Чекасский Государственный Технологический Университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Черкаський Державний Технологічний Університет, Чекасский Государственный Технологический УниверситетfiledCriticalЧеркаський Державний Технологічний Університет
Priority to UA2004020860UpriorityCriticalpatent/UA3384U/uk
Publication of UA3384UpublicationCriticalpatent/UA3384U/uk
Спосіб отримання ювенільних поверхонь на склі включає попередній нагрів зразка, навантаження електронним променем, що рухається вздовж поверхні зразка. Поверхня скла маскується будь-яким жароміцним, струмопровідним матеріалом, наприклад Ni, Mo, і оброблюється параксіальним стрічковим електронним променем, після чого скло охолоджується протягом часу до 40 хвилин.
UA2004020860U2004-02-062004-02-06Спосіб отримання ювенільних поверхонь на склі
UA3384U
(uk)
Semiconductor device having a dual stress liner, method of manufacturing the semiconductor device and light exposure apparatus for forming the dual stress liner