Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Київський Університет Ім. Тараса Шевченка, Киевский Университ Им. Т. ШевченкаfiledCriticalКиївський Університет Ім. Тараса Шевченка
Priority to UA97010303ApriorityCriticalpatent/UA24207A/ru
Publication of UA24207ApublicationCriticalpatent/UA24207A/ru
Superconductors And Manufacturing Methods Therefor
(AREA)
Abstract
Способ получения пленок металлооксидных высокотемпературных сверхпроводников, который включает формирование в атмосфере рабочего газа потока плазмы и потока компонентов материала путем выпаривания мишени из наносимого материала и осаждения пленок ВТНП на подкладку. Выпаривание мишени проводят в пространственно-временном совмещении процессов импульсного лазерного излучения и реактивного магнетронного распыления вещества мишени в скрещенных магнитном и электрических полях, а также процессов термообработки и осаждения пленок.
UA97010303A1997-01-241997-01-24Способ получения пленок металлооксидных высокотемпературных полуроводников
UA24207A
(ru)