WO2004106945A1 - 電子部品試験装置 - Google Patents

Abstract

　ＩＣチップ（ＩＣ）の入出力端子（ＨＢ）をテストヘッドのコンタクト部に押し付けて試験を行う電子部品試験装置であって、ＩＣチップ（ＩＣ）の入出力端子（ＨＢ）が導出している前面を把持部（４１４）により把持して移動させるＩＣ移動装置４１０と、把持される前のＩＣチップ（ＩＣ）の前面を撮像する第１のカメラ（４１５）と、把持されたＩＣチップ（ＩＣ）の背面を撮像する第２のカメラ（４２０）と、第１のカメラ（４１５）及び第２のカメラ（４２０）により撮像された画像情報から、ＩＣ移動装置（４１０）に把持されたＩＣチップ（ＩＣ）の入出力端子（ＨＢ）の位置を算出し、当該算出結果に基づいて、ＩＣ移動装置（４１０）に把持されたＩＣチップ（ＩＣ）の入出力端子（ＨＢ）のコンタクト部に対する相対的位置を特定する画像処理装置と備え、ＩＣ移動装置４１０は、画像処理装置により特定されたＩＣチップ（ＩＣ）の入出力端子（ＨＢ）のコンタクト部に対する相対的位置に基づいて、ＩＣチップの位置を補正する。