WO2003107660A1 - 複数領域読み出し可能な撮像装置と方法 - Google Patents

複数領域読み出し可能な撮像装置と方法 Download PDF

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熊沢　崇
牧野　聖
岸　順司
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Tokyo Electronic Industry Co Ltd
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Definitions

  • Imaging device and method capable of reading multiple areas
  • the present invention relates to an imaging apparatus and an imaging method, and particularly uses an imaging unit using, for example, a CMOS sensor.
  • the present invention can be used as a monitoring device. It can also be used as a component inspection device for electronic devices such as liquid crystal devices and semiconductor devices.
  • CCD type imaging device There are a CCD type imaging device and a CMOS type imaging device as an imaging device using a photoelectric conversion element.
  • CCD type imaging device an imaging signal in a field unit is read from the two-dimensionally arranged photoelectric conversion elements.
  • CMOS type image sensor an image signal of a pixel unit can be directly read from the two-dimensionally arranged photoelectric conversion devices.
  • a monitoring system or a component-inspection system has been developed using the above-described imaging device.
  • an imaging signal is read from the entire surface of an imaging unit, and the imaging signal is transferred to a monitor or a comparison circuit.
  • the user checks images on the moeta.
  • the comparison circuit compares the reference pattern with the image pattern of the imaging signal.
  • one object of the present invention is to limit an imaging signal obtained from an imaging unit to signals from a plurality of arbitrary regions on an imaging surface, and to check a local image. It is an object of the present invention to provide an imaging apparatus and a method which can facilitate the signal processing and speed up the signal processing.
  • the present invention is formed so as to have an imaging region in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged, each pixel has an independent address, and a read address is given to each pixel. And a signal processing unit that generates the address to specify an arbitrary plurality of regions in the imaging region when an imaging signal is read from the imaging unit. .
  • FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of a component inspection system to which the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a block diagram showing a basic configuration according to the present invention in the force camera of FIG.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of a case where an imaging area is set in the imaging device of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an operation example of the imaging apparatus of the present invention.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an example in a case where an imaging region is set.
  • FIG. 5A to FIG. 5H are timing charts showing timing signals in the Y direction for reading out an image signal from the image area of FIG.
  • FIGS. 6A to 6F are timing charts showing timing signals in the X direction for reading out an imaging signal from the imaging region in FIG.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating an iris and a focus control system of the imaging apparatus according to the present invention.
  • FIG. 8 is a diagram showing another example of setting an area for reading an image signal in the image pickup apparatus of the present invention.
  • FIG. 9 is a diagram showing another example of setting an area for reading an image signal in the image pickup apparatus of the present invention.
  • FIG. 1 shows a simplified configuration of a component inspection apparatus to which the present invention is applied.
  • Reference numeral 100 denotes an inspection table.
  • a carrier board 200 is arranged on the upper surface of the inspection table 100.
  • the carrier board 200 is indicated by an arrow A shown in the figure. 1 — A It is movable in two directions and is automatically controlled by a control unit (not shown).
  • the inspection components 301 and 302 can be placed on the upper surface of the carrier board 200.
  • a camera 400 is arranged at a predetermined position on the inspection table 100.
  • the carrier board 200 can selectively transport the inspection parts 301 and 302 to the lower part of the camera 400 and stop.
  • the camera 400 images the upper surface of the inspection component 301 or 302 and outputs an image signal.
  • This image signal is input to, for example, a personal computer 500 and displayed on a display 501 as an image.
  • Reference numeral 600 denotes an inspection unit, which can supply a timing signal, a control signal, address data, and the like to the camera 400.
  • Inspection unit 600 is a personal computer
  • Address data can be generated based on an operation signal from 500.
  • the inspection unit 600 can receive an image signal via the personal computer 500. Inspection Unit
  • the reference numeral 600 can compare the received image signal with the reference data and feed back the pattern comparison result to the personal computer 500.
  • FIG. 2 shows a block configuration of a part that is a main part of the camera 400 described above.
  • the camera 400 has an imaging unit 700 and a signal processing unit 800.
  • the imaging unit 700 has an imaging area 700 in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged, each pixel has an independent address, and the read address is read for each pixel. It is formed as given.
  • each pixel has the same configuration, a part thereof is enlarged and extracted, and the basic configuration is indicated by a pixel 702 surrounded by a broken line.
  • 730 is a reset line supplied with the power supply voltage.
  • 731 and 732 are bus lines that specify pixel addresses in rows and columns.
  • the switch element (for reset) 705 and the photoelectric conversion element 706 are connected in series between the line 703 and the reference potential.
  • Photoelectric The output terminal of the conversion element 706 is connected to the input section (gate electrode) of the capacitor 701 and the amplification element 708 via a sampling switch element 707. I have.
  • One electrode of the amplifying element 708 is connected to the line 730 serving as a power supply, and the other electrode is connected to one electrode of the switch element (for reading) 709. Have been.
  • the other electrode of the switch element 709 is an output unit, and is connected to a nos line 732 as a column bus.
  • the switch element 705 When the switch element 705 is turned on, the charge of the photoelectric conversion element 706 is discharged and the reset state is established. Next, when the switch element 705 is turned off, charging of the photoelectric conversion element 706 is started according to the amount of light from the outside. The charging period is limited when the switching element 707 for sampling is turned on. When the switching element for sampling 707 is turned off, a voltage corresponding to the charge charged in the photoelectric conversion element 706 is supplied to the capacitor 701.
  • the switch element 709 when the switch element 709 is turned on at the time of reading, the output current of the amplifying element 708 flows to the line 732 via the switch element 709. That is, a voltage proportional to the charge charged in the capacitor 70 1 appears on the column bus line 732.
  • the address lines are shown in a simplified manner, but the Y address register 711 can individually specify all the Y lines in the imaging area 701. Also, any Y line can be specified.
  • the X address register 712 controls the analog manoplexer 713.
  • the analog multiplexer 713 is for taking in the output of the line amplifier 714 connected to each X line.
  • the line amplifiers 14A and 14B are shown as representatives, but they are actually connected to each X line.
  • the analog multiplexer 713 has switch elements 13A and 13B corresponding to the line amplifiers 14A and 14B.
  • the switch elements 13A and 13B are shown as representatives, but actually correspond to each line amplifier. When the switch elements 13A and 13B are turned on, the signal of the corresponding X line appears on the common line 13C.
  • the output signal of the amplifier 715 is converted to a digital signal by an analog-to-digital converter (ADC) 716 and supplied to a knocker 801 in a signal processing unit 800.
  • ADC analog-to-digital converter
  • the data input and output of the buffer 800 are controlled by a timing pulse supplied to the input terminal 802.
  • the output from the buffer 800 is led out to the output terminal 803 as image data.
  • ⁇ and X address data can be set for the Y address register 71 1 and the X address register 71 2 of the imaging section 700.
  • Y and X address data can be set from the signal processing unit 800 via the sequencer 720.
  • ⁇ , X When the address data is set, the Y address register 711 and the X address register 712 are set to the write mode. Then, the Y address data and the X address data are output from the sequencer 720 and the timing pulse (write clock) is applied to the Y address register 711. , X address register 712.
  • the method of setting the Y address data and the X address data is not limited to the above description, and various methods are possible.
  • a plurality of address registers are provided in the Y address register 711, and address data is latched in advance in one of the Y address registers (for presetting).
  • the address data when the address data is required, it may be transferred to the other Y address register (for operation) at all. In this case, when the read address is changed, it can be changed in a short time.
  • the sequencer 720 not only writes and reads the address data of the Y address register 71 1 and the X address register 7 12, but also stores the data in the imaging unit 700. Outputs the timing pulse of each part. For example, a reset pulse, a sampling pulse, and a read timing pulse to be applied to a pixel. In addition, the sequencer 720 outputs a clock for the analog-to-digital converter (ADC) 716, and also outputs a timing pulse.
  • ADC analog-to-digital converter
  • the signal processing unit 800 controls the address set in the Y address register 71 1 and X address register 71 2 in the imaging unit 700 as described above. Address control means for Has been damaged.
  • the address processing section 802 can fetch address setting data from outside.
  • the address processing unit 802 can also fetch address setting data stored in advance in the ROM 803. Which of the address setting data from the outside and the address setting data of ROM 803 is to be adopted is determined by the control signal.
  • the address processing unit 802 generates Y address data and X address data according to the address setting data, and supplies the Y address data and the X address data to the timing processing unit 804.
  • the timing processing section 804 supplies the Y address data and the X address data to the sequencer 720 as described above. As a result, the address data is set in the Y address register 711 and the X address register 712. The point at which the address data is set is determined by a control signal supplied to the timing processing section 804.
  • the imaging signal is read from the imaging unit 700.
  • the process of obtaining an imaging signal from the imaging unit 700 involves resetting, exposing, sampling, and reading out a signal.
  • the reset is performed when an exposure pulse is input to the reset switch element, and all pixels in the imaging region 701 are reset at a time before the exposure operation starts. is there.
  • exposure is performed.
  • the exposure time is determined based on the shutter control data given to the shutter control section 805.
  • the shutter control data is given to the timing processing section 804.
  • the timing processing section 804 sets a period from the time of reset until the output of the sampling pulse based on the shutter control data.
  • the reading of the imaging signal is executed when a read start pulse is given to the Y address register 711 and the X address register 712.
  • the output timing of the read start pulse is also determined by the timing processing section 804.
  • the output timing of the read start pulse is determined based on the control signal supplied to the timing processing section 804.
  • FIG. 3 shows an example of an image projected on the imaging area 70 1.
  • object images 91, 902, 903, and 904 are projected on four corners of the imaging region.
  • the area set by the Y-address register 711 and the X-address register 712 corresponds to the object image 91, 902 described above.
  • FIG. 4, FIG. 5A to FIG. 5F, and FIG. 6A are simplified to explain the readout timing of the imaging signal when the readout area is partially set as described above.
  • FIG. 4 is a principle explanatory diagram showing a read area and various timing signals.
  • FIG. 5A shows a trigger pulse, which is given to the timing processing section 804 as a control signal.
  • the shutter start panoreth (reset c) corresponding to FIG. 5B is given to the imaging region 720.
  • Exposure of the photoelectric conversion element starts, and a shutter end pulse (corresponding to a sampling pulse) is applied to the imaging area 720 after a lapse of a time from a reset determined by shutter control data (FIG. 5).
  • C) During the period from the shutter start pulse to the shutter end pulse, the photoelectric conversion element is exposed and charged (FIG. 5D).
  • the vertical synchronization pulse described here has a different meaning from the vertical synchronization pulse used in video cameras and the like, and is a pulse for setting the Y-direction address to the -register.
  • the clock register (FIG. 5G) is given to the Y address register 711.
  • the read addresses in the Y directions of the areas A and B are incremented.
  • the data in the areas A and B are read. This increment is incremented by one each time the horizontal sync signal is given as a timing pulse to the Y address register 71 1.
  • a vertical sync pulse (FIG. 5F) is given to the Y address register 711. It is. At this time, the address Y 11 is supplied from the sequencer 720 to the Y address register 71 1.
  • the X-address register 712 receives the first horizontal sync pulse (Fig. 6B) and the address A0 at the same time as it is given to the X-address register 712 via the sequencer 720. Data specifying 1 is given (Fig. 6A).
  • the end address A01 is output from the X-address register 7122, which is incremented and changed from AO1 to AOn. This change is the clock. This is obtained by applying the signal (FIG. 6C) to the X address register 7 12.
  • the horizontal synchronization pulse is supplied to the Xaddress register 712, and at the same time, data specifying the address B01 is supplied. Then, the address in the X direction jumps to B01. Thereafter, this is incremented and changes from B O1 to B On.
  • the horizontal synchronization pulse is again supplied to the X address register 712, and at the same time, data specifying the address Al1 is supplied (see FIG. 6 A).
  • the address A11 is output from the X-address register 712, which is incremented and changed from A11 to A1n. I do.
  • the read start position is set to the set data A01, B01, All, B11, A21, ⁇ 21, ..., C01. , DO 1.
  • the data in the areas A, B, C, and D are read by the Y address and the X address.
  • the image pickup apparatus When an image pickup signal is read out from the image pickup section 700, the image pickup apparatus has a signal processing section 800 for generating the address in order to designate an arbitrary plurality of areas in the image pickup area.
  • the pixel 702 includes a photoelectric conversion element 706 and a switch element 7 for resetting, exposing, and reading signals from the photoelectric conversion element. 0 5, 7 0 7, 7 0 8, 7 0 9. Also includes multiple addressless lines.
  • the imaging unit 700 has a Y address register 71 1 for selecting an arbitrary line of a plurality of Y address lines, and an arbitrary line of a plurality of X address lines.
  • the signal processing section 800 has an address processing section 800 that transfers the address data to the sequencer 720.
  • the signal processing unit 800 is provided with a memory (RAM or RAM) storing address data specifying a plurality of arbitrary areas A, B, C, and D. ROM 803) may be provided.
  • the signal processing section 800 may include a plurality of memories (ROMs 803) storing the address data in order to change the arrangement positions (combinations) of the plurality of areas. . Further, the address processing section 802 may include an address input section for taking in address data specifying a plurality of areas from outside.
  • the imaging section 700 captures, for example, a plurality of inspection targets, and the signal processing section 800 has means for changing each array position of the plurality of regions according to the inspection target. You may.
  • a control device may be further provided.
  • the imaging condition control device controls the iris mechanism and the focus mechanism based on the imaging signals of the plurality of areas.
  • FIG. 7 further shows a use form of the device of the present invention.
  • the camera 400 has a focus adjustment mechanism 401 and an iris adjustment mechanism 402.
  • the focus control signal and the iris control signal are provided from the imaging condition control unit 820.
  • the imaging condition control unit 820 is controlled based on the video signal obtained from the buffer 801.
  • the imaging condition control section 820 creates focus and iris control data, for example, as follows.
  • the camera 400 first captures an image of the entire inspection target 301. Image taken The picture of the fruit is It is displayed on the display 5100 of one personal computer 500.
  • the user can operate the mouse 511 to specify a plurality of desired areas (for example, A, B, C, and D as described above) and surround them with a window frame. You.
  • the image data of the designated areas A to D is output to the buffer 801. This image data is taken into the imaging condition controller 820.
  • (1) iris control is performed.
  • the imaging condition control unit 820 outputs and varies the iris control data. While the iris control data is being changed, the iris control data when the brightness of the image data falls within a desired range is fixed.
  • (2) the high frequency component of the image data is extracted, and the focus control data is output for adjustment.
  • the focus control data is variable, the focus control data when the high frequency component shows a peak is determined.
  • the above (1) and (2) may be repeated again.
  • the plurality of areas A to D to be detected are separated and independent in the image plane.
  • the device of the present invention is not limited to the above-described region setting, and it is easy to set a partially overlapping region.
  • Figure 8 shows an example in which areas E, F, and G are set for the entire area W, and areas E and F that partially overlap are set.
  • FIG. 9 shows another example of the device of the present invention.
  • This device is suitable for high-speed address switching.
  • the areas A to D are square, and the X address and the Y address are incremented.
  • the region may have a curved line. Such an area is possible even in the above embodiment.
  • this device it is possible to obtain time margin for address setting.
  • Switch 711 C is a switch for determining which of the Y address registers 711 A and 711 IB is used, and switch 711 D Is a switch for determining which one of the Y address registers 71A and 71B writes address data.
  • the X-address registers 712A and 712B are also switched alternately.
  • the address data of one X-address register 712A (or 712B) is used, the other Y-address register 712B (or 7 In 12 A), the area specification data for the next X address is written.
  • the switch 712C is used to determine which of the data of the X address register 712A and 712B is to be used.
  • the switch 712D is a switch for determining which of the X address registers 712A and 712B is to be written with address data.
  • the control timing of each section is set by a timing pulse and a clock from the timing control section 741.
  • the above-described device of the present invention can be used not only as a monitoring system but also as a component inspection system.
  • a surveillance system it is effective when specifying the area to be monitored.
  • a building entrance or window can be set as a monitoring area.
  • the component inspection system is effective when components arranged at a plurality of locations on a board are detected by pattern matching. For example, there are cases where components to be inspected are arranged in areas A to D, respectively.
  • Components include IC chips and electronic device components. In addition, it is effective to check not only characters but also characters, numbers and symbols printed on printed circuit boards and components. This is a case where it is checked whether a desired component is accurately placed on a printed circuit board.
  • the apparatus of the present invention since the apparatus of the present invention has, for example, an address for the areas A to D, it is also easy to capture image data of an area other than the areas A to D. be able to. Therefore, an inspection is performed to determine whether, for example, unnecessary parts are mounted in the area excluding the areas A to D, or whether a defect (such as a scratch) has occurred in the area excluding the areas A to D. It is also effective when doing.
  • the above-described apparatus can capture only image data of a plurality of necessary areas. In other words, conversely, there is no need to capture image data of an unnecessary area or image data of the entire area.
  • the present invention relates to an imaging apparatus and an imaging method, and particularly uses an imaging unit using, for example, a CMOS sensor.
  • the present invention can be used as a monitoring device. It can also be used as a component inspection device for electronic devices such as liquid crystal devices and semiconductor devices.

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Abstract

撮像部７００は複数の画素が2次元配列され、各画素が独立したアドレスを有し、各画素に対して読み出しアドレスを与えられるように形成されている。信号処理部８００は、撮像部から撮像信号が読み出される場合、前記撮像領域内の任意の複数の領域を指定するためアドレスを発生することができる。

Description

明 細 書
複数領域読み出 し可能な撮像装置と方法
技術分野
この発明は、 撮像装置.及び撮像方法に関する も ので、 特に 例えば C M O Sセンサを用いた撮像部を利用 している。 特に この発明は、 監視装置と して利用でき る。 また、 液晶デバィ ス、 半導体デバイスな どの電子デバイ スの部品検査装置と し て利用でき る。
背景技術
光電変換素子を利用 した撮像装置と して、 C C Dタイ プ撮 像装置、 C M O S タイ プ撮像装置がある。 C C D タイプ撮像 装置では、 2 次元配列された光電変換素子から、 フィール ド 単位の撮像信号が読み出される。 一方、 C M O S タイプ撮像 素子では、 2 次元配列された光電変換素子から、 直接画素単 位の撮像信号を読み出 し可能である。
上記した撮像装置を利用 して、 監視システムあるいは部品 - 検査システムが開発されている。 従来の監視システムあるい は部品検査システムでは、 撮像部の全面から撮像信号が読み 出され、 この撮像信号がモニタ あるいは比較回路に転送され る。 監視システムでは、 ユーザがモエタ上の画像をチッ クす る。 また部品検査システムでは、 比較回路が基準パターンと 撮像信号の画像パターンと を比較する。
上記した従来の監視システムあるいは部品検査システムで は、 撮像部の全面から撮像信号が読みされる ので、 その読み 出 し時間の短縮が得られないと い う 問題と 、 撮像信号がアナ ロ グデジタル変換された場合、 変換データ量が多いとい う 問 題がある。 このために、 監視システムでは、 全画面が常に表 示されるので画像の局部的なチェ ックが しに く い とい う 問題 があ り 、 また部品検査システムでは、 全画面の撮像信号が処 理されるために、 検査の高速化が得にく いとい う 問題がある。 発明の開示
そこで、 この発明による一つの 目的は、 撮像部から得られ る撮像信号を、 撮像面中の複数の任意の領域からの信号に限 定する こ とができ、 局部的な画像のチェ ック を容易に し、 ま た信号処理の高速化を可能と した撮像装置と方法を提供する こ と が狙いである。
この発明は、 複数の画素が 2次元配列された撮像領域を有 し、 各画素が独立したア ド レスを有し、 各画素に対して読み 出 しァ ド レスを与え られる よ う に形成された撮像部と、 前記 撮像部から撮像信号が読み出される場合、 前記撮像領域内の 任意の複数の領域を指定するため前記ァ ド レ スを発生する信 - ' 号処理部とを有する ものである。
図面の簡単な説明
図 1 は、 この発明が適用 された部品検查システムの概要を 示す説明図。
図 2 は、 図 1 の力 メ ラ内で本発明に係る基本構成を示すブ 口 ック図。
図 3 は、 この発明の撮像装置で撮像領域が設定された場合 の一例を示す図。
図 4 は、 この発明の撮像装置の動作例を説明するために、 撮像領域が設定された場合の例を示す図。
図 5 A-図 5 H は、 図 4の撮像領域から撮像信号を読み出す ための Y方向に関する タイ ミ ング信号を示すタイ ムチヤ一 ト。
図 6 A-図 6 F は、 図 4 の撮像領域から撮像信号を読み出す ための X方向に関する タイ ミ ング信号を示すタイ ムチヤ一 ト。
図 7 は、 この発明に係る撮像装置のアイ リ スおよびフォー カス制御系を説明するために示した説明図。
図 8 は、 この発明の撮像装置において、 撮像信号を読み出 す領域設定の他の例を示す図。
図 9 は、 この発明の撮像装置において、 撮像信号を読み出 す領域設定の他の例を示す図。
発明を実施するための最良の形態
以下、 こ の発明の実施の形態を図面を参照 しながら説明す る。
図 1 は、 この発明が適用 された部品検査装置の構成を簡略 化して示 している。 1 0 0 は検査台であ り 、 この検查台 1 0 0 の上面には、 キャ リ アボー ド 2 0 0 が配置されてお り 、 こ のキャ リ アボー ド 2 0 0 は、 図示矢印 A 1 — A 2方向へ移動 自在であ り 、 図示しない制御部によ り 自動制御される。
キャ リ アボー ド 2 0 0 の上面には、 検査部品 3 0 1、 3 0 2 を載置する こ とができ る。 検査台 1 0 0上の所定の位置に はカメ ラ 4 0 0 が配置されている。 キャ リ アボー ド 2 0 0 は、 検査部品 3 0 1 と 3 0 2 を選択的にカメ ラ 4 0 0 の下部に搬 送し、 停止する こ と ができ る。 カメ ラ 4 0 0 は、 検査部品 3 0 1 あるいは 3 0 2 の上面を撮像し、 画像信号を出力する。 T JP03/03732
4 この画像信号は、 例えばパーソナルコ ンピュータ 5 0 0 に入 力され、 ディ スプレイ 5 0 1 に画像と して表示される。
6 0 0 は、 検査ユニ ッ トであ り 、 カメ ラ 4 0 0 に対してタ イ ミ ング信号、 制御信号、 ア ド レスデータなどを与える こ と ができ る。 検査ユニ ッ ト 6 0 0 は、 パーソナルコ ンピュータ
5 0 0からの操作信号に基づいて、 ァ ドレスデータを発生す る こ とができ る。
また検査ユエ ッ ト 6 0 0 は、 パーソナルコ ンピュータ 5 0 0 を介して画像信号を受け取る こ とができ る。 検查ュニ ッ ト
6 0 0 は、 受け取った画像信号を、 基準データ と比較し、 そ のパターン比較結果をパー ソナルコ ンピュータ 5 0 0 にフィ ー ドバッ クする こ と ができ る。
図 2 は、 前記したカメ ラ 4 0 0 の要部と なる部分を取り 出 して、 そのブロ ック構成を示している。 カ メ ラ 4 0 0 は、 撮 像部 7 0 0 と、 信号処理部 8 0 0 を有する。 撮像部 7 0 0 は、 複数の画素が 2次元配列された撮像領域 7 0 1 を有し、 各画 素が独立したァ ド レスを有し、 各画素に対して読み出 しア ド レスを与え られる よ う に形成されている。
各画素は、 同様な構成であるために、 一部を拡大して取り 出 し、 その基本的な構成を破線で囲み画素 7 0 2 と して示し ている。 7 3 0 は電源電圧が供給された リ セ ッ ト用のライ ン である。 また 7 3 1 と 7 3 2 は、 画素のア ド レスを行、 列で 指定するバス ライ ンである。
ス ィ ッ チ素子 （ リ セ ッ ト用） 7 0 5 、 光電変換素子 7 0 6 は、 ライ ン 7 0 3 と基準電位間に直列接続されている。 光電 変換素子 7 0 6 の出力端は、 サンプリ ング用のスィ ッチ素子 7 0 7 を介 して、 キャパシタ 7 0 1 及ぴ増幅素子 7 0 8 の入 力部 （ゲー ト電極） に接続されている。 増幅素子 7 0 8 の一 方の電極は、 電源と してのライ ン 7 3 0 に接続され、 他方の 電極は、 スィ ッチ素子 （読み出 し用） 7 0 9 の一方の電極に 接続されている。 このス ィ ツチ素子 7 0 9 の他方の電極は、 出力部であ り 、 カラムバス と してのノ スライ ン 7 3 2に接続 されている。
ス ィ ッ チ素子 7 0 5 がオンする と、 光電変換素子 7 0 6 の 電荷がデイ スチャージされリ セ ッ ト状態と なる。 次に、 ス ィ ツチ素子 7 0 5 がオフする と、 光電変換素子 7 0 6 には、 外 部からの光量に応じてチャージが開始される。 チャージ期間 は、 サンプリ ング用のスィ ツチ素子 7 0 7 のオン時点で制限 される。 サンプリ ング用のス ィ ツチ素子 7 0 7 がオフ力ゝらォ ンする と、 光電変換素子 7 0 6 にチャージされていた電荷に 応じた電圧が、 キヤ ノ シタ 7 0 1 に供給される。
こ こ で、 ス ィ ツチ素子 7 0 9 が読出 し時点でオンする と、 増幅素子 7 0 8 の出力電流がス ィ ツチ素子 7 0 9 を介してラ イ ン 7 3 2 に流れる。 つま り 、 カ ラムバスライ ン 7 3 2 には、 キャパシタ 7 0 1 にチャージされた電荷に比例 した電圧が現 われる こ と になる。
図ではア ド レ スライ ンは、 簡略化して示しているが、 Yァ ド レス レジスタ 7 1 1 は、 撮像領域 7 0 1 の全 Yライ ンを個 別に指定する こ とができ る。 また任意の Yライ ンを指定する こ と もでき る。 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 は、 アナロ グマノレチプレク サ 7 1 3 を制御する。 アナロ グマルチプレク サ 7 1 3 は、 各 Xラ イ ンに接続されている ライ ンア ンプ 7 1 4 力、 らの出力を取 り 込むためのものである。 図 2 では、 ライ ンア ンプ 1 4 A、 1 4 B が代表 して示されているが、 実際には各 Xライ ンに接続 されている。 アナロ グマルチプレク サ 7 1 3 は、 ライ ンアン プ 1 4 A， 1 4 B に対応 したスィ ッチ素子 1 3 A , 1 3 B を 有する。 図 2 では、 スィ ッチ素子 1 3 A , 1 3 B が代表 して 示されている が、 実際には、 各ラ イ ンアンプに対応している。 スィ ッチ素子 1 3 A、 1 3 Bがオン した と き に、 対応する X ライ ンの信号が、 共通ライ ン 1 3 C に現われる。
上記のアナ口 グマルチプレク サ 7 1 3 のスィ ッチ素子 1 3 A又は 1 3 B が、 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 によ り 、 オンさ れた と き、 そのスィ ッチ素子 1 3 A又は 1 3 B に対応する X ライ ン上の信号が増幅器 7 1 5 に入力 される。
増幅器 7 1 5 の出力信号は、 アナロ グデジタル変換器 （ A D C ) 7 1 6 に よ り デジタル信号に変換さ れ、 信号処理部 8 0 0 内のノ ッ フ ァ 8 0 1 に供給される。 バ ッ フ ァ 8 0 0 は、 入力端子 8 0 2 に与え られる タ イ ミ ングパルス に よ り データ の入力、 出力が制御される。 バ ッ フ ァ 8 0 0 からの出力は、 イ メ ージデータ と して出力端子 8 0 3 に導出 される。
撮像部 7 0 0 の Yア ド レ ス レジス タ 7 1 1 、 Xア ド レ ス レ ジス タ 7 1 2 に対 して、 Υ , Xァ ド レスデータ を設定する こ と ができ る。 Y， Xア ド レスデータ は、 信号処理部 8 0 0 か らシーケンサ 7 2 0 を介 して設定する こ と ができ る。 Υ , X ァ ド レ スデータが設定される と き 、 Y ァ ド レス レジス タ 7 1 1 、 X ア ド レス レジス タ 7 1 2 は、 書き込みモー ドに設定さ れる。 そ して、 シーケンサ 7 2 0 力 ら Y ア ド レスデータ、 X ァ ド レ スデータ が出力 さ れる と と も に、 タイ ミ ングパルス (書き込みク ロ ック） が Y ア ド レス レジス タ 7 1 1 、 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 に与え られる。
なお、 Y ア ド レスデータ、 X ア ド レスデータ の設定方法は、 上記の説明に限らず、 各種の方法が可能である。 例えば、 Y ア ド レス レジスタ 7 1 1 内に複数段のア ド レス レジスタが用 意されてお り 、 予め一方の Yア ドレス レジスタ （プリ セ ッ ト 用） にァ ド レ スデータ をラ ツチ し、 こ の ア ド レスデータが必 要な時に、 他方の Y ア ド レ ス レジス タ (動作用） に一切に転 送する とい う方法であっても よい。 この場合は、 読出 しア ド レスを変更する場合に短時間で変更する こ とが可能である。
シーケ ンサ 7 2 0 は、 Y ア ド レス レジス タ 7 1 1 、 X ア ド レ ス レジス タ 7 1 2 の各ァ ド レ スデータの書き込み、 読出 し のみな らず、 撮像部 7 0 0 内の各部のタイ ミ ングパルスを出 力する。 例えば、 画素に与えるための リ セ ッ トパルス 、 サン プリ ングパルス 、 読出 しタイ ミ ングパルス である。 さ らにま た、 シーケンサ 7 2 0 は、 アナロ グデジタル変換器 （ A D C ) 7 1 6 に対する ク ロ ッ ク 、 及ぴタイ ミ ングパルス も出力 して ヽる。
信号処理部 8 0 0 には、 上記した撮像部 7 0 0 内の Yァ ド レ ス レジス タ 7 1 1 、 X ア ド レス レジス タ 7 1 2 に設定され るァ ド レスを、 任意に制御するためのァ ド レス制御手段が設 け られている。
ァ ド レス処理部 8 0 2 は、 外部からァ ド レ ス設定データ を 取り 込むこ とができ る。 またア ド レス処理部 8 0 2 は、 R O M 8 0 3 に予め格納されているァ ド レ ス の設定データ も取り 込むこ と もでき る。 外部からのア ド レス設定データ、 R O M 8 0 3 カゝらのァ ド レス設定データのいずれを採用するかは、 制御信号によ り 決定される。
ァ ド レ ス処理部 8 0 2 は、 ァ ド レス設定データ に応じて、 Y ア ド レスデータ、 X ア ド レスデータ を生成し、 タイ ミ ング 処理部 8 0 4 に与える。 タイ ミ ング処理部 8 0 4 は、 先に説 明 したよ う に、 Yァ ド レスデータ及ぴ X ァ ド レスデータ をシ 一ケンサ 7 2 0 に与える。 これによ り 、 Y ア ド レ ス レジスタ 7 1 1、 Xァ ド レス レ ジス タ 7 1 2 にァ ド レスデータが設定 される。 ア ド レスデータを設定する時点は、 タイ ミ ング処理 部 8 0 4 に与えられる制御信号によ り 決まる。
Y ア ド レス レジス タ 7 1 1、 X ア ド レス レジス タ 7 1 2 に ァ ド レスデータが設定された後、 撮像部 7 0 0から撮像信号 の読出 しが行なわれる。 撮像部 7 0 0 から撮像信号が得られ る工程は、 リ セ ッ ト、 露光、 サンプリ ング、 信号読出 しの経 過を取る こ と になる。 リ セ ッ トは、 露光パルスが リ セ ッ ト用 の ス ィ ツチ素子に入力され、 露光動作が始まる前に撮像領域 7 0 1 の各画素の リ セ ッ トが一斉に行なわれる こ とである。 次に、 露光が行なわれる。 露光時間は、 シャ ツタ制御部 8 0 5 に与え られているシャ ツタ制御データに基づいて決まる。 シャ ッタ制御デ一タは、 タイ ミ ング処理部 8 0 4 に与え られ P0303732
9 ている。 タイ ミ ング処理部 8 0 4 は、 シャ ツタ制御データに 基づいて、 リ セ ッ ト時点からサンプリ ングパルスを出力する までの期間を設定している。
撮像信号の読出 しは、 Yア ドレス レジスタ 7 1 1 、 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 に読出 し開始パルス が与えられた と き力 ら実行される。 読出 し開始パルス の出力タイ ミ ングも、 タイ ミ ング処理部 8 0 4 によって決定される。 読出 し開始パルス の出力タイ ミ ングは、 タイ ミ ング処理部 8 0 4 に与え られて いる制御信号に基づいて決まる。
図 3 は、 撮像領域 7 0 1 に対して、 投影された画像の例を 示 している。 こ の例では、 撮像領域の 4つのコーナーの部分 に被写体像 9 0 1、 9 0 2 , 9 0 3 , 9 0 4 が投影されてい る。 こ の よ う な撮像環境の場合は、 Yア ド レス レジス タ 7 1 1、 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 に よ り 設定される領域は、 前 記被写体像 9 0 1、 9 0 2 , 9 0 3 , 9 0 4 を含む領域 9 1 1 , 9 1 2 , 9 1 3， 9 1 4 と なる。
図 4、 図 5 A〜図 5 F、 図 6 Aは、 上記のよ う に部分的に 読出 し領域が設定された場合、 撮像信号の読出 しタイ ミ ング を説明するために、 簡略化 した原理説明図であ り 、 読出 し領 域と各種のタイ ミ ングを信号を示している。
図 4 に示すよ う に、 今、 撮像する全領域 Wに対 して、 一部 の領域 A , B , C、 Dの各ス タ ー ト ア ド レス 力 S ( Y 0 1 , A 0 1 ) 、 （ Y 0 1 , B 0 1 ) 、 （ Y 1 1 ， C 0 1 ) 、 ( Y 1 1 , D 0 1 ) である とする。 撮像領域全体の画素数は （ 2 0 4 8 X 2 0 4 8 ) ピクセノレである とする。 領域 A , B , C、 D内 の各 ピク セルは、 （ 5 0 0 X 5 0 0 ) ピク セルであ る と する。
図 5 A〜図 5 F において、 図 5 Aは、 ト リ ガパルス であ り 、 タイ ミ ング処理部 8 0 4 に制御信号と して与えられる。 する と 、 図 5 B のシャ ッ タ ース タ ー ト パノレス （ リ セ ッ ト ハ。クレス に 相当） が撮像領域 7 0 2 に与えられる。 光電変換素子の露光 が開始し、 シャ ツタ制御データで決ま る リ セ ッ トからの時間 経過後にシ ャ ツ タエン ドパルス (サンプ リ ングパルス に相 当） が撮像領域 7 0 2 に与えられる （図 5 C ) 。 シャ ツ タ ス タ ー ト パルス カゝ ら シャ ッ タ エ ン ドパルス ま での期間に光電変 換素子は露光され電荷がチャージされる （図 5 D ) 。
Yア ド レ ス レ ジス タ 7 1 1 に は、 垂直同期パルス （図 5 F ) が与えられる と 同時に最初のア ド レス Y 0 1 を指定する データがセ ッ ト される （図 5 E ) 。
なおこ こで述べる垂直同期パルスは、 ビデオカ メ ラな どで 言う垂直同期パルス と は、 意味が異な り 、 Y方向ア ド レスを - レジス タ に設定する た めのパルス の こ と であ る。
次に、 Yア ド レス レ ジス タ 7 1 1 にク ロ ッ クパノレス (図 5 G ) が与え られる。 これによ り 、 領域 A , Bの Y方向の読出 しア ド レス が、 イ ンク リ メ ン ト される。 これによ り 、 領域 A， B のデータ が読み出 される。 こ のイ ンク リ メ ン ト は、 水平同 期信号がタイ ミ ングパルス と して Yァ ド レス レジス タ 7 1 1 に与えられる毎に 1 つずつア ップする。
Y方向のァ ド レス がァ ド レス Y O n まで到達する と、 垂直 同期パルス （図 5 F ) が Yア ド レス レジス タ 7 1 1 に与えら れる。 また この と き シーケンサ 7 2 0 から、 ア ド レス Y 1 1 が Yア ド レス レジス タ 7 1 1 に与え られる。
する と Y方向のア ド レス は Y 1 1 までジャ ンプする。 次に、 Y方向のア ド レス Y l 1 〜 Y I n 間での変化が得られる。 つ ま り 、 領域 C , Dの Y方向の読出 しア ド レス がイ ンク リ メ ン ト される。 これによ り 、 領域 C , Dのデータが読み出される。 図 6 A〜図 6 F は、 X方向のア ド レス の変化と 、 読出 し領 域と の関係を示 している。 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 には、 最初の水平同期パルス （図 6 B ) シーケンサ 7 2 0 を介 して Xア ド レス レジス タ 7 1 2 に与え ら える と 同時にァ ド レス A 0 1 を指定するデータ が与え られる （図 6 A ) 。 これによ り 了 ド レス A 0 1 が Xァ ド レス レジス タ 7 1 2 カゝら 出力 され、 これがイ ンク リ メ ン ト され A O l 〜 A O n まで変化する。 こ の変化は、 ク ロ ッ クノ、。ルス （図 6 C ) が Xア ド レス レジス タ 7 1 2 に与え られる こ と によ り 得られる。
X方向のァ ド レスが A 0 n まで到達する と、 水平同期パル ス が Xァ ド レス レジス タ 7 1 2 に与え られる と 同時にァ ド レ ス B 0 1 を指定するデータが与え ら える。 する と 、 X方向の ア ド レスは、 B 0 1 までジャ ンプする。 こ の後、 これがイ ン ク リ メ ン ト され B O 1 〜； B O n まで変化する。
X方向のァ ド レス が B 0 n まで到達する と 、 水平同期パル スが再度 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 に与え られる と 同時にァ ド レス A l 1 を指定するデータが与え られる （図 6 A ) 。 こ れによ り ア ド レス A 1 1 が Xァ ド レス レジス タ 7 1 2 カ ら出 力 され、 これがイ ンク リ メ ン ト され A l 1 〜 A 1 n まで変化 する。
こ の よ う に水平同期パルス毎に、 読出 し開始位置が設定デ ータ A 0 1 , B 0 1 , A l l , B 1 1 , A 2 1 , Β 2 1 、 ···、 C 0 1 , D O 1 とい う ふう に変化する。
上記のよ う に Yア ドレス と Xア ド レ スによ り 、 領域 A , B , C , Dのデータが読み出される こ と になる。
上記した複数領域読み出 し可能な撮像装置と方法の特徴を 述べる と以下の よ う になる。
撮像部 7 0 0 から撮像信号が読み出される場合、 前記撮像 領域内の任意の複数の領域を指定するため前記ア ド レスを発 生する信号処理部 8 0 0 を有する。 また、 画素 7 0 2 は、 光 電変換素子 7 0 6 と、 こ の光電変換素子に対する リ セ ッ ト、 露光及び光電変換素子からの信号の読み出 しを行う ためのス イ ッチ素子 7 0 5 , 7 0 7 , 7 0 8 , 7 0 9 を有する。 また 複数のァ ド レス ライ ンを含む。
—撮像部 7 0 0 は、 複数の Yァ ド レス ラ イ ンの任意のライ ン を選択するための Yア ド レス レジス タ 7 1 1 と、 複数の Xァ ド レ スライ ンの任意のライ ンを選択するための Xァ ド レ ス レ ジス タ 7 1 2 と 、 少な く と も前記 X Yア ド レス レジス タ に前 記任意の複数の領域を指定するァ ド レ スデータを与えるシー ケンサ 7 2 0 と を有する。 そ して信号処理部 8 0 0 は、 シー ケンサ 7 2 0 にァ ド レスデータ を転送するァ ド レス処理部 8 0 2 を有する。
信号処理部 8 0 0 は、 任意の複数の領域 A , B， C , Dを 指定するァ ドレスデータを格納 したメモ リ （ R A Mあるいは R O M 8 0 3 ) を備えても良い。
信号処理部 8 0 0 は、 複数の領域の各配列位置 （組み合 せ） を変更するために、 前記ア ド レスデータを格納した複数 のメ モ リ （ R O M 8 0 3 ) を備えても良い。 またア ドレス処 理部 8 0 2 は、 複数の領域を指定するァ ド レ スデータを外部 から取り 込むためのァ ド レ ス入力部を備えても良い。
撮像部 7 0 0 は、 例えば複数の被検査対象を撮像する もの であ り 、 信号処理部 8 0 0 は、 被検査対象に応じて前記複数 の領域の各配列位置を変更する手段を有しても よい。
撮像部 7 0 0 からの撮像信号をモニタするためのディ スプ レイ と、 撮像部の前面のアイ リ ス機構及びフォーカス機構と、 アイ リ ス機構及びフォーカ ス機構を制御する撮像コ ンデイ シ ョ ン制御装置とがさ らに設け られても よい。
そ して撮像コ ンディ ショ ン制御装置は、 前記複数の領域の 撮像信号に基づいて前記アイ リ ス機構及びフォーカス機構を 制御す-る よ う になつている。
図 7 は、 さ らにこの発明の装置の利用形態を示 している。 カ メ ラ 4 0 0 は、 フォーカ ス調整機構 4 0 1 と アイ リ ス調整 機構 4 0 2 と を有する。 フ ォーカス制御信号、 アイ リ ス制御 信号は、 撮像コ ンディ シ ョ ン制御部 8 2 0 から与えられる。 こ こで撮像コ ンディ シ ョ ン制御部 8 2 0 は、 ノ ッファ 8 0 1 から得られる ビデオ信号に基づいて制御される。
撮像コ ンディ ショ ン制御部 8 2 0 は、 例えば次のよ う にフ オーカス及びア イ リ ス制御データ を作成する。 カメ ラ 4 0 0 は、 最初、 被検査対象 3 0 1 の全体を撮像する。 撮像した結 果の映像は、 ノ、。一ソナルコ ンピュータ 5 0 0 のディ スプレイ 5 1 0 に表示される。 こ こでユーザは、 例えばマウス 5 1 1 を操作し、 所望の複数の領域 （例えば先に示したよ う な A , B， C， D ) を指定し、 ウィ ン ド枠で囲むこ とができ る。 次 に、 実行指令を行う と、 バ ッ フ ァ 8 0 1 には、 指定された領 域 A— D の画像データが出力される。 この画像データは、 撮 像コ ンディ ショ ン制御部 8 2 0 に取り 込まれる。
こ こで、 （ 1 ) アイ リ ス制御が行なわれる。 撮像コンディ シヨ ン制御部 8 2 0 は、 アイ リ ス制御データを出力 し、 可変 する。 アイ リ ス制御データが可変されている途中で、 画像デ ータの輝度が所望の範囲になった と きのアイ リ ス制御データ が固定される。 次に、 （ 2 ) 画像データの高域成分が抽出さ れる と共に、 フォーカス制御データが調整のために出力され る。 フォーカス制御データが可変されている と き、 高域成分 が ピーク を示 した と き のフォーカ ス制御データが決定される。 こ こで再度、 上記の （ 1 ) 、 （ 2 ) が繰り 返しされもよい。
上記の説明では、 検查対象と なる複数の領域 A— Dは、 撮 像面内で、 分離独立したものであった。 しかしこの発明の装 置は、 上記のよ う な領域設定に限らず、 一部オーバーラ ップ した領域を設定する こ と も容易である。
図 8 には、 全領域 Wに対して領域 E， F， Gが設定され、 一部オーバーラ ップした領域 E , Fが設定された例を示 して いる。
図 9 には、 この発明の装置の他の例を示している。 この装 置は、 ア ド レスを高速で切 り 替える場合に適している。 先の 説明では、 領域 A— Dは四角形であ り 、 Xア ド レス 、 Yア ド レスはイ ンク リ メ ン ト される と した。 し力 し、 この発明の装 置は、 領域が曲線をもっても よい。 このよ う な領域は、 先の 実施の形態であっても可能である。 しかし、 こ の装置である とァ ド レス設定に時間的余裕を得る こ とができ る。
図 9 に示すよ う に領域 H , I が指定される もの とする。 こ の場合は、 Yア ド レス レジス タ 7 1 1 A , 7 1 1 Bが交互に 切替られる よ う になつている。 片方の Yァ ド レス レジス タ 7 1 1 A (あるいは 7 1 I B ) のア ド レスデータが使用されて いる と きは、 他方の Yア ドレス レジスタ 7 1 1 B (あるいは 7 1 1 A ) に次の Yア ド レス のための領域指定データが書き 込まれる。 ス ィ ッ チ 7 1 1 C は、 Yァ ド レス レジス タ 7 1 1 A , 7 1 I Bのデータのいずれを採用するかを決めるための スィ ッチであ り 、 スィ ッチ 7 1 1 Dは、 Yア ド レス レジスタ 7 1 1 A , 7 1 1 B のいずれにァ ド レスデータを書き込む力、 を決める-ためのスィ ッチである。
ア ド レスデータ は、 メ モ リ （ R AM) 7 4 0 力 ら出力され る。 一方、
Xア ド レス レジス タ 7 1 2 A , 7 1 2 B も交互に切替られ る よ う になっている。 片方の X ァ ド レ ス レジス タ 7 1 2 A (あるいは 7 1 2 B ) のア ド レスデータが使用されている と きは、 他方の Yア ド レス レ ジス タ 7 1 2 B (あるいは 7 1 2 A ) に次の Xァ ド レス のための領域指定データが書き込まれ る。 スィ ッ チ 7 1 2 C は、 Xア ド レス レジス タ 7 1 2 A， 7 1 2 Bのデータのいずれを採用するかを決めるためのス ィ ッ チであ り 、 スィ ッチ 7 1 2 Dは、 Xア ド レス レジスタ 7 1 2 A , 7 1 2 B のいずれにァ ド レスデータ を書き込むかを決め るためのス ィ ツチである。
各部の制御タイ ミ ングは、 タイ ミ ング制御部 7 4 1 からの タイ ミ ングパルス 、 ク ロ ック によ り設定されている。
上記した本発明の装置は、 監視シス テ ム と して用いる こ と ができるのは勿論のこ と、 部品検査システム と して利用でき る。 監視システム と して利用する と きは、 監視する領域を特 定する場合に有効である。 例えば、 ビルディ ングの入口、 窓 などを監視領域と して設定できる。 また部品検查シス テム と しては、 基板上の複数箇所に配列された各部品をパターンマ ツチングで検查する場合有効である。 例えば領域 A— Dにそ れぞれ検査対象と なる部品が配置されている場合である。
部品と しては、 I Cチップ、 電子素子部品などがある。 さ らに部品に限らず、 プリ ン ト基板や部品に印刷されている文 字、 番号、 記号などをチェ ックする場合も有効である。 プリ ン ト基板上に正確に所望の部品が配置されているかど う かを チェ ックする場合である。
さ らに、 こ の発明の装置は、 例えば、 領域 A— Dのァ ド レ スが設定されているので、 領域 A— Dを除く 領域の画像デー タを取り 込むこ と も容易に実現する こ とができ る。 そこで、 領域 A— D を除く領域に例えば不要部品が搭載されていない かど う か、 あ るいは、 領域 A— D を除く 領域に欠陥 （傷な ど） が発生していないかど う かを検査する場合にも有効であ る。 上記した装置は、 必要な複数の領域の画像データのみを取 り 込むこ とができ る。 つま り 、 逆に、 不要な領域の画像デー タあるいは全領域の画像データ を取り 込む必要がない。
このために、 1 回の露光が行われた後、 撮像領域から取り 込む画像データを取り 込む時間 （読出 し時間） が、 従来に比 ベて大幅に低減される。 このこ と は、 検査時間を短縮でき る こ と である。
産業上の利用可能性
上記した用に、 この発明は撮像装置及び撮像方法に関する もので、 特に例えば C M O Sセンサを用いた撮像部を利用 し ている。 特にこの発明は、 監視装置と して利用できる。 また、 液晶デバイ ス、 半導体デバイ スな どの電子デバイ スの部品検 查装置と して利用でき る。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 複数の画素が 2次元配列された撮像領域を有し、 各 画素が独立 したア ド レスを有し、 各画素に対して読み出 しァ ド レ スを与えられる よ う に形成された撮像部と、
前記撮像部から撮像信号が読み出される場合、 前記撮像領 域内の任意の複数の領域を指定するため前記ァ ド レスを発生 する信号処理部と
を具備 したこ と を特徴とする複数領域読み出し可能な撮像
2 . 前記画素は、 光電変換素子と、 この光電変換素子に 対する リ セ ッ ト 、 露光及び光電変換素子からの信号の読み出 しを行う ためのス ィ ツチ素子、 及び複数の X ァ ド レス ライ ン と、 複数の Y ア ド レス ライ ンを含むこ と を特徴とする請求項 1記載の撮像装置。
3 . 撮像部は、 前記複数の Y ア ド レス ライ ンの任意のラ ィ ンを選択する ための Y レジス タ と 、 前記複数の Xァ ド レス ライ ンの任意のライ ンを選択するための X レジスタ と、 少な く と も前記 X Y レジス タ に前記任意の複数の領域を指定する 了 ド レスデータ を与えるシーケンサと を有し、
前記信号処理部は、 前記シーケンサに前記ァ ド レスデータ を転送するァ ドレス処理部を有した
こ と を特徴とする請求項 2記載の撮像装置。
4 . 前記信号処理部は、 前記任意の複数の領域を指定す る前記ァ ド レスデータ を格納したメ モ リ を有する こ と を特徴 とする請求項 3 記載の撮像装置。
5 . 前記信号処理部は、 前記複数の領域の各配列位置を 変更するために、 前記ァ ド レスデータ を格納した複数のメ モ リ を有する こ と を特徴とする請求項 3記載の撮像装置。
6 . 前記ア ド レス処理部は、 前記複数の領域を指定する ァ ド レスデータを外部カゝら取り 込むためのァ ド レス入力部を 有する こ と を特徴とする請求項 3 記載の撮像装置。
7 . 前記撮像部は、 複数の被検査対象を撮像する も ので あ り 、 前記信号処理部は、 前記複数の被検査対象の配列パタ ーンに応 じて前記複数の領域の各配列位置を変更する手段を 有する こ と を特徴とする請求項 3 記載の撮像装置。
8 . 前記撮像部からの撮像信号をモニタするためのディ スプレイ と 、 前記撮像部の前面のアイ リ ス機構及びフォー力 ス機構と 、 前記アイ リ ス機構及びフ ォ ーカ ス機構を制御する 撮像コ ンディ ショ ン制御装置とがさ らに設け られ、
前記撮像コ ンディ シ ョ ン制御装置は、 前記複数の領域の撮 像信号に基づいて前記アイ リ ス機構及びフ ォーカ ス機構を制 御する こ と を特徴とする請求項 1 記載の撮像装置。
9 . 撮像部が、 複数の画素が 2次元配列された撮像領域 を有し、 各画素が独立 したア ド レスを有し、 各画素に対して 読み出 しァ ド レスを与えられる よ う に形成されてお り 、
前記撮像領域の全画像データ を読み出す時間に比べて、 前 記撮像領域の一部部分である複数の領域の画像データの読出 し時間が短時間と なる よ う に、
信号処理部が、 前記撮像領域内の任意の複数の領域を指定 するため前記ア ド レスを発生する よ う に したこ と を特徴とす る複数領域読み出 し可能な撮像方法。
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