 ) 明，如下例所示，底膜對衝擊，尤其是化性，下之堆積膜 行為並非毫無影饗。 因此，若底膜選擇不適當，則底膜，尤其是玻璃/底 膜介面，可能出現化學腐蝕，該腐蝕造成底膜之局部損壞 ，進而導致外層剝離。目前底膜所選用之氧化物特別對溼 度及污染有化學抗性，因此較適於此功能。 覆膜為金屬化合物，尤其是氧化物或氮化物，較好為 鈦之氣化物或氮化物，T i 〇2或丁 i N,或氣化鉅 Ta2〇5。此覆膜主要對彼所覆蓋之功能膜有機械性及化 性之保護功能。依其厚以及功能膜厚度而定，亦可有干擾 作用，因而影繼玻璃反射之外觀。其厚最多l〇Onm, 較好至少5 n m。 具此種薄膜之襯底因此適用為整體窗玻璃或與其他襯 底組合。可有利地用於建築及造船及汽車工業中不需極高 T ^值之窗玻璃。 經濟部中央標準局员工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 發明中有一種堆積膜特別可達成本發明標的：其具以 氧化鉅（2) Ta2〇5為主之底膜，較好約lOOnm厚 /以鉅為主之金屬膜（3 ),其特別適於達到約1 1 %之 最終,及覆膜（4),亦以Ta2〇5為主，厚度較好 約 1 4 . 3 n m 〇 發明優點之細節可由參考附圖所製之本發明具薄膜襯 底的詳述得知，如下： 一圖1:經由本發明具薄膜之玻璃襯底之簡化切面。 為簡化，厚度比未依比例繪出。 本紙張尺度边用中國國家楳準(CNS)甲4規格(210x297公釐) -6 ~ 81. 5. 20(000(H) 經濟部屮央標準局KX工消费合作社印製 ^〇24S〇 Λ 6 _B6 _ 五、發明説明（5 ) 應注意所有此種薄膜之澱積皆在襯底上逐一地進行， 較好在反應性氣氛中使用磁控管陰極濺射技術，但其可藉 可對欲澱積之膜厚有良好控制之任何真空蒸鍍技術逹成。 silico-sodo-calcic玻璃，尤其是浮法玻璃，之概底 1藉定位条統導入澱積儀器之濺射室中。此濺射箱具有對 應於欲澱積材料靶極之陰極。 膜2, 3,4之澱積藉連續移動在金屬靶下及適當氣 氛中之襯底而得。為形成底膜2,靶極為鉋，鈦或錫且氣 氛受控制且實質上由氬及氣組成。為形成功能膜，靶極為 合金或鉅且澱積於在氬，亦可為氮氣氛中進行以形成鎳一 鉻之氮化膜上。為形成氣化物或氮化物之覆膜（本例尤其 有關氣化物覆膜），使用鈦或鉅靶極及氬/氧氣氛（或若 為氮化物則為氬/氮）。 以已知方式，將施於各陰極以及襯底前進速率經諝整 以得到期望膜厚。但是，功能膜3之實際厚度無法完全以 熟練真空蒸鍍膜用之裝置者所熟知之方式顯示，目的是理 想的控制蒸鍍條件，其依各種裝置而異，以精確地得到期 望之透光度T i，但不能整體性地極精確地決定可得到此 T t值之膜厚。 首先應提及的是具本發明膜之底襯的反射外觀由以下 三值判斷：玻璃面外部反射光之值，R 2 L ,以該底襯可 見光區之反射光譜結構表示，考慮眼睛及稱為發光物 之標準光源之蚕敏度，功能波長之毫微米值 )顯示反射顔色，且激發純度pe (R/L)顯示此顔色 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂- 線- 本紙張尺度通用中國B家標準(CNS)甲4規格(210父297公龙) -7 - 81. 5. 20.000(H) 1,02420 Λ 6 Β6 經濟部中央標準局貝工消t合作社印製 五、發明説明（6 ) 之 ''飽和度〃。 内面之反射光值，即具薄膜之面，以下稱為R2L。 此外，用以評估本發明薄膜堆積物之機械抗性的試驗 說明如下： - 可評估膜之機械抗性的磨損試驗藉由埋於彈料中之磨 料粉所製之砂輪進行。機械由Taber Instrument Corporation of the United States 公司産製 。型號 1 74, 、、 Standard Abrasion Tester 〃，砂輪為 C S 1 ◦ F ,負載 5〇0克。各試樣進行300轉，在磨損前（r〇 )及後 (r3。。）測量波長為550nm之透光度。磨耗量由U 值測量： \J 96 — Z 3 0 0 ~ z 〇 標準之化學抗性試驗如下進行： - 與中性鹽霧及乙酸亞銅鹽蓀接觸之抗性試驗依循標準 DIN 50021。此者，尤其，包括測量薄膜堆 積物中第一個缺陷出現之時間（日數），當此堆積物 在對應於兩試驗之標準氣氛中時。 - 抗二氣化硫S〇2性用之試驗SFW 2，0S與標 準DIN 50018相符。同於前二試驗，其決定 下述變出現前之期間（以8小時曝露及1 6小時休息 之循環表示）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國B家標準(CNS)甲4規格(210x297公釐） -8 - 81. 5 . 20.000(H)

經濟部+央標準局员工消費合作社印製 *024SU λ 6 ___B6_ 五、發明説明（7 ) 窨施例1牵5 第一糸列非限制例1至4有關一種襯底，其具有位在 玻璃面上具有在可見光範圍中呈藍色反射之薄膜且具氧化 鉅底膜2及氧化鈦覆膜4。 用以得到功能膜3之金屬靶為A S T Μ標準之INCONEL 671。 較好 ，選擇燒結靶 ，其 得自 適當比 例之鎳及鉻粉 。依此，得到可達均勻濺射之小直徑''顆粒〃。 而且，兩粉末間應均勻相互擴散以産生非磁性靶。 椒底1為厚6 mm之澄清浮式silico-sodo-caicic玻璃 Ο 各例中膜3厚度經選擇以得到期望之透光度值，Tr 。此例中，如下列6及7,其在10及l〇〇nm間。

Ta2〇5底膜之，功能膜3, T i 〇2覆膜4之毫撤 米厚度，以及包括襯底/多層膜組件之透光度Tt如下示 實施例 (2)Ta2〇5 (3)NiCrN, (4)Ti02 Ίι 1 100 15 10 35 % 2 100 28 10 19 % 3 100 36 10 14 % 4 100 45 10 8 % 發現，藉在前述值範圍間變化功能膜之厚度，可得@ 本紙張尺度逍用中國B家標準（CNS)甲4規格(210x297公龙） 81. 5. 20,〇〇〇(H) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 訂-

0242U Λ 6 _____Β6_ 五、發明説明（8 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 廣泛之透光度Τι。但是，應指出此種得到既定丁1值用 之厚度值，在此例中，大多在澱積條件下，尤其是所澱積 合金之氮化程度。 為說明依本發明塗覆之襯底接受機械及化學腐蝕時之 良好性能，在此4例間，尤其是例1及例5間作比較，其 包括以下膜之類似堆積物：金屬氣化物/氮化之金屬合金 /金屬氧化物，於相同襯底上，其性質如下： 底膜（2):氣化鋅與氧化錫之混合物，84nm厚 膜（3) ： A . I. S. I.標準之不锈銷316 2 2 n m 厚。 覆膜（4):氧化欽，l〇nm厚。 例2及5之光性質相近，已知下表之最後一稱顯示襯 底面上反射之顔色： EX • Τι R/ L R2L Ίε 入 domiR/L) pe(R i L) 顔色R/L 2' 19% 18¾ 34% 20% 482 24% 藍 5 20% 17% 43% 17% 480 22% 藍 經濟部中央標準局兵工消费合作社印製 兩情況下，皆在R i L中得到粉藍色。相對地，例2 之R2L值少於5者：因此例2之襯底，在房中作為整體 窗玻璃，在薄膜面上具適當反射（即在該室中，若彼在面 2上，其在外來光線微弱且内部亮度高之情況下可有''鏡 本紙張尺度逍用中B國家樣準(CNS)甲4規格(210X297公龙) -10 - 81. 5. 20.000(H) 經濟部中央橾準局员工消费合作社印製 Λ 6 Β6 五、發明説明（9 ) 面〃效果）。 相對地，兩値經塗覆整體襯底之腐蝕試驗産生不同結 果：（此試驗顯示對應於Τι 10%改質之膜層積物中變 化出現之時間）。 ΕΧ. 磨損 鹽霧 乙酸亞銅霧 二氣化硫 2 1.8 >62 >50 >37 5 3.7 21 1 < 1 例5化學試驗中結果之缺點顯然是不能在嚴刻之溼度 及/或污染條件下用為整體窗玻璃。 相對地，本發明例2之膜堆積物具優越之化學抗性， 其說明Ta2〇5底膜，氮化功能膜及T i 〇2覆膜令人意 外之共軛效果，其使在面2上具此種堆積物之襯底可作為 整體窗玻璃，不論該窗玻璃一般之使用條件及/或氣候條 件如何。 奮施例6及7 第二条列之實施例有關一種襯底，其三薄膜確實與前 例1至4具相同性質，但在約2 0 %之T i值反射R / L下 具青銅色。 本發明之薄膜2及4之厚度如下示： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝< 本紙張尺度逍用中國Η家標準(CNS)甲4規格(210x297公龙） 81. 5. 20.000(H) -11 - ^02420 Λ 6 136 五、發明説明（10) EX . (2)Ta205 (4)Ti02 Tl Ίε 顔色（RyL) 6 37.5 10 19% 20% 深青銅色 7 12.5 10 19* 20% 淡青銅色 奮施例8 此次，襯底具Ta2〇5之底膜2，Ta之功能膜3及 仍為Ta2〇5之覆膜4 : _ (2) Ta2〇5:厚 lOOnm 之底膜 -(3 ) T a ： 陽光防護用之功能膜，厚度適於 得到約1 1 %之T t 一 （4) Ta2〇5:厚 14. 3nm 之覆膜。 此種膜堆積物之光譜性質如下：

EX. Ti RiL R2L λ d〇m(R/L) pe(R/L)顔色 R2L 經濟部中央標準局员工消赀合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 8' 11.2¾ 9.4% 37% 14.5% 480 14.6% 藍 管施例9革1 2 下一糸列之實施例有關一種襯底，其具位於玻璃面上 且在可見光區呈青銅色反射之薄膜，具有以氧化鈦為主之 覆膜4及亦以氣化鈦T i 〇2為主之底膜2。 用於得到功能膜3之金屬靶為例9之INCONEL 671, 本紙張尺度逍用中a B家樣準(CNS)甲4規格(210x297公龙) -12 - 81. 5 . 20.000(H) Λ6 06 Λ,024^ϋ 五、發明説明（11) 即依ASTM標準實質以Ni—Cr為主者，如前例般製 得。 例10中，膜（3)亦含鐵且耙為A. I. S. I. 標準之氮化銷SST 316。 頌底1為6 n m厚之澄清浮式silico-sodo-calcic玻 墟 m 〇 膜3厚度依情況調整以得到期望透光值Τι。此例中 ，在1 0及1 0 0 n m間。 T i 〇2底膜2,功能膜3, T丨〇2覆膜4之毫徹 米厚度，以及包括襯底/多層膜之組件的透光度如下： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

實施例 （2)TiO (3)功能膜 (4)Ti02 Ti 9 15 28 10 21% 10 15 28 10 21% 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 以3說明依本發明塗覆之襯底在接受機械及化學腐蝕 時之良好性能，在此3例，尤其是例9及例1〇,及例 1 1間作比較，其包括類似之3膜堆積物：金屬氣化物/ 氮化金屬合金/金屬氣化物，於相同襯底上，其性質如1^ 底膜（2):鋅與錫氧化物之混合物，l〇nm厚 膜（3) ： A . I. S. I.檫準之不锈銷316 ，2 0 n m 厚 本紙張尺度逍用中B國家«準(CNS)甲4規格(210x297公龙) -13 - 81. 5. 20,000(11) 202420 五、發明説明（12) 覆膜（4):氧化鈦，10nm厚。 例9, 10及另一方面之例11的光箝性質極相近， 應瞭解下表最後一橱顯示襯底面反射之顔色： EX • Tl Ry L R2L Ts 入 d〇OT(I^2L) pe(R；L) 顔色LL 9 21% 26% 32% 18% 493 2.1% 淡青銅色 10 21% 25% 30% 17% 504 0.8% 淡青銅色 11 20% 25% 35% \Ί% 490 2.1% 淡青銅色 此三例中，各個淡青銅色調之顔色皆在得到。 但是，三種經塗覆整體性襯底之腐蝕試驗産生極相異 之結果：（此試驗顯示對應於第一値可見缺陷之出現的膜 填積物變化時間）。 (請先閱讀背面之注意事項再璘寫本頁) -裝· -線- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 EX . 磨損 鹽霧 乙酸亞銅霧 二氣化硫 9 2.5 >78 >90 >20 10 1.5 > 78 > 90 5 11 2.1 14 1 1 例11之化學試驗結果的缺點顯示其不能在嚴苛之溼 度及/或污染條件下用為整體性窗玻璃。 相對地，例9及例10之膜堆積物，尤其是本發明之 本紙張尺度逍用中困B家樣準(CNS)甲4規格(210父297公龙) 一 14 - 81. 5. 20,000(H) 經濟部屮央橾準局A工消费合作社印製 ^〇24Su Λ6 _ 五、發明説明（13) 例9,顯示優越之化學抗性，此證明T i 〇2底膜及以氮 化鎳與鉻為主之金屬膜及T i 〇2覆膜之意外共轭效果， 其仍可使具此種膜堆積物之襯底用為整體性窗玻璃，不論 該窗玻璃一般所遭受之使用條件及/或氣候條件為何。 此類例中，選擇小厚度之T i 〇2底膜2,其可産製 窗玻璃，經評斷，反射RiL中之青銅色極利於建築。但 是，顯然變化此厚度，尤其是實質增加，可得到干擾效果 以調整此色調。然後可得到具不同Ti值之窗玻璃及，各 值中，不同反射RiL之顔色，可輕易在本發明所有實例 中進行之厚度選擇。 奮施例1 2至1 5 第一糸列非限制例1 2至1 5有關一種襯底，其位在 玻璃面上且具有在可見光區反射藍色之薄膜，Sn〇2底 膜2及T i 0 2覆膜4。 用以産製功能膜3之金屬標的為如前A S T Μ標準之 INCONEL 671〇 襯底1為6 πππ厚之澄清浮式silico-sodo-calcic玻璃 0 膜3厚度依各例調整以得到期望之T i值。此情況下 ，如下例1 6及1 7 ,在1 ◦及1 ◦ 0 n m間。

Sn〇2底膜2,功能膜3, T i 〇2覆膜4之毫微 米厚度，以及包括襯底/多層膜之組件之透光度丁1，示 於下： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 線. 本紙張尺度逍用中β β家標準(CNS)甲4規格(210x297公龙） -15 - 81. 5. 20,000(H) ^024^° Λ 6 Β6 五、發明説明 實施例 (14) (2)SnO2 (3)NiCrN, (4)Ti02 Ti — 12 85 土 5 15 10 35 % 13 85± 5 28 10 19 % 14 85 士 5 36 10 14 % 15 85 土 5 45 10 8 % 為證明依本發明塗覆之襯底在機械及化學腐蝕下之良 好性能，在此4例，尤其例1 3，及例5間作比較。 例13及5之光譜性質極相近，已知下表最後一栅顯 示襯底面之反射顔色： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂_ EX . Ti R/L r2 L TE 入 OiOOT(RiL) pe(R 2 L) 顔色 13 19-5% 17.7% 38. 6% 18% 481 25.9% 藍 5 20 % 17 % 43 % 17% 480 22 藍 經濟部中央標準局貝工消货合作社印製 此二情況下，在R :L中得到淡藍色。相對地，例 1 3之R 2 L值少於例5者。 相對地，兩種經塗覆整體襯底産生極為不同之結果： (此試驗為在膜堆積物中導致第一値可見缺陷之變化出現 的時間）。 本紙張尺度通用中國Η家標準(CNS)甲4規格(210X297公煃） _ 16 _ 81. 5. 20.000(H) Λ 6 Β 6 五、 發明説明（15) EX · 磨損 鹽霧 乙酸亞銅蓀 二S化硫 13 1.0 >60 >60 >5 5 3.7 7 1 < 1 例5化學試驗結果之缺點極明顯。 相對地，例13之本發明膜堆積物具優越化學抗性， 其證明Sn〇2之阻電底層，氮化功能膜及T i 〇2覆膜 之意外共軛效果，其可使具此種多層膜堆積物之襯底用為 在面2之整體窗玻璃，不論其一般所承受之使用條件及/ 或氣候條件為何。 曹施例1 6及1 7 此糸列實例有關一種襯底，其三薄膜實際上同於前 例1 2至1 5,但其具約20%Tt值之青銅色反射 R i L 〇 本發明薄膜2及4之厚度如下： EX . (2)Sn02 (4)Ti02 Ti Ίε 顔色（IL) 16 30 10 19% 20% 深青銅色 17 10 10 19¾ 20% 淡青銅色 經濟部中央標準局员工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 總之，本案中符合本發明之所有實施例有關一種窗玻 本紙張尺度逍用中B國家標準(CNS)甲4規格(210x297公«：) -Π_ 81. 5. 20.000(H) ,024S〇 Λ 6 _ Β6 五、發明説明（16) 璃，其具優越之腐蝕抗性。而且，可得到具廣泛分光光譜 性之窗玻璃。 因此，藉由變化功能膜厚度，可選擇期望之透光度。 而且，僅調整底膜厚度，可變化反射中柔和顔色之 範圍，而Ti幾乎保持定值。 因此，顯然藉調整底膜厚及功能膜厚，可得到在反射 R/L中具不同顔色之薄膜襯底及，各顔色中，不同透光 度T t及能童透射T f。 亦可使用較大或較小之覆膜厚值，以將彼類為保護功 能，或賦予彼者干擾功能。

亦應注意經由適當膜厚之選擇，亦可調節反射R2L (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部屮央標準局员工消t合作社印製 81. 5. 20.000(H) 本紙張尺度逍用中國B家標準(CNS)甲4規格(210X297公釐) -18 -

Claims (1)

1. f624S〇 81.12.23 A7 B7 C7 D7 六、申請專利範園 附件一 A : 第81103697號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國81年12月修正 1. 一種具薄多層膜之玻璃襯底，其包括以鉻及鎳為 主，或以钽為主之功能膜（3),其特擻為該功能膜（3 )澱積於以氧化鈦，氧化錫或氧化鉅為主之膜（2 ),且 在該功能膜（3 )上澱積屬於氧化鈦，氮化鈦及氣化鉬之 群之金屬化合物膜（4); 其中該功能膜（3)之厚度少於l〇〇nm;該氧化 物膜（2)之厚度由10至220nm;而置於功能膜（ 3)上之金屬化合物膜（4)厚度由5至l〇〇nm。 2. 如申請專利範圍第1項之襯底，其中該功能膜（ 3)當其以鉻及鎳為主時，係經氮化。 3. 如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中該功能 膜（3)以質量比為55/45之鎳-鉻為主。 經濟部t央櫟準局8工消费合作杜印製 4. 如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中該功能 膜（3 )亦含鐵，且屬於不綉銷族。 5 .如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中在厚6 mm之澄清浮式玻璃襯底（1 )中，個別澱積1 0 0 n m厚 之氣化鉅膜（2 ),接箸為質量比5 5 / 4 5之氮化 NiCr膜（3),然後為10nm厚之氣化鈦膜（4) ，且以氮化NiCr為主之膜（3)的厚度經調整而使具 此三膜之襯底之透光度丁/_為約1 9%。 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS)甲4規格（210 X 297公犛）-1 一 81.9.10,000 經濟部中央櫺準局貝工消費合作社印製 ,〇24S〇 B7 C7 ___D7_ 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中該功能 膜.（3 )為鉅，其澱積於以氣化鉅為主之膜（2 )上，並 覆以亦以氧化鉅為主之膜（4 )。 7. 如申請專利範圍第6項之襯底，其中該氧化鉅第 一膜（2)具約l〇〇nm之厚度，最後之氣化鉅膜（4 )厚度約14. 3nm,且以鉅為主之膜（3)之厚度可 使具此三膜之襯底透光度Tl為约1 1%。 8. 如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中在6mm 厚澄清浮式玻璃襯底（1 )上，個別澱積約1 5 n m厚之 T i 〇2膜（2),接著為質量比55/45之氮化鎳一 鉻膜（3 ),接著為約1 ◦ n m厚之氧化鈦膜（4 ),而 氮化N i Cr膜（3)之厚度適於使具此三膜之襯底的透 光度為約2 1 %。 9. 如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中在6 min 厚之澄清浮式玻璃襯底（1 )上，値別澱積約8 5 n m厚 之氧化錫膜（2)，接著為質量比55/45之氮化 N i C r膜（3 )，接著為約1 ◦ n m厚之氯化鈦膜（4 )，而氮化N i C r膜（3 )之厚度適於使具此三膜之襯 底的透光度T △為約1 9 %。 1〇.如申請專利範圍第1或2項之襯底，其中為非 純粹金屬之膜傜借助磁場而於真空下由反應性陰極濺射産 製，金屬氧化物則於存有氧，經氮化之功能膜及/或氮化 物之功能膜則於存有氮時産製。 1 1.如申請專利範圍第1項之襯底，其俗用於在建 2 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫‘") —裝· 訂· . 81.9.10,000 本纸張又度適用中國國家橒準（CNS>甲4規格（210 X 297 X釐） fJ 〇24^〇 A7 B7 C7 D7 六、申請專利範園 築或造船或汽車工業中所用之防護陽光照射用之窗玻璃。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .f T 經濟部中央標準局R工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公贷） 3 - 81.9.10,000