WO1998043116B1 - Ionisationskammer für radiometrische messeinrichtungen - Google Patents

Ionisationskammer für radiometrische messeinrichtungen

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Abstract

Eine Ionisationskammer für radiometrische Meßeinrichtungen, insbesondere für traversierende Flächenmassemeßsysteme soll geschaffen werden, die eine hinreichende Empfindlichkeit besitzt und dabei die bei Ionisationskammern üblichen guten Werte hinsichtlich Vakuumdichtigkeit, Grundstrom und Temperaturabhängigkeit liefert. Innerhalb des Gehäuses (3) eine Mehrzahl benachbarter und gegenseitig abgegrenzter Abschnitte (2) mit den jeweiligen Sammelelektroden (6) unterteilt. Die Sammelelektroden (6) sind mit elektrischen Anschlüssen (14) verbunden, die durch den Isolator (13; 17) einer gasdichten Mehrfach-Durchführung hindurch nach außen geführt sind und daß der Isolator (13; 17) mit einem die elektrischen Anschlüsse (14) gemeinsam umgebenden elektrisch leitfähigen Bereich versehen, der sowohl gegenüber dem Gehäuse (3), als auch den Anschlüssen (14) elektrisch isoliert angeordnet ist, jedoch im stromlosen Zustand auf Elektrodenpotential liegt.

Claims

15GEÄNDERTE ANSPRÜCHE[beim Internationalen Büro am 9. Dezember 1998 (09.12.98) eingegangen; ursprüngliche Ansprüche 1-24 durch neue Ansprüche 1-22 ersetzt (4 Seiten)]
1. Ionisationskammer für radiometrische Meßeinrichtungen, insbesondere für traversierende Flächenmassemeßsysteme, bestehen..: aus einem Gehäuse (3), in dem sich ein ionisier- barer. Füllgas befindet, mit wenigstens einem Strahlungs- eintrittsfenster (5) und einer Anzahl von gegenüber dem Gehäuse (3) eine elektrische Potentialdifferenz aufweisenden Sammelelektroden (6) mit isoliert nach außen geführten Anschlüssen (14), wobei der Innenraum des Gehäuses (3) in eine Mehrzahl benachbarter und gegenseitig abgegrenzter Meßabschnitte (2), die jeweils eine Sammelelektrode (6) enthalten, unterteilt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Sammelelektroden (6) mit elektrischen Anschlüssen (14) verbunden sind, die durch den Isolator (13; 17) einer gasdichten Mehrfach-Durchführung hindurch nach außen geführt sind und daß der Isolator (13; 17) mit einem die elektrischen Anschlüsse (14) gemeinsam umgebenden elektrisch leitfähigen Bereich versehen ist, der zur Ausbildung eines Schutzrings sowohl gegenüber dem Gehäuse (3), als auch den Anschlüssen (14) elektrisch isoliert angeordnet ist, jedoch im stromlosen Zustand auf dem Potential der Sammelelektroden (6) liegt. 16
2. Ionisationskammer nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Schutzring mit einem der Anschlüsse (14) elektrisch verbunden ist.
3. Ionisationskammer nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Schutzring als Metallring (12) ausgebildet ist, der den Isolator (13) umgibt und die Anschlüsse (14) einschließt.
4. Ionisationskammer nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Isolator (13) mit dem Metallring (12) auf einem Isolierrohr (11) angeordnet ist, das mit dem Gehäuse (3) gasdicht verbunden ist.
5. Ionisationskammer nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c n e t, daß der Schutzring als Flächenelektrode (18) ausgebildet ist, die auf wenigstens einer Seite des Isolators (17) die Anschlüsse (14) umgibt.
6. Ionisationskammer nach Anspruch 5, d a d u r c h g e k e n z e i c h n e t, daß sowohl auf der Gehäuseinnenseite, als auch auf der Gehäuseaußenseite eine Flächenelektrode (18) angeordnet ist, die elektrisch .miteinander verbunden sind.
7. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a - d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Meßabschnitte (2) durch Trennwände (4) voneinander abgegrenzt sind, die bis unmittelbar an das zugehörige Strahlungs- eintrittsfenster (5) reichen.
8. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 7, d a - d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß innerhalb des Gehäuses (3) gegenüber dem Strahlungseintrittsfenster (5) ein sich über alle Abschnitte erstreckender Träger (9) angeordnet ist, der gegenüber dem Gehäuse (3) elektrisch isoliert ageordnet ist. 17
9. Ionisationskammer nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Träger (9) das gleiche Potential aufweist, wie der Schutzring.
10. Ionisationskammer nach Anspruch 8 oder 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Elektroden (6) an Haltekörpern (7) angeordnet sind, die über Isolierkörper (21) auf dem Träger (9) befestigt sind.
11. Ionisationskammer nach Anspruch 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Elektroden (6) wenigstens einen gespannten Draht (8) aufweisen, der am Haltekörper (7) befestigt ist.
12. Ionisationskammer nach Anspruch 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß mehrere Drähte (8) parallel zueinander und senkrecht zur Strahlungseintrittsrichtung angeordnet sind.
13. Ionisationskammer nach Anspruch 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Elektroden (6) aus einer gespannten Folie oder Foliestreifen bestehen.
14. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 13, d a - d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Ionisationskammer ( 1 ) einen rechteckigen oder quadratischen Querschnitt aufweist und daß die Meßabschnitte (2) nebeneinander oder mehrreihig versetzt zueinander angeordnet sind.
15. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 13, d a - d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Ionisationskammer (1) einen runden Querschnitt aufweist.
16. Ionisationskammer nach Anspruch 15, d a d u r c h g e k e n n e i c h n e t, daß die Meßabschnitte (2) in der Ionisationskammer (1) radial nebeneinander angeordnet sind. 18
17. Ionisationskammer nach Anspruch 15, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Meßabschnitte (2) in der Ionisationskammer ( 1 ) konzentrisch zueinander angeordnet sind .
18. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 17, d a - d u r c h g e k e n n e i c h n e t, daß oberhalb des Strahlungscintrittsfensters (5) Filter (20) für Röntgenstrahlung angeordnet sind.
19. Ionisationskammer nach Anspruch 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß jedem Meßabschnitt (2) der Ionisationskammer (1) ein Filter (20) zugeordnet ist.
20. Ionisationskammer nach Anspruch 19, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Filter (20) unterschiedliche, aufeinander abgestimmte Filtereigenschaften aufweisen .
21. lonisationskaiiuiier nach einem der Ansprüche 1 bis 20, d a - d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß sich über die Außenseite des Strahlungseintrittsfensters (5) mindestens ein auf dieser befestigter Draht (16) oder . eine Rippe erstreckt.
22. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 21, d a - d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Strahlungseintrittsfenster (5) bei mehrreihig versetzt zueinander angeordneten Meßabschnitten (2) teilweise derart abgedeckt sind, daß die Messung eines Querprofilausschnittes nahtlos und unzweideutig erfolgt.
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