UA49876C2 - Пристосування для використання в установці для нанесення на деталі покриттів, пристрій модульного типу, установка для нанесення покриттів на деталі і спосіб нанесення покриттів - Google Patents
Пристосування для використання в установці для нанесення на деталі покриттів, пристрій модульного типу, установка для нанесення покриттів на деталі і спосіб нанесення покриттів Download PDFInfo
- Publication number
- UA49876C2 UA49876C2 UA98084655A UA98084655A UA49876C2 UA 49876 C2 UA49876 C2 UA 49876C2 UA 98084655 A UA98084655 A UA 98084655A UA 98084655 A UA98084655 A UA 98084655A UA 49876 C2 UA49876 C2 UA 49876C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- parts
- coating
- shaft
- fact
- coupling
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 30
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 26
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 26
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
- B05C13/02—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Пристосування (10) для використання в установці для нанесення на деталі покриттів полегшує процес нанесення покриття на деталі (38), наприклад на турбінні лопатки та лопаті. В пристосуванні (10) є порожнистий центральний елемент (12) з великою кількістю розташованих на його зовнішній поверхні вздовж та навколо його поздовжньої oci тримачів (36) деталей. Кожний тримач (36) складається з відкритого з одного боку корпуса (46) та кришки (48), якою закривається відкритий бік корпуса (46). Під час нанесення на деталі покриття пристосування (10), що пропонується в даному винаході, приводиться в обертання навколо його поздовжньої oci (14), а встановлені в тримачі деталі (38), на які наносять покриття, залишаються при цьому нерухомими відносно пристосування, що обертається.
Description
Опис винаходу
Даний винахід відноситься до нового пристосування модульного типу для кріплення деталей, яке призначене 2 для використання в установках для нанесення покриттів на різноманітні деталі, зокрема на лопаті і лопатки промислових турбін та реактивних двигунів. Даний винахід відноситься також до установки та способу нанесення покриттів, які грунтуються на використанні запропонованого у винаході нового призначеного для кріплення деталей пристрою модульного типу.
Звичайно на лопаті і лопатки, що використовуються в промислових турбінах та реактивних двигунах, 70 наносять певні покриття, які підвищують їхню корозійну стійкість, знижують термічну втому і певним чином поліпшують їхні експлуатаційні якості. З метою зробити процес нанесення покриттів в промислових масштабах економічно виправданим необхідно одночасно наносити покриття на достатньо велику кількість деталей. Одна з таких промислових установок для одночасного нанесення покриттів на декілька деталей описана в патенті США 4192253. В цій установці є призначена для нанесення покриттів камера, в яку вміщують кілька деталей, які в 19 процесі нанесення на них покриттів одночасно обертаються навколо своїх поздовжніх осей. Одночасне обертання деталей навколо своїх поздовжніх осей здійснюється за рахунок встановлення кожної деталі на головку затискного пристосування, інший кінець якого сполучений зі складним зубчастим приводом, який обертає затискне пристосування та окремі закріплені на ньому деталі. Принциповими недоліками такої установки є її складність та висока вартість. Ще один недолік такої установки пов'язаний з втратами часу, зумовленими необхідністю поштучного зняття деталей з нанесеним на них покриттям з кожного із затискних пристосувань та поштучного кріплення до них нових, потребуючих нанесення покриття, деталей.
Найбільш близько відомими технічними рішеннями до даного винаходу є описані в ОЕ 4425991 С1 пристосування і спосіб для нанесення покриттів на частини деталей. Відоме пристосування призначене для використання в установці для нанесення на деталі покриттів і містить пристрої для кріплення великої кількості с деталей, на які необхідно нанести покриття, причому ці пристрої виконані таким чином, що поверхні деталей,на (39 які наноситься покриття, виявляються розташованими на деякій відстані від зовнішньої поверхні центрального елемента, при цьому для нанесення на деталі покриття пристосування виконане з можливістю вміщення його разом із закріпленими на ньому деталями в установку для нанесення покриттів і обертання навколо своєї центральної осі, причому під час обертання пристосування закріплені на ньому за допомогою пристроїв для ее, кріплення деталі, залишаються відносно нього нерухомими. ча
Центральний елемент у цьому пристрої виконаний у вигляді колеса, яке за формою і пропорціями відповідає шайбі, у зв'язку з чим на ньому можна було б розташувати тільки один рядок деталей, що певним чином стримує со виробничі можливості щодо одночасної обробки великої кількості деталей. Ге»)
Основним завданням даного винаходу є створення призначеного для кріплення деталей пристосування
Зо модульного типу, яке полегшує процес одночасного нанесення покриттів на велику кількість деталей. М
Ще одним завданням даного винаходу є створення призначеного для кріплення деталей пристосування описаного вище типу, яке забезпечує можливість більш швидкого кріплення потребуючих нанесення покриття деталей та зняття з нього деталей, що мають покриття. «
Завданням даного винаходу є також створення призначеного для кріплення деталей пристосування З описаного вище типу, яке дає певний економічний ефект. с Ще одним завданням даного винаходу є створення установки та способу нанесення покриттів на різноманітні
Із» деталі, такі, як турбіни лопаті і лопатки, які засновані на використанні пристосування модульного типу, що пропонується в даному винаході.
Зазначені вище завдання вирішуються за допомогою пристосування модульного типу, що пропонується в даному винаході. е Виконане відповідно до даного винаходу пристосування для кріплення деталей, на які наносять покриття, в (Те) цілому складається з порожнистого центрального елемента і пристроїв для розміщення та кріплення на його зовнішній поверхні великої кількості потребуючих нанесення покриття деталей. Пристосування, що пропонується со у винаході, має також пристрій для його встановлення та сполучення з обертальним приводним валом, -І 20 розташованим всередині камери для нанесення покриттів.
Пристосування для кріплення деталей складається з великої кількості утримувачів, в яких містяться щи потребуючі нанесення покриття деталі. Утримувачі виконані таким чином, що відкритими залишаються тільки ті ділянки закріплених в них деталей, на які має бути нанесене покриття, при цьому всі інші ділянки деталей виявляються закритими, а покриття на них не наноситься. Кожний утримувач складається із сконструйованого 25 спеціальним чином відкритого з одного боку корпуса або склянки та кришки, яка закриває відкритий бік корпуса.
ГФ) В утримувачі є спеціальний засіб для кріплення кришки до корпуса. юю Під час роботи деталі, на які повинно бути нанесене покриття, вміщують в закріплені на центральному елементі пристосування корпуси утримувачів, до яких потім кріпляться кришки, в результаті чого у деталей залишаються відкритими тільки ті ділянки їхньої поверхні, на які має бути нанесене покриття. Після цього все 60 пристосування модульного типу із закріпленими на ньому деталями встановлюється і з'єднується з призначеним для його обертання приводним валом, розташованим всередині камери для нанесення покриттів. Після закриття камери розпочинається процес нанесення покриттів на деталі. В процесі нанесення покриття на деталі приводний вал та пристосування безперервно обертаються, у той час як встановлені в утримувачах деталі залишаються нерухомими. Пристосування, що пропонується, відрізняється від відомого тим, що деталі під час 62 нанесення на них покриття не обертаються навколо своїх поздовжніх або центральних осей. Покриття, яке наноситься на деталі при використанні з цією метою пристосування за даним винаходом, можна охарактеризувати як "позаосьове" покриття.
Більш докладно конструкція пристосування, що пропонується в даному винаході, і спосіб його кріплення та
Використання на призначеній для нанесення покриттів установці, а також інші відмітні особливості та переваги винаходу розглянуті в наведеному нижче описі винаходу з посиланням на фігури, що додаються, на яких нумерація позицій одних і тих самих деталей є наскрізною і на яких показано: на фіг.1 - загальний вигляд призначеного для кріплення деталей пристосування модульного типу, що пропонується в даному винаході, 70 на фіг.2 - поперечний розріз пристосування за фіг.1 площиною 2-2, на фіг.З - вигляд з торця пристрою за фіг.1, на фіг.4 - поперечний переріз одного з вузлів пристосування за фіг.1, на якому показано, яким чином вміщене в робочу камеру установки для нанесення покриттів пристосування кріпиться до приводного вала, який приводить його в обертання, на фіг.5 - вигляд зверху корпуса утримувача, в якому кріпиться деталь, на фіг.6 - вигляд зверху кришки утримувача, якою закривається його корпус, на фіг.7 - вигляд спереду однієї з ділянок зображеної на фіг.б кришки, на фіг.8 - вигляд зверху кришки, закріпленої на корпусі утримувача, на фіг.9 - загальний вигляд іншого варіанта конструкції пристосування за даним винаходом, на фіг.10 - вигляд збоку пристосування за фіг.9 із зображенням поперечного перерізу порожнистого циліндричного елемента, на фіг.11 - зображення, частково в розрізі, показаного на фіг.9 пристрою, сполученого з установочним елементом, та на фіг.12 - вигляд збоку установочного елемента. сч
На фіг.1 показане призначене для кріплення деталей пристосування 10 модульного типу, що пропонується в даному винаході. В пристосуванні 10 є витягнений в поздовжньому напрямі центральний елемент 12 з і) центральною віссю 14 та сполученими з ним торцевими пластинами 16 і 18. Як показано на фіг.2, в центральному елементі 12 є внутрішній отвір 20, в який входить приводний вал 22, що обертається, розташований всередині робочої камери установки для нанесення покриттів. «о зо Центральний елемент 12 може мати в поперечному перерізі найрізноманітнішу форму. Зокрема центральний елемент 12 можна виконати квадратним або прямокутним в перерізі. Поперечний переріз центрального - елемента 12 можна також виконати круглим. со
Як вже було відзначено вище, центральний елемент 12 має внутрішній отвір 20. Внутрішній отвір 20 проходить по всій довжині центрального елемента, а форма його поперечного перерізу збігається з формою Ме з5 поперечного перерізу приводного вала 22, що обертається, на якому встановлюється пристосування 10. «г
Торцеві пластини 16 і 18 мають більш прийнятне круглу форму, хоча їхня форма може бути і будь-якою іншою. Як показано на фіг.3, торцева пластина 18 відрізняється від торцевої пластини 16 наявністю паза 24, в який входить плоский кінець 26 приводного вала 22, та вушка 28. Як показано на фіг.4, в плоскому кінці 26 приводного вала передбачений отвір З0, в який вставляється з'єднувальний елемент 32, за допомогою якого до « приводного вала 22 кріпиться пристосування 10. З'єднувальний елемент 32 більш прийнятне виконати у вигляді з с клинової шпонки з отвором 34. Притиснута до торцевої пластини 18 клинова шпонка 32 утримується в такому . положенні куском дроту (не показаний), який проходить через вушко 28 та отвір 34. и?» Центральний елемент 12 та торцеві пластини 16 і 18 можна виготовити з будь-якого придатного з цією метою відомого матеріалу.
На зовнішній поверхні центрального елемента 12 навколо та вздовж його поздовжньої осі розміщено декілька їх утримувачів 36. Кожний з цих утримувачів 36 призначений, про що докладно сказано нижче, для встановлення на ньому однієї з деталей 38, на яку необхідно нанести покриття. Утримувачі 36 більш прийнятне виготовити з ік такого самого матеріалу, що і центральний елемент 12, закріпивши їх на площадках 39, 40, 42 і 44 зовнішньої
Го! поверхні центрального елемента 12. Кріплення утримувачів Зб до зовнішніх площадок 38, 40, 42 і 44 центрального елемента можна виконати будь-яким добре відомим способом. Більш прийнятне кріплення ш- утримувачів 36 до зовнішніх площадок центрального елемента виконати за допомогою зварювання.
Ф Кожний утримувач 36 складається з двох деталей. Перша з цих деталей являє собою показаний на фіг.5 відкритий з одного боку корпус 46, в який вміщують деталь 38. Друга деталь утримувача являє собою показану на фіг.б кришку 38, що закриває відкритий бік корпуса 46. Як показано на фіг.5, корпус 46 утримувача має дво НИЖНЮ стінку 50, дві прилягаючі до нижньої стінки бічні стінки 52 і 54, задню стінку 56, що з'єднує між собою дві бічні стінки 52 і 54, та частково закриваючу корпус зверху верхню стінку 58, форма якої відповідає формі
Ф) однієї з поверхонь деталі 38. Деталь 38 вставляється в корпус утримувача 36 через його відкритий бік в ка напрямі показаної на кресленні стрілки А.
Як показано на фіг.5, на задній стінці 56 корпуса утримувача розміщений виконаний з ним за одне ціле упор бр 50, в який упирається деталь, що вставляється в утримувач. Упор 60 призначений для центрування хвостовика деталі 38 всередині корпуса 46 утримувача. В процесі нанесення покриття останнє наноситься тільки на певні ділянки деталі 38. Для цього використовується спеціальний захисний екран 62, виконаний на зовнішній поверхні верхньої стінки 58 корпуса утримувача. Форма захисного екрана 62 збігається з формою тієї ділянки поверхні деталі 38, на яку покриття не повинно наноситися. 65 До бічної стінки 54 корпуса утримувача приварена планка 64. Як показано на фіг.5, в планці 64 є паз 66, в який входить клинова шпонка 68, що утримує на місці закриваючу корпус кришку 48.
Кришка 48, що показана на фіг.6б і 7, закриває відкритий бік корпуса 46 утримувача. Кришка 48 виготовлена з такого самого матеріалу, що і корпус 46, а форма її внутрішньої поверхні 67 збігається з формою другої поверхні деталі, на яку наносять покриття. На внутрішній поверхні 67 кришки 48 є упор 70. Цей упор 70 кришки
Вазом з упором 60 корпуса використовуються для правильної орієнтації та затисненні в утримувачі З6 деталі, на яку наносять покриття. Як показано на фіг.б, кришка 48, як і корпус, має виконаний з нею за одне ціле захисний екран 72. Кріплення захисного екрана 72 до кришки 48 здійснюється будь-яким призначеним з цією метою способом, наприклад, зварюванням. Захисний екран 72 перешкоджає нанесенню покриття на певні ділянки поверхні деталі, наприклад, на задню кромку турбінної лопатки або лопаті. 70 В кришці 48 є також виріз 74, в який входить планка 64. На зовнішній поверхні 77 кришки розміщене вушко 76. Після притискання кришки 48 до корпуса 46, як показано на фіг.8, в паз 66 планки 64 вставляється маюча наскрізний отвір 78 клинова шпонка 68. Клинова шпонка 68 упирається в зовнішню поверхню 77 кришки, щільно притискаючи кришку 48 до корпуса 46. Після цього крізь вушко 76 та отвір 78 шпонки пропускається кусок дроту (не показаний), який надійно утримує на місці кришку 48 притиснутою до корпуса 46.
Як показано на фіг.4, для нанесення на деталі покриття центральний елемент 12 пристрою надівається на вал 22, що знаходиться всередині робочої камери (не показана) установки, сполучений з системою привода (не показана) установки, яка обертає вал 22 навколо його поздовжньої осі. Як приводну систему для обертання вала 22 можна використовувати будь-яку відому приводну систему. Кріплення центрального елемента 12 до приводного вала 22 здійснюється за допомогою клинової шпонки 32, яка вставляється в паз 30, передбачений в 2о плоскому кінці 26 приводного вала, що проходить через паз 24, виконаний в торцевій пластині 18, та куска дроту, який з'єднує шпонку з вушком 28.
Пристосування модульного типу, що пропонується в даному винаході, призначене для кріплення деталей, на які наносять покриття, використовується наступним чином. Спочатку деталі, на які необхідно нанести покриття, вставляють всередину корпусів 46 утримувачів 36. Після цього відкриті боки корпусів 46 утримувачів закривають сч ов кришками 48, які утримуються в такому положенні клиновими шпонками 68, котрі вставляються в пази 66 планок 64 та прив'язуються до кришок кусками дроту (не показані), які пропускаються крізь отвори 78 в шпонках 68 та і) вушка 76. Після цього пристосування 10 модульного типу із затисненими в його утримувачах деталями 38 вміщують на установочний пристрій, який в цей момент знаходиться поза камерою, в якій на деталі наносять покриття. Після цього за допомогою цього пристрою пристосування із закріпленими на ньому деталями «о зо переміщають всередину камери, наприклад, всередину робочої камери установки, призначеної для нанесення покриттів електронно-променевим методом вакуумного осадження, та прикріплюють до приводного вала 22 цієї - установки, який під час нанесення на деталі покриття обертає пристрій 10 навколо його поздовжньої осі 14. Під со час обертання пристосування 10 самі деталі 38, закріплені в утримувачах 36, залишаються нерухомими. По закінченні процесу нанесення на деталі покриття пристосування 10 разом із закріпленими в ньому деталями 38 ме) з5 Витягують з камери, а замість нього в камеру вміщують інше таке ж саме пристосування 10 з новою партією «г деталей, на які необхідно нанести покриття.
Наведений вище опис дозволяє зробити висновок про численні переваги економічного характеру, які має пристосування, що пропонується в даному винаході. Основною перевагою цього пристосування є можливість одночасного нанесення покриття на велику партію деталей. Крім того, воно дозволяє легко закріпити на ньому « 70 деталі, на які необхідно нанести покриття, та легко зняти з нього ці деталі після нанесення на них покриття. в с Крім того, встановлення деталей на пристосування та зняття їх з нього можна виконувати одночасно з
Й нанесенням покриття на іншу партію деталей, використовуючи для цього інше аналогічне пристосування. и?» Пристосування, що пропонується у винаході, відрізняється, крім того, від відомих більш легким та простим способом використання.
Пристосування, що пропонується у винаході, більш прийнятно використовувати для нанесення покриттів на їх деталі з аеродинамічним профілем, такі, як турбінні лопатки та лопаті. При нанесенні покриття на такі лопатки з аеродинамічним профілем захисний екран 62 перешкоджає нанесенню покриття на одну з сторін профілю і, лопатки, а захисний екран 72 перешкоджає нанесенню покриття на задню кромку лопатки. За наявності таких
Го! захисних екранів покриття буде наноситися тільки на певні ділянки поверхні лопатки, зокрема на її передню кромку та одну сторону її профілю.
Ш- На фіг.9 ії 10 показаний інший варіант конструктивного виконання призначеного для кріплення деталей
Ф пристосування 10" модульного типу, що пропонується в даному винаході. Як і в розглянутому вище варіанті, в пристосуванні 10 є центральний елемент 12 з торцевими пластинами 16 і 18 та рядом утримувачів 36, розташованих в різних площинах по довжині на зовнішній поверхні центрального елемента навколо його в поздовжньої осі і призначених для кріплення деталей 38, на які необхідно нанести покриття. За конструкцією утримувачі 36 нічим не відрізняються від утримувачів, описаних вище.
Ф) Пристосування 10' відрізняється від пристосування 10 конструкцією пристрою, за допомогою якого воно ка з'єднується з системою привода, яка приводить його в обертання. З цією метою в пристосуванні 10" використовується порожниста циліндрична напівмуфта 110, виконана на торцевій пластині 18 у вигляді бо виступаючої втулки. Циліндричну напівмуфту 310 більш прийнятно виготовити з такого ж самого матеріалу, що і центральний елемент 12.
Циліндрична напівмуфта 110 відрізняється наявністю двох виконаних в її бічних стінках і розташованих один проти одного пазів 112 і 114 та шпонкового паза 116, виконаного на її вільному протилежному торцевій пластині 18 кінці 118. Напівмуфта 110 відрізняється також наявністю внутрішнього отвору 120, що розміщений на одній 65 осі з внутрішнім отвором 20 центрального елемента 12. Напівмуфта 110 та її внутрішній отвір 120 можуть мати в поперечному перерізі будь-яку прийнятну форму. Зокрема і напівмуфта, і її внутрішній отвір можуть мати в перерізі круглу форму.
На фіг.10 їі 11 показана установочна напівмуфта 122 привода, на яку встановлюється та до якої кріпиться пристосування 10і, що має модульну конструкцію. Установочна напівмуфта 122 кріпиться будь-яким прийнятним способом до відповідного елемента приводної системи (не показаний), який розміщений всередині робочої камери (не показана) установки для нанесення покриттів та призначений для приведення пристосування 10 в обертання навколо його центральної поздовжньої осі. Установочна напівмуфта 122 має вал 123, що виконаний у вигляді циліндричного виступу на установочному диску 126 та складається з двох частин: першої частини 124, яка прилягає до диска 126, і другої частини 128, яка проходить крізь отвір 120 і входить всередину отвору 20. 70 Обидві частини 124 і 128 вала більш прийнятно з'єднати одна з одною за допомогою шарніра, забезпечуючого можливість повороту другої частини 128 вала відносно його першої частини 124 та полегшуючого завдяки цьому встановлення на напівмуфту 122 пристосування. Як шарнір 130 можна використовувати будь-який відомий в техніці та призначений з цією метою пристрій.
Установочна напівмуфта 122 відрізняється наявністю виступаючої шпонки 132, розташованої на одному з боків першої частини 124 вала. Шпонка 132 входить в шпонковий паз 116 і суміщає пази 134 і 136, виконані в першій частині 124 вала, з пазами 112 і 114 циліндричної напівмуфти 110. Після суміщення пазів 134 і 136 з пазами 112 і 114 в ці пази вставляється клинова шпонка 138, яка жорстко з'єднує циліндричну напівмуфту 110, а отже, і пристосування 10' з установочною напівмуфтою 122 привода. Для фіксації клинової шпонки 138 можна використати дріт, пропустивши його крізь виконаний в клиновій шпонці 138 отвір 140 та крізь отвір (не 2о показаний), передбачений в установочній напівмуфті.
Конструкція, що показана на фіг.9 - 12, має цілий ряд переваг. По-перше, вона полегшує завантаження пристосування 10 в робочу камеру установки для нанесення покриттів. По-друге, вона забезпечує дуже надійне сполучення пристосування 10 з установочною напівмуфтою 122 привода установки.
На підставі всього сказаного вище можна зробити висновок про те, що запропоноване в даному винаході с г пристосування модульного типу, призначене для кріплення деталей, на які наносять покриття, цілком відповідає поставленим у винаході завданням і має цілий ряд зазначених вище переваг. Очевидно, що окрім розглянутих і) вище конкретних варіантів виконання, винахід передбачає можливість створення й інших альтернативних конструкцій пристосування, що пропонується у винаході, шляхом внесення до описаних вище варіантів різноманітних очевидних для фахівців вдосконалень та змін. При цьому всі ці альтернативні варіанти винаходу, Ге зо виконані шляхом вдосконалення розглянутих варіантів та внесення до них різних змін, залишаються в рамках основної ідеї винаходу і не виходять за обсяг доданої до опису формули винаходу. - с
Claims (20)
1. Пристосування для використання в установці для нанесення на деталі покриттів, що містить центральний елемент та пристрої для кріплення великої кількості деталей, на які необхідно нанести покриття, виконані таким чином, що поверхні деталей, на які наноситься покриття, виявляються розташованими на деякій відстані від зовнішньої поверхні центрального елемента, при цьому для нанесення на деталі покриття пристосування « 70 Виконано з можливістю вміщення його разом із закріпленими на ньому деталями в установку для нанесення ш-в с покриттів і обертання навколо своєї центральної осі, причому під час обертання пристосування закріплені на ньому за допомогою пристроїв для кріплення деталі залишаються відносно нього нерухомими, яке відрізняється :з» тим, що центральний елемент виконаний у вигляді порожнистого циліндричного елемента із зовнішньою поверхнею та поздовжньою центральною віссю, а пристрої для кріплення деталей безпосередньо закріплені на зовнішній поверхні центрального елемента. їз 2.
Пристосування за п. 1, яке відрізняється тим, що в центральному елементі виконано наскрізний отвір, в який входить привідний вал для обертання пристосування навколо його центральної осі, і пристосування має со пристрій для сполучення центрального елемента з привідним обертальним валом. оо З.
Пристосування за п. 2, яке відрізняється тим, що привідний обертальний вал має плоский кінець з 5р твором, при цьому до центрального елемента кріпиться торцева пластина з пазом для проходу плоского кінця - привідного вала і вушком, а з'єднувальний пристрій виконано у вигляді клинової шпонки, яка проходить крізь Ф отвір на плоскому кінці привідного вала.
4. Пристосування за п. 1, яке відрізняється тим, що пристрої для кріплення деталей до центрального елемента являють собою тримачі, які виконані таким чином, що під час нанесення покриття у закріплених в них деталей залишаються відкритими тільки ті поверхні, на які треба нанести покриття.
5. Пристосування за п. 4, яке відрізняється тим, що тримачі розміщені на зовнішній поверхні центрального (Ф) елемента вздовж та навколо його поздовжньої осі і кожний тримач містить відкритий з одного боку корпус, в ГІ який вставляється деталь, та кришку, що закриває відкритий бік корпусу.
6. Пристосування за п. 5, яке відрізняється тим, що відкритий з одного боку корпус тримача має верхню во стінку, форма якої по суті збігається з формою однієї з поверхонь деталі, та захисний екран, що закриває прилеглу до цієї верхньої стінки поверхню деталі.
7. Пристосування за п. 6, яке відрізняється тим, що відкритий з одного боку корпус тримача має пристрій для фіксації вставленої в корпус деталі в певному відносно нього положенні.
8. Пристосування за п. 5, яке відрізняється тим, що містить пристрій для кріплення кришки до відкритого з де Одного боку корпуса тримача.
9. Пристосування за п. 8, яке відрізняється тим, що пристрій для кріплення кришки містить планку з пазом,
що закріплена на бічній стінці відкритого з одного боку корпуса тримача, кришку з отвором, в який входить ця планка, та клинову шпонку, яка вставляється в паз планки і упирається в зовнішню поверхню кришки.
10. Пристосування за п. 5, яке відрізняється тим, що в ньому є захисний екран, встановлений на кришці та перешкоджаючий нанесенню покриття на певні ділянки поверхні деталі.
11. Пристосування за п. 1, яке відрізняється тим, що також містить торцеву пластину на кінці центрального елемента і пристрій для сполучення пристосування з пристроєм для приведення його в обертання, який виконано на торцевій пластині у вигляді виступної порожнистої циліндричної півмуфти.
12. Пристосування за п. 11, яке відрізняється тим, що в порожнистій циліндричній напівмуфті є внутрішній 7/0 отвір, а пристрій для приведення пристосування в обертання містить установочну півмуфту з виступним валом, розміри якого відповідають розмірам внутрішнього отвору півмуфти.
13. Пристосування за п. 12, яке відрізняється тим, що вал складається з першої і другої частин, які з'єднані одна з одною шарнірним сполученням, яке забезпечує можливість повороту другої частини вала відносно його першої частини та полегшує встановлення пристосування на вал.
14. Пристосування за п. 12, яке відрізняється тим, що містить пристрій для сполучення циліндричної півмуфти центрального елемента із зазначеним валом, який виконаний у вигляді двох розташованих на одній осі пазів в порожнистій циліндричній півмуфті, двох пазів у валу, і клинової шпонки, яка вставляється в ці пази.
15. Пристосування за п. 14, яке відрізняється тим, що містить виступну шпонку, розташовану на валу, та шпонковий паз, виконаний в циліндричній півмуфті, в який входить ця шпонка і який суміщений з осями пазів Ппівмуфти та з осями пазів вала.
16. Пристосування модульного типу, яке полегшує процес одночасного нанесення покриттів на велику кількість деталей з аеродинамічним профілем, яке відрізняється тим, що містить трубу із зовнішньою поверхнею, велику кількість тримачів деталей, які закріплені на зовнішній поверхні труби та призначені для кріплення до неї зазначених деталей, причому кожний з цих тримачів складається з відкритого з одного боку с ов Корпусу, форма верхньої стінки якого збігається з формою, що має аеродинамічний профіль деталі і кришку, якою закривається відкритий бік корпуса. і)
17. Пристосування модульного типу за п. 16, яке відрізняється тим, що містить перший захисний екран, який закріплений на верхній стінці корпусу тримача і який перешкоджає нанесенню покриття на одну із сторін аеродинамічного профілю деталі, та другий захисний екран, який закріплений на кришці і перешкоджає Ге зо нанесенню покриття на певну ділянку поверхні аеродинамічного профілю деталі.
18. Установка для нанесення покриттів на деталі, що містить робочу камеру для нанесення покриття на - деталі, пристосування модульного типу, яке вміщується в зазначену камеру, привідний пристрій, який в процесі со нанесення на деталі покриття обертає пристосування модульного типу навколо його центральної осі, причому під час цього обертання закріплені в тримачах деталі, залишаються відносно пристосування нерухомими, і Ме з5 пристрій для з'єднання пристосування модульного типу з привідним пристроєм, яка відрізняється тим, що «г містить центральну трубу із зовнішньою поверхнею, витягнену в поздовжньому напрямку центральну вісь, закріплені на зовнішній поверхні труби тримачі з фіксованими в них деталями, на які наносять покриття, і що пристрій для з'єднання пристосування модульного типу з привідним пристроєм має циліндричну півмуфту, що виступає на одному з кінців пристосування модульного типу, в яку входить вал, який обертається привідним « пристроєм, і що вона містить пристрій для з'єднання циліндричної півмуфти з валом. з с
19. Установка за п. 19, яка відрізняється тим, що вал складається з першої та другої частин, при цьому друга частина вала може повертатися відносно першої частини вала, що полегшує встановлення пристосування ;» на вал.
20. Спосіб нанесення покриття на велику кількість деталей, що включає стадії встановлення деталей, на які наносять покриття, з'єднання пристосування модульного типу з закріпленими на ньому деталями з пристроєм, ї5» який приводить його в обертання всередині камери, де на деталі наносять покриття, нанесення покриття на деталі та обертання пристосування разом з нерухомо закріпленими на ньому деталями навколо його се) поздовжньої осі в процесі нанесення покриття на певні ділянки поверхні деталей, який відрізняється тим, що о передбачено стадії підготовки пристосування модульного типу з великою кількістю розташованих вздовж та навколо його поздовжньої осі на його зовнішній поверхні тримачів деталей, встановлення деталей, на які ш- наносять покриття, по одній в кожний з тримачів і закріплення цих деталей в тримачах. 42) Ф) іме) 60 б5
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/782,398 US5803971A (en) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | Modular coating fixture |
| PCT/US1997/015329 WO1998030338A1 (en) | 1997-01-13 | 1997-09-02 | Modular coating fixture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA49876C2 true UA49876C2 (uk) | 2002-10-15 |
Family
ID=25125927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA98084655A UA49876C2 (uk) | 1997-01-13 | 1997-02-09 | Пристосування для використання в установці для нанесення на деталі покриттів, пристрій модульного типу, установка для нанесення покриттів на деталі і спосіб нанесення покриттів |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5803971A (uk) |
| EP (1) | EP0975435B1 (uk) |
| JP (1) | JP3976099B2 (uk) |
| DE (1) | DE69737037T2 (uk) |
| RU (1) | RU2161075C2 (uk) |
| UA (1) | UA49876C2 (uk) |
| WO (1) | WO1998030338A1 (uk) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6332926B1 (en) | 1999-08-11 | 2001-12-25 | General Electric Company | Apparatus and method for selectively coating internal and external surfaces of an airfoil |
| US7754016B2 (en) | 2002-10-07 | 2010-07-13 | United Technologies Corporation | Multiple axis tumbler coating apparatus |
| US8349086B2 (en) * | 2004-07-30 | 2013-01-08 | United Technologies Corporation | Non-stick masking fixtures and methods of preparing same |
| EP1713110B1 (de) * | 2005-04-08 | 2016-03-09 | Applied Materials GmbH & Co. KG | Anlage zum Beschichten eines Substrats und Modul |
| RU2294395C2 (ru) * | 2005-04-29 | 2007-02-27 | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") | Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей |
| RU2312170C2 (ru) * | 2005-08-17 | 2007-12-10 | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук | Устройство для нанесения многослойных оптических покрытий |
| DE502007003308D1 (de) * | 2007-07-12 | 2010-05-12 | Siemens Ag | Halterung für Turbinenschaufeln |
| JP4897087B2 (ja) | 2007-10-03 | 2012-03-14 | ミリポア・コーポレイション | 積層プレート式ろ過カートリッジ |
| US8968830B2 (en) * | 2007-12-06 | 2015-03-03 | Oerlikon Trading Ag, Trubbach | PVD—vacuum coating unit |
| US8323409B2 (en) * | 2008-05-08 | 2012-12-04 | United Technologies Corporation | Systems and methods for forming components with thermal barrier coatings |
| US8211234B2 (en) * | 2008-09-02 | 2012-07-03 | United Technologies Corporation | Coater platter homing tool |
| RU2425173C2 (ru) * | 2009-01-11 | 2011-07-27 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Установка для комбинированной ионно-плазменной обработки |
| US20110171390A1 (en) * | 2010-01-08 | 2011-07-14 | United Technologies Corporation One Financial Plaza | Fixture for coating application |
| US8507035B2 (en) * | 2011-05-26 | 2013-08-13 | Advenira Enterprises, Inc. | Method and apparatus for coating a complex object and composite comprising the coated object |
| WO2013086286A2 (en) | 2011-12-08 | 2013-06-13 | Prexair S. T. Technology, Inc. | Tooling fixture assembly for use in a coating operation |
| CA2858188C (en) * | 2011-12-08 | 2018-03-06 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Multifunction tooling fixture assembly for use in a coating related operations |
| US8889222B1 (en) * | 2013-12-03 | 2014-11-18 | Advenira Enterprises, Inc. | Coating material distribution using simultaneous rotation and vibration |
| US9759089B2 (en) | 2013-12-10 | 2017-09-12 | General Electric Company | Transportable modular coating systems and methods |
| CN103707203B (zh) * | 2013-12-11 | 2016-08-17 | 中原内配集团股份有限公司 | 气缸套喷砂、喷涂用工装夹具 |
| DE102015208783A1 (de) * | 2015-05-12 | 2016-11-17 | MTU Aero Engines AG | Abdeckverfahren zur Herstellung einer Kombination von Schaufelspitzenpanzerung und Erosionsschutzschicht |
| US11117151B2 (en) * | 2017-08-23 | 2021-09-14 | Raytheon Technologies Corporation | Fixture assembly for coating combustor panels |
| USD881242S1 (en) * | 2018-01-29 | 2020-04-14 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfaffikon | Tool holder |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3594227A (en) * | 1968-07-12 | 1971-07-20 | Bell Telephone Labor Inc | Method for treating semiconductor slices with gases |
| US3796182A (en) * | 1971-12-16 | 1974-03-12 | Applied Materials Tech | Susceptor structure for chemical vapor deposition reactor |
| US3699298A (en) * | 1971-12-23 | 1972-10-17 | Western Electric Co | Methods and apparatus for heating and/or coating articles |
| US3865072A (en) * | 1973-10-18 | 1975-02-11 | Hls Ind | Apparatus for chemically depositing epitaxial layers on semiconductor substrates |
| DE2813180C2 (de) * | 1978-03-25 | 1985-12-19 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Vakuumbeschichtungsanlage zum allseitigen Beschichten von Substraten durch Rotation der Substrate im Materialstrom |
| US4271005A (en) * | 1979-12-03 | 1981-06-02 | United Technologies Corporation | Workpiece support apparatus for use with cathode sputtering devices |
| US4252626A (en) * | 1980-03-10 | 1981-02-24 | United Technologies Corporation | Cathode sputtering with multiple targets |
| JPS59126541A (ja) * | 1983-01-08 | 1984-07-21 | Fuji Electric Co Ltd | シ−ト状電子写真用感光体の製造方法 |
| JPS59136541A (ja) * | 1983-01-26 | 1984-08-06 | Toyota Motor Corp | アイドル回転数制御方法 |
| US4496828A (en) * | 1983-07-08 | 1985-01-29 | Ultra Carbon Corporation | Susceptor assembly |
| US4579080A (en) * | 1983-12-09 | 1986-04-01 | Applied Materials, Inc. | Induction heated reactor system for chemical vapor deposition |
| DE3422718A1 (de) * | 1984-06-19 | 1986-01-09 | Plasmainvent AG, Zug | Vakuum-plasma-beschichtungsanlage |
| US4823736A (en) * | 1985-07-22 | 1989-04-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Barrel structure for semiconductor epitaxial reactor |
| JPS6312128A (ja) * | 1986-03-20 | 1988-01-19 | Toshiba Mach Co Ltd | バレル型気相成長装置 |
| GB2210387B (en) * | 1987-09-30 | 1992-03-11 | Rolls Royce Plc | Chemical vapour deposition |
| JP2605810B2 (ja) * | 1988-07-18 | 1997-04-30 | 日新電機株式会社 | 気相成長装置の回転シヤフト |
| US5264245A (en) * | 1991-12-04 | 1993-11-23 | Howmet Corporation | CVD method for forming uniform coatings |
| RU2038417C1 (ru) * | 1992-06-22 | 1995-06-27 | Бурков Сергей Геннадьевич | Устройство для нанесения покрытий на изделия в вакууме |
| US5421979A (en) * | 1993-08-03 | 1995-06-06 | Photran Corporation | Load-lock drum-type coating apparatus |
| DE4425991C1 (de) * | 1994-07-22 | 1995-12-07 | Mtu Muenchen Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur partiellen Beschichtung von Bauteilgruppen |
-
1997
- 1997-01-13 US US08/782,398 patent/US5803971A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-09 UA UA98084655A patent/UA49876C2/uk unknown
- 1997-09-02 RU RU98118466/12A patent/RU2161075C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1997-09-02 DE DE69737037T patent/DE69737037T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-02 WO PCT/US1997/015329 patent/WO1998030338A1/en not_active Ceased
- 1997-09-02 EP EP97939698A patent/EP0975435B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-02 JP JP53083898A patent/JP3976099B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0975435B1 (en) | 2006-11-29 |
| DE69737037D1 (de) | 2007-01-11 |
| DE69737037T2 (de) | 2007-04-26 |
| WO1998030338A1 (en) | 1998-07-16 |
| RU2161075C2 (ru) | 2000-12-27 |
| EP0975435A4 (en) | 2004-06-02 |
| US5803971A (en) | 1998-09-08 |
| EP0975435A1 (en) | 2000-02-02 |
| JP3976099B2 (ja) | 2007-09-12 |
| JP2001507985A (ja) | 2001-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| UA49876C2 (uk) | Пристосування для використання в установці для нанесення на деталі покриттів, пристрій модульного типу, установка для нанесення покриттів на деталі і спосіб нанесення покриттів | |
| US6083322A (en) | Modular coating fixture | |
| CA2858093C (en) | Tooling fixture assembly for use in a coating operation | |
| JP5474948B2 (ja) | 被加工物搬送台 | |
| EP1672256B1 (en) | Clamp lock and brush seal assembly | |
| JP5623477B2 (ja) | ブラシシール組立体 | |
| KR102120964B1 (ko) | 코팅 관련 작업에서 이용하기 위한 다기능 툴링 고정구 조립체 | |
| EP0987451B1 (fr) | Châssis amélioré pour une machine automatique à mélanger la peinture | |
| DE169801T1 (de) | Zusammenbau von turbinenschaufelabdeckplatten. | |
| RU2719975C2 (ru) | Способ сборки фильтровального устройства с вращающимся барабаном | |
| RU98118466A (ru) | Приспособление модульного типа для крепления деталей, на которые наносят покрытие | |
| JP4866244B2 (ja) | Uv線を用いた水殺菌装置のuvランプの保護シースを洗浄する装置 | |
| GB1562273A (en) | Holders for wafers | |
| CA2671733C (en) | Device and method for the surface peening of a component of a gas turbine | |
| CN209036300U (zh) | 一种保持元件和浮动夹具 | |
| WO2019185914A1 (en) | Device and method for selective vapor coating of a substrate | |
| US5398264A (en) | Grid welding fixture for a spacer grid | |
| CN218258990U (zh) | 一种灌装组件和试剂条灌装设备 | |
| JP2009189632A (ja) | 基板ケース及び基板取付け装置 | |
| KR100276221B1 (ko) | 자동차의 패널 조립용 백사이드블록 | |
| JPH1031116A (ja) | 光ファイバ端面研磨方法 | |
| SU819617A1 (ru) | Приспособление к разрывной ма-шиНЕ дл иСпыТАНи ОбРАзцОВ | |
| JPH03128490A (ja) | ベント管用デフレクタカバー | |
| IES84665Y1 (en) | A method of manufacturing a boiler shell | |
| IE20060730A1 (en) | A method of manufacturing a boiler shell |