UA7111C2 - Способ ионного распыления и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Info

Publication number
UA7111C2
UA7111C2 UA94010085A UA94010085A UA7111C2 UA 7111 C2 UA7111 C2 UA 7111C2 UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 94010085 A UA94010085 A UA 94010085A UA 7111 C2 UA7111 C2 UA 7111C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
ion
realization
beam sputtering
spraying
plasma
Prior art date
Application number
UA94010085A
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Other versions
UA7111A (ru
Inventor
Данило Андрійович Дудко
Даниил Андреевич Дудко
Михайло Валеріанович Кузнецов
Михаил Валерьянович Кузнецов
Людмила Данилівна Кістерська
Людмила Даниловна Кистерская
Original Assignee
Данило Андрійович Дудко
Даниил Андреевич Дудко
Михайло Валеріанович Кузнецов
Михаил Валерьянович Кузнецов
Людмила Данилівна Кістерська
Людмила Даниловна Кистерская
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Данило Андрійович Дудко, Даниил Андреевич Дудко, Михайло Валеріанович Кузнецов, Михаил Валерьянович Кузнецов, Людмила Данилівна Кістерська, Людмила Даниловна Кистерская filed Critical Данило Андрійович Дудко
Priority to UA94010085A priority Critical patent/UA7111C2/ru
Publication of UA7111A publication Critical patent/UA7111A/ru
Publication of UA7111C2 publication Critical patent/UA7111C2/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Способ ионного распыления основан на подаче плазмообразующего газа через сопло непосредственно на распыляемую поверхность мишени-катода. Изобретение относится к области получения покрытий и обработки материалов в вакууме и может быть использованным в ионных распылительных системах для высокоэффективного напыления токопроводящих, защитных, износостойких, декоративных покрытий на труднодоступные места различных изделий.
UA94010085A 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления UA7111C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94010085A UA7111C2 (ru) 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA94010085A UA7111C2 (ru) 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
UA7111A UA7111A (ru) 1995-06-30
UA7111C2 true UA7111C2 (ru) 2000-11-15

Family

ID=74367957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA94010085A UA7111C2 (ru) 1993-12-10 1993-12-10 Способ ионного распыления и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA7111C2 (ru)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2510735C2 (ru) * 2012-05-22 2014-04-10 Закрытое акционерное общество "Ферри Ватт" Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения
EA020407B1 (ru) * 2012-12-14 2014-10-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" Асептическая повязка из волокнистых материалов с тонкопленочным серебром
RU2548835C1 (ru) * 2013-11-01 2015-04-20 Елена Анатольевна Чекалова Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности металлической детали
RU170029U1 (ru) * 2016-12-09 2017-04-12 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") Устройство для создания потока металлической плазмы
RU2691357C1 (ru) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Устройство для ионно-плазменного напыления
RU199380U1 (ru) * 2020-02-10 2020-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" Узел нагрева и позиционирования подложек
RU213628U1 (ru) * 2022-03-22 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2510735C2 (ru) * 2012-05-22 2014-04-10 Закрытое акционерное общество "Ферри Ватт" Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения
EA020407B1 (ru) * 2012-12-14 2014-10-30 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Балтийский федеральный университет имени Иммануила Канта" Асептическая повязка из волокнистых материалов с тонкопленочным серебром
RU2548835C1 (ru) * 2013-11-01 2015-04-20 Елена Анатольевна Чекалова Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности металлической детали
RU170029U1 (ru) * 2016-12-09 2017-04-12 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет" (ФГБОУ ВО "ИГУ") Устройство для создания потока металлической плазмы
RU2691357C1 (ru) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Устройство для ионно-плазменного напыления
RU199380U1 (ru) * 2020-02-10 2020-08-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" Узел нагрева и позиционирования подложек
RU213627U1 (ru) * 2022-03-04 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Держатель изделий, имеющих сквозную полость
RU213628U1 (ru) * 2022-03-22 2022-09-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Комсомольский-на-Амуре государственный университет" (ФГБОУ ВО "КнАГУ") Электропроводный держатель для неэлектропроводного изделия со сквозной цилиндрической полостью

Also Published As

Publication number Publication date
UA7111A (ru) 1995-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69509135D1 (de) Beschichtete kunststoffteilchen zum thermischen spritzen
TW360874B (en) Plasma coating process for improved bonding of coatings on substrates
IL82323A (en) Multiple port plasma spray apparatus and method for providing sprayed abradable coatings
AU3437493A (en) Method of plasma spraying of polymer compositions onto a target surface
AU1227095A (en) Reinforced concrete structure
EP0364143A3 (en) Method and apparatus for powder coating and masking substrates
MX9102511A (es) Substrato de morfolia superficial mejorado por rociadura de plasma.
UA7111C2 (ru) Способ ионного распыления и устройство для его осуществления
AU2002365102A1 (en) High velocity oxygen fuel (hvof) method and apparatus for spray coating non-melting polymers
SE8404251L (sv) Elektrostatisk skiktappliceringsanleggning
NO20014941D0 (no) Anordning ved elektrode, fremgangsmåte til fremstilling derav, samt anvendelse
DK0796151T3 (da) Fremgangsmåde og apparatur til elektrostatisk lakering af emner af dielektrisk eller dårligt ledende materialer
RU94018548A (ru) Способ получения покрытий
EP0626466A3 (de) Tassenstössel, Verfahren zum Beschichten von Tassenstösseln und Verwendung des Plasmasprühens zum Beschichten von Tassenstösseln.
ATE38479T1 (de) Spruehgeraet.
SU626819A1 (ru) Устройство дл напылени покрытий
RU94037629A (ru) Установка для напыления покрытий
TW242574B (en) Process of preventing dust adhesion on re-coated surface of automobile
EP0221184A4 (en) REPAIR OF MASKS.
Grinchenko et al. Vacuum Arc Sources and Equipment for Deposition of Plasma-Sprayed Coatings
RU94042709A (ru) Способ плазменного напыления
PT1135538E (pt) Processo e dispositivo de projeccao termica para o revestimento de superficies
Yankee et al. An Investigation of Plasma Sprayed Hydroxylapatite Splats
Kostyuchenko et al. Effect of the evaporation surface shape on the condensate distribution.
RU94006816A (ru) Детонационная установка для нанесения покрытий