TWD218088S - 基板處理裝置用晶舟 - Google Patents
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Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，為一種應用在基板處理裝置中，用來將複數個基板呈水平地保持在基板處理裝置中的反應室內的晶舟。;【設計說明】;立體圖及E-E放大圖中，細線皆為用來表現立體表面之形狀的線條。
Description
本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，為一種應用在基板處理裝置中，用來將複數個基板呈水平地保持在基板處理裝置中的反應室內的晶舟。
立體圖及E-E放大圖中，細線皆為用來表現立體表面之形狀的線條。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020-004706 | 2020-03-10 | ||
| JP2020004706F JP1678274S (ja) | 2020-03-10 | 2020-03-10 | 基板処理装置用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWD218088S true TWD218088S (zh) | 2022-04-11 |
Family
ID=74312561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW109304844F TWD218088S (zh) | 2020-03-10 | 2020-08-27 | 基板處理裝置用晶舟 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1678274S (zh) |
| TW (1) | TWD218088S (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWD230464S (zh) | 2022-09-14 | 2024-03-21 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 基板處理裝置用基板移動具 |
-
2020
- 2020-03-10 JP JP2020004706F patent/JP1678274S/ja active Active
- 2020-08-27 TW TW109304844F patent/TWD218088S/zh unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWD230464S (zh) | 2022-09-14 | 2024-03-21 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 基板處理裝置用基板移動具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP1678274S (ja) | 2021-02-01 |
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