JPH09286022A - ワイヤソーのガイドローラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】スラリの飛散を防止することができるワイヤソ
ーのガイドローラを提供する。 【解決手段】ガイドローラ１８の外周部を円筒状に形成
されたカバー７０で覆う。ワイヤ１４は、ガイドローラ
１８の周方向に沿ってガイドされるため、ワイヤ１４に
付着したスラリもガイドローラ１８の周方向に飛散す
る。ところが、ガイドローラ１８の外周部は、カバー７
０で覆われているため、スラリが周囲に飛散することが
ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのガイド
ローラに係り、特に半導体等のインゴットを走行するワ
イヤで多数のウェーハに切断するワイヤソーのガイドロ
ーラに関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、ワイヤと被加工物との接
触部にスラリ（水などと混合した遊離砥粒）を供給し、
そのワイヤによるラッピング作用でスライシングを行な
う装置である。したがって、ワイヤは、スラリを帯びた
状態でワイヤリール間を走行する。

【０００３】一方、このワイヤの走行速度は、切断時に
は、数１００〜１０００〔ｍ／ｍｉｎ〕にも達し、この
ため、ワイヤの走行に伴い周囲にスラリが飛散するとい
う問題があった。特に、ガイドローラ部分での飛散が激
しく、切断部以外の機器等を汚し、保守作業等に悪影響
を及ぼしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーでは、このスラリの飛散に関しては、全く考
慮がされておらず、周囲に飛散したスラリは、作業者が
洗浄を行なっていた。本発明は、このような事情に鑑み
てなされたもので、スラリの飛散を防止することができ
るワイヤソーのガイドローラを提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、一対のワイヤリール間に配設されたガイドロ
ーラにガイドされて走行するワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列にスラリ
を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該被
加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおい
て、前記ガイドローラの外周部を覆うカバーを、前記ガ
イドローラの軸線に沿って進退移動自在に設けるととも
に、該カバー内に飛散したスラリを該カバーに形成した
排出口を介してスラリ供給タンクに回収することを特徴
とする。

【０００６】ワイヤは、ガイドローラの周方向に沿って
ガイドされるため、そのワイヤに付着したスラリもガイ
ドローラの周方向に飛散する。したがって、そのガイド
ローラの外周部をカバーで覆った本発明によれば、ガイ
ドローラからのスラリの飛散を防止することができる。
また、カバー内に飛散したスラリは、カバーに形成され
た排出口を介してスラリ供給タンクに回収されるため、
極めて経済的である。さらに、カバーは、ガイドローラ
に対して進退移動自在に設けられているため、ガイドロ
ーラの交換時に邪魔にならず、容易にガイドローラの交
換を行なうことができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのガイドローラの好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係るガイドローラが適
用されたワイヤソー１０の全体構成図である。

【０００８】一方のワイヤリール１２に巻回されたワイ
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付きロ
ーラ２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤ列２
４を形成した後、複数のガイドローラ１８、１８、ダン
サローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経て他方のワイヤ
リール２６に巻き取られる。

【０００９】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力が
付与される。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装
置４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６によってワ
イヤ１４に付着したスラリ４０が除去される。前記ワイ
ヤリール１２、２６及び３本のうちの１本の溝付きロー
ラ２２には、それぞれ正逆回転可能な駆動モータ２８、
３０、３２が連結され、この駆動モータ２８、３０、３
２に駆動されて、ワイヤ１４は一対のワイヤリール１
２、２６間を往復走行する。

【００１０】前記ワイヤ列２４には、スラリ供給タンク
３８に貯留されたスラリ４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。前記ワイヤ列２４の下方には、ワークであ
る半導体インゴット５４がスライスベース５８、ワーク
接着ブロック５６を介してワーク送りテーブル４８に支
持されている。ワーク送りテーブル４８は、モータ５０
で回動するボールネジ５２により上下方向に移動自在に
設けられ、前記半導体インゴット５４は、このワーク送
りテーブル４８を上方に移動させることにより高速走行
するワイヤ列２４に押し当てられ、多数のウェーハに切
断される。

【００１１】図２は、本発明に係るワイヤソーのガイド
ローラの実施の形態の側面部分断面図である。同図に示
すように、前記ワイヤソーの本体フレーム１０Ａに固定
されたシャフト６０の先端には、ベアリング６２、６２
を介してベアリングケース６４が回動自在に取り付けら
れている。ベアリングケース６４は円筒状に形成されて
おり、その基端部には、フランジ６４ａが形成されてい
る。また、ベアリングケース６４の先端部には、ベアリ
ングキャップ６６が固着されており、スラリ等が流入す
るのを防止している。

【００１２】前記ベアリングキャップ６６の外周面に
は、雄ネジ部６６ａが形成されており、この雄ネジ部６
６ａには、挟持リング６８が螺合されている。挟持リン
グ６８は、前記ベアリングケース６４よりも大径に形成
されており、その外周面には、滑り止め用の溝が多数形
成されている。前記ガイドローラ１８は、前記ベアリン
グケース６４の外周部に装着され、そのベアリングケー
ス６４のフランジ６４ａと挟持リング６８とに挟持され
て、ベアリングケース６４に固定される。

【００１３】図３〜図５に示すように、前記ベアリング
ケース６４に取り付けられたガイドローラ１８には、ガ
イドローラ１８の外周部を覆うカバー７０が装着され
る。カバー７０は、筒状に形成されており、その両端部
にリング状の補助カバー７０Ａ、７０Ａが一体形成され
ている。また、カバー７０の周面２箇所には、切り欠き
７０Ｂ、７０Ｂが形成されており、前記ワイヤ１４は、
この切り欠き７０Ｂ、７０Ｂを通ってカバー７０内に導
入される。

【００１４】前記カバー７０は、ガイドローラ１８の軸
心に沿って進退移動自在に設けられており、その移動機
構は、次のように構成されている。前記ワイヤソーの本
体フレーム１０Ａには、ブラケット７２を介して支持ブ
ロック７４が固定されている。支持ブロック７４には、
前記ガイドローラ１８の軸線に沿ってガイド孔７４Ａが
穿孔されており、ガイド孔７４Ａには、ロッド７６が摺
動自在に挿通されている。ロッド７６の先端部には、矩
形状に形成された支持片７８が固着されており、前記カ
バー７０は、この支持片７８にその下端部を固定されて
いる。したがって、前記カバー７０は、このロッド７６
の摺動に伴って移動し、ロッド７６を図中左方向にスラ
イドさせるとガイドローラ１８から外れ、右方向にスラ
イドさせるとガイドローラ１８に装着される。

【００１５】ところで、前記ロッド７６は、中央近傍か
ら先端部にかけて角形に形成されるとともに基端部側を
丸形に形成されている。また、このロッド７６が摺動す
るガイド孔７４Ａは、ロッド７６の先端側の形状に対応
するように断面を角形に形成されている。このため、ロ
ッド７６を図中右側にスライドさせた場合、ロッド７６
はガイド孔７４Ａと嵌合する。これにより、カバー７０
は回転が規制されるので、常に一定の位置でガイドロー
ラ１８に装着させることができる。

【００１６】一方、ロッド７６を図中左側にスライドさ
せた場合、ロッド７６とガイド孔７４Ａとの嵌合状態は
解除されるので、この結果、ロッド７６はガイド孔７４
Ａ内を回動自在になる。したがって、ガイドローラ１８
の正面に位置していたカバー７０を下側にズラすことが
でき、これにより、ガイドローラ１８の交換時の作業性
が向上する。

【００１７】なお、前記ロッド７６の基端部に形成され
た番号７６Ａはツマミであり、このツマミ７６Ａを持っ
てロッド７６をスライドさせる。前記支持ブロック７４
には、ロッド７６を固定する固定ツマミ８０が設けられ
ている。固定ツマミ８０は、図４（正面図）に示すよう
に、ボルト状に形成されており、そのネジ部８０Ａが、
前記支持ブロック７４に形成されたボルト孔７４Ｂに螺
合されている。ボルト孔７４Ｂは、前記ガイド孔７４Ａ
に連通されており、前記ロッド７６は、このボルト孔７
４Ｂに螺合された固定ツマミ８０で、その側面部を押圧
することにより固定される。これにより、ガイドローラ
１８に装着されたカバー７０を固定することができる。

【００１８】ところで、前記カバー７０内に飛散したス
ラリは、カバー７０の内周面を伝ってカバー７０の下端
部に溜まる。このため、前記カバー７０の下端部には、
下端部に溜まったスラリを排出するための排出口７０Ｃ
が形成されている。この排出口７０Ｃには、前記スラリ
供給タンク３８に連通されたスラリ回収チューブ８２が
接続されており、カバー７０の下端部に溜まったスラリ
は、このスラリ回収チューブ８２を介してスラリ供給タ
ンク３８に回収される。また、前記カバー７０の下端部
は、溜まったスラリが排出口７０Ｃに導かれるように、
傾斜が形成されている。

【００１９】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーのガイドローラの実施の形態の作用は次の通りで
ある。ワイヤ１４は、ガイドローラ１８の周方向に沿っ
てガイドされるため、そのワイヤ１４に付着したスラリ
もガイドローラ１８の周方向に飛散する。したがって、
そのガイドローラ１８の外周部をカバー７０で覆った本
実施の形態のガイドローラ１８によれば、周囲にスラリ
が飛散することがない。

【００２０】また、カバー７０内で飛散したスラリは、
カバー７０の内周面を伝ってカバー７０の下端部に溜ま
り、溜まったスラリは、排出口７０Ｃからスラリ回収チ
ューブ８２を介してスラリ供給タンク３８に回収され
る。また、ガイドローラ１８の交換を行なうときは、次
のようにして行なう。まず、ロッド７６を固定している
固定ツマミ８０を緩め、ロッド７６を摺動自在な状態に
する。

【００２１】次に、ロッド７６を図中左側にスライドさ
せ、ガイドローラ１８からカバー７０を外す。ここで、
前記ロッド７６は、左側にスライドさせることにより、
基端部側に形成された丸形の部分が、支持ブロック７４
のガイド孔７４Ａに嵌まるので、ロッド７６は回動自在
な状態になる。そして、回動自在な状態になったロッド
７６は、カバー７０の自重で回転し、この結果、ガイド
ローラ１８の正面に位置していたカバー７０が下側にズ
レる。これにより、ガイドローラ１８の交換作業を行な
う作業空間が十分確保され、交換を容易に行なうことが
できる。

【００２２】なお、ガイドローラ１８の交換は、まず、
ベアリングケース６４から挟持リング６８を取り外し、
新たなガイドローラ１８を取り付けたのち、再び挟持リ
ング６８をベアリングケース６４に螺合させる。次に、
ガイドローラ１８を取り付けたのち、再びロッド７６を
回転させて、カバー７０をガイドローラ１８のほぼ正面
に位置させる。そして、ロッド７６を図中右側にスライ
ドさせる。右側にスライドしたロッド７６は、先端部側
に形成された角形の部分が、支持ブロック７４のガイド
孔７４に嵌合するので、これにより、ロッド７６の回転
が規制されるとともに、正規の装着位置に位置決めされ
る。

【００２３】支持片７８が、支持ブロック７４の端面に
当接した時点で、カバー７０がガイドローラ１８に装着
されるので、固定ツマミ８０でロッド７６を締めつけ
て、ロッド７６を固定する。これにより、一連のガイド
ローラ１８の交換作業が終了する。このように、本実施
の形態のガイドローラ１８によれば、ガイドローラ１８
の交換作業も簡単に行なうことができる。

【００２４】図６は、本発明に係るワイヤソーのガイド
ローラの第２の実施の形態の側面図である。なお、前記
第１の実施の形態と同一部材には、同一符号を付して、
その説明は省略する。ガイドローラ１８が装着されるベ
アリングケース６４のシャフト６０には、円盤状に形成
された支持プレート８４が、シャフト６０と同軸上に固
着されている。カバー７０は、この支持プレート８４に
スプリング８６を介して取り付けられている。そして、
定常状態では、ガイドローラ１８の外周上に位置し、ス
ラリの飛散を防止する。

【００２５】一方、ガイドローラ１８を交換する場合
は、カバー７０を前記スプリング８６の付勢力に抗して
支持プレート８４側に押し付ける。これにより、カバー
７０は、ガイドローラ１８の後方にズレるので、ガイド
ローラ１８の交換を容易に行なうことができる。図７
は、本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第３の実
施の形態の側面図である 同図に示すように、ワイヤソーの本体フレーム１０Ａに
は、ブラケット８８が固定されており、カバー７０は、
このブラケット８８の先端部に蝶ボルト９０でボルト止
めされている。このため、カバー７０の上端部には、前
記蝶ボルト９０が螺合するボルト穴７０Ｄが穿設されて
いる。

【００２６】ガイドローラ１８を交換する場合は、前記
蝶ボルト９０を緩めて、ブラケット８８からカバー７０
を取り外して行い、交換後、再び蝶ボルト９０でカバー
７０をブラケット８８に取り付ける。これにより、容易
にガイドローラ１８の交換を行なうことができる。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガイドローラの外周部は、カバーで覆われているため、
スラリが周囲に飛散することがない。また、カバー内に
飛散したスラリは、排出口を介してスラリ供給タンクに
回収されるため、極めて経済的である。さらに、カバー
は、ガイドローラに対して進退移動自在に設けられてい
るため、ガイドローラの交換も容易に行なうことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成図

【図２】本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第１
の実施の形態の側面部分断面図

【図３】本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第１
の実施の形態の側面図

【図４】本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第１
の実施の形態の正面図

【図５】本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第１
の実施の形態の斜視図

【図６】本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第２
の実施の形態の側面図

【図７】本発明に係るワイヤソーのガイドローラの第３
の実施の形態の構成図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １８…ガイドローラ ７０…カバー ７０Ｃ…排出口 ７６…ロッド ８２…スラリ回収チューブ ８６…スプリング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対のワイヤリール間に配設されたガイ
   ドローラにガイドされて走行するワイヤを複数個の溝付
   ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列にス
   ラリを供給しながら被加工物を押し当てることにより、
   該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにお
   いて、 前記ガイドローラの外周部を覆うカバーを、前記ガイド
   ローラの軸線に沿って進退移動自在に設けるとともに、
   該カバー内に飛散したスラリを該カバーに形成した排出
   口を介してスラリ供給タンクに回収することを特徴とす
   るワイヤソーのガイドローラ。