WO2002066930A1 - Angular velocity sensor and method of adjusting characteristics of the sensor - Google Patents

Description

明細書 角速度センサおよびその特性調整方法 技術分野

本発明は航空機や車両等の移動体の姿勢制御やナビゲ一シヨンシステムに用い られる角速度センサおよびその特性調整方法に関する。 背景技術

従来の角速度センサは特開平 1 1一 3 5 1 8 7 4号公報に開示されている。 図 1 3は従来の角速度センサの斜視図である。 例えば水晶からなる第 1の振動 体 1の外側面には第 1の検出電極 2が設けられ、 表面には第 1の駆動電極 3が設 けられる。 第 2の振動体 4の外側面には第 2の検出電極 （図示せず） が設けられ、 表面には第 1の振動体 1上の第 1の駆動電極 3と連続して第 2の駆動電極 5が設 けられる。 接続部 6は第 1の振動体 1および第 2の振動体 4の一端を一体に接続 している。 駆動用ワイヤー 7はその一端が第 1の駆動電極 3および第 2の駆動電 極 5と電気的に接続され、 他端が駆動用ターミナル 8と電気的に接続される。 検 出用ワイヤー 9はその一端を第 1の検出電極 2および第 2の検出電極 （図示せ ず） と電気的に接続され、 他端は検出用夕一ミナル 1 0と電気的に接続される。 従来の角速度センサの動作を説明する。

駆動用ターミナル 8から駆動用ワイヤ一 7を介して第 1の駆動電極 3および第 2の駆動電極 5に交流電圧を印加すると、 第 1の駆動電極 3および第 2の駆動電 極 5により第 1の振動体 1および第 2の振動体 4が Y軸の方向に振動する。 この 振動状態において Z軸を中心として角速度センサに角速度が付与されると、 第 1 の振動体 1および第 2の振動体 4にコリオリカが生じ、 第 1の振動体 1および第 2の振動体 4が X軸方向に変形する。 この変形により生じた電荷が第 1の検出電 極 2および第 2の検出電極 （図示せず） から出力され、 検出用ワイヤー 9および 検出用ターミナル 1 0を介してコンピュータ （図示せず） 等に入力され、 角速度 が検出される。

第 1の振動体 1と第 2の振動体 4の重量が釣り合つていない場合、 角速度が角 速度センサに加わらなくても、 その不釣り合いにより第 1の振動体 1および第 2 の振動体 4が X軸方向に変位し、 その結果、 第 1の検出電極 2および第 2の検出 電極 （図示せず） に電荷が生じる。

従来の角速度センサにおいては図 1 4に示すように、 第 2の振動体 4および接 続部 6における稜線をリユー夕 1 1により削って第 2の振動体 4および接続部 6 における稜線に設けられた研削部 1 2の量により、 第 1の振動体 1および第 2の 振動体 4の重量バランスを釣り合わせる。

従来の角速度センサにおいては、 第 2の振動体 4および接続部 6における稜線 をリュータ 1 1の回転により研削して研削部 1 2が設けられるため、 リュー夕 1 1の微小な偏芯により研削部 1 2の表面粗さが実測値で約 5 と粗く、 表 1に 示すように角速度を付与しない状態での出力電圧が ± 1 O mVとなり、 角速度 センサの出力特性が劣化する。

(表 1 )

発明の開示

本発明の角速度センサは駆動電極と検出電極との少なくとも一方を有する第 1 の振動体と、 駆動電極と検出電極との少なくとも一方を有する第 2の振動体と、 第 1の振動体の一端と第 2の振動体の一端とを接続する接続部とを備える。 第 1 の振動体の稜線と第 2の振動体と稜線の少なくとも一方に表面粗さが 2 以下 の研削部が形成される。 この構成により、 2つの振動体を有する角速度センサで はそれらの重量のバランスを厳密に釣り合わせることが可能で、 出力特性が向上 するものである。 図面の簡単な説明

図 1は本発明の実施の形態における角速度センサの分解斜視図である。 図 2は実施の形態における角速度センサの側断面図である。

図 3は実施の形態における角速度センサの要部である音叉の斜視図である。 図 4は実施の形態における角速度センサの音叉の斜視図である。

図 5は実施の形態における角速度センサの回路基板のプロック図である。 図 6は実施の形態における角速度センサの動作状態を示す模式図である。 図 7は実施の形態における角速度センサの動作状態を示す模式図である。 図 8は実施の形態における角速度センサの動作状態を示す波形図である。 図 9は実施の形態における角速度センサの特性調整方法を示す側面図である。 図 1 0は実施の形態における角速度センサの音 ¾をテープで研削する状態を示 す斜視図である。

図 1 1は実施の形態における角速度センサの特性を調整する状態を示す波形図 である。

図 1 2は実施の形態における角速度センサのモニタ一回路におけるバンドパス フィルターおよび検出手段における位相シフタの出力信号を示す。

図 1 3は従来の角速度センサの斜視図である。

図 1 4は従来の角速度センサの要部である振動体をリュ一夕により研削する状 態を示す斜視図である。 発明を実施するための最良の形態

図 1は本発明の実施の形態における角速度センサの分解斜視図、 図 2はその側 断面図である。 図 3はセンサの要部である音叉を表側から見た斜視図、 図 4は音 叉を裏側から見た斜視図である。 図 5はセンサの回路基板のプロック図である。 互いに結晶軸の異なる単結晶の水晶製の薄板を貼り合わせた第 1の振動体 2 1 の表面には図 3に示すように第 1の駆動電極 2 2が設けられ、 裏面には図 4に示 すように第 2の駆動電極 2 3が設けられる。 さらに第 1の振動体 2 1の外側面に は金からなる第 1の検出電極 2 4が設けられ、 内側面には金からなる第 2の検出 電極 2 5が設けられる。 互いに結晶軸の異なる単結晶の水晶製の薄板を貼り合わ せた第 2の振動体 2 6の表面には金からなるモニター電極 2 7が設けられ、 裏面 には第 3の駆動電極 2 8が設けられる。 第 2の振動体 2 6の外側面には第 3の検 出電極 2 9が設けられ、 内側面には第 4の検出電極 3 0が設けられる。 水晶から なる接続部 3 1は第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6のそれぞれの一端を 接続する。 第 1の振動体 2 1、 第 2の振動体 2 6および接続部 3 1は音又 3 1 a を構成する。 音叉 3 1 aにおける第 1の振動体 2 1の表側の稜線に表面粗さが 2 m以下である研削部 3 1 bが設けられ、 研削部 3 1 bにより第 1の振動体 2 1 および第 2の振動体 2 6の重量のバランスが調整される。 金属製の第 1の基台 3 2は接続部 3 1を固着し、 6つの端子揷入孔 3 3が設けられる。 端子揷入孔 3 3 には、 第 1の駆動電極 2 2、 第 2の駆動電極 2 3、 第 3の駆動電極 2 8、 モニタ —電極 2 7、 第 1の検出電極 2 4、 第 2の検出電極 2 5、 第 3の検出電極 2 9お よび第 4の検出電極 3 0と電気的に接続される 6つの端子 3 4がそれぞれ挿通さ れる。 図 1 0に示すように、 第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6の研削部 3 1 bに対向する側に位置して基台 3 2に逃がし部 3 2 aが設けられる。 金属製 のカバ一 3 5は第 1の基台 3 2の外周部に固着され、 第 1の基台 3 2とカバ一 3 5は第 1の振動体 2 1、 第 2の振動体 2 6および接続部 3 1からなる音叉 3 1 a を収納する。 金属製の支持板 3 6はその側面に第 1の基台 3 2を支持する支持部 3 7を有する。 支持部 3 7を第 1の基台 3 2にかしめることにより、 支持板 3 6 に第 1の基台 3 2が固着される。 支持板 3 6の長手方向の両端部には合計三つの 支持突起 3 8が設けられる。 回路基板 3 9は支持板 3 6とほぼ平行に設けられ、 支持板 3 6の支持突起 3 8とはんだ付けにより支持板 3 6に固着される。 回路基 板 3 9の表面に実装された電子部品 4 0は第 1の駆動電極 2 2、 第 2の駆動電極 2 3、 第 3の駆動電極 2 8およびモニタ一電極 2 7に加わる電圧を制御し、 第 1 の検出電極 2 4、 第 2の検出電極 2 5、 第 3の検出電極 2 9および第 4の検出電 極 3 0から発生する出力信号を処理する。

電子部品 4 0は図 5に示すような回路を構成する。 モニタ一回路 4 4は音叉 3 1 aのモニタ一電極 2 7の電荷が入力される電流アンプ 4 5と、 電流アンプ 4 5 の出力信号が入力されるバンドパスフィルタ一 （B P F ) 4 6と、 B P F 4 6の 出力信号が入力される整流器 4 7と、 整流器 4 7の出力信号が入力される平滑回 路 4 8とを備える。 A G C回路 4 9は平滑回路 4 8の出力信号が入力され、 B P F 4 6の出力信号を増幅あるいは減衰する。 駆動制御回路 5 0は A G C回路 4 9 の出力信号が入力され、 音叉 3 l aの第 1の駆動電極 2 2、 第 2の駆動電極 2 3 および第 4の駆動電極 3 0に駆動信号を入力する。 第 1の電流アンプ 5 1は第 1 の振動体 2 1における第 2の検出電極 2 5および第 2の振動体 2 6における第 4 の検出電極 3 0にコリオリカにより発生する電荷を電圧に変換する。 第 2の電流 アンプ 5 2は第 1の振動体 2 1における第 1の検出電極 2 4および第 2の振動体 2 6における第 3の検出電極 2 9にコリオリカにより発生する電荷を電圧に変換 する。 差動アンプ 5 3は第 1の電流アンプ 5 1の出力信号に第 2の電流アンプ 5 2の出力信号を反転させた信号を加算し出力する。 B P F 5 4は差動アンプ 5 3 の出力信号が入力され、 所定の周波数帯域の信号のみを出力する。 位相シフタ 5 5は B P F 5 4の出力信号を約 9 0度だけ位相を遅らせる。 同期検波器 5 6は位 相シフタ 5 5の出力信号のうちの、 モニタ一回路 4 4の B P F 4 6の出力と略同 じ位相のみの成分を、 その負電荷成分を正電圧に反転し出力する。 平滑回路 5 6 aは同期検波器 5 6の出力信号を平滑化する。 直流アンプ 5 6 bは平滑回路 5 6 aの出力信号を増幅する。 支持板 3 6の両側面を支持する略コ字状のゴム体 5 7 は断面積の小なる部分 5 9を有し、 この断面積の小なる部分 5 9はゴム体 5 7の 圧縮力を低減する。 第 1の基台 3 2、 カバ一 3 5、 支持板 3 6、 回路基板 3 9お よびゴム体 5 7を収納する有底筒状の金属製のケース 6 0は、 その内側面と支持 板 3 6の側面でゴム体 5 7を圧縮する。 第 2の基台 6 1はケース 6 0の開口部を 閉塞し、 七つの貫通孔 6 2が設けられる。 貫通孔 6 2には回路基板 3 9とフレキ シブル配線板 3 9 aを介して電気的に接続される電源端子 6 3、 GND端子 6 4 および出力端子 6 5が揷通される。

実施の形態における角速度センサの組立方法を説明する。

まず、 互いに結晶軸の異なる単結晶からなる水晶の薄板を貼り合わせることに より第 1の振動体 2 1、 第 2の振動体 2 6および接続部 3 1からなる音又 3 1 a が形成される。

次に、 第 1の振動体 2 1の正面に第 1の駆動電極 2 2、 裏面に第 2の駆動電極 2 3、 外側面に第 1の検出電極 2 4、 内側面に第 2の検出電極 2 5がそれぞれ金 の蒸着により形成され、 第 2の振動体 2 6の正面にモニター電極 2 7、 裏面に第 3の駆動電極 2 8、 内側面に第 4の検出電極 3 0、 外側面に第 3の検出電極 2 9 がそれぞれ金の蒸着により形成される。

次に、 第 1の基台 3 2における六つの端子揷入孔 3 3に六つの端子 3 が挿通 された後、 端子揷入孔 3 3にガラスからなる絶縁物 （図示せず） を充填し、 第 1 の基台 3 2に六つの端子 3 4をそれぞれ固着する。

次に、 接続部 3 1が第 1の基台 3 2の上面に固着された後、 端子 3 4が第 1の 駆動電極 2 2、 第 2の駆動電極 2 3、 第 1の検出電極 2 4、 第 2の検出電極 2 5、 モニタ一電極 2 7、 第 3の駆動電極 2 8、 第 3の検出電極 2 9および第 4の検出 電極 3 0にそれぞれ金からなるリ一ド線 （図示せず） を介してワイヤ一ボンディ ングにより接続される。

次に、 第 1の基台 3 2の外周部にカバー 3 5をそれらを合わせた内部が真空に なるよう、 真空の雰囲気中で固着する。

次に、 支持部 3 7をかしめることで支持板 3 6が第 1の基台 3 2に固着される。 次に、 回路基板 3 9に電子部品 4 0を実装した後、 支持突起 3 8をはんだ付け して、 支持板 3 6に回路基板 3 9を固着する。

次に、 第 1の基台 3 2における端子 3 4が回路基板 3 9の電極 （図示せず） に はんだ付けで電気的に接続される。

次に、 断面積の小なる部分 5 9が形成された略コ字状のゴム体 5 7により回路 基板 3 9および支持板 3 6が挟持される。

次に、 第 2の基台 6 1の貫通孔 6 2に電源端子 6 3、 GND端子6 4ぉょび出 力端子 6 5が挿通された後、 貫通孔 6 2にガラスからなる絶縁物 （図示せず） を 充填し、 第 2の基台 6 1に電源端子 6 3、 GND端子 6 4および出力端子 6 5が 固着される。

次に、 回路基板 3 9が電源端子 6 3、 GND端子 6 4および出力端子 6 5にそ れぞれフレキシブル配線板 3 9 aにより電気的に接続される。

次に、 略コ字状のゴム体 5 7の断面積の小なる部分 5 9を棒状の治具 （図示せ ず） で挟んで、 ゴム体 5 7を圧縮して、 ケース 6 0の内側に回路基板 3 9、 支持 板 3 6およびゴム体 5 7を収納する。

最後に、 ケース 6 0の開口部が第 2の基台 6 1により閉塞される。

上記のようにして組み立てられた本発明の実施の形態における角速度センサの 動作を説明する。

音叉 3 1 aの第 1の駆動電極 2 2、 第 2の駆動電極 2 3、 第 3の駆動電極 2 8 に交流電圧が印加される。 まず図 6に示すように、 第 1の振動体 2 1における第 2の駆動電極 2 3に正電圧が印加されて第 1の駆動電極 2 2に負電圧が印加され る。 このとき第 1の検出電極 2 4の側は水晶製の薄板における結晶軸の方向と電 荷の方向が同じなので伸び、 第 2の検出電極 2 5の側は、 結晶軸の方向と電荷の 方向が反対であるので縮む。 その結果、 第 1の振動体 2 1は第 2の振動体 2 6の 方向に傾く。 次に図 7に示すように、 第 1の振動体 2 1における第 2の駆動電極 2 3に負電圧が印加され、 第 1の駆動電極 2 2に正電圧が印加される。 このとき 第 1の検出電極 2 4の側は、 水晶製の薄板における結晶軸の方向と電荷の方向が 反対なので縮み、 第 2の検出電極 2 5の側は、 結晶軸の方向と電荷の方向が同じ なので伸びる。 その結果、 第 1の振動体 2 1は外側に傾く。

第 2の振動体 2 6の第 3の駆動電極 2 8にも同様に交流電圧が印加される。 第 1の振動体 2 1と第 2の振動体 2 6は、 接続部 3 1により機械的に接続されてい るので接続部 3 1の長手方向に、 駆動方向の固有振動数で速度 Vで屈曲振動する。 音叉 3 1 aの駆動方向の振動を一定に保っために、 モニタ一電極 2 7に発生した 電荷が電流アンプ 4 5に入力され、 正弦波形の出力電圧に変換される。 そしてモ 二ター電極 2 7の出力電圧がモニター回路 4 4の B P F 4 6に入力され、 音又 3 1 aの共振周波数の成分のみが抽出されてノイズ成分が除去され、 図 8の正弦波 形 （a ) が出力される。 B P F 4 6の出力信号が整流器 4 7に入力されてその負 電圧成分が正電圧に変換された後、 平滑回路 4 8に入力されて直流電圧信号に変 換される。 A G C回路 4 9は平滑回路 4 8の出力する直流電圧が大きい場合には B P F 4 6の出力信号を減衰させ、 直流電圧が小さい場合には B P F 4 6の出力 信号を増幅させる信号を駆動制御回路 5 0に入力し、 音叉 3 1 aの振動を一定に 調整する。 第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6が駆動方向に速度 Vで屈曲 振動している状態において、 音叉 3 1 aがその長手方向の中心軸周りに角速度 ω で回転すると、 第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6に F = 2 mV coのコリ オリ力が発生する。

そして、 第 1の振動体 2 1の稜線に設けられた表面粗さが 2 m以下の研削部 3 1 bにより、 第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6の重量パランスを表 2 に示すように厳密に調整できる。 (表 2 )

角速度センサに角速度が加わらない状態では、 第 1の振動体 2 1および第 2の 振動体 2 6に振動方向以外の外力がほとんど加わらないので出力電圧が ± 3 m V程度となり、 したがって正確な角速度を検出できる。

コリオリカにより第 1の検出電極 2 4および第 3の検出電極 2 9に図 8に示す 電圧 （b ) が発生し、 第 2の検出電極 2 5および第 4の検出電極 3 0に電圧

( b ) と位相が 1 8 0度ずれている電圧 （c ) が発生する。 そして、 電圧 （b ) が電流増幅器 5 1で増幅され、 電圧 （c ) が電流増幅器 5 2で増幅される。 差動 増幅器 5 3は電流増幅器 5 1の出力信号に電流増幅器 5 2の出力信号を反転させ て加算し電圧 （d ) を出力する。 B P F 5 4は電圧 （d ) の音叉 3 l aの共振周 波数成分のみを抽出しノイズ成分を除去する。 さらに位相シフ夕 5 5は B P F 5 4の出力信号を約 9 0度位相を遅らせて電圧 （e ) を出力する。 そして位相シフ 夕 5 5の出力は同期検波器 5 6で B P F 4 6の出力信号の周期で位相検波され、 さらに検波された出力電圧の負電荷成分が正電圧に変換され電圧 （f ) が出力さ れる。 そして同期検波器 5 6の出力電圧が平滑回路 5 6 aで平滑化され直流アン プ 5 6 bで増幅され電圧 （g ) が得られる。 直流アンプ 5 6 bの出力信号は角速 度の信号としてコンピュータ （図示せず） 等に入力され角速度が検出される。 以下、 本発明の実施の形態における角速度センサの特性調整方法について説明 する。

図 9は本発明の実施の形態における角速度センサにおける特性調整方法を示す 側面図、 図 1 0は角速度センサの音又をテープで研削する状態を示す斜視図、 図 1 1は角速度センサの特性を調整する状態を示す波形図である。 図 1 2は角速度 センサのモニター回路の B P Fおよび検出手段における位相シフタの出力信号を 示す。 角速度センサに角速度を付与しない状態において、 第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6の重量のバランスが取れていない楊合、 モニター電極 2 7からの 出力信号が零であっても第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6が駆動方向と 垂直に変位する。 したがって第 2の検出電極 2 5および第 4の検出電極 3 0から は、 あたかも角速度によりコリオリカが働いているかのような図 1 1に示す検出 信号 （a ) が出力され、 第 1の検出電極 2 4および第 3の検出電極 2 9からは検 出信号 （b) が出力される。

実施の形態における角速度センサにおいては、 まずモニタ一回路 4 4の位相シ フタ 5 5の出力信号がトリミング装置に設けた比較器 （図示せず） により比較さ れる。

次に、 図 1 2に示すように、 B P F 4 6からの出力信号が負から正に切り替わ る零点において位相シフタ 5 5からの出力信号が負の値の場合には、 図 1 0に示 すように、 音叉 3 1 aの第 1の振動体 2 1の表面側に位置して、 ダイヤモンドか らなる研磨剤 6 7を埋め込んだテ一プ 6 8が基台 3 2における逃がし部 3 2 aに 配設され、 第 1の振動体 2 1の稜線に当接する。

このとき、 逃がし部 3 2 aにテープ 6 8を配設できるので、 振動体 2 1の稜線 に当接するテープ 6 8に対して基台 3 2が障害にならない、 これにより、 適正な 角度で第 1の振動体 2 1における稜線にテープ 6 8を当接させることができる。 次に図 9に示すように、 テンションローラ 6 9をテープ 6 8に負荷させて、 テ ンシヨンローラ 6 9の重量による一定の力でテープ 6 8が第 1の振動体 2 1の表 面に当接する。 その際、 図 1 0に示すようにテープ 6 8が第 1の振動体 2 1の長 手方向に対して約 7度の角度に当接することにより、 第 1の振動体 2 1の接続部 3 1の側に大きな外力を加える。 これにより、 特性の調整中に第 1の振動体 2 1 の接続部 3 1の側はほとんど撓まないので、 第 1の振動体 2 1が外力から逃げて しまうことはない。 その結果、 第 1の振動体 2 1の稜線に確実に研削部 1 2が設 けられる。

テープ 6 8に過大な外力が加わった場合には、 テープ 6 8はその柔軟性により 第 1の振動体 2 1あるいは第 2の振動体 2 6に加わる外力を吸収するので、 第 1、 第 2の振動体 2 1、 2 6に均一で安定した負荷をかけることができる。 その結果、 負荷をかはている際に第 1の振動体 2 1が破損することはない。 第 1の振動体 2 1の稜線にテープ 6 8が一定の力で押圧されて摺動するように、 テンションローラ 6 9がテープ 6 8に負荷をかけるので、 瞬間的に第 1の振動体 2 1に過大な外力を与えない。 その結果、 特性の調整中に第 1の振動体 2 1が破 損することはない。

駆動ローラ 7 0は往復回転されて音叉 3 1 aに研削部 3 1 bを形成する。 これ により、 音叉 3 1 aにおける第 1の振動体 2 1と第 2の振動体 2 6の重量バラン スを取る。

第 1の駆動電極 2 2、 第 2の駆動電極 2 3および第 3の駆動電極 2 3に駆動電 圧が付加されて、 モニタ一電極 2 7からの出力信号が零であっても第 1の振動体 2 1および第 2の振動体 2 6が駆動方向と垂直に変位する。 その結果、 第 1の検 出電極 2 4、 第 2の検出電極 2 5、 第 3の検出電極 2 9および第 4の検出電極 3 0からの出力信号が略零である ± 3 mV以内になることを確認する。

最後に、 テープ巻取りリール 7 1を所定の量だけ回転させてテープ 6 8を巻き 取り、 テープ送り出しリール 7 2を所定の量だけ回転させてテープ 6 8を送り出 す。 これにより、 テープ 6 8における第 1の振動体 2 1あるいは第 2の振動体 2 6と当接する部分を新しくする。

なお、 実施の形態における角速度センサにおける特性調整方法においては、 B P F 4 6からの出力が負から正に切り替わる零点において位相シフ夕 5 5の出力 信号が負の場合について説明したが、 位相シフタ 5 5の出力信号が正の値の場合 には、 第 2の振動体 2 6の稜線を研削して、 第 1の振動体 2 1および第 2の振動 体 2 6の重量のバランスを調整する。 産業上の利用可能性

本発明における角速度センサは 2つの振動体の重量バランスを厳密に調整でき るので、 角速度が加わらない状態では振動体に駆動方向以外の外力が加わらなレ その結果、 そのセンサは正確に角速度を検出できる。

Claims

請求の範囲

1 . 駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有する第 1の振動体と、

駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有する第 2の振動体と、 前記第 1の振動体の一端と前記第 2の振動体の一端とを接続する接続部と を備え、 前記第 1の振動体の稜線と前記第 2の振動体の稜線の少なくとも一方に 表面粗さが 2 m以下の研削部が形成された角速度センサ。

2 . 駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有する第 1の振動体と、 駆動電極 と検出電極の少なくとも一方を有する第 2の振動体と、 前記第 1の振動体の一端 と前記第 2の振動体の一端とを接続する接続部とを備えた角速度センサを準備す るステップと、

前記角速度センサに角速度を付与しない状態で前記駆動電極に交流電圧を 印加したときの前記検出電極からの出力信号が略零となるように、 前記第 1の振 動体の稜線と前記第 2の稜線の少なくとも一方に研磨材を埋め込んだテープを摺 動させて研削部を形成するステツプと

を備えた、 角速度センサの特性調整方法。

3 . 前記テ一プはテンションローラで負荷をかけられる、 請求の範囲第 2項に記 載の角速度センサの特性調整方法。

4. 前記研削部を形成するステップは、 前記テープを前記第 1の振動体の長手方 向に対して斜めに当接させて前記第 1の振動体の前記接続部の側に外力を加える ステツプである、 請求の範囲第 2項に記載の角速度センサの特性調整方法。

5 . 前記研削部を形成するステップは、 前記テープを前記第 2の振動体の長手方 向に対して斜めに当接させて前記第 2の振動体の前記接続部の側に外力を加える

^;ある、 請求の範囲第 2項に記載の角速度センサの特性調整方法。

6 . 前記研削部を形成するステップは、 前記テープを前記第 1の振動体と前記第 2の振動体のそれぞれの長手方向に対して斜めに当接させて前記第 1の振動体と 前記第 2の振動体のそれぞれの前記接続部の側に外力を加えるステップである、 請求の範囲第 2項に記載の角速度センサの特性調整方法。

7 . 駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有し、 稜線に研削部が形成された 第 1の振動体と、

駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有する第 2の振動体と、

前記第 1の振動体の一端と前記第 2の振動体の一端とを接続する接続部と、 前記駆動電極と前記検出電極とに電気的に接続された端子を有し、 前記接 続部を固着し、 前記第 1の振動体に略対向する部分の前記研削部に対応する位置 に前記研削部を形成するテープが通過するための凹みである逃がし部が形成され た基台と、

前記基台を覆い、 前記第 1の振動体と第 2の振動体と接続部とを収納する カバーと

を備えた角速度センサ。

8 . 駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有する第 1の振動体と、

駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有し、 稜線に研削部が形成された する第 2の振動体と、

前記第 1の振動体の一端と前記第 2の振動体の一端とを接続する接続部と、 前記駆動電極と前記検出電極とに電気的に接続された端子を有し、 前記接 続部を固着し、 前記第 1の振動体に略対向する部分の前記研削部に対応する位置 に前記研削部を形成するテープが通過するための凹みである逃がし部が形成され た基台と、

前記基台を覆い、 前記第 1の振動体と第 2の振動体と接続部とを収納する カバーと

を備えた角速度センサ。

9 . 駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有し、 稜線に第 1の研削部が形成 された第 1の振動体と、

駆動電極と検出電極の少なくとも一方を有し、 稜線に第 2の研削部が形成 された第 2の振動体と、

前記第 1の振動体の一端と前記第 2の振動体の一端とを接続する接続部と、 前記駆動電極と前記検出電極とに電気的に接続された端子を有し、 前記接 続部を固着し、 前記第 1の振動体および前記第 2の振動体に略対向する部分の前 記第 1の研削部と前記第 2の研削部に対応する位置に前記第 1の研削部と前記第 2の研削部を形成するテープがそれぞれ通過するための凹みである第 1の逃がし 部と第 2の逃がし部が形成された基台と、

前記基台を覆い、 前記第 1の振動体と第 2の振動体と接続部とを収納する カバーと

を備えた角速度センサ。