TW533469B - Standardized tool performance tracking system and method - Google Patents

Description

533469 五、發明說明（1) 本發明係有關於一種機台性能追蹤系統及方法，特別 有關於一種標準化機台性能追蹤系統，可更有效率地加入 新分析模組並進行不同機台間之性能比較。 機台性此追蹤平台系統（T〇〇i perf〇rmance Plat form)係用以在半導體製程中，透過SECS通訊協定格 式之訊息傳送，來監控及收集製造機台之執行動作及晶°圓 流向之相關資訊，並提供分析模組（analysis m〇dul曰曰以 找出效率較差之機台動作及流程。 第1圖顯示了一傳統機台性能追蹤系統。此處以二 機台為例，每一機台n、12、13各具有其專用之分析模组 U1、121、131、分析規則資料112、122、132及、寺1生，所 資料113、m、133。同時，針對每一機台n、12 t貝 亦需提供其專用之訊息格式分析工 parser)114、124、134，以提供分析模組^、丨

可分析之輸入資料。 1W :而’在傳統機台性能追蹤系統中，由於每 需有專用之分析模組進行性能分析， 々二： 或是分=組增加日寺，就必需重新建立一套新的2:力: 系統，Η需耗費大量時間與人力進行H 統間之差異增加了系統維護及更新之因難度 千：糸 於各平台糸統係獨立存在，盆八4 、 亦由 各機台間無法進行性能之比較：、、、°果沒有標準化’使得 為了解決上述問題，本發明 追蹤系統’可更有效率地加入新：：J化機台性能 刀析杈組亚進仃不同機台

0503-7275TWF(N) ; TSMC2001·1213 ; Vincent.ptd 533469 五、發明說明（2) 間之性能比較 本發明之一目的在、曰 系統’用以分析複數機^:種，準化之機台性能 f自每-機台產生之訊括：-訊息轉譯；％ 斋，接收該些標準訊息而產生二橾=訊息；—資料伺服 儲存該原始資料表、—纟且能，、始貢料表；—資料庫， 具有-資料分析器及分析及；=表；-作業平台， 資料表而產生該總結表， 八该-貝料分析器讀取該原始 表、組態表及總結表進行哕：：ϊ :莫組使用該原始資料 本發明之另-目的台性能之分析。 蹤方法’用以分析複數機台之性.t種$:化之機台性能追 息而產生一原始資；;：澤！ 一標準訊息"妾收該些標準訊 原始資料表、總結表及-組態* ;以及使；； 貝表、組態表及總結表進行該些機台性能之分析。 本發明利用標準化之平台系統，使機台：：之 U示準化’並建立標準之組態表資料，使分析模組續取 標準化訊息並使用組態表進行分析動#，如此便由组 態表之增加或更新來完成分析模組之新增與更新動^ .同 時，由於資料之標準化，使得各機台性能之分析亦 以相互比較。 $ w j 實施例 第2圖顯示本發明一實施例中標準化之機台性能追蹤

0503-7275TWF(N) · TSMC2001-1213 ； Vincent.ptd 第5頁 533469 五、發明說明（3) 系統。此處以二個機台2 1、2 2、2 3及三種分析模組2 4 a、 2 4 b、2 4 c為例。標準化之機台性能追蹤系統包括一訊息轉 換器2 5、資料伺服器2 6、資料庫2 7、作業平台2 8。訊息轉 譯器2 5，將自每一機台2 1、2 2、2 3經由S E C S傳送之訊息轉 譯為一標準訊息。資料伺服器2 6接收該些標準訊息而產生 一原始資料表271。資料庫27則儲存原始資料表（raw data table)271、組態表（configuration table) 272 及總結表 (summary table )273。作業平台28具有一資料分析器281 及分析模組24a、24b、24c。資料分析器281自資料庫27讀 取原始資料表2 7 1而產生總結表2 7 3，並存回資料庫2 7。分 析模組24a、24b、24c使用原始資料表271、組態“表27ι及 總結表2 7 3進行機台2 1、2 2、2 3性能之分析。 在上述之標準化機台性能追蹤系統中，標準訊息之格 式包括機台識別碼、箱爐群組名稱、箱爐識別碼、事件狀 態、事件資料時間、批號識別碼、製程參數識別碼及晶圓 識別碼。組態表272則使用了 「單元（箱爐）群組」（unit group)之概念，定義了單元組成、處理及等待時間計算規 則、00S檢查規則與範圍、以及晶圓處理速度（WPH)之總結 規則。此外’分析模組2 4 a、2 4 b、2 4 c可以是版頸及處理 速度分析模組、最高處理速度（Peak WPH)分析模組或是批 號資料（Lot Detail)分析模組。 本實施例之標準化機台性能追蹤系統可以在新增分析 模組時，將系統更新所需之時間由傳統系統的二個月縮短 為一週，任何新的分析模組亦可輕易地加入此平台中。系

0503-7275TWF(N) ； TSMC200M213 ； Vincent.ptd 533469 五、 發明說明（4) 統 之 維 護 及 更 新 遠較 傳 統 系 統容易 〇 同時 ，由 於 使 用 同 平 台 各 種 機 台 間之 分 析 結 果可以 進 行比 輕0 第 3圖顯示本發明- 只加例中標準化之機台性能追蹤 方 法 流 程 圖 〇 首 先 在 步 驟31 中 將 白每*一 機 台經 由 SECS 通 訊 協 定 傳 送 之 訊 息 轉 譯 為一 標 準 訊 息。 缺 後 在 步 驟3 2 中 ， 接 收該些 標 準訊 息而 產 生 _一 原 始 資 料 表 〇 接 著 1 在 步 驟33 中 ， 讀 取原始 資 料表 進行 資 料 分 析 而 產 生 —— 總 結 表 〇 再 者 在 步 驟34 中 儲 存原始 資 料表 、總 結 表 及 組 態 表 〇 組 態 表 使 用了 厂 單 元 (箱爐） 群 組」 之概 念 定 義 了 單 元 組 成 處 理 及等 待 時 間 計算規 則 、00S檢查規則與範 圍 、 以 及 晶 圓 處 理速 度（WPH)之總結規貝，j c > 最 後 在 步 驟3 5 中 使 用該原 始 資料 表、 組 態 表 及 總 結 表 進 行 該 些 機 台性 能 之 分 析。 在 上 述 之 標 準化 之 機 台 性能追 蹤 方法 中， 可 以 使 用 該 原 始 資 料 表 組 態表 及 總 結 表進行 該 些機 台性 能 之 瓶 頸 及 處 理 速 度 分 析 最高 處 理 速 度（Peak WPH) 分析 或 是 批 號 資 料（Lot De t ail) 分析 〇 綜 合 上 述 本發 明 提 供 一種標 準 化機 台性 能 追 蹤 系 統 1 使 機 台 送 出 之訊 息 標 準 化，並 建 立標 準之 組 態 表 資 料 使 分 析 模 組 讀取 標 準 化 訊息並 使 用組 態表 進 行 分 析 動 作 如 此 便 可 藉 由組 態 表 之 增加或 更 新來 完成 分 析 模 組 之

0503-7275TWF(N) · TSMC2001 -1213 ； Vincent.ptd 第7頁 533469 五、發明說明（5) 新增與更新動作；同時，由於資料之標準化，使得各機台 性能之分析結果亦可以相互比較。如此便可更有效率地在 機台性能追蹤系統中加入新分析模組並進行不同機台間之 性能比較。 雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用 以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保 護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

0503-7275TWF(N) ； TSMC2001-1213 ； Vincent.ptd 第8頁 533469 圖式簡單說明 以下，就圖式說明本發明之一種標準化之機台性能追 蹤系統與方法實施例。 圖式簡單說明 第1圖顯示一傳統機台性能追蹤系統； 第2圖顯示本發明一實施例中標準化之機台性能追蹤 糸統， 第3圖顯示本發明一實施例中標準化之機台性能追蹤 方法流程圖。 [符號說明] 11、12、13、21、22、23〜機台； I 11、121、131、24a、24b、2 4c〜分析模組； II 2、1 2 2、1 3 2〜分析規則資料； 11 3、1 2 3、1 3 3〜特殊性質資料； 1 14、124、134〜訊息格式分析工具； 2 5〜訊息轉換器； 2 6〜資料伺服器； 2 7〜資料庫； 2 71〜原始資料表； 2 7 2〜組態表； 2 7 3〜總結表； 28〜作業平台。

0503-7275TWF(N) ； TSMC2001-1213 ； Vincent.ptd 第9頁

Claims (1)

1. 533469 六、申請專利範圍 1. 一種標準化之機台性能追蹤系統，用以分析複數機 台之性能，包括： 一訊息轉譯器，將自每一機台產生之訊息轉譯為一標 準訊息； 一資料伺服器，接收該些標準訊息而產生一原始資料 表； 一資料庫，儲存該原始資料表、一組態表及一總結 表；以及 一作業平台，具有一資料分析器及分析模組，該資料 分析器讀取該原始資料表而產生該總結表，而該分析模組 使用該原始資料表、組態表及總結表進行該些i台性能之 分析。 2. 如申請專利範圍第1項所述之標準化機台性能追蹤 系統，其中該些機台係經由SECS通訊協定傳送該些訊息。 3. 如申請專利範圍第1項所述之標準化機台性能追蹤 系統，其中該標準訊息包括一機台識別碼、箱爐群組名 稱、箱爐識別碼、事件狀態、事件資料時間、批號識別 碼、製程參數識別碼及晶圓識別碼。 4. 如申請專利範圍第1項所述之標準化機台性能追蹤 系統，其中該分析模組係一瓶頸及處理速度分析模組。 5. 如申請專利範圍第1項所述之標準化機台性能追蹤 系統，其中該分析模組係一最高處理速度分析模組。 6. 如申請專利範圍第1項所述之標準化機台性能追蹤 糸統’其中該分析模組係一批號資料分析模組。

   0503-7275TWF(N) ； TSMC2001-1213 ； Vincent.ptd 第10頁 533469 六、申請專利範圍 7. —種標準化之機台性能追蹤方法，用以分析複數機 台之性能，包括以下步驟： 將自每一機台產生之訊息轉譯為一標準訊息； 接收該些標準訊息而產生一原始資料表； 讀取該原始資料表而產生一總結表； 儲存該原始資料表、總結表及一組態表；以及 使用該原始資料表、組態表及總結表進行該些機台性 能之分析。 8. 如申請專利範圍第7項所述之標準化機台.性能追蹤 方法，其中該些機台係經由SECS通訊協定傳送該些訊息。 9. 如申請專利範圍第7項所述之標準化機台性能追蹤 方法，其中該標準訊息包括一機台識別碼、箱爐群組名 稱、箱爐識別碼、事件狀態、事件資料時間、批號識別 碼、製程參數識別碼及晶圓識別碼。 1 0.如申請專利範圍第7項所述之標準化機台性能追蹤 方法，其中使用該原始資料表、組態表及總結表進行該些 機台性能之瓶頸及處理速度分析。 11.如申請專利範圍第7項所述之標準化機台性能追蹤 方法，其中使用該原始資料表、組態表及總結表進行該些 機台性能之最高處理速度分析。 1 2.如申請專利範圍第7項所述之標準化機台性能追蹤 方法，其中使用該原始資料表、組態表及總結表進行該些 機台性能之批號資料分析。

   0503-7275TWF(N) ； TSMC2001-1213 ： Vincent.ptd 第11頁