TWI713832B - 晶圓切片機及其收放線裝置與晶圓切片的方法 - Google Patents

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TWI713832B
TWI713832B TW107112513A TW107112513A TWI713832B TW I713832 B TWI713832 B TW I713832B TW 107112513 A TW107112513 A TW 107112513A TW 107112513 A TW107112513 A TW 107112513A TW I713832 B TWI713832 B TW I713832B
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Abstract

一種晶圓切片機的收放線裝置包含移載單元、第一繞線單元與第二繞線單元。所述移載單元包括沿第一水平方向延伸的軌道。所述第一繞線單元位於所述軌道上方並能相對於自身軸線自轉，所述自身軸線的延伸方向平行所述第一水平方向。所述第二繞線單元位於所述軌道上方並能相對於所述自身軸線自轉。所述第一繞線單元與所述第二繞線單元的至少其中一個能相對所述軌道在所述第一水平方向上移動，所述第一、第二繞線單元彼此能在結合狀態與非結合狀態間切換，在所述結合狀態下，所述第一、第二繞線單元彼此靠近在一起，在所述非結合狀態下，所述第一、第二繞線單元件彼此遠離。本發明另提供一種運用前述收放線裝置的晶圓切片機，及兩種晶圓切片的方法。

Description

晶圓切片機及其收放線裝置與晶圓切片的方法
本發明涉及一種收放線裝置與晶圓切片設備及切片方法，特別是涉及一種用於晶圓切片機的收放線裝置與運用其收放線裝置的晶圓切片機，及一種晶圓切片的方法。
以往關於晶棒切割作業是借通過覆有漿料的金屬線材來切割晶棒，以形成多片具有特定尺寸的晶片，所述漿料是由多個磨粒混合至水性或油性的液體而組成。隨環保意識的提升及晶片產能需不斷提升的要求，現今產業已逐漸捨棄上述晶圓切片的製程而改以預先將多個硬度較高的磨粒(如鑽石)固著於線材表面的方式來直接切割晶棒(以下，簡稱具有固定磨粒的線材為切割線)。
在實際作業中，會將所述切割線纏繞於一晶圓切片機的一輪組裝置的二主輥輪，及位於所述主輥輪兩側的一第一繞線輥輪與一第二繞線輥輪，所述主輥輪用於供該切割線繞設於其上以形成一線網，而晶棒會由上往下朝該線網下壓以被切割成多片晶片，其中，定義將晶棒切割成多片晶片的區域為切割區，且該切割線會自 該第一繞線輥輪退出且經該切割區而回收纏繞於該第二繞線輥輪，進一步說明的是，切割線運行的方法有：
方法一、單純地以單一方向(即自該第一繞線輥輪朝該第二繞線輥輪的方向)持續地進給尚未切割晶棒的新切割線的方法。使用此方法來切割晶棒的缺點是耗線量大、切割成本高。
方法二、切割線往復移動的方法。定義切割線自該第一繞線輥輪朝該第二繞線輥輪的運行方向為前進方向，自該第二繞線輥輪朝該第一繞線輥輪的運行方向為回程方向，其中，所述切割線在回程移動時的線量比在前進移動時所進給的線量少，如此位於該第一繞線輥輪的切割線便能逐漸退繞至該第二繞線輥輪，方法二較方法一實質上能節省耗線量而占大多數。然而，採用方法二來切割晶棒，在作業上也具有下列缺點：一、位於該第一、第二繞線輥輪上的切割線均是以重疊捲繞的方式分別纏繞於該第一、第二線輥輪，使得在離開該第一、第二線輥輪或抵達該第一、第二線輥輪的最上層切割線材部分會於其下方的切割線材部分間產生磨擦而損耗固定磨粒的鋒利度，因此所能節省的切割線的整體用量實屬有限：二、固定磨粒本身的損耗程度也會影響切割線本身的切割性能，進而連帶影響切割後的晶片質量。
另外，TW201501844專利案還公開另一種切割線的布線方法，所述專利案的第一繞線輥輪具有相鄰的一第一主繞區與一 第一副繞區，所述專利案的第二繞線輥輪具有相鄰的一第二主繞區與一第二副繞區，所述專利是借通過讓已切割過的切割線(以下，簡稱舊線)與尚未切割的切割線(以下，簡稱新線)有區別地纏繞於該第一主繞區、第一副繞區、第二主繞區與第二副繞區，借此改善新線與舊線彼此重疊磨擦而損耗固定磨粒的情形。然而，採用所述專利來切割晶棒，晶片質量仍有待提升。
因此，本發明之目的，即在提供一種在使用上可以克服先前技術中至少一個缺點的晶圓切片機的收放線裝置。
本發明的晶圓切片機的收放線裝置包含一移載單元、一第一繞線單元與一第二繞線單元。
所述移載單元包括至少一條沿第一水平方向延伸的軌道。
所述第一繞線單元沿所述第一水平方向延伸且位於所述軌道上方並能相對於自身軸線自轉，所述自身軸線的延伸方向平行所述第一水平方向。
所述第二繞線單元沿所述第一水平方向延伸且位於所述軌道上方並能相對於所述自身軸線自轉，所述第一繞線單元與所述第二繞線單元的至少其中一個能相對所述軌道在所述第一水平方 向上移動。
其中，所述第一、第二繞線單元彼此能在結合狀態與非結合狀態間切換，在所述結合狀態下，所述第一、第二繞線單元彼此靠近在一起，在所述非結合狀態下，所述第一、第二繞線單元件彼此遠離且在所述第一水平方向上相間隔設置。
本發明晶圓切片機的收放線裝置的功效，在於使用上，對於已切割過晶棒的切割線(以下，簡稱舊線)與尚未切割晶棒的切割線(以下，簡稱新線)分別能有區別地纏繞於所述第一繞線單元或所述第二繞線單元，如此，便能改善新線與舊線彼此重疊磨擦而損耗固定磨粒的情形，以降低切割成本。
本發明的另一目的在於提供一種運用前述收放線裝置的晶圓切片機。
本發明的晶圓切片機適用於供切割線安裝，並用於切割晶棒。所述晶圓切片機包含一機座、一輪組裝置、一進給裝置，及二如前述所述的收放線裝置。
所述機座沿高度方向延伸。
所述輪組裝置包括二呈水平間隔設置於所述機座的輥輪。每一輥輪能轉動地設置於所述機座。
所述進給裝置設置於所述機座且位於所述輪組裝置上方，並包括供所述晶棒安裝且用於帶動所述晶棒朝所述輪組裝置下 移並位於所述輥輪間的進給承載座。
所述收放線裝置分別位於所述機座兩相反側，所述高度方向垂直於所述第一水平方向，所述切割線依序繞過所述收放線裝置的其中一個、所述輪組裝置，及所述收放線裝置的另一個。
本發明晶圓切片機的功效，相同於前述晶圓切片機的收放線裝置的功效。
本發明的另一目的在於提供一種運用前述晶圓切片機的晶圓切片的方法。
本發明的晶圓切片的方法包含下列步驟：
(A)前置作業：提供一新的切割線、一供所述切割線繞設且用於帶動所述切割線前後移動的輪組裝置、一供晶棒安裝且用於帶動所述晶棒相對所述輪組裝置上下移動的進給裝置，及二如前述所述且分別位於所述輪組裝置兩側的收放線裝置。所述輪組裝置包括二在第二水平方向上間隔設置的輥輪。所述第一、第二水平方向相正交，定義所述收放線裝置的其中一個為第一收放線裝置，另一個為第二收放線裝置。
(B)新線布線作業：所述步驟(A)的所述第一、第二收放線裝置均處於所述非結合狀態，在所述第二收放線裝置的第二繞線單元上套設新切割線，將所述切割線間隔繞設於所述輥輪以形成線網，再將所述切割線的線頭固定於所述第一收放線裝置的第二繞線 單元，定義所述切割線自所述第二收放線裝置往所述第一收放線裝置的運行方向為往前，相反地為往後。
(C)往前切割的回收作業：所述進給裝置由上往下朝所述線網推進，所述輪組裝置以逆時針方向轉動並帶動所述線網切割所述晶棒。其中，所述切割線隨所述輪組裝置轉動而往前一段舊線回收距離，且長度對應於所述舊線回收距離的切割線量會自所述第二收放線裝置的第二繞線單元退繞並回繞於所述第一收放線裝置的第二繞線單元。
(D)往前切割的非回收作業：所述第一收放線裝置改於所述結合狀態，所述切割線再往前一段待回轉距離，且長度對應於所述待回轉距離的切割線量會自所述第二收放線裝置的第二繞線單元退繞並纏繞於所述第一收放線裝置的第一繞線單元。
(E)往後切割作業：所述第二收放線裝置改於所述結合狀態，所述輪組裝置改以順時針方向轉動並帶動所述線網切割所述晶棒，長度對應於所述待回轉距離的切割線量會自所述第一收放線裝置的第一繞線單元退繞並回繞於所述第二收放線裝置的第一繞線單元，直到所述切割線完全退繞出所述第一收放線裝置的第一繞線單元完後，所述第一收放線裝置改於所述非結合狀態。
(F)補充新線切割作業：所述輪組裝置以逆時針方向轉動並帶動所述線網切割所述晶棒，所述切割線隨所述輪組裝置而往前 所述舊線回收距離，且長度對應於所述舊線回收距離的切割線量會自所述第二收放線裝置的第一繞線單元退繞並回繞於所述第一收放線裝置的第二繞線單元，接著所述第一收放線裝置改於所述結合狀態，所述切割線再往前直到完全退繞出所述第二收放線裝置的第一繞線單元後，所述第二收放線裝置改於所述非結合狀態，接著，所述第二收放線裝置的第二繞線單元退繞出新切割線且再往前一段新線補充距離，以維持對應於所述待回轉距離的切割線量長度不變。
(G)切割完成作業：重複步驟(E)與(F)直到安裝於所述進給裝置的晶棒由上往下完全脫離所述線網而成為多個晶圓。
本發明的另一目的在於提供另一種晶圓切片的方法。
本發明的晶圓切片的方法包含下列步驟：
(A)前置作業：提供一新的切割線、一供所述切割線繞設且用於帶動所述切割線前後移動的輪組裝置、一供晶棒安裝且用於帶動所述晶棒相對所述輪組裝置上下移動的進給裝置，及二如前述所述且分別位於所述輪組裝置兩側的收放線裝置。所述輪組裝置包括二在第二水平方向上間隔設置的輥輪。所述第一、第二水平方向相正交，定義所述收放線裝置的其中一個為第一收放線裝置，另一個為第二收放線裝置。
(B)新線布線作業：所述第一、第二收放線裝置均處於所 述非結合狀態，在所述第二收放線裝置的第二繞線單元上套設新切割線，將所述切割線間隔繞設於所述所述輥輪以形成線網，再將所述切割線的線頭固定於所述第一收放線裝置的第二繞線單元，接著所述第一收放線裝置改於所述結合狀態，並繼續自所述第二收放線裝置退繞一段切割晶棒所需的新切割線至所述第一收放線裝置的第一繞線單元。定義所述切割線自所述第二收放線裝置往所述第一收放線裝置的運行方向為往前，相反地為往後。
(C)初次新線回繞作業：所述第二收放線裝置改於所述結合狀態，自所述第一收放線裝置的所述第一繞線單元退繞一段切割晶棒所需的切割線量至所述第二收放線裝置的所述第一繞線單元。
(D)切割作業：所述進給裝置由上往下朝所述線網推進，所述線網隨所述輪組裝置以逆、順時針方向交替轉動地切割所述晶棒，直到安裝於所述進給裝置的晶棒由上往下完全脫離所述線網而成為多個晶圓。其中，在所述切割作業中，所述切割線往前運行的線量是大於往後運行的線量，以使得所述切割線是逐漸自所述第二收放線裝置退繞並回繞於所述第一收放線裝置的所述第一繞線單元。
本發明的有益效果在於對於已切割過晶棒的切割線(以下，簡稱舊線)與尚未切割晶棒的切割線(以下，簡稱新線)分別能有區別地纏繞於所述第一收放線裝置的第一、第二繞線單元或所述 第二收放線裝置的第一、第二繞線單元，如此，便能改善新線與舊線彼此重疊磨擦而損耗固定磨粒的情形，以降低切割成本及提升質量。
100:晶圓切片機
6:線導引座
1:機座
61:圍繞壁
11:底座部
611:第一側部
12:切割腔座部
612:第二側部
13:滑輪安裝部
613:連接面
2:輪組裝置
614:延伸面
21:輥輪
62:線導引件
22:輔助輥輪
621:內側面
3:進給裝置
622:導引面
31:進給承載座
623:外側面
32:破片槽
624:寬部
4:收放線裝置
625:窄部
41:移載單元
626:線導引槽
411:軌道
71:第一收放線裝置
412:第一滑座
72:第二收放線裝置
413:第二滑座
91:切割線
42:第一繞線單元
911:線網
421:第一轉動件
92:晶棒
422:開放端口
X:第一水平方向
423:內周面
Y:第二水平方向
43:第二繞線單元
Z:高度方向
431:第二轉動件
D:間隔距離
432:外周面
L1:自身軸線
44:驅動單元
L2:直線
441:第一轉動馬達
T1:切割線張力
442:第二轉動馬達
FM:驅動力
443:第一移載馬達
1A:前置作業
444:第二移載馬達
1B:新線佈線作業
5:張力調整裝置
1C:初次新線回繞作業
51:滑輪組
1D:切割作業
511:惰輪
1E:下料作業
512:導線輪
1F:舊線回收作業
52:第三轉動馬達
1G:切割線補充作業
521:輸出軸
1H:新線往後回繞作業
522:第一張力輪
2A:前置作業
53:螺桿
2B:新線佈線作業
54:導線輪安裝座
2C:往前切割之回收作業
55:第一連接件
2D:往前切割之非回收作業
56:第四轉動馬達
2E:往後切割作業
561:輸出軸
2F:補充新線切割作業
562:第二張力輪
2G:切割完成作業
57:第二連接件
2H:下料作業
本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是一立體圖，說明本發明晶圓切片機的一實施例；圖2是該實施例的一正視圖；圖3是該實施例的一輪組裝置供一條切割線纏繞的一示意圖；圖4A是簡化圖2的一示意圖，說明該實施例的該輪組裝置、二滑輪組、二收放線裝置、一進給裝置、一晶棒，及該條切割線彼此間的相對位置；圖4B是該實施例的另一變化態樣；圖5是該實施例的一局部放大立體圖；圖6是該實施例的一局部示意圖，說明每一收放線裝置設置於一機座的一底座部；圖7是該實施例的每一收放線裝置的一立體圖；圖8是該實施例的每一收放線裝置的一第一繞線單元的一立體圖，說明該第一繞線單元包含一第一轉動件，及一設置於該第一轉 動件的線導引座；圖9是該實施例的每一第一繞線單元的線導引座的一局部放大圖；圖10是該實施例的每一收放線裝置處於一非結合狀態的一示意圖；圖11是該實施例的每一收放線裝置處於一結合狀態的一示意圖；圖12是該實施例的每一收放線裝置處於該結合狀態的一局部剖視示意圖；圖13是類似於圖12的一局部剖視示意圖，說明該實施例的每一收放線裝置的該第一轉動件與一第二轉動件均為實心結構；圖14是該實施例的每一組滑輪組的一變化例，說明每一組滑輪組其鄰近該第二繞線單元的一惰輪能在一第一水平方向上移動；圖15是該實施例的每一收放線裝置只有一線導引件的一示意圖；圖16是該實施例的一張力調整裝置的一示意圖；圖17是一示意圖，說明該實施例的每一張力調整裝置的一導線輪是能沿一條平行於一高度方向的直線移載；圖18是該實施例的另一張力調整裝置的一立體圖，說明該實施例的一第三轉動馬達、一第一張力輪、一第一連接件、一導線輪安 裝座與一導線輪彼此的連接關係；圖19是該實施例的另一張力調整裝置的一正視圖，說明是從圖18中的另一視角觀看；圖20是類似於圖18的一視圖，說明該實施例的另一張力調整裝置是採用雙馬達設計；圖21是該實施例的另一張力調整裝置的一正視圖，說明是從圖20中的另一視角觀看；圖22是本發明晶圓切片的方法的一第一實施例的一流程圖；圖23是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一前置作業示意圖；圖24是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一新線布線作業示意圖，說明一第一收放線裝置與一第二收放線裝置均處於非結合狀態；圖25是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的該新線布線作業示意圖，說明該第一收放線裝置處於結合狀態，該第二收放線裝置處於該非結合狀態；圖26是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一初次新線回繞作業示意圖，說明該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處於該結合狀態；圖27是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一切割作業示 意圖；圖28是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一下料作業示意圖；圖29是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一舊線回收作業示意圖，說明該第一收放線裝置處於該非結合狀態，該第二收放線裝置處於該結合狀態；圖30是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一切割線補充作業示意圖，說明該第二收放線裝置上完全沒有尚未切割晶棒的切割線的第一情形，且該第一收放線裝置處於該結合狀態，該第二收放線裝置處於該非結合狀態；圖31是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的另一切割線補充作業示意圖，說明該第二收放線裝置上仍存有尚未切割晶棒的切割線的第二情形，且該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處於該結合狀態；圖32是本發明晶圓切片的方法的該第一實施例的一新線往後回繞作業示意圖，且該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處於該結合狀態；圖33是本發明晶圓切片的方法的一第二實施例的一流程圖；圖34是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的一往前切割的回收作業示意圖，說明該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處 於該非結合狀態；圖35是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的一往前切割的非回收作業示意圖，說明該第一收放線裝置處於該結合狀態，該第二收放線裝置處於該非結合狀態；圖36是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的一往後切割作業示意圖，說明該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處於該結合狀態；圖37是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的該往後切割作業示意圖，說明該第一收放線裝置處於該非結合狀態，該第二收放線裝置處於該結合狀態；圖38是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的一補充新線切割作業示意圖，說明該第一收放線裝置處於該非結合狀態，該第二收放線裝置處於該結合狀態；圖39是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的該補充新線切割作業示意圖，說明該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處於該結合狀態；圖40是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的該補充新線切割作業示意圖，說明該第一收放線裝置處於該結合狀態，該第二收放線裝置處於該非結合狀態；圖41是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的一下料作業示 意圖，說明該第一收放線裝置處於該結合狀態，該第二收放線裝置處於該非結合狀態；及圖42是本發明晶圓切片的方法的該第二實施例的該下料作業示意圖，說明該第一收放線裝置與該第二收放線裝置均處於該非結合狀態。
在本發明被詳細描述前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。
參閱圖1至4，本發明晶圓切片機100的一實施例，適用於供一條切割線91安裝並用於切割一晶棒92。該晶圓切片機100包含一機座1、一輪組裝置2、一進給裝置3、二收放線裝置4，及二張力調整裝置5為了清楚說明本發明的具體結構，在此先定義一正交座標系統，該正交座標系統包括彼此相正交的一高度方向Z、一第一水平方向X與一第二水平方向Y。
參閱圖1、2、5，該機座1沿該高度方向Z延伸。該機座1包括一沿該高度方向Z延伸的底座部11、一設置於該底座部11且沿該高度方向Z往上延伸並用於供該輪組裝置2設置的切割腔座部12，及二在該第二水平方向Y間隔設置且分別位於該切割腔座部12兩側的滑輪安裝部13。
該輪組裝置2包括二呈水平間隔設置於該機座1的輥輪 21。該輪組裝置2的每一輥輪21能轉動地設置於該機座1。該輪組裝置2的所述輥輪21用於供該切割線91繞設於其上以形成一線網911(如圖3所示)，該線網911具有多條跨設於所述輥輪21上的加工線段，補充說明的是，本發明該晶圓切片機100在用於切割該晶棒92時，所述加工線段是隨所述輥輪21的正反交替轉動而往復在該第二水平方向Y上來回切割該晶棒92。
參閱圖1、2、4，該進給裝置3設置於該機座1且位於該輪組裝置2上方，並包括一供該晶棒92安裝且用於帶動該晶棒92朝該輪組裝置2下移並位於所述輥輪21間的進給承載座31，及一位於該進給承載座31及該晶棒92下方的破片槽32。該破片槽32用於承接在切割晶棒92時意外掉落的該晶棒92破片。
所述收放線裝置4分別位於該機座1兩相反側。需說明的是，該切割線91會依序繞過所述收放線裝置4的其中一個、該輪組裝置2，及所述收放線裝置4的另一個(如圖4A所示)。
參閱圖4B，本實施例的另一種變化態樣，是該輪組裝置2更包括二輔助輥輪22，介於該等輥輪21間並位於該進給裝置3的下方且與該等輥輪21平行間隔設置，該等輔助輥輪22的最低位置不高於該等輥輪21的最高位置，且該等輔助輥輪22的直徑小於該等輥輪21直徑的一半，該切割線91依序繞過所述收放線裝置4的其中一個、該輪組裝置2，及所述收放線裝置4的另一個，該輪組裝置 2的所述輥輪21與所述輔助輥輪22用於供該切割線91繞設於其上以形成線網911，該線網911具有多條跨設於所述輔助輥輪22上的加工線段，該等加工線段隨該等輥輪21與該等輔助輥輪22的正反交替轉動而來回切割該晶棒92。藉此，所述收放線裝置4與所述輔助滾輪22(較佳是中空結構)兩者的搭配可以使得切割的效果更好及更穩定，更能實現所述切割線91細線化(例如：40微米至60微米的線徑)以及降低斷線情形之目的。
參閱圖5、6、7，每一收放線裝置4包含一移載單元41、一第一繞線單元42、一第二繞線單元43，及一驅動單元44。
每一收放線裝置4的移載單元41包括兩條均沿該第一水平方向X延伸的軌道411，及分別能移動地設置於所述軌道411的一第一滑座412與一第二滑座413。值得一提的是，每一收放線裝置4的移載單元41的軌道411數量也能只有一條，如此，也能達成供該第一滑座412與該第二滑座413分別在該第一水平方向X上來回移動的目的。此外，所述軌道411也可以是非連續狀，也就是說只需要在滑座412、413的移動範圍內設置有所述軌道411即可。
在本實施例中，每一收放線裝置4的該第一繞線單元42與該第二繞線單元43分別是能轉動地對應設置於該第一滑座412與該第二滑座413。詳細說明的是，每一第一繞線單元42是沿該第一水平方向X延伸且位於該軌道411上方並能相對於一條自身軸線 L1自轉，其中，該自身軸線L1的延伸方向是平行於該第一水平方向X。
以下，詳細說明每一第一繞線單元42的具體結構，參閱圖5、7、8，該第一繞線單元42包括一能轉動地設置於該第一滑座412且沿該第一水平方向X延伸的第一轉動件421，及一能拆卸地設置於該第一轉動件421的線導引座6。
該第一轉動件421呈中空圓柱狀且其端緣界定出一開放端口422。該線導引座6鄰近設置於該開放端口422並具有一環繞該自身軸線L1的圍繞壁61，及N個呈角度間隔設置於該圍繞壁61的線導引件62。需說明的是，N為二以上的正整數。
參閱圖8、9，該線導引座6的圍繞壁61具有一連接該第一轉動件421的第一側部611，及一相反於該第一側部611且供所述線導引件62設置的第二側部612。該線導引座6的該圍繞壁61的該第二側部612具有N個位於兩相鄰的線導引件62間的連接面613，及2N個分別連接各自的該連接面613的延伸面614。
每一線導引件62具有一鄰近該自身軸線L1的內側面621、二分別自該內側面621的兩相反側邊朝遠離該自身軸線L1方向延伸且相向靠近的導引面622，及一連接各自的所述導引面622且相反於各自的該內側面621的外側面623。每一導引面622呈梯形且具有一連接各自的該外側面623的寬部624，及一連接各自的該 內側面621的窄部625。在本實施例中，該線導引座6的圍繞壁61的每一延伸面614與其相鄰的該導引面622相配合界定一線導引槽626。在一實施例中，每一線導引件62也可以只具有一自該內側面621的兩相反側邊的其中一側邊朝遠離該自身軸線L1方向延伸的導引面622。
參閱圖6、7、10，每一收放線裝置4的第二繞線單元43沿該第一水平方向X延伸且位於該軌道411上方並能相對於該自身軸線L1自轉。該第二繞線單元43包括一能轉動地設置於該第二滑座413且沿該第一水平方向X延伸的第二轉動件431。該第一轉動件421的開放端口422供該第二轉動件431伸入。
參閱圖10、11、12，在本實施例中該第一繞線單元42與該第二繞線單元43的至少其中一能相對所述軌道411在該第一水平方向X上移動。該第一繞線單元42與該第二繞線單元43分別能各自對應地通過該第一滑座412與該第二滑座413而彼此在一種結合狀態(如圖11所示)與一種非結合狀態(如圖10所示)間切換。
在該非結合狀態下，該第一滑座412與該第二滑座413彼此遠離，以使得該第一繞線單元42與該第二繞線單元43件彼此遠離且在該第一水平方向X上相間隔設置。所述的彼此遠離，是指二物件的相對距離漸增，因此只要二物件中的其中至少一者移動即可。
參閱圖10、12，該第一轉動件421的一內周面423與該第二轉動件431的一外周面432間具有一間隔距離D(如圖12所示)，且該第一轉動件421的該開放端口422用於供該第二轉動件431伸入。在該結合狀態下，該第一滑座412與該第二滑座413彼此相向靠近，以使該第一繞線單元42與該第二繞線單元43彼此靠近在一起，且在本實施例中該第一轉動件421是環繞該第二轉動件431。所述的彼此相向靠近，是指二物件的相對距離漸減，因此只要二物件中的其中至少一者移動即可。補充說明的是，本發明具有所述線導引件62(如圖10所示)的優點是，當每一收放線裝置4的該第一轉動件421與該第二轉動件431同步轉動且相向靠近而使每一收放線裝置4處於該結合狀態時，所述線導引件62便能用於輔助導引該切割線91(如圖12所示)爬降於該第一繞線單元42與該第二繞線單元43兩者交界處間，進而降低捲繞時的斷線風險。
參閱圖13，該第一轉動件421與該第二轉動件431也可以均為實心結構，且在該結合狀態下，該第一繞線單元42的第一轉動件421與該第二繞線單元43的第二轉動件431彼此抵靠接觸。需說明的是，當該切割線91需自每一收放線裝置4的該第二轉動件431爬跨繞設於該第一轉動件421時，該切割線91較佳會先多圈地繞設於外徑較小的該第二轉動件431的外周面，直到其在徑向方向上較接近於該第一轉動件421的外周面432後再爬跨到該第一轉動件 421，如此，也能降低該切割線91爬降於該第一繞線單元42與該第二繞線單元43兩者交界處間時的斷線風險。當然，也可進一步在該第一轉動件421上設置所述線導引件62。另一提的是，在一衍生實施例中，該第一轉動件421與該第二轉動件431的至少其中一也可以是空心結構，並且藉由自動控制使得第一轉動件421與該第二轉動件431彼此靠近而不重疊。
另外，參閱圖14，本發明也可以讓該第二繞線單元43無法在該第一水平方向X上移動，且是改以每一組滑輪組51其最鄰近該第二繞線單元43的惰輪511能在該第一水平方向X上來回移動的設計所取代，如此當伴隨該第一繞線單元42是相對於所述軌道411而在該第一水平方向X上朝該第二繞線單元43移動時，也能達成讓該切割線91爬降捲繞於該第一繞線單元42與該第二繞線單元43間的目的。
再者，參閱圖15，每一收放線裝置4其設置於該第一繞線單元42的第一轉動件421上的線導引件62的數量可以只是一，只要該線導引件62是自其設置的該第一轉動件421的端緣沿該第一水平方向X延伸，該線導引件62也可以是一般的螺絲，不需特別以本發明所公開的外觀為限制，如此，也有助於降低該切割線91纏繞於該第一繞線單元42與該第二繞線單元43兩者交界處時的斷線風險。
參閱圖6、7，每一收放線裝置4的驅動單元44包括一用於驅動該第一繞線單元42轉動的第一轉動馬達441、一用於驅動該第二繞線單元43轉動的第二轉動馬達442、一用於驅動該第一滑座412相對該第二滑座413靠近的第一移載馬達443，及一用於驅動該第二滑座413相對該第一滑座412靠近的第二移載馬達444。
參閱圖1、2、4，所述張力調整裝置5分別位於該輪組裝置2兩側且分別設置於該機座1的所述滑輪安裝部13。每一張力調整裝置5包括一組能轉動的該滑輪組51，且每一組滑輪組51是位於該輪組裝置2與其所鄰近的該收放線裝置4間並具有多個用於調整該切割線91的布線走向的該惰輪511。
較佳地，參閱圖2、4、16，定義每一組滑輪組51中的所述惰輪511的其中一個是能調控地沿一條直線L2往返移載的導線輪512，而其餘的惰輪511是只能在原處轉動借此用來改變該切割線91的布線走向。在本實施例中，每一張力調整裝置5還包括一設置於其所鄰近的該滑輪安裝部13的第三轉動馬達52、一與該第三轉動馬達52的輸出軸521連接且受該第三轉動馬達52控制而轉動的螺杆53，及一螺接地套設該螺杆53且供各自的該導線輪512能轉動地設置的導線輪安裝座54，每一螺杆53的延伸方向平行於各自的該導線輪512的移載方向(如圖16中實心雙箭頭所示)，需說明的是，每一張力調整裝置5的每一第三轉動馬達52、每一螺杆53與每 一導線輪安裝座54其如何架設於各自的該滑輪安裝部13的設置方式，為此技術領域中具有通常知識者稍加改變即可達成安裝目的，由於非本發明的技術重點，所以不在此一一介紹具體能實施的方式，另外，在圖4A與圖16中，每一導線輪512的移載方向是平行該第二水平方向Y，但也不需以此為限，只要是採用該切割線91受力方向是平行於該導線輪512的移載方向的技術手段，每一導線輪512也能是能調控地沿平行於該高度方向Z的該直線L2往返移載(如圖17所示)，且位於該輪組裝置2與其相鄰的該收放線裝置4間的惰輪511的數量也能根據該切割線91的布線走向而配置為一個。
較佳地，每一第一轉動馬達441、每一第二轉動馬達442與每一第三轉動馬達52均為伺服馬達。每一第三轉動馬達52能接收一導線輪位置訊號，其中，每一導線輪位置訊號可以但不需為限制地是由安裝在每一導線輪512上的傳感器(圖未示)所發射出，然後每一第三轉動馬達52再傳輸一補償訊號至每一第一轉動馬達441與每一第二轉動馬達442的至少其中一個，借此使該切割線91的張力維持在一固定預設值。舉例來說，參閱圖16，每一第三轉動馬達52會輸出一額定扭矩值，使得每一導線輪512受其所鄰近的該第三轉動馬達52的驅動力為FM，當FM實質上等於兩倍的T1(該切割線91的張力)時，每一導線輪512便能維持在一預設位置，而當所述導線輪512在該第二水平方向Y上有位移時，則表示該切割線 91的張力有所改變，接著通過每一第三轉動馬達52、每一第一轉動馬達441與每一第二轉動馬達442彼此間能受該補償訊號的回饋機制，去改變每一第三轉動馬達52所輸出的額定扭矩值或是從每一收放線裝置4端適度拉緊或調松該切割線91，借此以維持該切割線91在該切割腔座部12內應有的切削力。
詳細說明的是，本發明通過該切割線91繞過各自的該導線輪512且該切割線91受力方向是平行於該導線輪512的移載方向的技術手段，讓本發明能避免現有鐘擺式張力調整裝置(如TWI488725專利所公開)在使用上因擺臂角度改變後，該切割線實際上的張力會因擺臂角度改變而與該切割線原本所預設的張力不同，而必須在系統控制的編程中另外寫入有關於角度因子的換算公式，進而增加編程撰寫麻煩的情形，也就是說，本發明在使用上，繞過該導線輪512的該切割線91實質上是沒有任何斜向分力(所以不需考量角度因子)，使得在系統控制的編程中，對於如何補償該切割線91所需張力的運算式能較為簡單，所以能降低系統的整體複雜度，避免不必要的幹擾因子而確實維持該切割線91在該切割腔座部12內所需的切削力，以維持晶圓切片制程的穩定度；另外，本發明每一張力控制裝置5在使用上也能改善現有鐘擺式張力控制裝置其擺臂長而導致馬達所需克服的轉動慣量較大，進而需耗費較多能量的問題。
接著，本發明另提供兩種也能達成讓該切割線91受力方向平行於該導線輪512的移載方向的張力控制裝置5的能行實施態樣：
參閱圖4、18、19，為本發明每一張力控制裝置5其具體能實施的結構，每一張力調整裝置5還包括一設置於其所鄰近的該滑輪安裝部13(如圖2所示)的第三轉動馬達52、一與該第三轉動馬達52的輸出軸521連接且受該第三轉動馬達52控制而轉動的第一張力輪522、一能相對各自的該滑輪安裝部13在該直線上L2往返移動且供各自的該導線輪512能轉動地設置的導線輪安裝座54，及一兩端分別連接該導線輪安裝座54與該第一張力輪522的第一連接件55。每一第一連接件55的延伸方向平行於各自的該導線輪512的移載方向，補充說明的是，該第一連接件55能為鋼索或皮帶；且在此實施例中，該切割線91的張力T1實質上等於該第三轉動馬達52所輸出的扭矩值乘上該第一張力輪522的半徑的一半。
參閱圖4、20、21，為本發明的每一張力控制裝置5其具體能實施的結構。每一張力調整裝置5還包括間隔設置於其所鄰近的該滑輪安裝部13(如圖2所示)的一第三轉動馬達52與一第四轉動馬達56、一與該第三轉動馬達52的輸出軸521連接且受該第三轉動馬達52控制而轉動的第一張力輪522、一與該第四轉動馬達56的輸出軸561連接且受該第四轉動馬達56控制而轉動的第二張力輪 562、一位於該第一張力輪522與該第二張力輪562間能在該直線L2上往返移動且供各自的該導線輪512能轉動地設置的導線輪安裝座54、一兩端分別連接該導線輪安裝座54與該第一張力輪522的第一連接件55，及一兩端分別連接該導線輪安裝座54與該第二張力輪562的第二連接件57。每一第一連接件55與每一第二連接件57的延伸方向均平行於各自的該導線輪512的移載方向，補充說明的是，每一第一連接件55與每一第二連接件57分別能為鋼索或皮帶；且在此實施例中，每一張力調整裝置5的每一第三轉動馬達52的輸出扭矩值不等於每一第四轉動馬達56的輸出扭矩值，該切割線91的張力T1實質上等於該第三轉動馬達52所輸出的扭矩值乘上該第一張力輪522的半徑減去該第四轉動馬達56所輸出的扭矩值乘上該第二張力輪562的半徑的一半。
值得一提的是，該切割線91所預設的張力值往往不會是真實數值(原因是該切割線91在經過每個工件後，其張力值會有所改變)，所以目前實務上會另外設置一荷重元(Load Cell)來偵測該切割線91的實際張力值。而在此實施例中，因為本發明每一張力調整裝置5是採用雙馬達(該第三轉動馬達52與該第四轉動馬達56)的設計，所以能借通過計算每一導線輪512受到其所對應的該第三轉動馬達52與該第四轉動馬達56兩者所提供的淨力差而獲得該切割線91的實際張力值，如此，便能不需另外設置該荷重元。
較佳地，每一第一轉動馬達441、每一第二轉動馬達442、每一第三轉動馬達52與每一第四轉動馬達56均為伺服馬達，且每一第三轉動馬達52與每一第四轉動馬達56均能接收一導線輪位置訊號並各自傳輸一補償訊號至每一第一轉動馬達441與每一第二轉動馬達442的至少其中一，如此，也能借通過每一第三轉動馬達52、每一第四轉動馬達56、每一第一轉動馬達441與每一第二轉動馬達442彼此間能受該補償訊號的回饋機制，去改變每一第三轉動馬達52或每一第四轉動馬達56所輸出的額定扭矩值或是從每一收放線裝置4端適度拉緊或調松該切割線91，來達成維持該切割線91在該切割腔座部12內應有的切削力的目的，讓本發明能確實獲得切片質量較佳且一致的晶圓。
以下，就前述該晶圓切片機100所採用的晶圓切片的方法來說明本發明的優點：
參閱圖22，為本發明晶圓切片的方法的一第一實施例的流程圖，該晶圓切片的方法包含下列步驟：
步驟1A、參閱圖23，前置作業：提供一捆新的切割線91、一供該切割線91繞設且用於帶動該切割線91前後移動的輪組裝置2、一供一晶棒92(如圖24所示)安裝且用於帶動該晶棒92相對該輪組裝置2上下移動的進給裝置3、二分別如前述所述且分別位於該輪組裝置2兩側的收放線裝置4，及一沿高度方向Z延伸的機座1。該 進給裝置3設置於該機座1並包括一供該晶棒92安裝的進給承載座31。定義所述收放線裝置4的其中一個為第一收放線裝置71，另一個為第二收放線裝置72。
步驟1B、參閱圖24、25，新線布線作業：該第一收放線裝置71與該第二收放線裝置72均處於該非結合狀態(如圖24中一點鏈線分隔以下的部分所示意，而圖24中一點鏈線以上的部分是類似於圖4的簡化示意圖，以下相似的示意圖還有圖25至圖32，以及圖34至圖42)。首先，在該第二收放線裝置72的第二繞線單元43上套設新切割線91，將該切割線91間隔繞設於所述輥輪21以形成一線網911(如圖3所示)，再將該切割線91的線頭固定於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43，接著該第一收放線裝置71改於該結合狀態(如圖25所示)，並繼續自該第二收放線裝置72退繞一段切割晶棒92所需的新切割線91至該第一收放線裝置71的第一繞線單元42。定義該切割線91自該第二收放線裝置72往該第一收放線裝置71的運行方向為往前(如圖24中實心箭頭方向所示)，相反地為往後。
步驟1C、參閱圖26，初次新線回繞作業：該第二收放線裝置72改於該結合狀態，自該第一收放線裝置71的該第一繞線單元42退繞一段切割晶棒92所需的切割線91量至該第二收放線裝置72的該第一繞線單元42。
步驟1D、參閱圖27，切割作業：該進給裝置3由上往下朝該線網911推進，該線網911隨該輪組裝置2以逆、順時針方向交替轉動地切割該晶棒92，直到安裝於該進給裝置3的晶棒92由上往下完全脫離該線網911而成為多個晶圓(圖未示)。具體說明的是，在該切割作業中，該切割線91往前運行的線量是大於往後運行的線量，以使得該切割線91是逐漸自該第二收放線裝置72退繞並回繞於該第一收放線裝置71的該第一繞線單元42。
步驟1E、如圖28所示，下料作業：接續步驟1D，安裝於該進給裝置3的所述晶圓(圖未示)均由下往上移動，該輪組裝置2以順時針方向轉動並帶動該線網911移動，該第一收放線裝置71的第一繞線單元42逐漸退繞已切割過的切割線91至該第二收放線裝置72的第一繞線單元42，直到所述晶圓完全脫離該線網911。
步驟1F、如圖29所示，舊線回收作業：接續步驟1E，當該切割線91完全退繞出該第一收放線裝置71的第一繞線單元42後，該第一收放線裝置71改於該非結合狀態，接著再將於步驟1E中回繞於該第二收放線裝置72的第一繞線單元42上的已切割過的切割線91逐漸往前運行而回繞於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43。
步驟1G、切割線補充作業：接續於步驟1F。由於執行完步驟1F時，位於該第二收放線裝置72的第一繞線單元42上可能會 存有尚未切割過晶棒92的切割線91或是完全沒有切割線91的情形，因此，針對上述兩種情形會有如下不同的切割線補充作業。
情形一、參閱圖30，當該第二收放線裝置72的第一繞線單元42完全退繞出該切割線91後(即是該第二收放線裝置72的第一繞線單元42完全沒有任何尚未切割過該晶棒92的切割線91)，該第一收放線裝置71自該非結合狀態(如圖29所示)再改於該結合狀態，該第二收放線裝置72改於該非結合狀態，接著自該第二收放線裝置72的該第二繞線單元43退繞補充一段能執行步驟1D的切割作業的切割線91量至該第一收放線裝置71的該第一繞線單元42。
情形二、參閱圖31，在執行完步驟1F後直接讓該第一收放線裝置71改於該結合狀態(如圖31所示)，該第二收放線裝置72的第一繞線單元42繼續退繞出未切割過的切割線91直到完全退繞出。該第二收放線裝置72改於該非結合狀態(如圖30所示)，接著自該第二收放線裝置72的該第二繞線單元43退繞一段補充切割線91量至該第一收放線裝置71的該第一繞線單元42。
步驟1H、參閱圖32，新線往後回繞作業：接續於步驟1G，該第二收放線裝置72自該非結合狀態(如圖30所示)改於該結合狀態(如圖32所示)，該第一收放線裝置71的該第一繞線單元42退繞一段能執行步驟1D的切割作業的切割線91量至該第二收放線裝置72的該第一繞線單元42。
如此，在執行完步驟1H後，即可再次依設定需求繼續執行步驟1D的來回切割作業，繼續切割其他晶棒92。
該晶圓切片的方法的第一實施例因為對於已切割過晶棒92的切割線91(簡稱舊線)與尚未切割晶棒92的切割線91(簡稱新線)分別能有區別地纏繞於該第一收放線裝置71的第一、第二繞線單元42、43或該第二收放線裝置72的第一、第二繞線單元42、43，所以能改善新線與舊線彼此重疊磨擦而損耗固定磨粒的情形，進而減少切割線91的耗線量而具有降低晶棒92切割成本的效益。
接著，再就該晶圓切片機100所搭配的另一種晶圓切片的方法來說明本發明的優點：
參閱圖33，為本發明晶圓切片的方法的一第二實施例的流程圖，該晶圓切片的方法包含下列步驟：
步驟2A、參閱圖23，前置作業：是相同於步驟1A的前置作業，所以在此便不重複贅述。
步驟2B、參閱圖24，新線布線作業：步驟2A的該第一收放線裝置71與該第二收放線裝置72均處於該非結合狀態，在該第二收放線裝置72的第二繞線單元43上套設新切割線91，將該切割線91間隔繞設於所述輥輪21以形成一線網911(如圖3所示)，再將該切割線91的線頭固定於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43。定義該切割線91自該第二收放線裝置72往該第一收放線裝置 71的運行方向為往前，相反地為往後。
步驟2C、參閱圖34，往前切割的回收作業：該進給裝置3由上往下朝該線網911推進，該輪組裝置2以逆時針方向轉動並帶動該線網911切割該晶棒92，其中，該切割線91隨該輪組裝置2轉動而往前一段舊線回收距離，也就是說，長度對應於該舊線回收距離的切割線91量會自該第二收放線裝置72的第二繞線單元43退繞出，並再回繞於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43。
步驟2D、參閱圖35，往前切割的非回收作業：該第一收放線裝置71自該非結合狀態(如圖34所示)改於該結合狀態(如圖35所示)，該切割線91再往前一段待回轉距離，也就是說，長度對應於該待回轉距離的切割線91量會自該第二收放線裝置72的第二繞線單元43退繞出，並再纏繞於該第一收放線裝置71的第一繞線單元42。
步驟2E、參閱圖36、37，往後切割作業：該第二收放線裝置72改於該結合狀態(如圖36所示)，該輪組裝置2改以順時針方向轉動並帶動該線網911切割該晶棒92，長度對應於該待回轉距離的切割線91量會自該第一收放線裝置71的第一繞線單元42退繞出，並再回繞於該第二收放線裝置72的第一繞線單元42，直到該切割線91完全退繞出該第一收放線裝置71的第一繞線單元42完後，該第一收放線裝置71改於該非結合狀態(如圖37所示)，此時纏 繞於該第二收放線裝置72的該第一繞線單元42上的切割線91是已切割過該晶棒92的舊線。
步驟2F、參閱圖38、39、40，補充新線切割作業：該輪組裝置2以逆時針方向轉動並帶動該線網911切割該晶棒92(如圖38所示)，該切割線91隨該輪組裝置2而往前該舊線回收距離，也就是，長度對應於該舊線回收距離的切割線91量會自該第二收放線裝置72的第一繞線單元42退繞出，並再回繞於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43，接著該第一收放線裝置71改於該結合狀態(如圖39所示)，該切割線91再往前直到完全退繞出該第二收放線裝置72的第一繞線單元42後，該第二收放線裝置72改於該非結合狀態(如圖40所示)，接著，該第二收放線裝置72的第二繞線單元43退繞出尚未切割過該晶棒92的新切割線91且再往前一段新線補充距離，以維持對應於該待回轉距離的切割線91量長度不變。
步驟2G、切割完成作業：重複步驟2E與2F直到安裝於該進給裝置3的晶棒92由上往下完全脫離該線網911而成為多個晶圓(圖未示)。
步驟2H、參閱圖41、42，下料作業：接續步驟2G，安裝於該進給裝置3的所述晶圓(圖未示)均由下往上移動(如圖41所示)，該輪組裝置2改以順時針方向轉動並帶動該線網911移動，長度對應於該待回轉距離的切割線91量自該第一收放線裝置71的第 一繞線單元42退繞至該第二收放線裝置72的第二繞線單元43。當該切割線91完全退繞出該第一收放線裝置71的第一繞線單元42後，該第一收放線裝置71改於該非結合狀態(如圖42所示)，接著收繞於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43上的已切割過的舊切割線91會逐漸退繞出，並再回繞於該第二收放線裝置72的第二繞線單元43，直到所述晶圓完全脫離該組線網911。
經由上述流程步驟可知，該晶圓切片的方法的第二實施例因為是將已切割過晶棒92的舊切割線91持續地收集於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43，也就是說，即使切割線91發生斷線情形(特別是指是斷在已切割過晶棒92的部分)，本發明只需將位於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43的舊切割線拆下，並將剩餘且尚未切割過晶棒92的該切割線91的線頭重新固定於該第一收放線裝置71的第二繞線單元43，就可以繼續切割尚未切割完的晶棒92而毋須重新置換新的晶棒92及再次捲繞新線，所以本發明能降低不良品的報廢次數而借此提升產品良率。
另外本發明晶圓切片的方法的第二實施例，較本發明晶圓切片的方法的第一實施例而言，還可以進一步降低該切割線91往返布線於該第一收放線裝置71與該第二收放線裝置72間的次數步驟，而縮短晶棒92切割作業所需時間，所以還進一步具有利於產能提高的優點。
綜上所述，利用本發明晶圓切片機100並採用於上所述本發明晶圓切片的方法來切割晶棒92，因為能有效降低耗線量、提升晶片質量與縮短切割時間，而達成降低生產成本與提升整體產能的功效，所以確實能達成本發明的目的。
惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
2A‧‧‧前置作業
2B‧‧‧新線佈線作業
2C‧‧‧往前切割之回收作業
2D‧‧‧往前切割之非回收作業
2E‧‧‧往後切割作業
2F‧‧‧補充新線切割作業
2G‧‧‧切割完成作業
2H‧‧‧下料作業

Claims (28)

  1. 一種晶圓切片機的收放線裝置，適用於供一切割線安裝，並包含：一移載單元，包括至少一條沿第一水平方向延伸的軌道；一第一繞線單元，沿該第一水平方向延伸且位於該軌道上方，並能相對於自身軸線自轉，該自身軸線的延伸方向平行該第一水平方向；及一第二繞線單元，沿該第一水平方向延伸且位於該軌道上方，並能相對於該自身軸線自轉，該第一繞線單元與該第二繞線單元的至少其中一個能相對該軌道在該第一水平方向上移動，其中，該第一、第二繞線單元彼此能在結合狀態與非結合狀態間切換，在該結合狀態下，該第一、第二繞線單元彼此靠近在一起，該切割線自該第二繞線單元與該第一繞線單元的其中一個纏繞於另一個，在該非結合狀態下，該第一、第二繞線單元件彼此遠離且在該第一水平方向上相間隔設置。
  2. 如請求項1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該移載單元還包括分別能移動地設置於該軌道的一第一滑座與一第二滑座，該第一、第二繞線單元分別能轉動地對應設置於該第一、第二滑座，在該結合狀態下，該第一、第二滑座彼此相向靠近且該第一、第二繞線單元彼此靠近，在該非結合狀態下，該第一、第二滑座彼此遠離。
  3. 如請求項1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該移載 單元還包括分別能移動地設置於該軌道的一第一滑座與一第二滑座，該第一繞線單元包括一能轉動地設置於該第一滑座且沿該第一水平方向延伸的第一轉動件，該第二繞線單元包括一能轉動地設置於該第二滑座且沿該第一水平方向延伸的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一、第二滑座彼此靠近且該第一轉動件環繞該第二轉動件，在該非結合狀態下，該第一、第二滑座彼此遠離。
  4. 如請求項1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該第一繞線單元包括一沿該第一水平方向延伸且能轉動的第一轉動件，該第二繞線單元包括一沿該第一水平方向延伸且能轉動的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一、第二繞線單元彼此靠近且該第一轉動件環繞該第二轉動件，在該非結合狀態下，該第一、第二轉動件彼此遠離。
  5. 如請求項1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該第一繞線單元包括一沿該第一水平方向延伸且能轉動的第一轉動件及至少一個自該第一轉動件的端緣延伸的線導引件，該第二繞線單元包括一沿該第一水平方向延伸且能轉動的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一、第二轉動件彼此靠近，在該非結合狀態下，該第一、第二轉動件彼此遠離。
  6. 如請求項3所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該第一轉動件呈中空狀且其端緣界定出供該第二轉動件伸入的開放端口，且該第一轉動件的內周面與該第二轉動件的外周面間具有間隔距離，該第一繞線單元還包括至少一個自該第一轉動件的端緣延伸的線導引件。
  7. 如請求項3所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該第一轉動件呈中空圓柱狀且其端緣界定出供該第二轉動件伸入的開放端口，該第一繞線單元還包括一設置於該第一轉動件且鄰近該開放端口的線導引座，該線導引座具有一環繞該自身軸線的圍繞壁，及多個呈角度間隔設置於該圍繞壁的線導引件，該圍繞壁具有一連接該第一轉動件的第一側部，及一相反於該第一側部且供所述線導引件設置的第二側部，每一個線導引件具有一鄰近該自身軸線的內側面，及至少一個自該內側面的兩相反側邊的其中一側邊朝遠離該自身軸線方向延伸的導引面。
  8. 如請求項7所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，每一個線導引件還具有二分別自該內側面的兩相反側邊朝遠離該自身軸線方向延伸且相向靠近的導引面。
  9. 如請求項7或8所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，每一個線導引件還具有一連接各自的所述導引面且相反於各自的該內側面的外側面，每一個導引面呈梯形且具有一連接各自的該外側面的寬部，及一連接各自的該內側面的窄部。
  10. 如請求項7或8所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該線導引座的該圍繞壁的該第二側部具有多個位於兩相鄰的線導引件間的連接面，及多個分別連接各自的該連接面的延伸面，每一個延伸面與其相鄰的該導引面相配合界定出線導引槽。
  11. 如請求項1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該第 一繞線單元包括一沿該第一水平方向延伸且能轉動的第一轉動件，該第二繞線單元包括沿該第一水平方向延伸且能轉動的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一、第二轉動件彼此抵靠接觸，在該非結合狀態下，該第一、第二轉動件彼此遠離。
  12. 如請求項11所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，該第一繞線單元還包括至少一個自該第一轉動件的端緣延伸的線導引件。
  13. 如請求項2至3中任一項所述的晶圓切片機的收放線裝置，其中，還包含一驅動單元，該驅動單元包括一用於驅動該第一繞線單元轉動的第一轉動馬達、一用於驅動該第二繞線單元轉動的第二轉動馬達、一用於驅動該第一滑座相對該第二滑座靠近的第一移載馬達，及一用於驅動該第二滑座相對該第一滑座靠近的第二移載馬達。
  14. 一種晶圓切片機，適用於供切割線安裝並用於切割晶棒，該晶圓切片機包含：一機座，沿高度方向延伸；一輪組裝置，包括二呈水平間隔設置於該機座的輥輪，每一個輥輪能轉動地設置於該機座；一進給裝置，設置於該機座且位於該輪組裝置上方，並包括一供該晶棒安裝且用於帶動該晶棒朝該輪組裝置下移並位於所述輥輪間的進給承載座；及二根據請求項1至13中任一項所述的收放線裝置，所述收放線裝置分別位於該機座兩相反側，該高度方向垂直於 該第一水平方向，該切割線依序繞過所述收放線裝置的其中一個、該輪組裝置，及所述收放線裝置的另一個，該輪組裝置的所述輥輪用於供該切割線繞設於其上以形成線網，該線網具有多條跨設於所述輥輪上的加工線段。
  15. 如請求項14所述的晶圓切片機，其中，該機座包括一沿該高度方向延伸的底座部、一設置於該底座部且向上延伸且用於供該輪組裝置設置的切割腔座部，及二在第二水平方向上間隔設置且分別位於該切割腔座部兩側的滑輪安裝部，該第一水平方向、該第二水平方向與該高度方向相正交，該晶圓切片機還包含二分別位於該輪組裝置兩側且分別設置於該機座的所述滑輪安裝部的張力調整裝置，每一個張力調整裝置包括一能轉動的滑輪組，每一組滑輪組位於該輪組裝置與其所鄰近的該收放線裝置間並用於調整該切割線的布線走向。
  16. 如請求項15所述的晶圓切片機，其中，每一組滑輪組具有一能調控地沿直線往返移載的導線輪，該切割線繞過該導線輪且該切割線受力方向平行於該導線輪的移載方向。
  17. 如請求項16所述的晶圓切片機，其中，每一個張力調整裝置還包括一設置於其所鄰近的該滑輪安裝部的第三轉動馬達、一與該第三轉動馬達的輸出軸連接且受該第三轉動馬達控制而轉動的螺杆，及一螺接地套設該螺杆且供各自的該導線輪能轉動地設置的導線輪安裝座。
  18. 如請求項17所述的晶圓切片機，其中，每一個收放線裝置還包含一驅動單元，該驅動單元包括一用於驅動該第一繞 線單元轉動的第一轉動馬達，及一用於驅動該第二繞線單元轉動的第二轉動馬達，每一個第一轉動馬達、每一個第二轉動馬達與每一個第三轉動馬達均為伺服馬達，每一個第三轉動馬達能接收導線輪位置訊號並傳輸補償訊號至每一個第一轉動馬達與每一個第二轉動馬達的至少其中一個。
  19. 如請求項16所述的晶圓切片機，其中，每一個張力調整裝置還包括一設置於其所鄰近的該滑輪安裝部的第三轉動馬達、一與該第三轉動馬達的輸出軸連接且受該第三轉動馬達控制而轉動的第一張力輪、一能相對各自的該滑輪安裝部在該直線上往返移動且供各自的該導線輪能轉動地設置的導線輪安裝座，及一兩端分別連接該導線輪安裝座與該第一張力輪的第一連接件。
  20. 如請求項19所述的晶圓切片機，其中，每一個收放線裝置還包含一驅動單元，該驅動單元包括一用於驅動該第一繞線單元轉動的第一轉動馬達，及一用於驅動該第二繞線單元轉動的第二轉動馬達，每一個第一轉動馬達、每一個第二轉動馬達與每一個第三轉動馬達均為伺服馬達，每一個第三轉動馬達能接收導線輪位置訊號並傳輸補償訊號至每一個第一轉動馬達與每一個第二轉動馬達的至少其中一個。
  21. 如請求項16所述的晶圓切片機，其中，每一個張力調整裝置還包括間隔設置於其所鄰近的該滑輪安裝部的一第三轉動馬達與一第四轉動馬達、一與該第三轉動馬達的輸出軸 連接且受該第三轉動馬達控制而轉動的第一張力輪、一與該第四轉動馬達的輸出軸連接且受該第四轉動馬達控制而轉動的第二張力輪、一位於該第一張力輪與該第二張力輪間能在該直線上往返移動且供各自的該導線輪能轉動地設置的導線輪安裝座、一兩端分別連接該導線輪安裝座與該第一張力輪的第一連接件，及一兩端分別連接該導線輪安裝座與該第二張力輪的第二連接件。
  22. 如請求項21所述的晶圓切片機，其中，每一個收放線裝置還包含一驅動單元，該驅動單元包括一用於驅動該第一繞線單元轉動的第一轉動馬達，及一用於驅動該第二繞線單元轉動的第二轉動馬達，每一個第一轉動馬達、每一個第二轉動馬達、每一個第三轉動馬達與每一個第四轉動馬達均為伺服馬達，每一個第三轉動馬達與每一個第四轉動馬達均能接收導線輪位置訊號並各自傳輸一補償訊號至每一個第一轉動馬達與每一個第二轉動馬達的至少其中一個。
  23. 如請求項14所述的晶圓切片機，其中，該輪組裝置更包括二輔助輥輪，介於該等輥輪間並位於該進給裝置的下方且與該等輥輪平行間隔設置，該等輔助輥輪的最低位置不高於該等輥輪的最高位置，且該等輔助輥輪的直徑小於該等輥輪直徑的一半，該切割線依序繞過所述收放線裝置的其中一個、該輪組裝置，及所述收放線裝置的另一個，該輪組裝置的所述輥輪與所述輔助輥輪用於供該切割線繞設於其上以形成線網，該線網具有多條跨設於所述輔助輥輪上的加工線段。
  24. 一種晶圓切片的方法，包含下列步驟：(A)前置作業：提供一新的切割線、一供該切割線繞設且用於帶動該切割線前後移動的輪組裝置、一供一晶棒安裝且用於帶動該晶棒相對該輪組裝置上下移動的進給裝置，及二分別根據請求項1至13中任一項所述且分別位於該輪組裝置兩側的收放線裝置，其中，該輪組裝置包括二在第二水平方向上間隔設置的輥輪，該第一、第二水平方向相正交，定義所述收放線裝置的其中一個為第一收放線裝置，另一個為第二收放線裝置；(B)新線布線作業：該步驟(A)的該第一、第二收放線裝置均處於該非結合狀態，在該第二收放線裝置的第二繞線單元上套設新切割線，將該切割線間隔繞設於所述輥輪以形成線網，再將該切割線的線頭固定於該第一收放線裝置的第二繞線單元，定義該切割線自該第二收放線裝置往該第一收放線裝置的運行方向為往前，相反地為往後；(C)往前切割的回收作業：該進給裝置由上往下朝該線網推進，該輪組裝置以逆時針方向轉動並帶動該線網切割該晶棒，其中，該切割線隨該輪組裝置轉動而往前一段舊線回收距離，且長度對應於該舊線回收距離的切割線量會自該第二收放線裝置的第二繞線單元退繞並回繞於該第一收放線裝置的第二繞線單元；(D)往前切割的非回收作業：該第一收放線裝置改於該結合狀態，該切割線再往前一段待回轉距離，且長度對應於該待回轉距離的切割線量會自該第二收放線裝置的第二 繞線單元退繞並纏繞於該第一收放線裝置的第一繞線單元；(E)往後切割作業：該第二收放線裝置改於該結合狀態，該輪組裝置改以順時針方向轉動並帶動該線網切割該晶棒，長度對應於該待回轉距離的切割線量會自該第一收放線裝置的第一繞線單元退繞並回繞於該第二收放線裝置的第一繞線單元，直到該切割線完全退繞出該第一收放線裝置的第一繞線單元完後，該第一收放線裝置改於該非結合狀態；(F)補充新線切割作業：該輪組裝置以逆時針方向轉動並帶動該線網切割該晶棒，該切割線隨該輪組裝置而往前該舊線回收距離，且長度對應於該舊線回收距離的切割線量會自該第二收放線裝置的第一繞線單元退繞並回繞於該第一收放線裝置的第二繞線單元，接著該第一收放線裝置改於該結合狀態，該切割線再往前直到完全退繞出該第二收放線裝置的第一繞線單元後，該第二收放線裝置改於該非結合狀態，接著，該第二收放線裝置的第二繞線單元退繞出新切割線且再往前一段新線補充距離，以維持對應於該待回轉距離的切割線量長度不變；及(G)切割完成作業：重複步驟(E)與(F)直到安裝於該進給裝置的晶棒由上往下完全脫離該線網而成為多個晶圓。
  25. 如請求項24所述的晶圓切片的方法，其中，還包含(H)下料作業，該步驟(H)是接續於該步驟(G)後，安裝於該進給裝置的所述晶圓均由下往上移動，該輪組裝置改以順時針 方向轉動並帶動該線網移動，長度對應於該待回轉距離的切割線量自該第一收放線裝置的第一繞線單元退繞至該第二收放線裝置的第二繞線單元，當該切割線完全退繞出該第一收放線裝置的第一繞線單元後，該第一收放線裝置改於該非結合狀態，接著收繞於該第一收放線裝置的第二繞線單元上的已切割過的舊切割線會逐漸退繞並回繞於該第二收放線裝置的第二繞線單元，直到所述晶圓完全脫離該組線網。
  26. 一種晶圓切片的方法，包含下列步驟：(A)前置作業：提供一新的切割線、一供該切割線繞設且用於帶動該切割線前後移動的輪組裝置、一供一晶棒安裝且用於帶動該晶棒相對該輪組裝置上下移動的進給裝置，及二分別根據請求項1至13中任一項所述且分別位於該輪組裝置兩側的收放線裝置，其中，該輪組裝置包括二在第二水平方向上間隔設置的輥輪，該第一、第二水平方向相正交，定義所述收放線裝置的其中一個為第一收放線裝置，另一個為第二收放線裝置；(B)新線布線作業：該第一、第二收放線裝置均處於該非結合狀態，在該第二收放線裝置的第二繞線單元上套設新切割線，將該切割線間隔繞設於所述輥輪以形成線網，再將該切割線的線頭固定於該第一收放線裝置的第二繞線單元，接著該第一收放線裝置改於該結合狀態，並繼續自該第二收放線裝置退繞一段切割晶棒所需的新切割線至該第一收放線裝置的第一繞線單元，定義該切割線自該第二 收放線裝置往該第一收放線裝置的運行方向為往前，相反地為往後；(C)初次新線回繞作業：該第二收放線裝置改於該結合狀態，自該第一收放線裝置的該第一繞線單元退繞一段切割晶棒所需的切割線量至該第二收放線裝置的該第一繞線單元；及(D)切割作業：該進給裝置由上往下朝該線網推進，該線網隨該輪組裝置以逆、順時針方向交替轉動地切割該晶棒，直到安裝於該進給裝置的晶棒由上往下完全脫離該線網而成為多個晶圓，其中，在該切割作業中，該切割線往前運行的線量是大於往後運行的線量，以使得該切割線是逐漸自該第二收放線裝置退繞並回繞於該第一收放線裝置的該第一繞線單元。
  27. 如請求項26所述的晶圓切片的方法，其中，還包含(E)下料作業，該步驟(E)是接續於該步驟(D)後，安裝於該進給裝置的所述晶圓均由下往上移動，該輪組裝置以順時針方向轉動並帶動該線網移動，該第一收放線裝置的第一繞線單元逐漸退繞已切割過的切割線至該第二收放線裝置的第一繞線單元，直到所述晶圓完全脫離該線網。
  28. 如請求項27所述的晶圓切片的方法，其中，還包含(F)舊線回收作業，該步驟(F)是接續於該步驟(E)後，當該切割線完全退繞出該第一收放線裝置的第一繞線單元後，該第一收放線裝置改於該非結合狀態，接著回繞於該第二收放線裝置的第一繞線單元上的已切割過的切割線逐漸往前運 行而回繞於該第一收放線裝置的第二繞線單元。
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