UA7111A - Способ ионного распыления и устройство для его осуществления - Google Patents
Способ ионного распыления и устройство для его осуществленияInfo
- Publication number
- UA7111A UA7111A UA94010085A UA94010085A UA7111A UA 7111 A UA7111 A UA 7111A UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 7111 A UA7111 A UA 7111A
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- ion
- beam sputtering
- realization
- sputtering
- plasmagenerative
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ ионного распыления основан на подаче плазмообразующего газа через сопло непосредственно на распыляемую поверхность мишени-катода. Изобретение относится к области получения покрытий и обработки материалов в вакууме и может быть использованным в ионных распылительных системах для высокоэффективного напыления токопроводящих, защитных, износостойких, декоративных покрытий на труднодоступные места различных изделий.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA94010085A UA7111C2 (ru) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | Способ ионного распыления и устройство для его осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| UA94010085A UA7111C2 (ru) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | Способ ионного распыления и устройство для его осуществления |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA7111A true UA7111A (ru) | 1995-06-30 |
| UA7111C2 UA7111C2 (ru) | 2000-11-15 |
Family
ID=74367957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA94010085A UA7111C2 (ru) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | Способ ионного распыления и устройство для его осуществления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| UA (1) | UA7111C2 (ru) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2510735C2 (ru) * | 2012-05-22 | 2014-04-10 | Закрытое акционерное общество "Ферри Ватт" | Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения |
| EA020407B1 (ru) * | 2012-12-14 | 2014-10-30 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" | Асептическая повязка из волокнистых материалов с тонкопленочным серебром |
| RU2548835C1 (ru) * | 2013-11-01 | 2015-04-20 | Елена Анатольевна Чекалова | Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности металлической детали |
| RU170029U1 (ru) * | 2016-12-09 | 2017-04-12 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") | Устройство для создания потока металлической плазмы |
| RU2691357C1 (ru) * | 2018-07-09 | 2019-06-11 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) | Устройство для ионно-плазменного напыления |
| RU199380U1 (ru) * | 2020-02-10 | 2020-08-31 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" | Узел нагрева и позиционирования подложек |
-
1993
- 1993-12-10 UA UA94010085A patent/UA7111C2/ru unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| UA7111C2 (ru) | 2000-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU727578C (en) | Process for applying protective and decorative coating on an article | |
| AU4767993A (en) | Ballistic-resistant article and process for making the same | |
| AU582989B2 (en) | Multiple port plasma spray apparatus and method for providing sprayed abradable coatings | |
| EP0467639A3 (en) | Atmospheric pressure plasma surface treatment process | |
| MY131283A (en) | Method for applying a lubricious coating to an article | |
| AU632012B2 (en) | Method and circuit for protecting plasma nozzle | |
| AU7998894A (en) | Article and method for protecting substrates | |
| MY113941A (en) | Web for absorbent articles having a textured wearer-contacting surface | |
| AU3037092A (en) | Method of forming abrasive articles | |
| AU8121794A (en) | Textured surface effect fabric and methods of manufacture | |
| AU587029B2 (en) | Aziridine-treated articles | |
| EP0752293A3 (en) | Diamond coated article and process for its preparation | |
| ZA93448B (en) | Abrasive article and method | |
| AU7016596A (en) | Free form article by layer deposition | |
| AU4080297A (en) | Method for attaching a fastener to a surface treating article, and such an article having a fastener | |
| AU6628294A (en) | Method and apparatus for coating three dimensional articles | |
| AU4408693A (en) | Composite article | |
| CS330991A3 (en) | Mirroring article and process for producing thereof | |
| AU1708992A (en) | Apparatus and methods for coating objects with liquified coatings | |
| AU4867893A (en) | Coated abrasive article and process for producing the same | |
| CA2088792A1 (en) | Coating of a roll in a paper machine using hypersonic plasma | |
| GB2267291B (en) | Plasma deposition process | |
| UA7111A (ru) | Способ ионного распыления и устройство для его осуществления | |
| CA2047827A1 (en) | Rotatable disc, apparatus containing the same, and method of using the same to remove heat softenable surface coverings | |
| ZA942934B (en) | Process for the production of textured coatings on plastic surfaces |