WO1987005338A1 - Solution de placage sans courant a base de palladium - Google Patents

Solution de placage sans courant a base de palladium Download PDF

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WO1987005338A1
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plating
mol
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Masaki Haga
Kiyotaka Tsuji
Hidemi Nawafune
Shozo Misumoto
Ei Uchida
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Ishihara Chemical Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/42Coating with noble metals
    • C23C18/44Coating with noble metals using reducing agents
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing of the conductive pattern
    • H05K3/244Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands

Definitions

  • the present invention relates to a palladium electroless plating solution.
  • the electrical contact portions of electronic components be coated with a noble metal having high corrosion resistance and excellent electrical characteristics.
  • gold electrical plating is mainly used as the surface coating of electrical contact parts, but it is not possible to apply a uniform thickness coating to electronic components with fine and complicated shapes by the electrical plating method. Have difficulty.
  • the electroless plating method it is possible to form a uniform deposited film even on a component having a fine and complicated shape.
  • the development of a surface treatment method is desired.
  • palladium is the cheapest of the platinum group metals, and is expected to have a wide range of industrial applications.
  • an electroless palladium plating solution a divalent palladium salt as a metal source, ammonia as a complexing agent, ethylenediaminetetraacetic acid or a salt thereof as a stabilizer, and hydrazine as a reducing agent.
  • the aqueous solution used was typical.
  • this solution has a serious drawback that it cannot be stored because of its poor stability and easy decomposition.
  • the Pd of the pretreatment liquid is immediately decomposed by bringing in the Pd.
  • any of the above-mentioned plating liquids cannot be applied to electronic components because the resulting plating film has many cracks and poor solderability.
  • the plating speed becomes extremely slow, and the plating film becomes black and the appearance becomes poor. Therefore, the electroless palladium plating solution that has been reported to date has not yet reached the laboratory scale.
  • a known electroless Pd—Ni alloy plating solution includes nickel sulfate 0.11 mol, palladium chloride 0.11 mol 3, 38% hydrochloric acid 4 ⁇ 2, 25% ammonium chloride.
  • Monitor water 1 60 mQ / S, sodium hypophosphite
  • An object of the present invention is to provide a palladium-based electroless plating solution that can be used on an industrial scale.
  • Another object of the present invention is to provide a palladium-based electroless plating solution having excellent stability and good appearance of a deposited film.
  • Still another object of the present invention is to provide a palladium electroless plating solution having a low porosity of a deposited film, good corrosion resistance, good adhesion to a substrate, and the like.
  • Still another object of the present invention is to provide a palladium-based electroless plating solution having good workability and easy liquid management.
  • Still another object of the present invention is to provide a palladium-based electroless plating solution capable of forming a plating film with few cracks and good solderability.
  • Still another object of the present invention is to provide a palladium-based electroless plating solution capable of forming a Pd—Ni alloy plating film with little decrease in the surface properties of a deposited film even in an organic gas atmosphere. It is in.
  • the present invention provides the following palladium electroless plating solution.
  • a palladium-based electroless plating solution characterized by being composed of an aqueous solution containing.
  • a palladium-based electroless plating solution characterized by being composed of an aqueous solution containing.
  • the palladium-based electroless plating solution of the present invention is a completely new method in which at least one of ammonia and an amine compound and an organic compound containing divalent sulfur are used in combination as a stabilizer. Things.
  • a palladium-based electroless plating solution is extremely excellent in stability, and can form a palladium-based plating film having good appearance and physical properties.
  • palladium chloride palladium sodium chloride, palladium chloride, palladium ammonium chloride, palladium sulfate, palladium nitrate, palladium acetate, palladium acetate are used as the Pd supply source.
  • a palladium compound such as palladium is used.
  • the concentration of the palladium compound should be about 0.0001 to 0.5 mol 2, preferably about 0.001 to 0.1 mol. However, it is not practical because the deposition rate becomes slower. On the other hand, when the concentration exceeds 0.5 mol, the precipitation rate is not further improved and the stability of the plating solution is further impaired. Not good.
  • the plating solution of the present invention in order to maintain the stability of the solution, at least one of ammonia and an amide compound is added to the divalent solution. It is necessary to use in combination with a sulfur-containing organic compound.
  • the ammonia and amine compounds form a complex with Pd in the plating solution to stably maintain these components in the solution and contribute to the stabilization of the solution.
  • the concentration of the ammonia and / or the amine compound is about 0.001 to 8 mol S, preferably about 0.01 to 5 mol. When using ammonia alone, it is more preferable to use about 0.075 mol or more in order to improve the stability of the plating solution.
  • the higher the concentration of ammonia and / or amine compound the better the stability of the liquid.However, if the concentration exceeds the above range, it is uneconomical, especially when using ammonia, the working environment is poor due to odor etc. I don't like it. On the other hand, if the concentration is below the above range, the stability of the solution is reduced, and the plating solution is easily decomposed.
  • the amide compound also includes amic acids.
  • the amide compounds suitable for use in the present invention include monoamines such as methylamine, ethylamine, propylamine, dimethylamine, and trimamine. Chilamin, dimethylethylamine, benzylamine, 2-naphthylamine, isoptilamine, isoaminoleamine, etc. Polyamines such as diamine, tetramethylene diamine, pentamethylene diamine, hexamethylene diamine, etc.
  • Amino acids such as oxaethyleneheptamine, ethylenediaminetetraacetic acid or its sodium salt, N-hydroxyethylenediaminetriacetic acid or its sodium salt, Imidazolin, 2-methyl-2-imid as imidazolines, such as syn, N-methyldaricin, dimethylglycine, iminodiacetic acid, hydantoic acid, and glycosamine.
  • At least one compound of ammonia and an amine compound one selected from ammonia, diamines and polyamines can be preferably used.
  • At least one of the above-described amide compounds and pendants may be used, but ammonia alone is used.
  • the time until the initial generation of the plating that is, the time until the plating starts to be adhered after the object to be plated is immediately immersed in the plating liquid may be increased.
  • the initial generation time can be reduced by using the ammonia and the above-mentioned amine compound in combination.
  • the divalent sulfur-containing organic compound suitable for use in the present invention includes, specifically,
  • sulfur-containing organic compounds can be used alone or in appropriate combination.
  • the amount of the sulfur-containing organic compound to be used is about 1 to 500 mgZS, preferably about 5 to 10 OfflgZG.
  • the use amount of the sulfur-containing organic compound exceeds the above range, the deposition rate of the plating film is reduced, and the appearance of the deposited plating film is also deteriorated. Not good. Concentrations below the above range are not suitable because the stability of the plating solution becomes insufficient.
  • the plating solution of the present invention requires the use of ammonia and / or an amine compound and a sulfur-containing organic compound in an essential manner, and is extremely stable on an industrial scale. It is a plating solution suitable for use.
  • a hypophosphorous acid compound and a borohydride compound is used as a reducing agent for reducing metal ions.
  • hypophosphorous acid compound hypophosphorous acid or its ammonium, lithium, sodium, potassium, calcium salt and the like can be used
  • borohydride compound dimethylethyl is used.
  • Aminboranes such as uranium, trimethylamine, isopropylamine, morpholine borane and the like, sodium borohydride, potassium borohydride and the like can be used.
  • the amount of the reducing agent used is about 0.05 to 1 mol ⁇ , preferably about 0.1 to 0.5 mol. Consumption
  • the amount is less than 0.05 mol ZS, the plating is not sufficiently precipitated, and if it exceeds 1 mol, the plating solution becomes unstable, which is not preferable.
  • the plating solution of the present invention is obtained by using ammonia in combination with a specific sulfur-containing organic compound. It is extremely excellent in stability, and therefore various reducing agents can be used as described above.
  • the palladium-based electroless plating solution of the present invention comprises: a) a palladium compound, b) at least one of ammonia and an amine compound, c) an organic compound containing divalent sulfur, and d) ) At least one of a hypophosphorous acid compound and a borohydride compound;
  • Pd plating solution Is dissolved in water to form an aqueous solution (hereinafter referred to as a Pd plating solution), which has good liquid stability and can form a Pd plating film with excellent appearance and physical properties. it can.
  • a palladium-based electroless plating solution capable of forming a palladium-nickel alloy plating film by further adding a nickel compound to the plating solution. Liquid
  • the electroless plating solution (Pd—Ni plating solution) to which such a nickel compound is added has the same excellent stability as the above-mentioned Pd plating solution, and the P The d—Ni alloy plating film has the same excellent appearance and physical properties as the plating film of Pd alone obtained by the Pd plating solution.
  • Nickel compounds suitable for use in the Pd—Ni plating solution of the present invention include nickel chloride and nickel chloride. Monium, Nickel bromide, Nickel iodide, Nickel sulfate, Nickel sulfate ammonium, Nickel nitrate, Nigel carbonate, Nickel sulfamate, Nickel acetate, Nickel benzoate, Nickel citrate, Nickel formate, Nickel tartrate And nickel oxalate.
  • concentration of the nickel compound is about 0.01 to 1 mol / S, and preferably about 0.01 to 0.5 mol.
  • the concentration is less than 0.01 mol Z 2
  • nickel is difficult to precipitate, whereas if the concentration is higher than 1 molno S, the stability of the plating solution is reduced, and ammonia and / or It is necessary to add a large amount of an amine compound, which is uneconomical. In particular, when ammonia is used, it is not preferable because the working environment is deteriorated due to odor and the like.
  • components other than the nickel compound may be the same as the Pd plating solution in terms of the type and amount of the compound used.
  • the ratio of palladium to nickel in the Pd—Ni alloy plating film deposited from the Pd-Ni plating solution is determined by the concentration ratio of the palladium compound to the nickel compound in the Pd—Ni plating solution. Can be adjusted by changing the thickness of the film, and a paint film having an arbitrary composition can be easily obtained.
  • the palladium electroless plating solution of the present invention is obtained by dissolving each of the active ingredients described above in water to form an aqueous solution. In the plating solution, it is not essential to adjust the pH, but in the case of the Pd plating solution, it is preferable to adjust 11 to about 5 to 10 and the Pd—Ni plating solution. Then, it is preferable to adjust the pH to about 5 to 11.
  • P H adjustment of main luck solution may be performed by Kiyoshie if HCS, H 2 S 0 acid and N a 0 H such alkali compounds such as 4.
  • the plating solution of the present invention can be plated at a wide temperature range of about 10 to 90, and particularly 25 to 70 °. At a liquid temperature of about C, a smooth and glossy best paint film can be obtained. As described above, the plating can be performed even at a relatively low temperature, so that the control of the plating solution can be easily performed. In particular, when ammonia is used, the volatilization of ammonia can be suppressed. Can be kept good. In the plating liquid of the present invention, the higher the liquid temperature, the more the plating film There is a tendency for the precipitation rate to increase, and an arbitrary deposition rate can be obtained by appropriately setting the temperature within the above-mentioned temperature range.
  • the deposition rate of the plating film depends not only on the temperature of the solution but also on the concentration of the metal component, but it has almost no effect on the fluctuation of the concentration of other components divided by the pH of the plating solution. Do not receive. Therefore, in the plating solution of the present invention, the thickness of the plating film can be easily controlled by adjusting the concentration of the metal component and the temperature of the plating solution.
  • the substrate which has a catalytic property for the reductive deposition of the Ni film.
  • the catalytic substrate include Fe, Co, NiCu, Sn, Ag, Au, Pt, Pd, and alloys thereof.
  • non-catalytic substrates such as resin, glass, ceramics, and W can be provided with a catalytic property by a known method such as, for example, a sensitizing activator method or a catalytic catalyzer method.
  • the plating process can be performed by immersion in the plating solution as in the above method.
  • the deposition of the palladium film or the palladium nickel alloy film by the plating solution of the present invention proceeds autocatalytically. Therefore, a film having low porosity and high adhesion can be obtained.
  • the electroless palladium plating liquid of the present invention has the following excellent properties.
  • the stability of the plating solution is good, so it can be used with a low amount of ammonia and can suppress the volatilization of ammonia.
  • the amine compound does not volatilize during the plating operation or during storage. Therefore, the storage stability of the plating solution is good, and the working environment is also good.
  • the deposition rate depends only on the metal concentration and the solution temperature, and is hardly affected by the concentration of other components or the pH of the solution, so that control of the plating film thickness is easy. ⁇ ⁇ By setting the pH to near neutrality, the types of objects to be treated, resist tongues, etc. that can be used are increased, and various types of plating equipment can be used.
  • the plating bath of the present invention is a palladium-based electroless plating solution having excellent characteristics as described above, and is applied to contact parts requiring high reliability in electronic parts, and to a gold plating film. It is extremely useful for application as a base plating film for prolonging the service life, and can be widely used for other parts, especially those requiring corrosion resistance.
  • Fig. 1 is a graph showing the relationship between plating time and the thickness of the deposited plating film in the Pd plating solution
  • Fig. 2 is a graph showing Ni and P in the Pd-Ni plating solution
  • Fig. 3 is a graph showing the relationship between the ratio of d and the amount of Ni in the precipitate
  • Fig. 3 is a graph showing the relationship between plating time and the amount of precipitation in the Pd-Ni plating solution
  • Fig. 4 is P
  • Fig. 5 is a graph showing the relationship between the liquid temperature and the deposition rate in the d-Ni plating solution.
  • Fig. 5 is a graph showing the relationship between the liquid temperature in the Pd-Ni plating solution and the amount of Ni in the precipitate. It is.
  • composition plating solution was prepared.
  • plating was performed on the copper plate at two temperatures, 3 CTC and 40.
  • the relationship between plating film thickness and plating time A graph of the relationship is shown in FIG.
  • the obtained paint film was subjected to a bending test, and as a result, the adhesion was extremely good.
  • a thick coating film was formed by performing the plating for 6 hours, a glossy silver-white film having a good appearance was obtained.
  • the plating solution of the present invention shown in Example 1 was prepared to each ⁇ value shown in Table 2 below (using HCS), and a plating film having a thickness of 1 m was formed on a copper plate at a liquid temperature of 40 ° C. .
  • the unadjusted paint solution had a pH of 11.5. After observing the state of the obtained paint film with a scanning electron microscope (3000 magnification), a solderability test was performed by the following method. Table 2 shows the results.
  • the adhered surface of carbon is less than 98%, and the adhered state is not uniform.
  • Example 2 Using the same plating bath as in Example 1, plating was performed on the copper plate, and the copper plate was immersed in the plating solution, except that the EDTA ⁇ 2 Na amount was changed to the variable shown in Table 3 below. After, no ,. The time until the precipitation of the radim, that is, the initial generation time, was determined. Table 3 shows the results.
  • composition plating solution was prepared. opdc ⁇ 2 ⁇ . 0 1 mol zso NH 2 CH 2 CH 2 NH 2 0.08 mol / S o-thiodiglycolic acid 20 nig / ⁇
  • the temperature of the solution was 60 using this plating solution.
  • C was plated on a copper plate.
  • the pH of the plating solution was 11.0.
  • the deposition rate was 1,41 mZhr, and a linear relationship was observed between the amount of deposition and the time, confirming that autocatalytic deposition was performed.
  • the appearance of the obtained plating film was good.
  • a bending test was performed on this sample in accordance with JIS-Z-2248, and there was no abnormality and the adhesion of the plating film was good.
  • Example 4 The plating solution shown in Example 4 was adjusted to the respective pH values shown in Table 4 below with HCS, and a plating film having a thickness of 1 ⁇ m was formed on a copper plate at a solution temperature of 60. For each of the obtained plating films, the appearance of the plating and the solderability test were performed in the same manner as in Example 2. The results are shown in Table 4. the 4th
  • composition plating solution was prepared.
  • the dimethylamines include dimethylamine, dimethylethylamine, methylylenediamine, tetramethylethylenediamine, diethyltriamine, and pentaethyleneimide.
  • Samin, N-hydroxyethylenediamine triacetic acid, glycine, imidazoline, and 2-benzyl-2-imidazoline were used alone.
  • plating solutions were adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and the temperature of the solution was 6 ml.
  • Plating was performed on the copper foil. As a result, a film with good adhesion and appearance was formed. The obtained metal coating had no cracks and good solderability. Further, the stability of each of the above-mentioned plating liquids during heating and storage stability was examined, and as a result, good stability was shown.
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • the plating solution was adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and plating was performed on a copper plate at a solution temperature of 6 ° C. As a result, a film having good adhesion and appearance was formed. The obtained paint film was free of cracks and had good solderability. Further, the stability of the above-mentioned plating liquids during heating and storage stability were examined, and good stability was shown.
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • dimethylamine, isopropylamine, morpholine and sodium borohydride were used alone.
  • the plating solution was adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and plating was performed on a copper plate at a solution temperature of 60 ° C. As a result, a film having good adhesion and appearance was formed. The obtained paint film was free of cracks and had good solderability. Further, the stability of the above-mentioned plating liquids during heating and storage stability were examined, and good stability was shown.
  • Example 9 A plating solution having the following composition was prepared.
  • Ni CS 2 * 613 20 was changed in six ways: 0.005, 0.01, 0.02, 0.05, 0.1 and 0.2 mol.
  • FIG. 2 shows the relationship between the ratio of Ni and Pd in the plating solution and the amount of Ni in the precipitate.
  • a precipitate having an arbitrary composition can be obtained by adjusting the ratio of Ni and Pd in the plating solution.
  • the appearance of the obtained precipitate was good, and as a result of performing a bending test according to JIS-Z-2248, no abnormality occurred in all samples, and the adhesion was good.
  • Table 5 shows the results of closed storage in C and open storage in 25.
  • thiodiglycolic acid was not contained, and the other components contained the same plating solution as the above-mentioned plating solution.
  • the plating solution of the present invention is excellent in stability at high temperatures and long-term storage at room temperature.
  • the solution was decomposed in 4 to 7 days, which is an excellent result compared to the conventional plating solution.
  • the decomposition of the plating solution due to the open storage is caused by the volatilization of the ammonia, and a long-time open storage is possible by appropriately supplementing the ammonia.
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • N i of precipitates, when using N a H 2 P 0 ⁇ H 2 0 is about 30 wt%, in the case of using N a BH 4 is about 35 wt% In I got it.
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • sulfur-containing organic compound three kinds of thiodiglycolic acid, thiodipropionic acid and 2-mercaptobenzothiazole were used.
  • Fig. 4 shows the relationship between the liquid temperature and the deposition rate when plating was performed on a copper plate for 1 hour by changing the liquid temperature using this plating liquid.
  • Fig. 5 shows the relationship between the liquid temperature and the amount of Ni in the precipitate.
  • the symbol ⁇ indicates the results when thiodiglycolic acid was used
  • the symbol ⁇ indicates the results when thiodipropionic acid was used
  • the symbol ⁇ indicates the results when 2-mercaptobenzothiazole was used. From the above results, it can be seen that the higher the liquid temperature, the higher the plating speed and the higher the amount of N 1 in the deposit.
  • the obtained paint film had a good appearance when any of thiodiglycolic acid, thiodipropionic acid and 2-mercaptobenzothiazole was used.
  • Example 1 2 shows the relationship between the liquid temperature and the deposition rate when plating was performed on a copper plate for 1 hour by changing the liquid temperature using this plating liquid.
  • Fig. 5 shows the
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • the plating solution shown in Example 12 was prepared at each pH value shown in Table 6 below with HCS and Na0H, and a plating film having a thickness of 1 m was formed on a copper plate at a solution temperature of 40. .
  • the condition of the paint film and the solderability test, and the plating speed were measured. The results are shown in Table 6. 6
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • Diamines such as dimethylamine, dimethylethylamine, methylamine, and tetramethylamine Amide, diethylenamine, pentaethylenehexamine, N-hydroxyethylenediamintriacetic acid, glycine, imidazoline, and 2-benzyl-2-imine Dazolin was used alone.
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • N a H 2 is set to P 0 a ⁇ H 2 0 0. 06 mol / S sulfur-containing organic compounds, HSCH 2 COOH, SH
  • the plating solution was adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and plating was performed on a copper plate at a solution temperature of 6 ° C. As a result, a film having good adhesion and appearance was formed. The resulting paint film was free of cracks and had good solderability. Further, the stability of each of the above plating liquids upon heating and storage stability were examined, and good stability was shown.
  • a plating solution having the following composition was prepared.
  • Dimethylamine, isopropylamine, morpholine, and sodium borohydride were used alone as the reducing agents.
  • plating liquids were adjusted to ⁇ 8 with hydrochloric acid, and plated at 6 ° C. on a copper plate. As a result, a film having good adhesion and appearance was formed. The obtained plating film Had no cracks and good solderability. Further, the stability of each of the above plating liquids upon heating and storage stability were examined, and good stability was shown.

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Description

明 細 書
パラジゥム系無電解メ ツキ液
技術分野
本発明は、 パラジウム系無電解メ ツキ液に関する。
背景技術
電子部品の電気接点部分には、 耐食性が高く 、 かつ電 気的特性のすぐれた貴金属による表面被覆を施すご とが 要求されている。 現在、 電気接点部分の表面被覆と して は、 主として、 金の電気メ ツキが採用されているが電気 メ ツキ法では微細で複雑な形状の電子部品に均一な厚さ の被覆を施すことは困難である。
これに対して、 無電解メ ツキ法によれば、 微細で複雑 な形状の部品に対しても、 均一な析出皮膜を形成させる ことが可能であり、 このため無電解メ ツキ法による貴金 属の表面処理方法の開発が望まれている。 特にパラジゥ ムは白金族金属の中で、 最も安価であり、 広い範囲での 工業的応用が期待-されている。
従来、 無電解パラジゥムメ ツキ液としては、 金属源と して 2価のパラジウム塩、 錯化剤と してアンモニア、 安 定剤と してエチレンジア ミ ン四酢酸またはその塩、 還元 剤としてヒ ドラジンを用いる水溶液が代表的なものであ つた。 しかしこの溶液は安定性が悪く 、 自然分解しやすいた め保存ができないという大きな欠点を有している。 また, 前処理液の P dの持ち込みにより、 すぐに分解するとい う欠点もある。 しかもこの様なヒ ドラジンを還元剤と し て使用するメ ツキ液では、 長時間被メ ツキ物をメ ツキ液 に浸漬すると、 メ ツキ液中の有効成分がまだ少ししか消 費されていないにもかかわらず析出速度が著しく低下す るという欠点もある。 更にメ ツキ液の安定性が悪いこと から、 錯化剤であるア ンモニアの濃度を高く することが 必要であり、 作業環境上好ま しく ないという問題点もあ また、 2価のパラジウム塩、 エチレンジァ ミ ン四酢酸 塩、 エチレンジア ミ ン、 及び次亜リ ン酸ソ一ダからなる 無電解パラジウムメ ツキ液も知られているが (特公昭 4 6— 2 6 7 6 4 ) 、 このメ ツキ液も安定性が悪く 、 短時 間で分解するという欠点がある。
更に、 上記したいずれのメ ツキ液でも、 得られるメ ッ キ皮膜は、 クラックが多く 、 ハンダ付け性が悪いことか ら、 電子部品へ適用することはできない。 また、 メ ツキ 皮膜を厚付けするとメ ツキ速度が著る しく遅く なるとと もに、 メ ツキ皮膜が黒色化して外観が悪く なるという欠 点ちめる 0 したがって現在までに報告されている無電解パラジゥ ムメ ツキ液は未だ実験室的規模を脱していない状況と言 る。
—方、 ニッケルとパラジウムとを合金化させた P d— N i合金皮膜は、 有機性ガス雰囲気中においても、 有機 性ガスの存在に起因する弊害、 例えば、 有機性ガスのポ リマー化による接点部分の接触障害の発生等が少ないも のであることが知られている。 このため、 P d— N i合 金メ ッキの実用化が望まれているが、 工業的に実用化し 得る無電解 P d - N i合金メ ツキ液についての報告はほ とんどなされていない。
例えば、 公知の無電解 P d— N i合金メ ッキ液と して は、 硫酸ニッケル 0. 1 1モル 、 塩化パラジゥム 〇 . 0 1 1モル 3 、 38%塩酸4 ^ 2 、 2 5 %アン モニァ水 1 60 mQ/ S 、 次亜リ ン酸ナ ト リ ウム
0. ◦ 94モル からなる無電解 P d - N i 合金メ ッ キ液 (Electrocheni. Technology , 6_, 42 7 , ( 1 9 68) ) があるが、 このメ ツキ液は極めて安定性が悪く メ ツキ処理途中にメ ツキ液中での金属の急激な析出現象 所謂メ ツキ液の分解がおこ り、 それ故実用には不適当で ある。
発明の開示 本発明の目的は、 工業規模においても実用可能なパラ ジゥム系無電解メ ツキ液を提供することにある。
本発明の他の目的は、 安定性に優れ、 かつ析出皮膜の 外観が良好なパラジゥム系無電解メ ツキ液を提供するこ とにある。
本発明の更に他の目的は、 析出皮膜の有孔度が小さ く 、 耐食性、 素地に対する密着性等の良好なパラジウム系無 電解メ ツキ液を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、 作業性が良く 、 液管理の容 易なパラジゥム系無電解メ ツキ液を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、 クラックが少なく 、 ハンダ 付け性の良好なメ ツキ皮膜を形成し得るパラジゥム系無 電解メ ツキ液を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、 有機性ガス雰囲気中におい ても析出皮膜の表面特性の低下の少ない P d— N i合金 メ ツキ皮膜を形成し得るパラジゥム系無電解メ ツキ液を 提供することにある。
本発明の他の特徵は、 以下の記載から明確になるであ ろう。
本発明は、 以下に示すパラジウム系無電解メ ツキ液を 提供するものである。
① a ) ノヽ。ラ ジウム化合物 0 . 0 0 0 1 〜 0 . 5モル b ) ア ンモニア及びア ミ ン化合物の少なく とも 1種
〇. 00 1〜8モルノ8
c ) 二価の硫黄を含有する有機化合物 1〜 500 rag/
S 、 並びに
d ) 次亜リ ン酸化合物及び水素化ホウ素化合物の少な く とも 1種 0. 005〜 1モル Z δ
を含む水溶液からなることを特徵とするパラジゥム系 無電解メ ツキ液。
② a ) パラ ジウム化合物 0. 000 1〜 0. 5モル 2 b ) ニッケル化合物 0. 00 1〜 1モル/2
c ) ア ンモニア及びア ミ ン化合物の少なく とも 1種
0. 00 1〜 8モル/ S
d ) 二価の硫黄を含有する有機化合物 1〜 500 ingZ S 、 並びに
e ) 次亜リ ン酸化合物及び水素化ホウ素化合物の少な く とも 1種 0. 005〜 1モル 2
を含む水溶液からなることを特徵とするパラジゥム系 無電解メ ツキ液。
本発明パラ ジウム系無電解メ ツキ液は、 ア ンモニア及 びア ミ ン化合物の少なく とも 1種と、 二価の硫黄を含有 する有機化合物とを安定剤と して併用するという全く新 規なものである。 この様なパラ ジウム系無電解メ ツキ液は、 極めて安定 性に優れたものであり、 外観、 物性ともに良好なパラジ ゥム系メ ツキ皮膜を形成することができる。 特に、 上記 安定剤を用い、 かつ金属源と して、 パラジウム化合物及 びニッケル化合物の両者を含有する無電解メ ツキ液は、 良好な外観及び物性を有する P d— N i合金メ ツキ皮膜 を形成することができ、 かつ安定性の良好な無電解メ ッ キ液である。
本発明パラジウム系無電解メ ツキ液では、 P dの供給 源として塩化パラジゥム、 塩化パラジゥムナ ト リ ウム、 塩化パラジゥ厶カ リ ウム、 塩化パラ ジゥムア ンモニゥム, 硫酸パラジウム、 硝酸パラ ジウム、 酢酸パラジウム、 酸 化パラジゥム等のパラジゥム化合物を用いる。 パラジゥ ム化合物の濃度は 0. 0001〜 0. 5モル 2程度と し、 好ま し く は 0. 001〜0. 1モル 程度とする, 0. ◦ 0◦ 1モル を下回る濃度では、 メ ツキ皮膜の 折出速度が遅く なるので実用的ではなく 、 一方 0. 5モ ル を上回る濃度では、 析出速度がより向上すること はなく 、 更にメ ツキ液の安定性を阻害することになるの で好ま しく ない。
本発明メ ツキ液では、 液の安定性を維持するために、 ア ンモニア及びァ ミ ン化合物の少なく とも 1種と、 二価 の硫黄を含有する有機化合物とを組合せて用いることが 必要である。 ア ンモニア及びア ミ ン化合物はメ ツキ液中 の P dと錯体を形成してこれらの成分を液中に安定に保 持する作用をし、 液の安定化に寄与する。 ア ンモニア及 び 又はア ミ ン化合物の濃度は、 0 . 0 0 1 〜 8モル S 程度とし、 好ま しく は 0 . 0 1 〜 5モル 程度とす る。 ア ンモニアを単独で用いる場合には、 メ ツキ液の安 定性向上のために 0 . 0 7 5モル 程度以上とするこ とがより好ま しい。 アンモニア及び 又はア ミ ン化合物 の濃度が高いほど液の安定性は良好になるが、 上記範囲 を上回る濃度では、 不経済であり、 特にア ンモニアを用 いる場合には臭気等により作業環境が悪く なるので好ま しく ない。 また、 上記範囲を下回る濃度では液の安定性 が低下して、 メ ツキ液が分解し易く なるので好ま し く な い。
本発明では、 ァ ミ ン化合物とは、 ァ ミ ノ酸類も包含す る ものとする。 本発明での使用に適するァ ミ ン化合物と しては、 具体的にはモノア ミ ン類と して、 メ チルァ ミ ン、 ェチルァ ミ ン、 プロ ピルァ ミ ン、 ジメ チルァ ミ ン、 ト リ メ チルァ ミ ン、 ジメ チルェチルァ ミ ン、 ベンジルァ ミ ン、 2 —ナフチルァ ミ ン、 イ ソプチルァ ミ ン、 イ ソア ミ ノレァ ミ ン等、 ジァ ミ ン類と して、 メ チレ ンジァ ミ ン、 ェチレ ンジァ ミ ン、 テ トラメチレンジァ ミ ン、 ペンタメチレン ジァ ミ ン、 へキサメチレンジァ ミ ン等、 ポリア ミ ン類と して、 ジエチレン ト リア ミ ン、 テ トラエチレンペンタ ミ ン、 ペンタエチレンへキサミ ン、 へキサエチレンヘプタ ミ ン等、 ア ミ ノ酸類と して、 エチレンジア ミ ン四酢酸又 はそのナ ト リ ウム塩、 N —ヒ ドロキシエチレンジァ ミ ン 三酢酸又はそのナ ト リ ウム塩、 グリ シン、 N —メチルダ リ シン、 ジメチルグリ シン、 イ ミ ノ ジ酢酸、 ヒダン トイ ン酸、 グリ コシァ ミ ン等、 イ ミ ダゾリ ン類として、 イ ミ ダ'ゾリ ン、 2—メチルー 2—イ ミ ダゾリ ン、 2 —フェ^ ノレ一 2—ィ ミ ダゾリ ン、 2—ベンジル一 2—ィ ミ ダゾリ ン、 1 , 2 —ジフエ二ルー 2 —イ ミ ダゾリ ン、 2 , 4 , 5 — ト リ フエ二ルー 2 —イ ミ ダゾリ ン、 2 , 2 ' — ビス ( 2—イ ミ ダゾリ ン) 、 2—クロルメチルー 2—イ ミ ダ ゾリ ン等を例示できる。
本発明では、 アンモニア及びア ミ ン化合物の少なく と も 1種の化合物と しては、 好ま しく は、 アンモニア、 ジ ァ ミ ン類及びポリァ ミ ン類から選ばれたものを使用でき より好ま しく は、 アンモニア、 エチレンジァ ミ ン及びジ エチレン ト リア ミ ンから選ばれたものを使用できる。
本発明では、 上記したァ ミ ン化合物及びァン乇ニァの 少なく とも 1種を使用すればよいが、 ア ンモニアを単独 で使用する場合には、 メ ツキの初期発生までの時間、 即 ち被メ ツキ物をメ ツキ液に浸漬した後、 メ ツキが付着し はじめるまでの時間が長く なることがある。 この様な場 合には、 ァ ンモニァと上記したァ ミ ン化合物とを併用す ることによって初期発生時間を短縮することができる。
ァ ミ ン化合物量はァンモニァと併用する場合には
〇. 0 0 0 5モルノ S 程度以上で初期発生時間を短縮す る効果がある。 また、 ア ミ ン化合物を配合したメ ツキ液 では、 メ ツキ皮膜の厚付けを行なった場合のメ ツキ皮膜 の外観が特に良好になる。
本発明での使用に適する二価の硫黄を含有する有機化 合物と しては、 具体的には、
(CH3 ) 3 CSH, CH3 (CH2 ) 6 CH (CH3 ) S H,
CH3 (CH2 ) 1 1 SH, HS CH2 COOH, HS CH2 C H2 COOH,
Figure imgf000011_0001
等のメ ルカ プタ ン類 H5 ) a S, (i s o-C3 H7 ) 2 S CH- S -Cs H:
Figure imgf000012_0001
HOOC CH2 S CH2 COOH,
HOOC CH2 CH2 S CH2 CH2 COOH 等のスルフ ィ ド類
(CH3 ) 2 S2 , (C2 H5 ) 2 S2 , (C3 H7 ) 2 S
S
s2 - c
Figure imgf000012_0002
Figure imgf000012_0003
等を例示でき、 これらのうちスルフイ ド類及びジスルフ ィ ド類が好ま しい。 これらの硫黄含有有機化合物は単独 又は適宜組み合わせて使用できる。 硫黄含有有機化合物 の使用量は、 1〜 500 mgZ S程度と し、 好ま しく は 5 〜 1 0 OfflgZG程度とする。 硫黄含有有機化合物の使用 量が上記範囲を上回ると、 メ ツキ皮膜の析出速度が低下 し、 また析出したメ ツキ皮膜の外観も劣化するので好ま しく ない。 また上記範囲を下回る濃度では、 メ ツキ液の 安定性が不充分となるので不適当である。
本発明メ ツキ液は、 上記した様に、 ア ンモニア及び/ 又はア ミ ン化合物と硫黄含有有機化合物とを併用するこ とを必須とする ものであり、 極めて安定性に優れた工業 的規模での使用に好適なメ ツキ液である。
本発明メ ツキ液では、 金属イオンを還元するための還 元剤と して、 次亜リ ン酸化合物及び水素化ホウ素化合物 の少なく とも 1種を使用する。 次亜リ ン酸化合物と して は、 次亜リ ン酸又はそのァンモニゥム、 リ チウム、 ナ ト リ ウム、 カ リ ウム、 カルシウム塩等を使用でき、 水素化 ホウ素化合物と してはジメ チルァ ミ ンボラ ン、 ト リ メ チ ルァ ミ ンボラ ン、 イ ソプロ ピルア ミ ンボラ ン、 モルホ リ ンボラン等のア ミ ンボラ ン類や水素化ホウ素ナ ト リ ウム、 水素化ホウ素カ リ ウム等を使用できる。 還元剤の使用量 は、 0 . 0 0 5〜 1モル ^ 程度と し、 好ま しく は 〇 . 0 1 〜 0 . 5モル 程度とする。 使用量が
0 . 0 0 5モル Z S 未満ではメ ツキが充分に析出せず、 —方 1モル を上回るとメ ツキ液が不安定になるので 好ま しく く ない。
本発明メ ツキ液は、 前記した様に、 ア ンモニアと特定 の硫黄含有有機化合物とを組み合わせて用いることによ る極めて安定性に優れたものであり、 それ故上記した様 に各種の還元剤を使用できる。
本発明パラジウム系無電解メ ツキ液は、 上述した有効 成分である a ) パラジウム化合物、 b ) アンモニア及び ァ ミ ン化合物の少なく とも 1種、 c ) 二価の硫黄を含有 する有機化合物、 並びに d ) 次亜リ ン酸化合物及び水素 化ホウ素化合物の少なく とも 1種、
を水に溶解して水溶液と したものであって (以下、 P d メ ツキ液という) 、 液の安定性が良好であり、 外観、 物 性ともに優れた P dメ ツキ皮膜を形成することができる。
また、 本発明では、 このメ ツキ液に、 更に、 ニッケル 化合物を添加することによって、 パラジウム一ニッケル 合金メ ツキ皮膜を形成し得るパラジゥム系無電解メ ツキ 液 (以下、 P d— N i メ ツキ液という) を得ることがで きる。 この様なニッケル化合物を添加した無電解メ ツキ 液 ( P d— N i メ ツキ液) は、 上記した P dメ ツキ液と 同様に優れた安定性を有するものであり、 また形成され る P d— N i 合金メ ッキ皮膜は、 P dメ ツキ液によって 得られる P d単独のメ ツキ皮膜と同様の優れた外観及び 物性を有する ものである。
本発明 P d— N i メ ツキ液における使用に適するニッ ゲル化合物と しては、 塩化ニッケル、 塩化ニッケルアン モニゥム、 臭化ニッケル、 ヨウ化ニッケル、 硫酸ニッケ ル、 硫酸ニッケルア ンモニゥム、 硝酸ニッケル、 炭酸二 ッゲル、 スルフア ミ ン酸ニッケル、 酢酸ニッケル、 安息 香酸ニッケル、 クェン酸ニッケル、 ギ酸ニッケル、 酒石 酸ニッケル、 しゅう酸ニッケル等を例示できる。 ニッケ ル化合物の濃度は、 0 . 0 0 1 〜 1 モル/ S 程度と し、 好ま しく は 0 . 0 1 〜 0 . 5モル 程度とする。
〇 . 0 0 1モル Z 2 未満では、 ニッケルが析出し難く 、 —方 1 モルノ S を上回る濃度では、 メ ツキ液の安定性が 低下し、 また、 ニッケル化合物の溶解のためにアンモニ ァ及び/ /又はア ミ ン化合物を多量に添加することが必要 となり、 不経済である。 特に、 ア ンモニアを使用する場 合には、 臭気等によって作業環境が悪く なるので好ま し く ない。
P d— N i メ ツキ液において、 ニッケル化合物以外の 成分については、 使用化合物の種類及び使用量ともに前 記した P dメ ツキ液と同様でよい。
P d - N i メ ツキ液から析出する P d— N i 合金メ ッ キ皮膜中のパラジウムとニッケルの比率は、 P d— N i メ ツキ液中のパラジウム化合物とニッケル化合物との濃 度比を変化させることによって調整でき、 任意の組成の メ ツキ皮膜を容易に得ることができる。 本発明のパラジウム系無電解メ ツキ液は、 以上示した 各有効成分を水に溶解して水溶液とすることによって得 られるものである。 該メ ツキ液では、 p H調整を行なう ことは必須ではないが、 P dメ ツキ液では、 11を 5〜 1 0程度に調整することが好ま しく 、 また、 P d— N i メ ツキ液では、 p Hを 5〜 1 1程度に調整することが好 ま しい。 この様な p H調整を行なったメ ツキ液を用いる 場合には、 クラックのほとんどないメ ツキ皮膜を形成す ることが可能となる。 得られたクラックのほとんどない メ ツキ皮膜は、 ハングのぬれ性が良く 、 ハンダ付け性が 良好である。 メ ツキ液の p H調整は、 冽えば H C S 、 H 2 S 0 4 等の酸や N a 0 H等アルカ リ化合物によって 行なえばよい。
本発明メ ツキ液 ( P dメ ツキ液及び P d — N i メ ツキ 液) は、 1 0〜 9 0て程度という広い範囲の温度におい てメ ツキ可能であり、 特に 2 5〜 7 0 °C程度の液温のと きに、 平滑で光沢のある最も良好なメ ツキ皮膜が得られ る。 この様に比較的低温においても、 メ ツキを行ない得 ることから、 メ ツキ液の管理が容易となり、 特にアンモ ニァを用いる場合には、 アンモニアの揮発を抑えること が可能となって、 作業環境を良好に保つことができる。 また、 本発明メ ツキ液では、 液温が高い程、 メ ツキ皮膜 の析出速度が速く なる傾向があり、 上記した温度範囲内 で適宜温度を設定することにより任意の析出速度とする ことができる。
本発明メ ツキ液では、 メ ツキ'皮膜の析出速度は、 液温 の他に、 金属分の濃度にも依存するが、 その他の成分の 濃度ゃメ ツキ液の p Hの変動にはほとんど影響を受けな い。 このため、 本発明メ ツキ液では、 金属分濃度、 及び メ ツキ液の液温を調整することによって、 メ ツキ皮膜の 膜厚のコ ン トロールを容易に行なう ことができる。
本発明メ ツキ液により メ ツキ処理を行なうには、 前記 した温度範囲内のメ ツキ液中に、 ? 01皮膜又は? (3 —
N i 皮膜の還元析出に対して触媒性のある基質を浸潰す ればよい。 触媒性のある基質と しては、 例えば、 F e、 C o、 N i C u、 S n、 A g、 A u、 P t、 P d及び これらの合金等を示すことができる。 また、 樹脂、 ガラ ス、 セラ ミ ックス、 W等の触媒性のない基質であっても、 例えば、 センシタイ ジングーアクチベータ法、 キヤタ リ ス トーァクセラ レーター法等の公知の方法で触媒性を付 与することによって、 上記方法と同様にメ ツキ液中に浸 漬してメ ツキ処理を行なう ことができる。
本発明メ ツキ液によるパラジウム皮膜又はパラジウム ♦ ニッケル合金皮膜の析出は、 自己触媒的に進行し、 こ のため有孔度が小さ く 、 しかも密着性の高い皮膜が得ら れる。
本発明無電解パラジウムメ ツキ液は、 以下の様な優れ た特性を有する。
① 極めて安定性に優れたメ ツキ液である。
② 得られるメ ツキ皮膜の外観が良好であり、 膜厚を厚 く した場合にも良好な外観のメ ツキ皮膜となる。
③ 自己触媒性の析出であることから析出皮膜の有孔度 が小さく 、 耐食性が良好であり、 また、 素地に対する 密着性が良い。
④ メ ツキ液の安定性が良いので、 低ア ンモニア量で使 用でき、 ア ンモニアの揮発を抑制することができる。 またア ミ ン化合物を使用するメ ツキ液では、 メ ツキ作 業中や保存中にァ ミ ン化合物が揮発することはない。 このため、 メ ツキ液の保存安定性が良く 、 また作業環 境も良好である。
⑤ 低温で析出可能であるため、 作業性が良く 、 また、 アンモニア浴と して用いる場合にも、 ア ンモニアの揮 発が少く 、 メ ツキ液の管理が容易である。
⑥ 析出速度は、 金属濃度と液温にのみ依存し、 他の成 分の濃度や液の p Hには、 ほとんど影響されないので、 メ ツキ膜厚のコン トロールが容易である。 ⑦ p Hを中性付近に設定することにより、 使用できる 被処理物、 レジス トイ ンキ等の種類が多く なり、 また メ ツキ設備の材質と しても多種類のものが使用できる。
⑧ P dメ ツキ液では p Hを 5〜 1 0に調整することに よって、 また P d— N i メ ツキ液では p Hを 5〜: L 1 に調整することによってクラックの非常に少ないメ ッ キ皮膜が得られる。 この様なメ ツキ皮膜はハンダ付け 性が良好であり、 電子部品への応用に適する ものであ る 0
⑨ P d— N i メ ツキ液では、 液中の P d と N i の比を 変化させることにより、 用途に応じた任意の組成の P d — N i 合金メ ッキが容易に得られる。 また、 得ら れる P d - N i合金皮膜は、 有機性ガス雰囲気中でも 析出皮膜の表面にポリマーを生じることがなく 、 信頼 性の要求される電気接点部品への応用に最適である。 本発明メ ツキ浴は、 上記した様に優れた特性を有する パラジゥム系無電解メ ツキ液であり、 電子部品において 高い ί言頼性が要求される接点部品への応用や金メ ッキ皮 膜の長寿命化のための下地メ ツキ皮膜と しての応用等に 極めて有用であり、 更に、 その他、 特に耐食性が要求さ れる部品等に対して広く使用し得る ものである。
図面の簡単な説明 第 1図は、 P dメ ツキ液におけるメ ツキ時間と析出し たメ ツキ皮膜の膜厚との関係を示すグラフ、 第 2図は、 P d - N i メ ツキ液中の N i と P dの比と析出物中の N i量との関係を示すグラフ、 第 3図は P d— N i メ ッ キ液におけるメ ツキ時間と析出量との関係を示すグラフ、 第 4図は P d— N i メ ツキ液における液温と析出速度の 関係を示すグラフ、 第 5図は P d - N i メ ツキ液におけ る液温と析出物中の N i量との関係を示すグラフである。
発明を実施するための最良の形態
以下実施例を示して本発明を更に詳細に示す。
実施例 1
下記組成メ ツキ液を調製した。
o P d C δ 2 〇 . 0 1モル/ 2
οァ ンモニァ ( 28%) 2 0 0 ΙΠβ / δ
( 3. 0モル/ S )
οエチレ ンジア ミ ン
四酢酸ナ ト リ ウム
( E D T A ♦ 2 N a ) 0. 0 1モル S
oチォジグリ コール酸 2 0 fflg/ δ
o N a Η2 Ρ 02 0. 08モル/ S
上記メ ツキ液を用いて液温 3 CTCと 4 0ての 2通りで 銅板にメ ツキを行なった。 メ ツキ膜厚とメ ツキ時間との 関係のグラフを第 1図に示す。
第 1図から判る様に、 析出速度は、 液温 3 0 eCで
1 . 0 m Z時間、 4 0 。Cで 1 . 3 m Z時間であり、 時間と共にメ ツキ膜厚は直線的に増加した。 この事から、 メ ツキ皮膜の析出が自己触媒的に進行し、 しかも析出速 度の安定性が極めて良好であることが判る。
得られたメ ツキ皮膜の折曲げテス トを行なった結果、 密着性は極めて良好であった。 また、 6時間メ ツキを行 ない、 厚付け皮膜を形成させた場合にも、 光沢銀白色の 良好な外観の皮膜が得られた。
また、 上記メ ツキ液の安定性を調べるために、 9 〇て への加熱、 2 5。Cでの密閉保存、 及び 2 5。Cでの開放保 存を行なった結果を第 1表に示す。 尚、 比較と して、 下 記組成の従来浴についても同様に安定性試験を行なった。 o従来浴①
P d C δ 2 5 . 4 g δ
アンモニア 3 5 0 g δ
E D T A ♦ 2 N a 3 4 g Q
ヒ ドラ ジ ン 0 . 3 g Q
o従来浴②
P d C 2 ? 1 〇 . 0 g / δ
E D T A ♦ 2 N a 9 . 0 g / δ エチレンジア ミ ン 2 5. 6 g / 2
N a H2 P 0 a 4 g / Q
1
9〇 への 25 C密閉 25°C開放 加熱 保存 保存 本発明メツキ液 分解せず 4力月保存 7日で分解 後分解なし
従来浴① 5分以内に 1週間で 1日以内に 分解 分解 分解 従来浴② 5分以内に 2週間で 1日以内に 分解 分解 分解
以上の結果から、 本発明メ ツキ液の安定性は、 極めて 優れたものであることが判る。
実施例 2
実施例 1 に示す本発明メ ツキ液を下記第 2表に示す各 ρ Η値に調製し (H C S 使用) 、 液温 4 0 °Cで銅板上に 1 m厚にメ ツキ皮膜を形成させた。 尚、 無調整のメ ッ キ液は p H 1 1 . 5であった。 得られたメ ツキ皮膜の状 態を走査型電子顕微鏡 ( 3 0 0 0倍) で観察した後、 下 記の方法でハ ンダ付け性試験を行なった。 結果を第 2表 に示す。
o ハンダ付け性試験
メ ツキ皮膜を形成させた試料 ( 2 5 m in x 2 5 m m X
0 . 3 mi) をロジ ンフラックス (ロジ ン 2 5 %イ ソプロ ピルアルコール溶液) に浸漬して前処理した後、 メニス コ グラフ (フイ リ ップス社製) を使用し、 2 3 0。Cで溶 融させた 6 4ハング (スズ : 鉛 = 6 : 4 ) 中に試料を ハンダ面に垂直に 1 2 fflmの深さまで浸漬し、 ハンダと試 料面との接触角が 9 0度になるまでの時間を測定してゼ 口 ク ロスタイムと した (M I L L S T D— 8 8 3 B に 準ずる) 。 ゼロク ロスタイムが短い程メ ツキ皮膜に対す るハングのぬれ性が良好であるといえる。 次いで、 ゼロ ク ロスタイムを測定した後の試料について、 付着したハ ンダの状態を観察し、 ハングの付着性を調べた。 結果を 次の記号で示す。
A…ハンダが均一に付着
B——部不均一である 浸漬面の 9 8 %以上にハンダが 付着
C ンダの付着面が 9 8 %未満であり、 付着状態が不 均一である。 第 2 表 ハンダ付け性
p H メツキ^ ^の ゼロクロ ンタ、 '付け メツキ速度 髓 スタイム 後の外観 mZ時間)
1 1. 5 クラック有り 5秒以上 C 1. 3 本 1 0 微小なクラッ 4. 2秒' B 1. 2 ク有り
明 9 クラック無し 3. ◦秒 A 1. 2 浴 8 2. 8秒 A 1. 2
7 // 2. 9秒 A 1. 1 餘浴① クラック有り 5秒以上 C 0. 5 魏浴② " C 0. 6 実施 3
E D T A ♦ 2 N a量を下記第 3表に示す変量とする以 外は、 実施例 1 と同様のメ ツキ浴を使用して、 銅板上に メ ツキを行ない、 銅板をメ ツキ液中に浸漬した後、 ノ、。ラ ジゥムの析出が始まるまでの時間、 即ち初期発生時間を 求めた。 結果を第 3表に示す。
Figure imgf000025_0001
第 3表から判るように、 アンモニア及び E D T A · 2 N aを併用する場合には、 初期発生時間が大き く短縮 される。 また、 E D T A * 2 N aを◦ . 0 0 5モル/ β 以上添加したメ ツキ液を用いた場合には、 厚付け後のメ ツキ皮膜の外観が極めて良好であった。
実施例 4
下記組成メ ツキ液を調製した。 o p d c δ 2 〇 . 0 1モル z s o N H2 C H2 C H2 N H2 0. 08モル/ S oチォジグリ コール酸 2 0 nig/ δ
o N a Η2 Ρ 02 · Η2 0 0. 0 6モル
このメ ツキ液を用いて、 液温 6 0。Cで銅板上にメ ツキ を行なった。 メ ツキ液の p Hは 1 1. 0であった。 その 結果析出速度は、 1 , 4 1 mZhrであり、 析出量と時 間との間に直線関係が認められ、 自己触媒析出であるこ とが確認された。 6時間連続してメ ツキを行ない厚付け を行なった結果、 得られたメ ツキ皮膜の外観は良好であ つた。 この試料を J I S — Z— 2 248に準じて曲げ試 験を行なったところ、 異状はなく 、 メ ツキ皮膜の密着性 は良好であった。
また、 上記メ ツキ液を 9 0てに加熱してもメ ツキ液の 分解が生じることはなく 、 また 2 5 °Cで 4力月開放保存 した場合にもメ ツキ液の分解は生じなかった。
実施例 5
実施例 4に示すメ ツキ液を下記第 4表に示す各 p H値 に H C S で調整し、 液温 6 0 で、 銅板上に 1 μ m厚に メ ツキ皮膜を形成させた。 得られた各メ ツキ皮膜につい て、 実施例 2と同様にして、 メ ツキ外観の観察及びハン ダ付け性試験を行なった。 結果を第 4表に示す。 第 4
Figure imgf000027_0001
実施例 6
下記組成メ ツキ液を調製した。
o p d C δ 2 0. 0 1 モル/ β ο ァ ミ ン化合物' χ· 0. 0 8モル/ S ο チォジグリ コール酸 2 0 mgZ S
o N a H2 P 0 a · Η 2 0 0. 0 6モルノ 2
ァ ミ ン化合物としては、 ジメ チルァ ミ ン、 ジメ チル ェチルァ ミ ン、 メ チレ ンジァ ミ ン、 テ ト ラメ チ レ ンジ ァ ミ ン、 ジエチレ ン ト リ ア ミ ン、 ペンタエチレ ンへキ サ ミ ン、 N—ヒ ドロキシエチレ ンジア ミ ン三酢酸、. グ リ シン、 イ ミ ダゾリ ン、 及び 2—ベンジルー 2—イ ミ ダゾリ ンを各々単独で用いた。
これらのメ ツキ液を塩酸で p H 8に調整し、 液温 6 〇 。(:で銅扳上にメ ツキを行なった。 その結果、 密着性及び 外観ともに良好な皮膜が形成された。 また得られたメ ッ 千皮膜にはクラックがなく 、 ハンダ付け性が良好であつ た。 更に、 上記各メ ツキ液について、 加熱時の安定性及 び保存安定性を調べたところ良好な安定性を示した。
実施例 7
下記組成のメ ツキ液を調製した。
o P d C δ 2 0. 0 1モル/ S
o N H2 C H2 C H2 N H2 0. 08モル 2
o硫黄含有有機化合物※ 2 Oig/ S
o N a H2 P 02 ♦ H2 0 0. 0 6モル ZS
硫黄含有有機化合物と し ては、 HSCH2 COOH,
を 各 々
Figure imgf000028_0001
単独で用 い た これらのメ ツキ液を塩酸で p H 8に調整し、 液温 6 〇 °Cで銅板上にメ ツキを行なった。 その結果、 密着性及び 外観ともに良好な皮膜が形成された。 また得られたメ ッ キ皮膜はクラックがなく 、 ハンダ付け性が良好であった。 更に、 上記各メ ツキ液について、 加熱時の安定性及び保 存安定性を調べたところ良好な安定性を示した。
実施例 8
下記組成のメ ツキ液を調製した。
o P d C δ a 0. 0 1モル Ζ β
o N H2 C Η2 C Η2 Ν Η2 0. 08モルノ 2
οチォジグリ コール酸 2 0 rag/ S
o還 元 剤 ·χ· ◦ . 0 6モルノ S
還元剤と しては、 ジメチルァ ミ ンボラ ン、 イ ソプロ ピルァ ミ ンボラ ン、 モルホリ ンボラ ン及び水素化ホゥ 素ナ ト リ ウムを各々単独で用いた。
これらのメ ツキ液を塩酸で p H 8に調整し、 液温 6 0 °Cで銅板上にメ ツキを行なった。 その結果、 密着性及び 外観ともに良好な皮膜が形成された。 また得られたメ ッ キ皮膜はクラックがなく、 ハンダ付け性が良好であった。 更に、 上記各メ ツキ液について、 加熱時の安定性及び保 存安定性を調べたところ良好な安定性を示した。
施例 9 下記の配合組成のメ ツキ液を調製した
P d C δ 2 〇 . 0 1モル Z S
N i C δ 2 · 6 H2 0 下記変量※
28%ア ンモニア水 20 0 mS / S
チォジグリ コール酸 2 0mg/ S
N a H2 P 0 a · Η2 0 0. 08モル ZS
N i C S 2 * 613:2 0は 0. 0 0 5、 0. 0 1、 0. 0 2、 0. 0 5、 0. 1及び 0. 2モル の 6 通りに変化させた。
得られたメ ツキ液を用いて、 液温 4 ◦ Cで銅板に 1時間 メ ツキを行なった。 メ ツキ液中の N i と P dの比率と析出 物中の N i量との関係を第 2図に示す。 第 2図から明らか な様に、 メ ツキ液中の N i と P dの比を調整することによ り、 任意の組成の析出物が得られることが判る。 また、 得 られた析出物の外観は良好であり、 J I S — Z— 2 248 に準じて曲げ試験を行なった結果、 すべての試料について 異状が生じることはなく 、 密着性は良好であった。
更に、 上記メ ツキ液の安定性を調べるために、 9 0 °Cへ の加熱、 2 5。Cでの密閉保存、 及び 2 5ででの開放保存を 行なった結果を第 5表に示す。 5
Figure imgf000031_0001
また、 比較と して、 チォジグリ コール酸を含有せず、 他 の成分は上記メ ツキ液の組成と同様なメ ツキ液
(N i C δ 2 · 6 Η2 0は 0. 1モル / 2 ) を用いて保存 試験をを行なった結果、 25。Cで保存すると約 1時間で液 の分解を生じ、 40。Cでは 5分以内に液の分解を生じた。
以上の結果から、 本発明メ ツキ液が高温での安定性及び 常温での長期保存性に優れたものであることが判る。 尚、 開放保存では、 4〜 7 日間で液の分解を生じたが、 これは 従来のメ ツキ液に比して極めて優れた結果である。 また、 この開放保存によるメ ツキ液の分解は、 アンモニアの揮発 に起因するものであり、 適宜アンモニアを補給することに より、 長時間の開放保存も可能である。
実施例 1 ◦
下記組成のメ ツキ液を調製した。
P d C β a 0. 0 1モル Ζ δ
N i C δ a ♦ 6 H2 0 0. 1モル
28%ア ンモニア水 200 ϋΐβΖβ
チォジグリ コール酸 20 nig/ δ
N a Η 2 P 02 ♦ H 2 0
又は N a B H4 0. 08モルノ2 このメツキ液を用いて、 液温 40でで銅板上にメ ツキを 行なった場合のメ ツキ時間と析出量との関係第 3図に示す。 尚、 図中、 〇印は、 N a H2 P 02 · H2 0を用いた場合、 △印は、 N a B H4 を用いた場合の結果を示す。 第 3図か ら N a H2 P 0 a ♦ H2 0を用いた場合には、 析出速度は 1. 4 Dig/cm2 ♦ hrであり、 N a B H4 を用い場合には、 析出速度は 1. 7nigZcin2 * hrであって、 いずれの場合に もメ ツキ時間と析出量との間に直線関係が認められ、 自己 触媒的析出であることが判る。 尚、 析出物中の N i量は、 N a H2 P 0 ♦ H2 0を用いた場合には、 約 30重量% であり、 N a B H 4 を用いた場合には、 約 35重量%であ つた。
実施例 1 1
下記の配合組成のメ ツキ液を調製した
P d C δ 2 0, 0 1 モル Z S
N i C β a · 6 H 2 0 0 . モル Ζ β
2 8 %アンモニア水 2 0 0 m<3 / δ
硫黄含有有機化合物※ 2 0 rag/ δ
N a H 2 P 0 2 , H 2 0 0 . 0 8モル Ζ S
硫黄含有有機化合物と しては、 チォジグリ コール酸 チォジプロ ピオン酸及び 2—メルカプトべンゾチアゾ ールの 3種類を用いた。
このメ ツキ液を用いて、 液温を変化えて銅板上に 1時間 メ ツキを行なった場合の液温と析出速度との関係を第 4図 に示す。 また、 液温と析出物中の N i 量との関係を第 5図 に示す。 尚、 図中、 〇印は、 チォジグリ コール酸を用いた 場合、 △印は、 チォジプロ ピオン酸を用いた場合、 □印は 2—メルカプ トべンゾチアゾールを用いた場合の結果を示 す。 以上の結果から、 液温が高い程メ ツキ速度が増加し、 また折出物中の N 1量が増加する傾向にあることが判る。 尚、 得られたメ ツキ皮膜は、 チォジグリ コール酸、 チォジ プロ ピオン酸及び 2 —メルカプトベンゾチアゾールのいず れを用いた場合にも良好な外観であった。 実施例 1 2
下記組成のメ ツキ液を調製した
P d C δ a 0 . 0 1 モル S
N i C δ a · 6 H 2 0 0 . 1 モルノ S
N H 2 C H 2 C H 2 N H 2 〇 . 0 8モル/^
チォジグリ コール酸 2 0 mg/ δ
N a E P 0 2 · H 2 0 0 . 0 8モル Z S
このメ ツキ液を用いて、 液温 4 0でで銅板に 1時間メ ッ キを行なった。 その結果析出物中の N i量は約 3 0重量 であり、 得られた析出物の外観、 密着性は共に良好であつ た。 また上記メ ツキ液を 9 0 に加熱してもメ ツキ液の分 解が生じることはなく 、 また 2 5 で 4ヶ月間開放保存し た場合にもメ ツキ液の分解は生じなかった。
実施例 1 3
実施例 1 2に示すメ ツキ液を下記第 6表に示す各 p H値 に H C S 及び N a 0 Hで調製し、 液温 4 0 で銅板上に 1 m厚にメ ツキ皮膜を形成させた。 得られた各メ ツキ皮膜 について、 メ ツキ皮膜の状態及びハンダ付け性試験、 並び にメ ツキ速度の測定を行なった。 結果を第 6表に示す。 6
Figure imgf000035_0001
実施例 14
下記組成のメ ツキ液を調製した
P d C δ 2 0. 0 1モル/ S
N i C δ 2 ♦ 6 H2 0 0. モル Z β
ァ ミ ン化合物※ 0. 08モル/ S
チォジグリ コール酸 2 0 nig/ δ
N a H2 P 02 · H2 0 〇 . 0 6モル/ δ
ァ ミ ン化合物と しては、 ジメチルァ ミ ン、 ジメチル ェチルァ ミ ン、 メ チレ ンジァ ミ ン、 テ ト ラメ チ レ ンジ ァ ミ ン、 ジエチ レ ン ト リ ア ミ ン、 ペンタエチレ ンへキ サミ ン、 N—ヒ ドロキシエチレンジア ミ ン三酢酸、 グ リ シン、 イ ミ ダゾリ ン、 及び 2—べンジルー 2—イ ミ ダゾリ ンを各々単独で用いた。
これらのメ ツキ液を塩酸で p H 8に調整し、 液温 6〇て で銅板上にメ ツキを行なった。 その結果、 密着性及び外観 ともに良好な皮膜が形成された。 また得られたメ ツキ皮膜 はクラックがなく 、 ハンダ付け性が良好であった。 更に、 上記各メ ツキ液について、 加熱時の安定性及び保存安定性 を調べたところ良好な安定性を示した。
実施例 1 5
下記組成のメ ツキ液を調製した。
P d C δ 2 0 0 1モル/ δ
N i C δ a ♦ 6 H2 0 〇 1モル S
N H2 C H2 C H2 N H2 0 08モル / S
硫黄含有有機化合物※ 2 〇 ig/ δ
N a H2 P 0 a ♦ H2 0 0. 06モル/ S 硫黄含有有機化合物と して は、 HSCH2 COOH, SH
, HOOC CH2 CH2 S CH2 CH2 COOH, ( C H3 ) 2 S 2 , を 各 々
Figure imgf000037_0001
単独で用 い た
これらのメ ツキ液を塩酸で p H 8に調整し、 液温 6〇°C で銅板上にメ ツキを行なった。 その結果、 密着性及び外観 ともに良好な皮膜が形成された。 また得られたメ ツキ皮膜 はクラックがなく 、 ハンダ付け性が良好であった。 更に、 上記各メ ツキ液について、 加熱時の安定性及び保存安定性 を調べたところ良好な安定性を示した。
実施例 16
下記組成のメ ツキ液を調製した。
P d C δ a 0. 0 1モル
N i C δ 2 · 6 Η2 0 0. 1モル ZS
N H2 C H2 C H2 N H2 0. 〇 8モル Ζδ
チォジグリ コール酸 20 nig/ δ
還 元 剤※ 0. 06モル S
還元剤と しては、 ジメチルァ ミ ンボラ ン、 イ ソプロ ピルア ミ ンボラ ン、 モルホ リ ンボラ ン及び水素化ホウ 素ナ ト リ ゥムを各々単独で用いた。
これらのメ ツキ液を塩酸で ρ Η 8に調整し、 液温 6〇て で銅板上にメ ツキを行なった。 その結果、 密着性及び外観 ともに良好な皮膜が形成された。 また得られたメ ツキ皮膜 はクラックがなく 、 ハンダ付け性が良好であった。 更に、 上記各メ ツキ液について、 加熱時の安定性及び保存安定性 を調べたところ良好な安定性を示した。

Claims

請求の範囲
① a ) パラ ジウム化合物 0. 000 1〜 0. 5モル
b ) アンモニア及びア ミ ン化合物の少なく とも 1種
〇. 00 1〜8モル (2
c ) 二価の硫黄を含有する有機化合物 1〜 50 OmgZS 、 並びに
d ) 次亜リ ン酸化合物及び水素化ホウ素化合物の少なく とも 1種◦ , 005〜 1モル Ζβ
を含む水溶液からなることを特徵とするパラ ジウム系無 電解メ ツキ液。
② ァ ミ ン化合物がモノア ミ ン類、 ジァ ミ ン類、 ポリア ミ ン類、 ァ ミ ノ酸類及びィ ミ ダゾリ ン類である請求の範囲 第 1項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
③ ァ ミ ン化合物がジァ ミ ン類及びポリ ァ ミ ン類である請 求の範囲第 1項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
④ ア ミ ン化合物がェチレ ンジア ミ ン及びジエチレ ン ト リ ア ミ ンである請求の範囲第 1項に記載のパラジウム系無 電解メ ツキ液。
⑤ 二価の硫黄を含有する有機化合物がメルカブタ ン類、 スルフィ ド類、 ジスルフィ ド類、 チアゾール類、 ! : i 及び !1 ; の少なく とも 1種である請求の範囲第 S
1項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
⑥ ' 二価の硫黄を含有する有機化合物がスルフィ ド類及び ジスルフィ ド類の少なく とも 1種である請求の範囲第 1 項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
⑦ p Hが約 5〜約 1 0である請求の範囲第 1項に記載の パラジゥム系無電解メ ツキ液。
⑧ a ) ノ、。ラジウム化合物 0. 000 1〜 0. 5モル ZS b ) ニッケル化合物 0. 00 1〜 1モル
c ) ア ンモニア及びア ミ ン化合物の少なく とも 1種
0. 00 1〜8モル/ S
d ) 二価の硫黄を含有する有機化合物 1〜 50◦ nigZ 2 並びに
e ) 次亜リ ン酸化合物及び水素化ホウ素化合物の少なく とも 1種 0. 005〜 : [ モル/ S
を含む水溶液からなることを特徴とするパラジゥム系無 電解メ ツキ液。
⑨ ア ミ ン化合物がモノア ミ ン類、 ジァ ミ ン類、 ポリア ミ ン類、 ァ ミ ノ酸類及びィ ミ ダゾリ ン類である請求の範囲 第 8項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
⑩ ァ ミ ン化合物がジァ ミ ン類及びポリァ ミ ン類である請 求の範囲第 8項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。 ⑪ ァ ミ ン化合物がエチレ ンジァ ミ ン及びジエチレ ン ト リ ァ ミ ンである請求の範囲第 8項に記載のパラジウム系無 電解メ ツキ液。
⑫ 二価の硫黄を含有する有機化合物がメ ルカブタ ン類、 スルフ 及び
Figure imgf000041_0001
8項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
⑬ 二価の硫黄を含有する有機化合物がスルフィ ド類及び ジスルフィ ド類の少なく とも 1種である請求の範囲第 8 項に記載のパラジゥム系無電解メ ツキ液。
⑭ p Hが約 5〜約 1 1である請求の範囲第 8項に記載の パラジウム系無電解メ ツキ液。
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