TWI291908B - - Google Patents

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TWI291908B
TWI291908B TW095114137A TW95114137A TWI291908B TW I291908 B TWI291908 B TW I291908B TW 095114137 A TW095114137 A TW 095114137A TW 95114137 A TW95114137 A TW 95114137A TW I291908 B TWI291908 B TW I291908B
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Description

*1291908 九、發明說明: 【發明所屬技術領域】 二本發明係有關對數位相機等所使用的光學球面透鏡進 仃研磨加工之透鏡研磨加工方&,更詳言《,係有關—種 藉由:精研磨工程設為單一的研磨工程而可縮短加工時間 且可簡單進行工程管理的研磨加工方法。 【先前技術】 • 在光學球面透鏡之研磨方法方面,利用杯狀型砂輪之 球面形成方法乃廣為人知。例如,經過粗研磨工程、精研 磨工程及拋光工程之三個工程來加工透鏡球面。如同非專 利文獻1所記載,各工程之必要切削裕度(machining ’ allowance)為,設定粗研磨是0.5〜2mm,精研磨是30〜 、 50#m,而拋光是10〜20/zm。又,表面粗糙度Rm a χ 係設定為’粗研磨是6〜1 〇 // m,精研磨是〇 · 5〜4 // m, 而拋光是〇·01〜0.02# m。表1係顯示著各工程之切削裕 度、磨粒及表面粗链度的一般範圍。 【表1】 工程 裕度(△ R) 磨粒(磨石# ) 表面粗糙:度 Rmax (//m) 粗研磨 0 · 5 〜2mm 150〜320 6 〜10 // m 精研磨 30〜50 // m 1200〜2000 0_5〜4 # m 抛光 10〜20 // m 0·01 〜0.02/zm 1291908 在此,必要切削裕度之算出基準係設為在前工程之最 大表面粗糙度的4倍加上R值誤差後的值,以在前工程之 表面粗糙度來決定該工程之必要切削裕度。又,因應各工 程之加工時間的配分而選擇最適當的金剛石工具之粒徑。 特別是,以屬最初研磨工程的粗研磨工程之表面粗糙度為 基準’以A定其後之工程的加工時間配 >、及金剛石工具 的粒徑。若以此為依據的話,則安全起見、精研磨工程之
切削裕度以設定為50"m者為宜,又,表面粗糙度以設定 成〇·5 // m為宜。 而為降低表面粗糙度、係有必要降低金剛石工具的粒 位;、、丨而旦降低粒徑當然就會造成加工時間變長。於是, 在以往,考里精研磨工程中的表面粗糙度、切削裕度及加 工時間而將精研磨工程設為二個工程。在第一工程令,在 金剛石工具方面是使用金屬結合砂輪來進行40// m之切削 裕度的研磨,而在第二工程中,作為金剛石工具、是使用 更j粒仁之膠合砂輪來進行剩餘的丨〇 #㈤的切削裕度之研 磨藉此,係貫現切削裕度為50 “ m且表面粗糙度為0.5 // m之精研磨。 在東面透鏡之研磨加工中,若犧牲精研磨工程中之表 ^ ^I度的* ’則能以單—工程進行精研磨,加工時間也 可變短。然而’如同上述,因為次一工程的切削裕度係以 在刚一工程的表面粗糙度為基準而決定,所以在此場合, 在屬夂工程的研磨工程之切削裕度變多,造成研磨加工 寺1大巾田、I:長。因而無法使整體的加工時間縮短。 6 Ϊ291908 此外,專利文獻1係揭示一種加工方法,其藉由將粗 研磨工程和精研磨工程設為單一工程、縮短球面透鏡的研 磨加工時間,而加工裝置也以使用粗研磨及精研磨用的、 及研磨用的2種類型者就可解決。在此所揭示的方法中, 為了將粗研磨工程和精研磨工程利用單一工程來進行,係 將砂輪的旋轉數提高成5000〜loooo r p m。 在採用該專利文獻1所揭示的方法時,因為能以單一 的加工裝置進行粗研磨及精研磨,所以可縮短加工時間使 工程管理也變簡單。然而,砂輪的旋轉數一般有必要設定 為球面透鏡加工中所採用的2000〜3〇〇〇r p m之倍數以上 的旋轉數。又,如同該專利文獻i所揭示般,可獲得之表 面粗糙度為2// m程度,而不可能獲得〇·5// m程度的表面 粗糙度,而有必要在下個研磨工程加大切削裕度。 【非專利文獻1】光學元件加工技術,9丨,社團法人 曰本光機電(Opt-mechatronics)協會,1991年9月5曰發 打,1 — 2光學元件的加工工程,丨一 4研磨、拋光 【專利文獻1】曰本專利實用新案登錄第26〇〇〇63號 公報 【發明内容】 【發明所欲解決之課題】 在球面透鏡之研磨加工是以利用粗研磨、精研磨及拋 光等之三個工程來進行為前提的場合,為圖謀縮短該研磨 加工之時間及工程管理的合理化,係以可降低粗研磨之表 面粗糙度且利用單一工程進行精研磨的方式降低精研磨的 1291908 切削裕度為宜。 本發明之課題係有鑒於此點,係提案一種球面透鏡之 研磨加工方法,其係以可將精研磨設定為單一工程的方式 進行粗研磨,依此而可達成縮短球面透鏡之研磨加工的時 間及工程管理之合理化。 【解決課題之手段】 為解決上述之課題,本發明係提供一種光學球面透鏡 • 之研磨加工方法,係包含有使用粗研磨工具盤將加工對象 的透鏡素材研磨以粗略形成透鏡球面的粗研磨工程;將所 形成的透鏡球面使用比前述粗研磨工具盤還細號數的金剛 _石工具進行精研磨的精研磨工程;以及對精研磨後的透鏡 球面進行拋光之拋光工程;該光學球面透鏡之研磨加工方 法的特徵在於、依如次的條件(1)〜(3)而進行前述粗研磨工 程、亦即 (1)使用球心揺動型研磨盤來進行前述透鏡素材的粗研磨, | 所要使用的該球心揺動研磨盤之構成為,使研磨面為 球面的丽述粗研磨工具盤以通過前述球面的球心之旋轉中 心線為中心進行旋轉,同時以該旋轉中心線描繪以前述球 心為頂點的圓錐面之方式進行球心揺動,使前述透鏡素材 在岫述粗研磨工具盤同一方向以同一速度旋轉,對旋轉及 球〜摇動中之丽述粗研磨工具盤的研磨面、朝通過前述粗 研磨工具盤的球心之方向按壓,以此狀態將該透鏡素材在 同方向邊送出’ 一邊對該透鏡素材施予球面研磨加 工,將丽述粗研磨工具盤利用球心摇動體支持成旋轉自如 8 •1291908 的狀態,將此球心摇動體的外周面作成球面,再將此外周 面載於以前述粗研磨工具盤的研磨面球心為中心的球面形 狀之支持面上,對此等外周面和支持面之間供給壓縮空氣 而使則述球心摇動體上浮,一邊維持上浮狀態一邊使前述 球心揺動體進行球心摇動。 (2)作為前述粗研磨工具盤,係使用#3〇〇〜#6〇〇粒號(平 均粒度6” m〜30# m)、集中度為5〇以上的金剛石工具。 (3)將該粗研磨工具盤的旋轉數設為25〇〇r pm 。
pm 〜350〇r 若依據本發明之光學球面透鏡的研磨加工方法,可將 粗研磨工程中的球面精度(△ h)維持成對研磨工程的球面 精度為-0.0G3mm以内,可將精研磨工程的切削裕度設為 母單面心m以下。其結果係可將該精研磨工程設定為單 -研磨工程。藉此,可達成加工時間之縮短化及工程管理 的合理化。 【發明效果】 在本發明的光學球面透鏡之 „ _ , ,怨刀口工万去中,能以精 研磨工程中的切削裕度為約2〇 # m u下的方式改善粗研 加工的表面粗糙度。因此, 日 攸艨本發明,因為能以單_ 程進行精研磨’所以可縮 整體的研磨加工時間, 工程管理合理化。 丁』 又了使 【實施方式】 以下’茲參照圖面,針對適用本發明之光 的研磨加工方法進行說明。 予;透鏡
1291908 圖1係顯示本例的光學球面透鏡之研磨加工方法的工 程圖。如此圖所示,本例中的研磨加工方法係由粗研磨工 程S T1、精研磨工程s 丁2及拋光工程S 丁3等三個工程 而成。粗研磨工程(C G工程)S T 1係為使用金剛石工具 (粗研磨工具盤)來以研磨加工對象的透鏡素材而形成粗的 透鏡球面之工程。精研磨工程s τ 2係為使用比粗研磨工 具盤還細號數之金剛石工具以對既形成之透鏡球面進行精 研磨的工程,而作為單一的研磨工程所要使用的研磨加工 機並未受限為球心摇動型、也可使用利用一般的杯狀型砂 輪者。又,在金剛石工具方面、可以使用膠合砂輪。其次, 拋光工程S 丁 3係對精研磨後之透鏡球面作研磨的工程。 在此工程中,例如利用氨基甲酸乙酯薄片,使用既加入氧 化鈽(Cerium)等之研磨液來進行球面的研磨。 (粗研磨工程) 本例的粗研磨工程S T1中係以如次的條件(1)〜(3)而 在透鏡素材上形成球面。 (1)使用球心摇動型研磨盤來進行透鏡素材之粗研磨,且採 用圖2所示構成來作為球心揺動研磨裝置。 ⑺在粗研磨工具盤方®,是使用# 300〜# 600粒號(平均 粒度6〇em〜30//m)、集中度5〇以上的金剛石工具。 (3)粗研磨工具盤的旋轉數為 如設定為3000r pm。 (球心揺動型研磨盤) 2500 r p m 〜35〇〇 r p m,例 本例中的球心摇動型研磨盤 1之概略構成及動作係如 10 1291908 下所丁係、使研磨面呈球面的粗研磨工具盤以通過其球面 的球心之旋轉中心線為中心進行旋轉,同時以該旋轉中心 線描繪以球心'為頂點的圓錐面之方式進行球,⑳動。使透 鏡素材在與粗研磨工具盤同一方向上以同一速度旋轉,而 對旋轉及球心摇動中之粗研磨工具盤的研磨面,朝通過粗 研磨工具盤之球心的方向按壓,並以此狀態將該透鏡素材 在同-方向上-邊送出一邊對該透鏡素材施行球面研磨加 工在此,利用球心插動體以旋轉自如的狀態支持粗研磨 工具盤,將此球i動體的外周面作成球面,使此外周面 載於以粗研磨工具盤的研磨面之球心為中心的球面形狀之 支持φ胃此等外周面和支持面之間供給壓縮空氣而 述球心摇動體上津, 、A ^& 予一邊維持上浮狀態一邊使前述球心产 動體進行球心揺動。 兹參照圖2進行詳細說明,本例之球心摇動型研磨盤 Η系具有、用以保持加工對象的透鏡素材w之透鏡支架Z 及具備對保持在透鏡支架3上的透鏡 用的球面研磨面4a之工具盤4。 ” 仃研磨加工 透鏡支条3係以其保持面3a成為朝下般地保持 平的狀態被固定在垂直的透鏡主軸5之下端。透鏡主J 之中。係$成有在其軸線方向延伸的吸引通路$ a, 端係在透鏡支架3之保持面3a的中心開口,1上端:下 由旋轉接頭6及空氣過濾、器7而與真空產生器;的吸= 連通。猎由以真空產生器8對吸引通路h進行真: 而使透鏡素材界被吸附保持在透鏡支架3之保持面&。 11 1291908 鏡主軸5係以同轴狀態配置在上端被封鎖之圓筒狀 直保持筒9之内部’而透過上下成對的軸承U以 疋轉自如的狀態被該垂直保持筒9所支持。又,透鏡主轴 5係形成為依透鏡軸旋轉用電動機。而以屬垂直中心線的 透鏡旋轉中心線5A為中心被旋轉驅動。垂直保持筒9之 上端連結著汽壓缸丨3,此汽壓 飞&缸13係破固定在上端被封 鎖的支持圓筒14之内部。垂直伴拷 片 !直保持同9係形成為在下方被 A堅缸1 3以既定的力按壓。 透鏡主軸5係成為依工件進給機構2〇而被昇降。工件 進給機構20具備水平支架21,安裝在此水平支架Μ的前 知之垂直圓筒部22被以同軸狀態插入垂直保持筒9,支持 圓筒14係固;^在水平支架21上面。水平支架⑴系依具備 進給螺桿23、螺帽24及健馬達25的昇降㈣而沿著垂 直線性導引件26昇降。 在此,透過 >丄壓缸13支持著透鏡主轴5之支持圓筒 Μ上’係安裝有近接感測器27用以檢出裳設在其内側之 垂直保持筒9的上端9a。通常此近接感測器27係處於關 閉狀態’而當垂直保持筒9對支持圓筒14相對上昇時,盆 上端^被近接感測器27檢出,而該感測輸出係切換成開 啓。 其次’配置在透鏡支架3之下方的工具盤4係以其球 面研磨面43的球心〇會位在透鏡支架3側之透鏡旋轉中 心線5A的延長線的方式作配置。主軸朴係被一體形成於 此工具盤4之背面’此主轴4b係以旋轉自如的狀態由球 12 1291908 心摇動體3 1支持著。在此,主軸4 b係由球心摇動體3 1 所支持,而使得工具盤4之旋轉中心線4 A在球心〇與垂 直延伸的透鏡旋轉中心線5 A以銳角0形成交又。 球心摇動體3 1係具備半球狀之杯狀部份;3丨a、及由 此杯狀部份3 1 a之底中心的外周面部份朝半徑方向之外方 突出的圓筒部份3 1 b,且在圓筒部份3 1 b以同軸狀態安裝 有呈旋轉自如之狀態的主軸4 b。又,凸緣3 1 c係從圓筒 春 α卩伤3 1 b之下端部在橫方向延伸,在此,搭載著主轴驅動 用之電動機32。 球心摇動體3 1之杯狀部份3 1 a係依形成在支持板33 之圓環狀内周面3 3 a而以可進行球心摇動的狀態被支持。 圓壞狀内周面33 a係以球心〇為球心的球面,而載於此圓 環狀内周面33 a的外周面31 d為球面的杯狀部份31a , 係能以球心〇為中心進行摇動。在本例中,於圓環狀内周 面3 3 a形成有壓縮空氣吹出孔或溝3 3 ^,在此,形成為透 • 過壓縮空氣供給路3 3 c進行壓縮空氣之供給。因此,杯狀 部份31a係被保持成從圓環狀内周面33 a上浮的狀態。因 而,可使球心摇動體31以球心〇為中心順暢地摇動。 球心摇動體31之下端係透過連桿接頭34及摇動幅度 調整單元35而被連結至電動機36之輸出軸。球心摇動體 3 1和連桿接頭34之連結點34 a係位在工具盤旋轉中心線 4A之延長線上,電動機36之旋轉中心線36八係始終被保 持成朝向球心〇的狀態。當一操作揺動幅度調整單元35之 調整旋鈕35a時,連結點34a和電動機%之旋轉中心線 13 1291908 ΜΑ的間隔係產生變化。因而可調整球心摇動體3i之摇動 運動的插動幅度。 其次,電動機36係由揺動角調整單元37所支持。揺 動角調整單元37具備配置在既固定的位置之弓形的凸輪 38此凸輪38係呈以球心0為中心的圓弧形狀。以沿著此 凸輪38可滑動的狀態安裝有支持構件39,在此安裝有電 動私;36。支持構件39上固定著螺帽4〇,而螺帽4〇被螺入 _ 進給螺桿41。進給螺桿41之端部係連結至操縱輪42。 當操縱輪42 —轉動時、支持構件39係沿著凸輪38移 動。亦即,由球心揺動體31所支持之工具盤主轴4b係以 球心0為中心而僅摇動既定量。因此,利用摇動角調整單 元37可變更工具盤4之旋轉中心線4A與垂直的透鏡旋轉 中心線5A所形成之角度0,亦即,可變更摇動中心線之 角度。 在此’各部份之驅動控制係由數值控制用之控制器5〇 • 所執行。又,控制器50係連接著輸入裝置51。可透過手 動操作輸入裝置51以進行將透鏡素材送出的動作,且形成 可執行切削量之設定等。 兹參照圖3以針對利用此構成的球心揺動型研磨盤1 而在透鏡素材W形成透鏡球面的粗研磨動作進行說明。 首先,有關工具盤4方面、是準備# 3〇〇〜# 6〇〇粒號, 例如是# 400粒號且集中度為5〇以上的金剛石粒(peUet) 加工成與目標的球面形狀一致者,並將其安裝在工具盤主 轴4 b。此時’工具盤4之球面研磨面的中心係位在該工 14 •1291908 具盤4之旋轉中心線上,且調整成與球心摇動體3丨之摇動 中心一致。其次,使透鏡素材W在不與工具盤4接觸的位 置及附保持於透鏡支架3。其次,利用手動操作來驅動伺 服馬達25以將透鏡素材W朝向工具盤4進行微調進給 (jog-fed)。當透鏡素材W—與工具盤4接觸時,透鏡主軸5 係停止下降。之後,只有水平支架21(工件進給台)會依微 調進給而下降。其結果為,透鏡主軸5及將其予以旋轉自 φ 如地支持之垂直保持筒9係對水平支架21相對上昇,而近 接感測1§ 27係檢出垂直保持筒9之上端9 a而切換成開啓。 在既確認近接感測器27已切換成開啓之後,暫時中止 微調進給。之後,將伺服馬達25之進給速度設定為超低速 並使水平支架21上昇。而在水平支架21 一上昇時,停止 中之透鏡主轴5及垂直保持筒9係相對地對近接感測器27 下降。其結果為,垂直保持筒的上端9 a離開近接感測器 27的檢出位置,近接感測器27再度返回關閉狀態。控制 φ 器50係將此切換成關閉狀態之瞬間的位置當作加工開始 位置加以記憶。 控制器50係由此加工開始位置加算加工裕度以設定 加工結束位置。又,對加工開始位置加算第丨切削量的份 量以設定速度變更點。如此、在設定了各點之後,當加工 開始指令一被輸入時,即開始工具盤4及既吸附固定在透 鏡支架3上之透鏡素材w的旋轉。再開始球心摇動體3丨之 摇動運動。 本例中係使工具盤4和透鏡素材w朝向同一方向並 15 1291908 =30〇〇r㈣的同—速度旋轉。之後,以快速進給將透鏡 素材W送出到加工開始位置。 、在既到達加工開始位置之後,將速度切換為第i切削 T度,再以此速度將透鏡素材w一邊送出—邊進行研磨。 圖3 ( a )係顯示著研磨開始時的狀態。 透鏡素材W僅被切削第1切削量且在到逹第丨切削位 置之後,亦即,在既到達圖3( b )所示那樣的切削狀態之 鲁後,開始球心摇動體31之摇動,且以比第丨切削速度還慢 的精加工速度將透鏡素材W 一邊送出一邊進行切削。其结 果為,透鏡素材W受到研磨而形成如圖3(c )所示球狀透鏡 面W a 〇 在確認了既到達加工結束位置時,係在停止球心摇動 體3 1的揺動後,使水平支架21上昇到上端位置。之後, 再停止工具盤4及透鏡素材W的旋轉。 若依據本例的粗研磨工程S T1,則可提高粗研磨工程 • 中的研磨精度,可將該粗研磨工程中之球面精度(△ h )維 持在對研磨工程的球面精度為一 〇·〇〇 3 mm以内。其結果 為,在下一個精研磨工程S T 2之切削裕度只需為每單面 20 # m以下就好。因此,在該精研磨工程s 丁 2中,可設 為利用膠合砂輪之單一研磨工程。藉此,可達成加工時間 縮短化及工程管理合理化。 【實施例】 表2係表示適用本發明在對球面透鏡研磨加工的場合 時之條件及結果的一例子的圖表。本例中、係將粗研磨工 16 1291908 程之切削裕度設為1 mm。經確認、係可改善粗研磨工程的 表面粗縫度(Rm a X)及球面精度(△ h),且在次一精研磨 工程的切削裕度只要15 // m就好。又,經確認後、其結果 為可將精研磨工程僅設定為一次,且加工時間只要20秒就 好。 相對地,在以往的透鏡研磨方法中,亦即,精研磨之 切削裕度為3 0〜5 0 // m,在包含有金屬結合砂輪的研磨工 程和膠合砂輪的研磨工程之二個工程的方法之場合,如表 2的最後一列所揭示記載般,雖然粗研磨及拋光的加工時 間與本例相同,但是精研磨工程花費的40秒為本例中之加 工時間的2倍。又,因為精研磨工程是由二個工程所構成, 所以需要花費將透鏡素材從一側的研磨盤移往他側的研磨 盤等之作業時間。且,與一個工程的場合相較之下,工程 管理上也變得複雜。 【表2】 被加工透鏡R : 5R 材質:Lakl3 本例 往例 工程 裕度 (單面) 使用工具 工具旋 轉數 (rpm) 加工時間 (秒) 加工時間 (秒) 粗研磨 1mm #400粒號之 金屬結合的金 剛石盤 3000 30 15 精研磨 15 #1500粒號之 金屬結合金剛 石盤 3000 20 20(金屬結合 磨石) 抛光 10//m 氨基甲酸乙酯 薄片氧化鈽 2500 40 40(膠合磨石) 17 12919〇8 如同以上所說明那樣,若採用 本發明之研磨加 工 方 法, 則以精研磨工程之切削裕度為 約20// m以下就 可 解決 的方式,可改善粗研磨加工之 表面 粗褪度、球面精 度 〇 因 此, 能以單一工程進行精研磨 5戶斤 以可縮短整體的 研 磨 加 工時間,又可使工程管理合理 化。 【圖式簡單說明】 【圖1】顯示本發明之球〗 S玻 璃透鏡的研磨加 工 工 程 之工程圖。 【圖2】顯示運用在粗研〗 ®所 適合之球心摇動 型 研 磨 盤的概略構成圖。 【圖3】顯示圖2之研磨: 盤的 研磨動作之說明 圖 〇 【主要元件符號說明】 1 球心摇動型研磨盤 3 透鏡支架 3 a 保持面 4 工具盤 4 a 球面研磨面 4 A 工具盤之旋轉 中 心 線 4b 主轴 5 透鏡主軸 5 A 透鏡旋轉中心線 5 a 吸引通路 6 旋轉接頭 7 空氣過濾器 8 真空產生器 9 垂直保持筒 9 a 上端 10 ,11 轴承 12 透鏡軸旋轉用電動機 13 汽壓紅 14 支持圓筒 20 工件昇降機構 21 水平支架 22 垂直圓筒部 23 進給螺桿 24 螺帽 18 1291908 26 垂直 線 性 導引件 31 球心 摇 動 體 31 b 圓 筒 部 份 31 d 外 周 面 33 支持板 25 伺服馬達 27 近接感測器 31 a 杯狀部份 31c 凸緣 32 電動機 33 a 圓樣狀内周面 33 c 壓縮空氣供給路 34 a 連結點 35 a 調整旋鈕 36 A 旋轉中心線 38 凸輪 、 40 螺帽 42 操縱輪 51 輸入裝置 〇 球心 33b 壓縮空氣吹出孔或溝 34 連桿接頭 35 摇動幅度調整單元 36 電動機 37 摇動角調整單元 39 支持構件 41 進給螺桿 50 控制器 W 透鏡素材 Θ 銳角 19

Claims (1)

  1. • 1291908 ’ 科(月W日修必正本 十、申請專利範圍: 1 · 一種光學球面透鏡之研磨加工方法,係包含有使用粗研 磨工具盤將加工對象的透鏡素材研磨以粗略形成透鏡球面 的粗研磨工程;將所形成的透鏡球面使用比前述粗研磨工 具盤還細號數的金剛石工具進行精研磨的精研磨工程;以 及對精研磨後的透鏡球面進行拋光之拋光工程,·該光學球 面透鏡之研磨加工方法的特徵在於、依如次的條件(1)〜(3) 而進行前述粗研磨工程、亦即 (1)使用球心摇動型研磨盤進行前述透鏡素材的粗研磨, 所要使用的該球心摇動研磨盤之構成為,使研磨面為球 面的前述粗研磨工具盤以通過前述球面的球心之旋轉中心 線為中心進行旋轉,同時以該旋轉中心線描繪以前述球心 ,2頂點的圓錐面之方式進行球心摇動,使前述透鏡素材在 刚述粗研磨工具盤同一方向以同一速度旋轉,對旋轉及球 ,搖動中之别述粗研磨工具盤的研磨面、朝通過前述粗研 .磨工具盤的球心之方向按壓,以此狀態將該透鏡素材在同 方向邊送出’一邊對該透鏡素材施予球面研磨加工, 述粗研磨工具盤利用球心摇動體支持成旋轉自如的狀 態,將此球心摇動體的外周面作成球面,再將此外周面載 於以刚述粗研磨工具盤的研磨面球心為中心的球面形狀之 ^持面上,對此等外周面和支持面之間供給壓縮空氣而使 則述球心摇動體上浮,一邊維持上浮狀態一邊使前述球心 摇動體進行球心揺動; (2)作為前述粗研磨工具盤,係使用# 300〜# 600粒號(平 1291908 * :|20〇7年5月修正 均粒度60// m〜30从m )、集中度5〇以上的金剛石工具 (3)將該粗研磨工具盤的旋轉數設為25〇〇 r p m〜35〇〇 r Pm。 2·如申請專利範圍第丨項之光學球面透鏡之研磨加工方 法,其中將粗研磨工程中之球面精度(△ h )維持在對研 磨工程之球面精度為—〇〇〇3ϊηιη以内。 3·如申請專利範圍第丨項或第2項之光學球面透鏡之研磨 加工方法,其中在前述精研磨工程之切削裕度設定為每單 面20// m以下,將該精研磨工程設為單一研磨工程。 21
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