Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Київський Університет Ім. Тараса Шевченка, Киевский Университ Им. Т. ШевченкаfiledCriticalКиївський Університет Ім. Тараса Шевченка
Priority to UA97010303ApriorityCriticalpatent/UA24207A/uk
Publication of UA24207ApublicationCriticalpatent/UA24207A/uk
Superconductors And Manufacturing Methods Therefor
(AREA)
Abstract
Спосіб отримання плівок металооксидних високотемпературних надпровідників, що включає формування в атмосфері робочого газу потоку плазми і потоку компонентів матеріалу, шляхом випарювання мішені з матеріалу, що наноситься, і осадження плівок ВТНП на підкладку. Випарювання мішені проводять у просторово-часовому суміщенні процесів імпульсного лазерного випромінювання і реактивного магнетронного розпилення речовини мішені в схрещених магнітному і електричних полях, а також процесів термообробки і осадження плівок.