WO2002055450A1 - Piezoelektrisches keramisches material, verfahren zu dessen herstellung und elektrokeramisches mehrlagenbauteil - Google Patents

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Definitions

  • Piezoelectric ceramic material process for its production and electroceramic multilayer component
  • the invention relates to a piezoelectric ceramic material, a method for its production and an electroceramic multilayer component with such a piezoelectric ceramic material according to the preamble of the independent claims.
  • Piezoelectric ceramics which are used in actuators, for example, are often made on the basis of the mixed crystal lead zirconate titanate (PZT) and, when using suitable additives or dopants, have very good combinations of properties such as high temperature resistance, a high piezoelectric charge constant and a high Curie temperature , a low dielectric constant and a low coercive force.
  • PZT mixed crystal lead zirconate titanate
  • PZT ceramics that experience an A or B site substitution by a lower valent cation (acceptor) are referred to as so-called “hard ceramics”. Oxygen vacancies are generated here, so that such ceramics have a low piezoelectric charge constant, have a low dielectric constant, a low dielectric and mechanical loss, a high coercive field strength and a low electrical resistance. Furthermore, these ceramics are generally difficult to polarize. Typical additives which cause the properties mentioned in such “hard ceramics” are for A-place substitution, for example K 1+ or Na 1+ . Ni 2+ , Zn 2+ , Co 2+ , Fe 3+ , Sc 3+ or Mg 2+ are particularly suitable as B place substitution.
  • the piezoelectric charge constant and the Curie temperature should be as high as possible, ie d 33 > 500 10 12 m / V and T c > 300 ° C.
  • the dielectric constant of the material obtained should be as low as possible, ie ⁇ 33 / ⁇ 0 less than 2000.
  • WO 99/12865 proposed doping a PZT ceramic with lead-free complex compounds which, like the PZT mixed crystal, have a perovskite structure and which react to a single-phase mixed crystal with small additions when calcined together.
  • the sintering temperatures required for producing an electro-ceramic multilayer component with such a piezoelectric ceramic material are below 1150 ° C.
  • the object of the present invention was to provide a piezoelectric ceramic material with the highest possible thermal stability, high piezoelectric charge constant and Curie temperature as well as low dielectric constant, low electromechanical losses, a low coercive field strength and a low electrical conductivity. It was also the task of a rial that can be sintered at temperatures below 1000 ° C, so that in the manufacture of electro-ceramic multi-layer components with this material a cheaper inner electrode paste can be used than the previously common.
  • the piezoelectric ceramic material according to the invention has the advantage of high thermal stability, a piezoelectric charge constant d 33 greater than 500 10- ⁇ - 2 m / V, a Curie temperature T c greater than 3Q0 ° C, a dielectric constant ⁇ 33 / ⁇ 0 smaller
  • this piezoelectric ceramic material is, for example, together with t electrode paste layers on the basis of copper or Ag / Pcl. - ,. with t> 0.7, where t stands for the mass fraction, can be sintered at temperatures of less than 1000 ° C. in a kofiring process to form an electromechanical multilayer component, this sintering additionally being able to take place advantageously in air, nitrogen or a nitrogen-containing gas atmosphere.
  • this low sintering temperature makes it possible to use a silver-palladium mixture as the material for the electrode paste layers, the silver content of which is well above 70% by mass and which is cheaper than platinum-based internal electrode materials or internal electrodes with a higher proportion of palladium.
  • noble metal-free electrode paste layers or noble metal-free pastes such as copper pastes also offers considerable cost advantages, with the addition of copper oxide to the piezoelectric ceramic Material as an additive or dopant, at the same time, an undesired diffusion of copper from the inner electrode layers into the adjacent ceramic material can be prevented. In this case, the addition of copper oxide to the PZT ceramic already results in saturation with copper ions. Otherwise, the possibility of using copper as an alternative to silver / palladium reduces the dependence of the price of the electro-ceramic multilayer components obtained on the highly speculative palladium price or platinum price.
  • the inventive method for manufacturing the piezoelectric ceramic material is advantageous, that all may be used as a 'powdered oxides or carbonates in addition to lead, zirconium and titanium additives used or dopants that are available inexpensively and in large quantities.
  • the piezoelectric material obtained can advantageously have both a stoichiometric composition and a composition which contains a lead oxide, in particular PbO, in a stoichiometric excess, which leads to a further reduction in the sintering temperature.
  • it can be easily processed in a known manner to form a pourable slip or an extrusion-capable mass for the production of ceramic green films.
  • the invention is based on a piezoelectric ceramic material based on lead zirconate titanate (PZT) with the general composition A 2+ B + 0 2 " 3 , which is codoped with donors and acceptors.
  • PZT lead zirconate titanate
  • This coding is carried out by addition of powdered oxides and / or powdered carbonates with the corresponding metal ions is achieved and takes place both on the A 2+ sites and on the B 4+ sites of the PZT ceramic, thus remaining in charge of the lead vacancies and the The total defect concentration in the piezoelectric ceramic material obtained is low, which increases the stability of its structure and thus the piezoelectric activity and thermal stability.
  • the general formulation of the piezoelectric ceramic material is:
  • a 1 is selected from the group Ca, Mg, Sr, Ba or their mixtures
  • a 2 is selected from the group of rare earths, in particular La, or their mixtures
  • B 1 from the group Nb, Ta or Sb or their mixtures is selected, B 2 Cu or a mixture of .
  • a lead oxide in particular PbO
  • the general formulation of the piezoelectric ceramic material is:
  • a preferred piezoelectric ceramic material that is particularly suitable for use in piezo actuators is a material of the formulation:
  • a piezoelectric ceramic material for the further processing of such a piezoelectric ceramic material to form an electro-ceramic multilayer component, in particular a piezo actuator, a thermistor or a capacitor, with a plurality of insulating layers of the piezoelectric ceramic material arranged one above the other and inner electrode layers located between them, which are at least largely made of copper or Ag t / Pd ⁇ _ t exist, where t> 0.7, in particular> 0.7, preferably> 0.8, first becomes one of the above
  • the materials described are processed in a known manner to form a pourable slip or an extrusion-capable mass and then either molded by means of film casting or extrusion to form a green film, dried and, in the usual manner, provided with a layer of a conductive internal electrode paste in some areas.
  • This inner electrode paste is preferably a paste based on copper or one of the silver-palladium mixtures described.
  • the ceramic green foils which have a thickness of 30 ⁇ m to 150 ⁇ m, for example, have been printed with the conductive inner electrode paste, they are punched, stacked and laminated, the number of layers of the insulating layers with the piezoelectric ceramic material usually being between 10 and 500 layers , After lamination, a well-known kofiring process follows in air, nitrogen or a nitrogenous gas atmosphere at sintering temperatures below 1000 ° C.
  • the insulating layers are created from the ceramic green foils and the inner electrode layers of the electro-ceramic multi-layer from the electrode paste layers.
  • gene component which is then present as a dense ceramic-electrode assembly and can be used as a piezo actuator, for example, after attaching an outer contact to the inner electrodes.
  • the electrode paste layers are converted into metallic inner electrode layers, which at least then largely consist either of copper or the described silver-palladium alloy.
  • the Zr y Ti ⁇ _ y 0 2 obtained is processed into a powder, this powder, which then serves as a precursor, is then mixed with powdered oxides and / or powdered carbonates other ions lead, iron, A ⁇ , A 2 , B 2 and B 2 are mixed, and this powder mixture is then calcined to the piezoelectric ceramic material in the form of a homogeneous PZT mixed crystal.
  • a “mixed-oxide” process can also be used as the production process, ie firstly all ions to be used in the piezoelectric ceramic material to be produced are used as powdery oxides and / or powdery carbonates, mixed together and then calcined to the piezoelectric ceramic material The amounts of the respective oxides or carbonates to be used result from the composition of the piezoelectric ceramic material to be obtained.

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Abstract

Es wird ein piezoelektrisches keramisches Material der molaren Zusammensetzung Pb(1+c)-x-(3/2a)-1/2(x.b) A<1>x A<2>a (Zry(1-x.b-x.z) Ti(1-y)(1-x.b-x.w)) (B<1>b B<2>z B<3>w)x O3 vorgeschlagen, wobei A<1> aus der Gruppe Ca, Mg, Sr, Ba oder deren Muschungen, A<2> aus der Gruppe der Seltenen Erden oder deren Mischungen, B<1> aus der Gruppe Nb, Ta oder Sb oder deren Mischungen ausgewählt ist, B<2> Cu oder eine Mischung von Cu mit mindestens einem Element ausgewählt aus der Gruppe Zn, Ni, Co oder Fe ist, und B<3> Fe ist, wobei gilt: 0,001 </= a</= 0,05; 0,05 </= b </= 0,90; 0</=c</= 0,04; 0,005 </=x</=0,03; 0,5</=y</=0,55; 0,05</=z</= 0,90 und 0 </= w w 0,5. Weiter wird ein elektrokeramisches Mehrlagen bauteil mit Isolierschichten mit einem derartigen Material vorgeschlagen. Schliesslich werden zwei Herstellungsverfahren für das keramische Material angegeben, wobei die Metallionenals pulverförmige Oxide und/oder Carbonate eingesetzt, mit einander vermischt und zu dem keramischen Material kalziniert werden, oder wobei pulverförmiges Zro2, und TiO2 zu Zry Ti1-y02 mit- 0,50 < y < 0,55 kalziniert, dieses zu einem Pulver aufbereitet und mit pulverförmigen Oxiden und/oder pulverförmigen Carbonaten der weiteren Metallionen vermischt, und diese Mischung dann zu dem keramischen material kalziniert wird.

Description

Piezoelektrisches keramisches Material, Verfahren zu dessen Herstellung und elektrokeramisches Mehrlagenbauteil
Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches keramisches Material, ein Verfahren zu dessen Herstellung sowie ein elektrokeramisches Mehrlagenbauteil mit einem derartigen piezoelektrischen keramischen Material nach der Gattung der unabhängigen Ansprüche.
Stand der Technik
Piezoelektrische Keramiken, die beispielsweise in Aktoren eingesetzt werden, sind häufig auf der Basis des Mischkri- stalles Bleizirkonattitanat (PZT) hergestellt und weisen bei Verwendung geeigneter Additive oder Dotierungen sehr gute Eigenschaftskombinationen wie eine hohe Temperaturbeständigkeit, eine hohe piezoelektrische Ladungskonstante, eine hohe Curie-Temperatur, eine niedrige Dielektrizitätskonstante und eine niedrige Koerzitivfeldstärke auf. Nachteilig ist jedoch, dass sich einige der maximal erreichbaren und gewünschten Eigenschaften dieser PZT-Keramiken bei Verwendung der bekannten Additive ausschließen.
Betrachtet man eine PZT-Struktur als eine A2+B4+02" 3-Struktur, so bezeichnet man Keramiken, die eine A- oder B-Platz- Substitution durch ein höher valentes Kation (Donator) erfahren, als sogenannte „weiche Keramiken". Durch diese Substitution werden Blei-Leerstellen erzeugt, so dass solche Keramiken vor allem eine hohe piezoelektrische Ladungskon- stante, eine hohe Dielektrizitätskonstante, einen hohen dielektrischen und mechanischen Verlust, eine niedrige Koerzi- tivfeidstärke und eine leichte Polarisierb'arkeit aufweisen. Typische Additive, die diese Eigenschaften erzeugen sind beispielsweise zu A-Platz-Substitution La3+ bzw. allgemein Oxide der Seltenen Erden oder auch Bi3+. Zur B-Platz-Substi- tution kommt vor allem Ta5+, Nb5+, W6+ oder Sb5+ in Frage.
Demgegenüber bezeichnet man PZT-Keramiken, die eine A- oder B-Platz-Substitution durch ein nieder valentes Kation (Akzeptor) erfahren, als sogenannte „harte Keramiken". Hierbei werden Sauerstoff-Leerstellen erzeugt, so dass derartige Keramiken eine niedrige piezoelektrische Ladungskonstante, eine niedrige Dielektrizitätskonstante, einen niedrigen dielektrischen und mechanischen Verlust, eine hohe Koerzitiv- feldstärke und einen niedrigen elektrischen Widerstand aufweisen. Weiter sind diese Keramiken in der Regel schwer polarisierbar. Typische Additive, die die genannten Eigenschaften in solchen „harten Keramiken" hervorrufen, ' sind zur A-Platz-Substitution beispielsweise K1+ oder Na1+. Als B- Platz-Substitution kommt vor allem Ni2+, Zn2+, Co2+, Fe3+, Sc3+ oder Mg2+ in Frage .
Zusammenfassend sind als PZT-Keramiken zur Anwendung in einem Piezoaktor vor allem solche Materialien relevant, die eine Kombination aus Eigenschaften der „weichen Keramiken'" und „harten Keramiken" aufweisen. Insbesondere sollte die piezoelektrische Ladungskonstante und die Curie-Temperatur möglichst hoch, d.h. d33 > 500 1012 m/V und Tc > 300°C sein.
Weiter sollte die Dielektrizitätskonstante des erhaltenen Materials möglichst niedrig, d.h. ε33/ε0 kleiner 2000 sein.
Zur Erreichung dieser Anforderungen wurde bereits vorgeschlagen, eine' Kodotierung der PZT-Keramik vorzunehmen, die sowohl zur Bildung von Pb-Leerstellen als auch zur Bildung von Sauerstoff-Leerstellen führt. So wurde in DE 196 15 695 Cl vorgeschlagen, rein Donator-dotierte PZT-Grünfolien oberflächlich mit einer Agx/Pd1->:-Paste (x = 0,7) zu versehen und diese zu stapeln, wobei bei einem nachfolgenden gemeinsamen Sintern der Grünfolie mit der Ag/Pd-Paste (Kofiring) das Silber in die benachbarten Keramikschichten eindiffundiert und als Akzeptor auf einem A-Platz eingebaut wird. Weiter wurde in EP 0 619 279 Bl vorgeschlagen, eine Dotierung mit komplexen Verbindungen der allgemeinen Formulierung A(B1ι_xB2 x) mit A = Pb und B1 =' einwertigen, zweiwertigen oder dreiwertigen Kationen und B2 = dreiwertigen, fünfwertigen oder sechswertigen Kationen vorzunehmen, d.h. beispielsweise Verbindungen der Art A(W1/3Ni2/3) 03 oder A(Mg13Nb2/3) 03, wobei A Blei, Strontium, Calcium oder Barium sein kann.
Schließlich wurde in WO 99/12865 eine Dotierung einer PZT- Keramik mit bleifreien komplexen Verbindungen vorgeschlagen, die wie der PZT-Mischkristall eine Perowskitstruktur aufweisen, und die unter geringen Zugaben bei gemeinsamer Kalzinierung zu einem einphasigen Mischkristall reagieren. Solche Verbindungen weisen die allgemeine Zusammensetzung Α2+ B1o,25 1* B2 0ι s s+ 03 mit A = Barium und/oder Strontium, B1 = Kalium -und/oder Natrium und B2 = Niob, Tantal oder Antimon, auf. Die erforderlichen Sintertemperaturen zur Herstellung eines elektrokeramischen Mehrlagenbauteils mit einem solchen piezoelektrischen keramischen Material liegen gemäß WO 99/12865 bei unter 1150°C.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war die Bereitstellung eines piezoelektrischen keramischen Materials mit möglichst hoher thermischer Stabilität, hoher piezoelektrischer Ladungskonstante und Curie-Temperatur sowie niedriger Dielektrizitätskonstante, niedrigen elektromechanischen Verlusten, einer niedrigen Koerzitivfeldstärke und einer niedrigen elektrischen Leitfähigkeit. Weiter war es Aufgabe, ein Mate- rial bereitzustellen, dass bei Temperaturen von unter 1000°C gesintert werden kann, damit bei der Herstellung elektroke- ramischer Mehrlagenbauteile mit diesem Material eine preiswertere Innenelektroden-Paste zum Einsatz kommen kann als die bisher übliche.
Vorteile der Erfindung
Das erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Material hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil einer hohen thermischen Stabilität, einer piezoelektrischen Ladungskonstante d33 größer 500 10-^-2 m/V, einer Curie-Temperatur Tc größer 3Q0°C, einer Dielektrizitätskonstante ε33/ε0 kleiner
2000 und einer Koerzitivfeldstärke kleiner 1,2 kV/mm bei geringen elektromechanischen Verlusten und einer niedrigen elektrischen Leitfähigkeit auf. Weiter ist dieses piezoelektrische keramische Material beispielsweise zusammen mit Elektrodenpastenschichten auf Basis von Kupfer oder Agt/Pcl,.-,. mit t > 0,7, wobei t für den Massenanteil steht, bei Temperaturen von weniger als 1000°C in einem Kofiring-Prozess zu einem elektromechanischen Mehrlagenbauteil sinterbar, wobei dieses Sintern zusätzlich vorteilhaft unter Luft, Stickstoff oder stickstoffhaltiger' Gasatmosphäre stattfinden kann.
Insbesondere ermöglicht es diese niedrige Sintertemperatur, als Material für die Elektrodenpastenschichten ein Silber- Palladium-Gemisch einzusetzen, dessen Silbergehalt deutlich über 70 Massenprozent liegt und das billiger ist als Innene- lektrodenmaterialien auf Platin-Basis bzw. Innenelektroden mit höherem Palladium-Anteil.
Auch die der Verwendung edelmetallfreier Elektrodenpastenschichten bzw. edelmetallfreier Pasten wie beispielsweise Kupfer-Pasten bietet erhebliche Kostenvorteile, wobei durch Zusatz von Kupferoxid zu dem piezoelektrischen keramischen Material als Additiv- bzw. Dotierstoff gleichzeitig eine unerwünschte Diffusion von Kupfer aus den Innenelektroden- schichten in das benachbarte keramische Material verhindert werden kann. In diesem Fall ist durch den Kupferoxid-Zusatz zu der PZT-Keramik bereits eine Sättigung mit Kupfer-Ionen gegeben. Im Übrigen verringert die Möglichkeit Kupfer alternativ zu Silber/Palladium einzusetzen die Abhängigkeit des Preises der erhaltenen elektrokeramischen Mehrlagenbauteile von dem hochspekulativen Palladium-Preis bzw. Platin-Preis.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen keramischen Materials ist vorteilhaft, dass alle neben Blei, Zirkonium und Titan eingesetzten Additive bzw. Dotierstoffe als 'pulverförmige Oxide oder Carbonate eingesetzt werden können, die kostengünstig und in großen Mengen verfügbar sind.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den ünteransprüchen genannten Maßnahmen.
So ist vorteilhaft, dem piezoelektrischen keramischen Material als ein Dotierungselement Kupfer in Form eines Cu1+- und/oder Cu2+-Ions zuzusetzen, das dies ein Sintern von keramischen Grünfolien, denen dieses Material als keramischer Bestandteil zugesetzt ist, zusammen mit einer kupferhaltigen Elektrodenpastenschicht unter Luft, Stickstoff oder stickstoffhaltiger Atmosphäre ermöglicht.
Im Übrigen kann das erhaltene piezoelektrische Material vorteilhaft sowohl eine stöchiometrische Zusammensetzung aufweisen als auch eine Zusammensetzung, die ein Bleioxid, insbesondere PbO, im stöchiometrischen Überschuss enthält, was zu einer weiteren Erniedrigung der Sintertemperatur führt . Darüber hinaus ist es einfach in bekannter Weise zu einem gießfähigen Schlicker oder einer extrusionsfähigen Masse zur Herstellung keramischer Grünfolien verarbeitbar.
Ausführungsbeispiele
Die Erfindung geht aus von einem piezoelektrischen Keramikmaterial auf der Basis von Bleizirkonattitanat (PZT) mit der allgemeinen Zusammensetzung A2+B+02" 3, das mit einer Kodotie- rung mit Donatoren und Akzeptoren versehen ist. Diese Kodo- tierung wird durch Zusatz von pulverförmigen Oxiden und/oder pulverförmigen Carbonaten mit entsprechenden Metall-Ionen erreicht und erfolgt sowohl, auf den A2+-Plätzen als auch auf den B4+-Plätzen der PZT-Keramik. Auf diese Weise bleibt durch eine Ladungskompensation der Bleileerstellen und der Sauerstoffleerstellen die gesamte Defektkonzentration in dem erhaltenen piezoelektrischen keramischen Material gering, was die Stabilität von dessen Struktur und damit die piezoelektrische Aktivität und thermische Stabilität erhöht. Im stöchiometrischen Fall lautet die allgemeine Formulierung des piezoelektrischen keramischen Materials:
Pbχ-.x-. (3/2a)-l/2 (x-b) A x A a ( Zry (1-χ.b-x- z) Tl (i-y) (l-x-b-x-w) ) (B b B~z B w) χ 03
wobei A1 aus der Gruppe Ca, Mg, Sr, Ba oder deren Mischungen ausgewählt ist, A2 aus der Gruppe der Seltenen Erden, insbesondere La, oder deren Mischungen ausgewählt ist, B1 aus der Gruppe Nb, Ta oder Sb oder deren Mischungen ausgewählt ist, B2 Cu oder eine Mischung von. Cu mit mindestens einem Element ausgewählt aus der Gruppe Zn, Ni, Co oder Fe ist, und B3 Fe ist, mit der Maßgabe, dass für a, b, c, x, y, z und w gilt:
0,001 < a < 0,05
0,05 < b < 0,90
0,005 < x < 0, 03 0 , 5 < y < 0 , 55
0 , 05 < z < 0 , 90
0 < w < 0 , 5 .
Die Zahlenangaben für a, b, x, y, z und w sind dabei jeweils in Mol zu verstehen.
Alternativ zu der vorstehenden Zusammensetzung kann beispielsweise auch ein Bleioxid, insbesondere PbO, im stöchio- metrischen Überschuss zugesetzt sein, so dass das erhaltene piezoelektrische keramische Material insgesamt eine nicht stöchiometrische Zusammensetzung aufweist. In diesem Fall lautet die allgemeine Formulierung des piezoelektrischen keramischen Materials:
Pk(l-.c)-x-(3/2a)--/2{x-b)
Figure imgf000008_0001
Tl (i_y) (l-x-b-x-w) ) (B b B~2 B w)v 03
mit A1, A2, B1, B2 und B3 wie vorstehend und der Maßgabe, dass für a, b, c, x, y, z und w gilt:
0,001 < a ≤ 0,05 0,05 < b < 0,90
0 < c < 0,04
0,005 < x < 0,03
0,5 < y < 0,55
0,05 < z < 0,90
0 < w < 0,5.
Im stöchiometrischen Fall gilt somit für das erhaltene piezoelektrische keramische Material die Bedingung c = 0, während im nicht stöchiometrischen Fall für c die Bedingung 0,05 < c < 0,04 gilt. Ein bevorzugtes piezoelektrisches keramisches Material, das sich besonders für eine Anwendung in Piezoaktoren eignet, ist ein Material der Formulierung:
Pb(i-.X)-.(32a)-ι 2(jfb) Cax Laa (Zxy(i-)[. .x.2) T--(i-y) u-x-b-x-w) ) (Nbj~ Cuz Few)χ03
mit: 0,0025 < a < 0, 01
0,5 < b < 0,9
0,01 < x < 0,025
0,05 ≤ w ≤ 0,3
0,51 < y(l-(x-b)-(x-z) ) < 0,55
0,45 < (1-y) (l-(x-b)-(x-w) ) < 0,49
0,05 < w < 0,3.
An dieser Stelle sei betont, dass der Anteil des Sauerstoffs in allen vorstehenden Formulierungen des piezoelektrischen keramischen Materials durch eingebrachte oder beim Sintern erzeugte Sauerstoffleerstellen in der Regel nicht exakt durch O sondern präziser durch O3-.5 zu beschreiben ist, wobei δ kleiner als 0,01, insbesondere kleiner als 0,004 ist. Da die Bildung von Sauerstoffleersteilen bei derartigen Materialien stets auftritt, und innerhalb der genannten Grenzen nicht präzise messbar ist, wird im Rahmen dieser Patentanmeldung unter der Formulierung
Pfr(l+C)-x-(3/2a)-l/2(x-b) ^ x A a ( ~ ry (1-x-b-x-z) Tl (i_y) (1-χ-b-x-w) ) (B b B z B w)x 03
in Übereinstimmung mit dem allgemeinen Fachverständnis auch ein Material verstanden, das Sauerstoffleerstellen innerhalb der genannten Grenzen aufweist.
Konkrete Beispiele für die von den vorgenannten Formulierungen erfassten Materialien sind: Pkθ,965 Cao,02 l>a0,005 ZrO,S194 Tio,4606 Nb0 oi5 Feo,003 CUo,00203-δ mit x = 0,02, a = 0,005, y = 0,53, b = 0,75, z = 0,1, c = 0 und w = 0,15 sowie δ kleiner 0,004.
Pkθ,9685 <-'a0,02 ^30,002 Zr0,519. Tl0,4606 Nb0,017 Feo,002 CUo,00103-δ mit x = 0,02, a = 0,002, y = 0,53, b = 0,85, z = 0,05; c - 0 und w = 0,1 sowie δ kleiner 0,004.
Pt>0(9687 Ca0,02 ao,o025 Zro,5194 Tlo,4606 Nb0,015 Zno,002 Cθ0,002 Cuo,ooι O3-S mit x = 0,02, a = 0,0025, y = 0,53, b = 0,75, z = 0,25, c = 0 und w = 0 sowie δ kleiner 0,004.
Pfrθ,9678 Ca0,018 La0,005 Zr0,5203 Tl0,4614 Nb0f0135 Zno,003 CUo, 001803-δ mit x = 0,02, a = 0,0025, y = 0,53, b = 0,75, z = 0,25, c = 0 und w = 0 sowie δ kleiner 0,004.
Pbo,998 Ca0,oi8 Lao,oo5 Zrα.5203
Figure imgf000010_0001
Nb0;oi35 Zno.oos Cu0,ooi803-s mit x = 0,02, a = 0,0025, y = 0,53, b = 0,75, z = 0,25; c = 0,03 und w = 0 sowie δ kleiner 0,004.
Pbo,9878 CaQ 02 Lao,0025 Zro,2 Tlo,46 Nbo,015 Zno,002 COQ,002 UO,00103-δ mit x = 0,02, a = 0,0025, y = 0,53, b = 0,75, z = 0,25, c = 0,02 und w = 0 sowie δ kleiner 0,004.
Zur Weiterverarbeitung eines solchen piezoelektrischen keramischen Materials zu einem elektrokeramischen Mehrlagenbauteil, insbesondere einem Piezoaktor, einem Thermistor oder einem Kondensator, mit einer Mehrzahl von übereinander angeordneten Isolierschichten aus dem piezoelektrischen keramischen Material und bereichsweise dazwischen befindlichen In- nenelektrodenschichten, die zumindest weitgehend aus Kupfer oder Agt/Pdι_t bestehen, wobei t > 0,7, insbesondere > 0,7, vorzugsweise > 0,8 ist, wird zunächst eines der vorstehend beschriebenen Materialien in bekannter Weise zu einem gießfähigen Schlicker bzw. zu einer extrusionsfähigen Masse verarbeitet und danach entweder mittels Foliengießen oder Ex- trusion zu einer Grünfolie geformt, getrocknet und in üblicher Weise oberflächlich bereichsweise mit einer Schicht einer leitfähigen Innenelektrodenpaste versehen. Diese Innene- lektrodenpaste ist bevorzugt eine Paste auf Basis von Kupfer oder einer der beschriebenen Silber-Palladium-Mischungen.
Nachdem die keramischen Grünfolien, die beispielsweise eine Dicke von 30 μm bis 150 μ aufweisen, mit der leitfähigen Innenelektrodenpaste bedruckt worden sind, werden sie gestanzt, gestapelt und laminiert, wobei die Schichtzahl der Isolierschichten mit dem piezoelektrischen keramischen Material üblicherweise zwischen 10 und 500 Schichten liegt. Nach dem Laminieren folgt dann ein bekannter Kofiring-Prozess unter Luft, Stickstoff oder stickstoffhaltiger Gasatmosphäre bei Sintertemperaturen unter 1000°C.
Bei diesem Sintern entstehen aus den keramischen Grünfolien die Isolierschichten und aus den Elektrodenpastenschichten die Innenelektrodenschichten des elektrokeramischen Mehrla- . genbauteils, das danach als dichter Keramik-Elektroden- Verbund vorliegt und beispielsweise nach Anbringen einer Au- ßenkontaktierung der Innenelektroden als Piezoaktor verwendbar ist. Beim Sintern werden im Übrigen die Elektrodenpastenschichten in metallische Innenelektrodenschichten überführt, die zumindest dann weitgehend entweder aus Kupfer oder der beschriebenen Silber-Palladium-Legierung bestehen.
Als Verfahren zur Herstellung der vorstehend beschriebenen piezoelektrischen keramischen Materialien eignet sich einerseits die sogenannte „Columbitmethode", wie sie von T.R. Shrout et al . , J. Am. Ceram. Soc, 73, (7), Seiten 1862 - 1867, (1990), beschrieben ist. Im Einzelnen werden dabei zu- nächst pulverförmiges Zirkoniumdioxid und pulverförmiges Titandioxid zu ZryTiι-.y02 mit 0,5 < y < 0,55 (Angabe in Mol) kalziniert, das erhaltene ZryTiι_y02 zu einem Pulver aufbereitet, dieses im Weiteren als Precursor dienende Pulver dann mit pulverförmigen Oxiden und/oder pulverförmigen Carbonaten der weiteren Ionen Blei, Eisen, Aα, A2, B2 und B2 vermischt, und diese Pulvermischung dann zu dem piezoelektrischen keramischen Material in Form eines homogenen PZT- Mischkristalles kalziniert. Alternativ kann als Herstellungsverfahren auch ein „mixed-oxide"-Verfahren eingesetzt werden, d.h. es werden zunächst alle in das herzustellende piezoelektrische keramische Material einzusetzenden Ionen als pulverförmige Oxide und/oder pulverför ige Carbonate eingesetzt, miteinander vermischt und dann zu dem piezoelektrischen keramischen Material kalziniert. Die einzusetzenden Mengen der jeweiligen Oxide bzw. Carbonate ergeben sich dabei aus der zu erhaltenden Zusammensetzung des piezoelektrischen keramischen Materials.

Claims

Ansprüche
1. Piezoelektrisches keramisches Material mit der, abgesehen von Sauerstoffleerstellen, molaren Zusammensetzung:
Pk(l+c)-x-(3/2a)-l/2{x-b) ^ x ^ a (2ly(l-rb-X'_] ^(l-yKH'b-w)) (B b ~>" z B w) x O3
wobei A1 aus der Gruppe Ca, Mg, Sr, Ba oder deren Mischungen ausgewählt ist, A2 aus der Gruppe der Seltenen Erden, insbesondere La, oder deren Mischungen ausgewählt ist, B1 aus der Gruppe Nb, Ta oder Sb oder deren Mischungen ausgewählt ist, B2 Cu oder eine Mischung von Cu mit mindestens einem Element ausgewählt aus der Gruppe Zn, Ni, Co oder Fe ist, und B3 Fe ist, mit der Maßgabe, dass für a, b, c, x, y, z und w gilt:
0,001 ≤ a < 0,05 0,05 < b < 0,90
0 < c < 0,04
0, 005 ≤ x < 0,03
0,5 < y < 0,55
0,05 < z < 0,90
0 < w < 0,5.
2. Piezoelektrisches keramisches Material nach Anspruch 1, dadurch gekennkennzeichnet, dass 0,005 < c < 0,04.
3. Piezoelektrisches Material nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass c = 0.
4. Piezoelektrisches Material nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass A1 ein zweiwertiges Ion, A2 ein dreiwertiges Ion, B1 ein fünfwertiges Ion, B2 ein einwertiges Ion, ein zweiwertiges Ion oder eine Mischung aus mindestens einem einwertigen Ion und mindestens einem zweiwertigen Ion, und B3 ein dreiwertiges Fe-Ion ist.
5. Piezoelektrisches keramisches Material nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei c = 0, A1 Ca, A2 La, B1 Nb und B2 Cu ist.
6. Piezoelektrisches Material nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass für a, b, x, y, z und w gilt:
0,0025 ≤ a < 0,01
0,5 < b < 0,9
0,01 < x < 0,025
0,05 ≤ w < 0,3
0,51 ≤ y(l-(x-b)-(x-z) ) < 0,55
0,45 < (1-y) (l-(x-b)-(x-w) ) < 0,49
0, 05 < w < 0,3.
7. Elektrokeramisches Mehrlagenbauteil, insbesondere Piezoaktor, Thermistor oder Kondensator, mit einer Mehrzahl von übereinander angeordneten Isolierschichten mit einem piezoelektrischen keramischen Material nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 6, die zumindest bereichsweise durch oberflächlich aufgebrachte Innenelektrodenschichten voneinander getrennt sind.
8. Elektrokeramisches Mehrlagenbauteil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektrodenschichten zumindest weitgehend aus Kupfer oder Agt/Pdι-t bestehen, wo- bei t > 0,7, insbesondere t > 0,7 ist und für den Massenanteil steht.
9. Elektrokeramisches Mehrlagenbauteil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass es durch Sintern eines Stapels mit keramischen Grünfolien mit einem piezoelektrischen keramischen Material nach einem der Ansprüche 1 bis 6, die zumindest bereichsweise oberflächlich durch Elektrodenpastenschichten mit Kupfer oder Agt/Pdι-.t mit t > 0,7 voneinander getrennt sind, bei Temperaturen unter 1000 °C in einem Kofi- ring-Prozess hergestellt worden ist, wobei aus den keramischen Grünfolien die Isolierschichten und aus den Elektrodenpastenschichten die Innenelektrodenschichten entstanden sind.
10. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen keramischen Materials nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Ionen Pb, Zr, Ti, Fe, A1, A2, B1 und B2 zunächst als pul- verförmige Oxide und/oder Carbonate eingesetzt, miteinander vermischt und dann zu dem keramischen Material kalziniert werden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei ein Bleioxid, insbesondere PbO, im stöchiometrischen Überschuss eingesetzt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10, wobei die eingesetzten pulverförmigen Oxide und/oder Carbonate derart eingesetzt werden, dass das piezoelektrische keramische Material eine stöchiometrische Zusammensetzung aufweist.
13. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen keramischen Materials nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei zunächst pulverförmiges Zr02 und pulverförmiges Ti02 zu Zry_ Tiι-.y02 mit 0,50 < y < 0,55 kalziniert, das ZryTiι-.y02 zu einem Pulver aufbereitet, dieses Pulver mit pulverförmigen Oxiden und/oder pulverförmigen Carbonaten der Ionen Pb, Fe, A1, A2, B1, B2 vermischt, und diese Pulvermischung dann zu dem keramischen Material kalziniert wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei ein Bleioxid, insbesondere PbO, im stöchiometrischen Überschuss eingesetzt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 13, wobei die eingesetzten pulverförmigen Oxide und/oder Carbonate derart eingesetzt werden, dass das piezoelektrische keramische Material eine stöchiometrische Zusammensetzung aufweist.
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