WO2005123227A3 - Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci - Google Patents

Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci Download PDF

Info

Publication number
WO2005123227A3
WO2005123227A3 PCT/US2004/018206 US2004018206W WO2005123227A3 WO 2005123227 A3 WO2005123227 A3 WO 2005123227A3 US 2004018206 W US2004018206 W US 2004018206W WO 2005123227 A3 WO2005123227 A3 WO 2005123227A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
particle
analyzing
sample surface
composition
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/US2004/018206
Other languages
English (en)
Other versions
WO2005123227A2 (fr
Inventor
Thomas M Moore
John M Anthony
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omniprobe Inc
Original Assignee
Omniprobe Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omniprobe Inc filed Critical Omniprobe Inc
Priority to EP04754729A priority Critical patent/EP1754049A2/fr
Priority to PCT/US2004/018206 priority patent/WO2005123227A2/fr
Priority to CA002543396A priority patent/CA2543396A1/fr
Priority to CNA2004800379489A priority patent/CN1977159A/zh
Publication of WO2005123227A2 publication Critical patent/WO2005123227A2/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Publication of WO2005123227A3 publication Critical patent/WO2005123227A3/fr
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/2204—Specimen supports therefor; Sample conveying means therefore
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/32—Micromanipulators structurally combined with microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/317—Processing objects on a microscale
    • H01J2237/3174—Etching microareas
    • H01J2237/31745—Etching microareas for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Il est prévu un procédé d’analyse de la composition d’une particule microscopique (100) reposant sur une première surface échantillon (110). Le procédé consiste à positionner une sonde de micromanipulateur (120) près de la particule (100); à fixer la particule (100) à la sonde (120); à éloigner la sonde (120) et la particule fixée (100) de la première surface échantillon (110); à positionner la particule (100) sur une seconde surface échantillon (150); et à analyser la composition de la particule (100) sur la seconde surface échantillon (150) par analyse aux rayons X à dispersion d’énergie ou détection d’électrons d’Auger. La seconde surface (150) a un signal de fond réduit ou non interférant pendant l’analyse par rapport au signal de fond de la première surface (110). Il est également prévu des procédés de réglage des forces électrostatiques et des potentiels CC entre la sonde (120), la particule (100) et les surfaces échantillons (110, 150) pour enlever la particule (100), puis la transférer et la repositionner sur la seconde surface échantillon (150).
PCT/US2004/018206 2004-06-08 2004-06-08 Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci Ceased WO2005123227A2 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04754729A EP1754049A2 (fr) 2004-06-08 2004-06-08 Procede de manipulation de particules microscopiques et d"analyse de la composition de celles-ci
PCT/US2004/018206 WO2005123227A2 (fr) 2004-06-08 2004-06-08 Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci
CA002543396A CA2543396A1 (fr) 2004-06-08 2004-06-08 Procede de manipulation de particules microscopiques et d'analyse de la composition de celles-ci
CNA2004800379489A CN1977159A (zh) 2004-06-08 2004-06-08 处理微小颗粒并分析其成分的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/US2004/018206 WO2005123227A2 (fr) 2004-06-08 2004-06-08 Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2005123227A2 WO2005123227A2 (fr) 2005-12-29
WO2005123227A3 true WO2005123227A3 (fr) 2006-12-14

Family

ID=35510284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/US2004/018206 Ceased WO2005123227A2 (fr) 2004-06-08 2004-06-08 Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1754049A2 (fr)
CN (1) CN1977159A (fr)
CA (1) CA2543396A1 (fr)
WO (1) WO2005123227A2 (fr)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006045620B4 (de) 2006-09-25 2009-10-29 Roland Dr. Kilper Vorrichtung und Verfahren für Aufnahme, Transport und Ablage mikroskopischer Proben
EP1953789A1 (fr) * 2007-02-05 2008-08-06 FEI Company Procédé pour amincir un échantillon et support de l'échantillon pour effectuer ce procédé
US8283631B2 (en) * 2008-05-08 2012-10-09 Kla-Tencor Corporation In-situ differential spectroscopy
JP5849331B2 (ja) * 2011-08-31 2016-01-27 国立大学法人静岡大学 微小付着物剥離システムおよび微小付着物剥離方法
CN104236978B (zh) * 2014-09-30 2017-03-22 中国原子能科学研究院 一种测量单微粒中铀同位素比的方法
CN105797867B (zh) * 2016-05-09 2018-05-04 长安大学 一种静电式矿物微粒选取器
CN110595848B (zh) * 2018-06-12 2022-04-01 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法
CN111521623B (zh) * 2020-04-28 2023-04-07 广西大学 一种提高粉末样品透射电镜原位加热芯片制样成功率的方法
CN113804607A (zh) * 2020-06-17 2021-12-17 阅美测量系统（上海）有限公司 一种在扫描电镜与能谱仪（sem-edx）检测中固定颗粒的方法
CN111693555B (zh) * 2020-06-18 2021-08-10 中国科学院地球化学研究所 一种原位制备复杂结构样品中纳米级颗粒的tem样品的方法
CN112180124A (zh) * 2020-08-31 2021-01-05 上海交通大学 一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法
WO2022178901A1 (fr) * 2021-02-28 2022-09-01 浙江大学 Brucelles électroniques
WO2022178903A1 (fr) * 2021-02-28 2022-09-01 浙江大学 Procédé et dispositif de fabrication de microdispositif
KR20230097245A (ko) * 2021-12-23 2023-07-03 삼성전자주식회사 펠리클 세정 장치 및 이를 이용한 펠리클 세정 방법
CN116477566B (zh) * 2023-03-23 2024-04-09 清华大学 基于显微毛细管注射的单颗粒微电极制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4590792A (en) * 1984-11-05 1986-05-27 Chiang William W Microanalysis particle sampler
US6188068B1 (en) * 1997-06-16 2001-02-13 Frederick F. Shaapur Methods of examining a specimen and of preparing a specimen for transmission microscopic examination
US20040056194A1 (en) * 2002-09-23 2004-03-25 Moore Thomas M. Method for manipulating microscopic particles and analyzing

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4590792A (en) * 1984-11-05 1986-05-27 Chiang William W Microanalysis particle sampler
US6188068B1 (en) * 1997-06-16 2001-02-13 Frederick F. Shaapur Methods of examining a specimen and of preparing a specimen for transmission microscopic examination
US20040056194A1 (en) * 2002-09-23 2004-03-25 Moore Thomas M. Method for manipulating microscopic particles and analyzing

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KONNO T. ET AL.: "Micro welding method using a tungsten probe for micro fabrication", NATIONAL RESEARCH INSTITUTE FOR METALS, 1-2-1, SENGEN, TSUKUBA, IBARAKI 305-0047, JAPAN, 1 May 1996 (1996-05-01) *

Also Published As

Publication number Publication date
CA2543396A1 (fr) 2005-12-29
EP1754049A2 (fr) 2007-02-21
WO2005123227A2 (fr) 2005-12-29
CN1977159A (zh) 2007-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2005123227A3 (fr) Procede de manipulation de particules microscopiques et d’analyse de la composition de celles-ci
US10804090B2 (en) Laser ablation cell
EP4624590A3 (fr) Procédés, compositions et kits pour le codage à barres multiples et/ou le codage à barres spatial haute densité
AU2002307090A1 (en) Methods and reagents for multiplexed analyte capture, surface array self-assembly, and analysis of complex biological samples
GB2423151A (en) Examination systems for biological samples
EP2287883A3 (fr) Dispositif et méthode d'inspection ou de modification d'une surface à l'aide d'un faisceau de particules chargées
AU2003254093A1 (en) Methods for mass spectrometry analysis utilizing an integrated microfluidics sample platform
EP1081741A3 (fr) Procédé et dispositif de focalisation
WO2008049133A3 (fr) Procédé de création d'échantillont s/met et structure d'échantillon
DE50209822D1 (de) Untersuchungssystem zum teilchenoptischen Abbilden eines Objekts, Ablenkvorrichtung für geladene Teilchen sowie Verfahren zum Betrieb derselben
WO2003034024A3 (fr) Methodes et appareils pour analyse d'echantillons biologiques par spectrometrie de masse
WO2003022153A1 (fr) Appareil ultrasonographique, procede de traitement de donnees ultrasonographiques, et programme de traitement de donnees ultrasonographiques
AU2003235507A8 (en) Charged particle beam apparatus and method for inspecting samples
WO2010002426A3 (fr) Contrôle de la position relative d’un instrument de prélèvement d’échantillons et d’une surface à analyser pendant une procédure de prélèvement par analyse d’images
WO2010027430A3 (fr) Instrument, cassette et plaque de grossissage utilises en pathologie
EP1990637A3 (fr) Appareil et procédés pour l'inspection de fissures profondes
CA2610450A1 (fr) Commande de position automatisee d'un reseau de surface par rapport a un echantillonneur de surface a microjonction liquide
WO2010002427A3 (fr) Contrôle de la position relative d’un instrument de prélèvement d’échantillons et d’une surface à analyser pendant une procédure de prélèvement au moyen d’un capteur à laser
EP1555676A3 (fr) Méthode d'operation d'un micrscope à sonde
EP1394834A3 (fr) Méthode pour obtenir une image d'un échantillon dans un dispositif d'optique corpusculaire
WO2000066994A3 (fr) Technique d'enrobage d'echantillons destines a la microdissection par prelevement laser
WO2005066638A8 (fr) Instrument analytique a agencement ameliore de section de reactif et procede analytique correspondant
Son et al. Ar-gas cluster ion beam in ToF-SIMS for peptide and protein analysis
WO2007022265A3 (fr) Sondes atomiques, echantillons de sondes atomiques et procedes associes
WO2005059929A3 (fr) Appareil a tige magnetique et procede permettant de manipuler des particules magnetiques afin de detecter des analytes

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200480037948.9

Country of ref document: CN

AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

DPEN Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2543396

Country of ref document: CA

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2004754729

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006546943

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020067025777

Country of ref document: KR

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: DE

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2004754729

Country of ref document: EP