WO2001027997A3 - Leistungshalbleitermodul - Google Patents

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Abstract

Um bei einem Leistungshalbleitermodul, welches einen Stapel aus in mehreren Lagen übereinander angeordneten Trägersubstraten umfaßt, die auf zumindest einer Hauptoberfläche mit wenigstens einer Leiterbahn versehen sind, wobei zwischen zwei benachbarten Trägersubstraten des Stapels wenigstens ein elektronisches Halbleiterbauelement angeordnet ist, das mit wenigstens einer Leiterbahn eines im Stapel über dem Halbleiterbauelement angeordneten Trägersubstrats und mit wenigstens einer weiteren Leiterbahn eines im Stapel unter dem Halbleiterbauelement angeordneten Trägersubstrats elektrisch und wärmeleitend kontaktiert ist, eine verbesserte Wärmeabgabe bei gleichzeitig möglichst kompaktem Aufbau zu realisieren, wird vorgeschlagen, die beiden äußeren Trägersubstrate des Stapels als eine obere und eine untere Gehäusewand eines geschlossenen das wenigstens eine Halbleiterbauelement umgebenden Gehäuseteils auszubilden und die Zwischenräume zwischen den gestapelten Trägersubstraten durch eine an den Trägersubstraten befestigte umlaufende Wandung dicht zu verschließen.
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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3780230B2 (ja) * 2002-07-03 2006-05-31 株式会社日立製作所 半導体モジュール及び電力変換装置
JP3673776B2 (ja) 2002-07-03 2005-07-20 株式会社日立製作所 半導体モジュール及び電力変換装置
JP3847676B2 (ja) * 2002-07-15 2006-11-22 三菱電機株式会社 パワー半導体装置
DE10258565B3 (de) * 2002-12-14 2004-08-12 Semikron Elektronik Gmbh Schaltungsanordnung für Halbleiterbauelemente und Verfahren zur Herstellung
DE10303103B4 (de) * 2003-01-28 2009-07-09 Ixys Semiconductor Gmbh Halbleiterbauteil, insbesondere Leistungshalbleiterbauteil
DE10303463B4 (de) * 2003-01-29 2006-06-14 Infineon Technologies Ag Halbleiterbauelement mit wenigstens zwei in einem Gehäuse integrierten und durch einen gemeinsamen Kontaktbügel kontaktierten Chips
DE10352079A1 (de) * 2003-11-08 2005-06-02 Robert Bosch Gmbh Elektromotor, sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen
US7068515B2 (en) * 2004-11-24 2006-06-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multi-chip module with stacked redundant power
US7623349B2 (en) * 2005-03-07 2009-11-24 Ati Technologies Ulc Thermal management apparatus and method for a circuit substrate
DE102005039478B4 (de) 2005-08-18 2007-05-24 Infineon Technologies Ag Leistungshalbleiterbauteil mit Halbleiterchipstapel und Verfahren zur Herstellung desselben
JP4979909B2 (ja) 2005-08-19 2012-07-18 株式会社日立製作所 電力変換装置
US7554188B2 (en) * 2006-04-13 2009-06-30 International Rectifier Corporation Low inductance bond-wireless co-package for high power density devices, especially for IGBTs and diodes
DE102006018161A1 (de) * 2006-04-19 2007-10-25 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Elektronisches Bauelementmodul
JP4564937B2 (ja) * 2006-04-27 2010-10-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 電気回路装置及び電気回路モジュール並びに電力変換装置
US8089150B2 (en) * 2006-11-14 2012-01-03 Rinehart Lawrence E Structurally robust power switching assembly
JP4694514B2 (ja) * 2007-02-08 2011-06-08 トヨタ自動車株式会社 半導体素子の冷却構造
DE102007025957A1 (de) * 2007-06-04 2008-12-11 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Festlegen eines eine elektrische Schaltung oder dergleichen aufweisenden Flächensubstrats in einer Einbauposition
US7808788B2 (en) * 2007-06-29 2010-10-05 Delphi Technologies, Inc. Multi-layer electrically isolated thermal conduction structure for a circuit board assembly
US7911792B2 (en) * 2008-03-11 2011-03-22 Ford Global Technologies Llc Direct dipping cooled power module and packaging
WO2009150875A1 (ja) * 2008-06-12 2009-12-17 株式会社安川電機 パワーモジュールおよびその制御方法
DE102009045063C5 (de) * 2009-09-28 2017-06-01 Infineon Technologies Ag Leistungshalbleitermodul mit angespritztem Kühlkörper, Leistungshalbleitermodulsystem und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls
DE102010020900C5 (de) * 2010-05-18 2013-06-06 Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von Leistungshalbleitersubstraten
US8699225B2 (en) * 2012-03-28 2014-04-15 Delphi Technologies, Inc. Liquid cooled electronics assembly suitable to use electrically conductive coolant
CN104704629A (zh) * 2012-10-16 2015-06-10 富士电机株式会社 冷却构造体和发热体
KR101482317B1 (ko) * 2012-10-30 2015-01-13 삼성전기주식회사 단위 전력 모듈 및 이를 포함하는 전력 모듈 패키지
ITPI20130044A1 (it) * 2013-05-24 2014-11-25 Marco Ariani Struttura perfezionata di supporto per articoli di vario genere
JP6500563B2 (ja) * 2015-03-31 2019-04-17 アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 スイッチング素子ユニット
ES2773479T3 (es) * 2016-05-24 2020-07-13 Mitsubishi Electric Corp Sistema que comprende al menos un módulo de potencia que comprende al menos un chip de potencia que se refrigera con una barra colectora refrigerada por líquido
CN109511278B (zh) * 2017-07-14 2022-06-17 新电元工业株式会社 电子模块
EP3557614A1 (de) * 2018-04-17 2019-10-23 Siemens Aktiengesellschaft Leistungsmodul mit einem leistungselektronischen bauelement auf einer substratplatte und leistungselektronische schaltung mit einem solchen leistungsmodul
JP7172847B2 (ja) * 2019-05-15 2022-11-16 株式会社デンソー 半導体装置
TWI701991B (zh) * 2019-07-08 2020-08-11 欣興電子股份有限公司 電路板結構
IT201900013743A1 (it) 2019-08-01 2021-02-01 St Microelectronics Srl Dispositivo elettronico di potenza incapsulato, in particolare circuito a ponte comprendente transistori di potenza, e relativo procedimento di assemblaggio

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR927494A (fr) * 1945-06-02 1947-10-30 Int Standard Electric Corp Perfectionnements aux redresseurs multiples
US3266125A (en) * 1962-11-13 1966-08-16 Douglas Aircraft Co Inc Method for making electrical circuit modules
US3388302A (en) * 1966-12-30 1968-06-11 Coors Porcelain Co Ceramic housing for semiconductor components
DE1439060A1 (de) * 1960-12-29 1968-11-07 Siemens Ag Halbleiter-Gleichrichteranordnung
US4218694A (en) * 1978-10-23 1980-08-19 Ford Motor Company Rectifying apparatus including six semiconductor diodes sandwiched between ceramic wafers
FR2525392A1 (fr) * 1982-04-19 1983-10-21 Inst Elektrodinamiki Akademii Transistor de puissance du type comportant un nombre n de structures fonctionnelles branchees en parallele
DE3322593A1 (de) * 1983-06-23 1985-01-10 Klöckner-Moeller Elektrizitäts GmbH, 5300 Bonn Halbleiteranordnung und verfahren zu ihrer herstellung
EP0244767A2 (de) * 1986-05-05 1987-11-11 Silicon Power Corporation Hermetisches Halbleitergehäuse und Verfahren zum Herstellen
DE3924823A1 (de) * 1989-07-27 1991-02-21 Telefunken Electronic Gmbh Halbleiteranordnung
JPH1056131A (ja) * 1996-08-12 1998-02-24 Denso Corp 半導体装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2146174B (en) * 1983-09-06 1987-04-23 Gen Electric Hermetic power chip packages
JPH0235453A (ja) * 1988-07-25 1990-02-06 Sekisui Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物
JPH0514519Y2 (de) * 1988-08-30 1993-04-19
EP0399161B1 (de) * 1989-04-17 1995-01-11 International Business Machines Corporation Mehrschichtleiterplattenstruktur
US4965710A (en) * 1989-11-16 1990-10-23 International Rectifier Corporation Insulated gate bipolar transistor power module
JP2705368B2 (ja) * 1991-05-31 1998-01-28 株式会社デンソー 電子装置
JP2854757B2 (ja) * 1992-06-17 1999-02-03 三菱電機株式会社 半導体パワーモジュール
US5229917A (en) * 1992-07-24 1993-07-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force VLSI integration into a 3-D WSI dual composite module
JP3022178B2 (ja) * 1994-06-21 2000-03-15 日産自動車株式会社 パワーデバイスチップの実装構造
DE59713027D1 (de) 1996-09-30 2010-03-25 Infineon Technologies Ag Mikroelektronisches bauteil in sandwich-bauweise
SE511425C2 (sv) * 1996-12-19 1999-09-27 Ericsson Telefon Ab L M Packningsanordning för integrerade kretsar
US5986887A (en) * 1998-10-28 1999-11-16 Unisys Corporation Stacked circuit board assembly adapted for heat dissipation
JP2000174180A (ja) * 1998-12-02 2000-06-23 Shibafu Engineering Kk 半導体装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR927494A (fr) * 1945-06-02 1947-10-30 Int Standard Electric Corp Perfectionnements aux redresseurs multiples
DE1439060A1 (de) * 1960-12-29 1968-11-07 Siemens Ag Halbleiter-Gleichrichteranordnung
US3266125A (en) * 1962-11-13 1966-08-16 Douglas Aircraft Co Inc Method for making electrical circuit modules
US3388302A (en) * 1966-12-30 1968-06-11 Coors Porcelain Co Ceramic housing for semiconductor components
US4218694A (en) * 1978-10-23 1980-08-19 Ford Motor Company Rectifying apparatus including six semiconductor diodes sandwiched between ceramic wafers
FR2525392A1 (fr) * 1982-04-19 1983-10-21 Inst Elektrodinamiki Akademii Transistor de puissance du type comportant un nombre n de structures fonctionnelles branchees en parallele
DE3322593A1 (de) * 1983-06-23 1985-01-10 Klöckner-Moeller Elektrizitäts GmbH, 5300 Bonn Halbleiteranordnung und verfahren zu ihrer herstellung
EP0244767A2 (de) * 1986-05-05 1987-11-11 Silicon Power Corporation Hermetisches Halbleitergehäuse und Verfahren zum Herstellen
DE3924823A1 (de) * 1989-07-27 1991-02-21 Telefunken Electronic Gmbh Halbleiteranordnung
JPH1056131A (ja) * 1996-08-12 1998-02-24 Denso Corp 半導体装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
FERREIRA J A ET AL: "EXPLOITING THE THIRD DIMENSION IN POWER ELECTRONICS PACKAGING", APEC. ANNUAL APPLIED POWER ELECTRONICS CONFERENCE AND EXPOSITION,US,NEW YORK, IEEE, vol. CONF. 12, 23 February 1997 (1997-02-23), pages 419 - 423, XP000736212, ISBN: 0-7803-3705-0 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1998, no. 06 30 April 1998 (1998-04-30) *

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Publication number Publication date
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