UA21807C2 - Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика - Google Patents

Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика

Info

Publication number
UA21807C2
UA21807C2 UA96051932A UA96051932A UA21807C2 UA 21807 C2 UA21807 C2 UA 21807C2 UA 96051932 A UA96051932 A UA 96051932A UA 96051932 A UA96051932 A UA 96051932A UA 21807 C2 UA21807 C2 UA 21807C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
bath
metals
intermediary
alloys
evaporation temperature
Prior art date
Application number
UA96051932A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Other versions
UA21807A (uk
Inventor
Борис Олексійович Мовчан
Борис Алексеевич Мовчан
Валерій Іванович Топал
Валерий Иванович Топал
Олександр Вікторович Корж
Александр Викторович Корж
Original Assignee
Юнайтед Технолоджіз Корп. Пратт Енд Уітні
Юнайтэд Тэхнолоджиз Корп. Пратт Энд Уитни
Міжнародний Центр Електронно-Променевих Технологій Інституту Електрозварювання Ім.Патона
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юнайтед Технолоджіз Корп. Пратт Енд Уітні, Юнайтэд Тэхнолоджиз Корп. Пратт Энд Уитни, Міжнародний Центр Електронно-Променевих Технологій Інституту Електрозварювання Ім.Патона filed Critical Юнайтед Технолоджіз Корп. Пратт Енд Уітні
Priority to UA96051932A priority Critical patent/UA21807C2/uk
Priority to DE69732252T priority patent/DE69732252T2/de
Priority to EP97204158A priority patent/EP0969115B1/en
Publication of UA21807A publication Critical patent/UA21807A/uk
Publication of UA21807C2 publication Critical patent/UA21807C2/uk

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

Даний винахід належить до парового осадження металів. Спосіб включає одержання сплаву, що випаровується, розміщеного у водоохолоджуваному мідному тиглі, із застосуванням електронного променя як теплового джерела, нагрівання матеріалу до температури його випаровування й осадження парового потоку. У ванну вводять тугоплавкий метал, температура випаровування якого не нижче температури випаровування компонента сплаву, що випаровується, з найвищою температурою випаровування.
UA96051932A 1996-05-17 1996-05-17 Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика UA21807C2 (uk)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA96051932A UA21807C2 (uk) 1996-05-17 1996-05-17 Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика
DE69732252T DE69732252T2 (de) 1996-05-17 1997-05-05 Verfahren zur Vakuumbedampfung von Metallen
EP97204158A EP0969115B1 (en) 1996-05-17 1997-05-05 Method of vacuum vaporization of metals

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA96051932A UA21807C2 (uk) 1996-05-17 1996-05-17 Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика

Publications (2)

Publication Number Publication Date
UA21807A UA21807A (uk) 1998-04-30
UA21807C2 true UA21807C2 (uk) 2000-09-15

Family

ID=21689125

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA96051932A UA21807C2 (uk) 1996-05-17 1996-05-17 Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0969115B1 (uk)
DE (1) DE69732252T2 (uk)
UA (1) UA21807C2 (uk)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6145470A (en) * 1998-12-11 2000-11-14 General Electric Company Apparatus for electron beam physical vapor deposition
AU2957400A (en) * 1999-12-29 2001-07-16 International Center For Electron Beam Technologies Of E.O. Paton Electric Welding Institute A method of forming on a substrate a coating of complex alloy containing elements whose evaporation temperatures differ by more than 350 degrees
SG106639A1 (en) 2000-10-10 2004-10-29 Gen Electric Apparatus and method for introducing small amounts of refractory elements into a vapor deposition coating
US7329436B2 (en) 2004-11-17 2008-02-12 United Technologies Corporation Vapor deposition of dissimilar materials
US20130236659A1 (en) * 2012-03-07 2013-09-12 Honeywell International Inc. Methods for vapor depositing high temperature coatings on gas turbine engine components utilizing pre-alloyed pucks
US11325182B2 (en) 2020-03-12 2022-05-10 Raytheon Technologies Corporation Method for removing refractory metal cores
CN113249586B (zh) * 2021-03-22 2023-02-28 洛阳双瑞精铸钛业有限公司 一种用于eb炉熔炼钛合金的双层式冷凝罩
CN113249587B (zh) * 2021-03-22 2022-10-18 洛阳双瑞精铸钛业有限公司 一种用于eb炉熔炼钛合金的组合式冷凝罩
CN117737662A (zh) * 2023-12-19 2024-03-22 天水天光半导体有限责任公司 镍金属源块结构

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3356487A (en) * 1966-12-06 1967-12-05 Air Reduction Prevention of splattering during vaporization processing
JPS6220865A (ja) * 1985-07-22 1987-01-29 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 蒸発方法
JPH03207852A (ja) * 1990-01-08 1991-09-11 Nkk Corp シリコン薄膜の成膜方法
US5474809A (en) * 1994-12-27 1995-12-12 General Electric Company Evaporation method

Also Published As

Publication number Publication date
EP0969115B1 (en) 2005-01-12
DE69732252D1 (de) 2005-02-17
UA21807A (uk) 1998-04-30
EP0969115A1 (en) 2000-01-05
DE69732252T2 (de) 2005-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UA21807C2 (uk) Спосіб високошвидкісhого вакуумhого випаровуваhhя металів і сплавів з використаhhям ваhhи-посередhика
JP4522709B2 (ja) 基板を被覆する方法および装置
GB2232167A (en) A process for improving high-temperature alloys
Vutova et al. Electron-beam melting and reuse of metallic materials
JP3338757B2 (ja) 真空溶解装置の蒸着防止板
SI1442150T1 (sl) Aluminij-silicijeve zlitine z izboljšanimi mehanskimi lastnostmi
GB1440921A (en) Evaporation of metals
SU873692A1 (ru) Способ получени лигатур алюминий-скандий
US3356487A (en) Prevention of splattering during vaporization processing
JPS57155377A (en) Evaporating apparatus
Chen et al. Study on the denitrogenization kinetics of uranium during electron beam cold hearth refining
RU2016138C1 (ru) Способ диффузионного борирования стальных деталей
JPH05295470A (ja) チタンまたはチタン合金の脱酸方法
JP2546301B2 (ja) 高融点金属溶解用水冷銅ハース
RU2287605C1 (ru) Способ обработки расплава меди и ее сплавов наносекундными электромагнитными импульсами нэми для повышения их теплопроводности
RU2108407C1 (ru) Способ получения магнитострикционного материала на основе железа - "дифераль"
JPS63227728A (ja) 溶解ルツボおよび溶解法
Maier-Komor et al. Progress in target technology using a pulsed laser beam for physical vapor deposition
SU985065A1 (ru) Способ получени аморфных сплавов
Zaitsev et al. Investigation of the Conditions of Formation of Aluminum-Magnesium Spinel Inclusions in Low-Carbon Automotive Sheet Steels of 08Yu type and Ultralow-Carbon Automotive Sheet Steels of the if and IF-HS Types
UA30124C2 (uk) Спосіб формування на підкладці покриття із складного сплаву, який містить елементи, температура випаровування яких відрізняється більше ніж на 350 с
Demchenko et al. Energy Balance of Equipment for Electron Beam Evaporation of Materials
SU836178A1 (ru) Способ выплавки медно-кадмиевой лигатуры
Kurapov The Effect of Smelting and Heat Treatment Methods on the Strength and Ductility of High Alloy Chrome Steels
SU1008267A1 (ru) Способ получени борсодержащего сплава на основе железа