WO2007018024A1 - カッター刃のストック装置 - Google Patents

Abstract

　切断装置１０のカッター刃２１を収容するストック装置１１であり、カッター刃２１の収容部４１を備えたケース本体４０を含む。ケース本体４０の内部には、カッター刃２１を収容部４１に収容したときに、切断装置１０にカッター刃２１を装着する際の当該カッター刃２１の方位を一定に保つ係合面４３Ａが形成されている。また、ケース本体４０内にはカッター刃２１を洗浄する有機溶剤Ｌが収容されており、当該有機溶剤Ｌによって刃２１Ｂに付着した粘着剤等が溶解除去可能となっている。

Description

明 細 書

カッター刃のストック装置

技術分野

[0001] 本発明はカッター刃のストック装置に係り、更に詳しくは、切断装置にカッター刃を 装着するときに、当該カッター刃の方位若しくは向きが一定となるようにカッター刃を 収容することができるとともに、カッター刃の収容時に、当該カッター刃の保守点検を 行うことのできるカッター刃のストック装置に関する。

背景技術

[0002] 従来より、半導体ウェハ（以下、単に、「ウェハ」と称する）等の被着体には、その回 路面を保護するための保護シートを貼付することが行われている。

[0003] このようなシートの貼付方法において、帯状の剥離シートに帯状のシートが仮着さ れた原反を用いた場合には、そのシートを剥離シートから剥離してウェハに貼付した 後に、ウェハ外周に沿って切断装置による切断を行うことが必要となる。

[0004] 特許文献 1には、ウェハに貼付されたシートを切断するための切断装置がシート貼 付用のテーブル上方に配置されている。この切断装置は、ウェハの中心線上に回転 中心を有するアームと、当該アームの先端に取り付けられたカッター刃とを備えて構 成されている。

[0005] また、特許文献 2には、自由端側にカッター刃を備えたロボットからなる切断装置が 開示されている。

[0006] 特許文献 1 :特許第 2919938号公報

特許文献 2：特開平 6— 335893号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] しかしながら、特許文献 1及び 2に記載された切断装置は、カッター刃による切断精 度を安定化させるための保守機能が設けられておらず、カッター刃の経時的な精度 劣化に対応し得るものとはなっていない。

また、特許文献 2は、切断装置がロボットにより構成されているものの、多数のカツタ 一刃を収容するストツ力からカッター刃を装着できる構成や、切断装置がカッター刃 を自動的に交換する際に、カッター刃の方位ないし向きを一定に保っための構成等 は開示されていない。

[0008] [発明の目的]

本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、カツタ 一刃の切断精度を安定して維持することのできるカッター刃のストック装置を提供す ることにめる。

[0009] また、本発明の他の目的は、カッター刃の収容姿勢を一定に保つことにより、当該 カッター刃が装着される切断装置との相対位置を一定にして刃の向きを切断装置の 移動軌跡に対応させるカッター刃のストック装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0010] 前記目的を達成するため、本発明は、切断装置に着脱自在に装着されるカッター 刃を収容するストック装置において、

前記カッター刃を収容するケース本体と、当該ケース本体に設けられるとともに前 記カッター刃の収容位置を一定に保つ位置決め手段とを有する、という構成を採つ ている。

[0011] 本発明において、前記位置決め手段は、前記カッター刃に設けられた方位決定部 と、前記ケース本体内に設けられるとともに、前記方位決定部に対応する係合部とに より構成されている。

[0012] また、前記ケース本体はカッター刃の洗浄手段を含んで構成されている。

[0013] 前記洗浄手段は、前記ケース本体内に洗浄液を収容することにより構成することが できる。

[0014] また、前記洗浄手段は、前記ケース本体内に収容された洗浄液と、この洗浄液に 超音波振動を付与する超音波振動装置とにより構成することもできる。

[0015] 更に、前記洗浄手段は、ケース本体内に収容された洗浄ブラシにより構成すること ちでさる。

[0016] また、前記ケース本体内に、カッター刃を加熱する加熱手段が配置される、という構 成を採ってもよい。 [0017] 更に、前記ケース本体内に、カッター刃の刃を検査する検査手段を設けることがで きる。

発明の効果

[0018] 本発明によれば、位置決め手段を設けたことで、カッター刃の方位を一定の向きに して収容することができる。そのため、切断装置がストック装置内のカッター刃を装着 すべく移動して当該カッター刃を自動的に装着できる構成としたときに、切断装置に 対するカッター刃の向きを一定に保つことができる。例えば、被着体の外縁に沿って 切断を行う切断装置としたときに、その軌跡に沿うように刃が向けらなければならない 1S 本発明によれば、ストック装置に収容されたカッター刃の方位が一定に保たれる ので、切断装置に装着したときに、刃の向きが前記軌跡に沿う設定が可能となり、刃 の向きがシフトしてしまうような不都合は生じない。

[0019] また、ケース本体がカッター刃の洗浄手段を含む構成によれば、カッター刃に粘着 剤等が付着した場合であっても、ストック装置に収容している間に刃の洗浄を行うこと ができ、次にカッター刃を用いる際の切断精度を継続的に維持することができる。

[0020] 更に、前記ケース本体内に加熱手段を配置する構成を採用した場合には、カツタ 一刃を加熱した状態で用いることができ、これによつて切断精度を向上させることもで きる。

[0021] また、前記ケース本体内に検査手段を設けた構成では、カッター刃をストック装置 に収容したときに刃の検査を行うことができ、不良が検知されたときに、以後の使用を 控える等の対応を取ることができる。

図面の簡単な説明

[0022] [図 1]ウェハに貼付された保護シートを切断する切断装置にストック装置が併設され た概略斜視図。

[図 2]テーブルと切断装置の側面図。

[図 3]カッター刃の拡大斜視図。

圆 4]ストック装置の概略断面図。

[図 5]ストック装置の他の例を示す断面図。

[図 6]ストック装置の更に他の例を示す断面図。 符号の説明

[0023] 10 切断装置

11 ストック装置

21 カッター刃

21 A 刃ホルダ

21B 刃

21C 傾斜面 (方位決定部）

40 ケース本体

41 収容部

43A 係合面

45 コイルヒーター（加熱手段）

50 回転ブラシ (洗浄手段）

60 検査手段

L 有機溶剤 (洗浄手段）

発明を実施するための最良の形態

[0024] 以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

[0025] 図 1には、本発明に係るストック装置が切断装置に併設された概略斜視図が示され ている。この図において、切断装置 10の近傍に、カッター刃 21のストック装置 11と、 ウェハ Wを支持するテーブル 13が配置されている。ここで、ウェハ Wの上面（例えば 、回路面）には、帯状をなす保護シート S (以下「シート S」と称す)が貼付されており、 当該シート Sは、ウェハ Wの外縁に沿って、前記切断装置 10により切断されるように なっている。

[0026] 前記切断装置 10は、図 2にも示されるように、ロボット本体 20と、当該ロボット本体 2 0の自由端側に支持されたカッター刃 21とを備えて構成されている。ロボット本体 20 は、ベース部 23と、当該ベース部 23の上面側に配置されて矢印 A〜F方向に回転 可能に設けられた第 1アーム 23A〜第 6アーム 23Fと、第 6アーム 23Fの先端側に取 り付けられたカッター刃保持チャック 29とを含む。第 2、第 3及び第 5アーム 23B、 23 C、 23Eは、図 2中 YX Z面内で回転可能に設けられているとともに、第 1、第 4及び第 6アーム 23A、 23D、 23Fは、その軸周りに回転可能に設けられている。

[0027] 前記カッター刃保持チャック 29は、略円筒状をなすカッター刃受容体 30と、当該力 ッター刃受容体 30の周方向略 120度間隔を隔てた位置に配置されてカッター刃 21 を着脱自在に保持する三つのチャック爪 31とを備えて構成されて!、る。各チャック爪 31は、内方端が鋭角となる先尖形状部 31Aとされており、空圧によって、カッター刃 受容体 30の中心に対して径方向に進退可能に設けられている。なお、切断装置 10 は、図示しない制御装置によって制御され、この制御装置は、切断装置 10によって シート Sを切断する際の移動制御や、ストック装置 11に収容されたカッター刃 21の自 動的な着脱動作を制御するように設けられて 、る。

[0028] 前記カッター刃 21は、図 3に示されるように、刃ホルダ 21Aと、当該刃ホルダ 21A の先端側に挿入して固定された刃 21Bとにより構成されている。刃ホルダ 21Aは略 円柱状をなし、その外周面の周方向略 120度間隔位置には、基端力も中間部まで延 びる長さの溝 33が軸方向に沿って形成され、これらの溝 33に前記チャック爪 31の先 尖形状部 31 Aが係合することで、カッター刃保持チャック 29に対するカッター刃 21 の位置が一定に保たれるようになつている。また、刃ホルダ 21Aの先端側は、方位決 定部としての傾斜面 21C,21Cが相対位置に形成されている。本実施形態における 傾斜面 21C,21Cは、刃ホルダ 21Aの仮想中心平面に対して対称形状に設けられて いるが、非対称に設けることでもよい。

[0029] 前記ストック装置 11は、図 4に示されるように、ケース本体 40と、当該ケース本体 40 に形成されるとともに、カッター刃 21をそれぞれ独立して収容するように形成された 複数の収容部 41とを備えて構成されている。各収容部 41は、上端が開口する有底 形状を有し、上部が刃ホルダ収容部 43とされている一方、下部が刃収容部 44とされ ている。刃ホルダ収容部 43の内面には、刃ホルダ 21Aの傾斜面 21C,21Cと共に位 置決め手段を構成する係合部としての係合面 43A,43Aが形成され、これら係合面 4 3A,43Aに傾斜面 21C,21Cが着座することで、収容部 41におけるカッター刃 21の 周方向位置が一定の位置となるように設けられている。なお、傾斜面 21C,21Cが非 対称に設けられている場合には、係合面 43A,43Aは、傾斜面 21C,21Cに対応した 非対称の面形状に設けられる。このように傾斜面 21C,21Cを非対称に設けることに よって、カッター刃 21の収容時に一定方向にしか収容できなくなるので収容ミスを無 くすことができる。

[0030] 前記ストック装置 11の収容部 41において、図 4中左側二つは加熱用収容部 41Aと され、右側二つは洗浄用収容部 41Bとされている。加熱用収容部 41Aは、外周側に 加熱手段を構成するコイルヒーター 45が配置されており、当該コイルヒーター 45に通 電を行うことによって発熱してカッター刃 21を加熱できるようになつている。この一方、 洗浄用収容部 41Bは、刃収容部 44が共通する一つの空間によって形成されている 。この刃収容部 44内には洗浄手段を構成する洗浄液としての有機溶剤 Lが収容され 、当該有機溶剤 Lによって、刃 21Bに付着した粘着剤等を溶解除去できるように構成 されている。なお、洗浄用収容部 41Bは、カッター刃 21で反復継続的なシート切断 が行われた後の、当該カッター刃 21の刃 21Bを洗浄するための空きスペースが常に 確保されるようになって 、る。

[0031] 次に、本実施形態の作用について説明する。

[0032] 図 2に示されるように、テーブル 13上に支持されたウェハ Wにシート Sが貼付された 後に、切断装置 10のカッター刃 21は、ウェハ Wの外縁に沿って移動し、ウェハ Wの 外側のシート Sを不要シート部分として切断する。

[0033] 反復継続的にシート切断が行われると、その切断に用いられたカッター刃 21には シート Sの粘着剤が転着して 、る場合が考えられるため、ストック装置 11における洗 浄用収容部 41Bの空きスペースに収容され、当該洗浄用収容部 41にて有機溶剤 L で粘着剤が溶解除去される。この収容は、刃ホルダ 21Aの傾斜面 21Cが係合面 43 Aに一致する状態で行われ、これにより、カッター刃 21は、常に一定の向きを保つこ ととなる。この際、既に一定時間にわたって洗浄が行われた洗浄済みカッター刃 21 は、同じ方位を保ったまま切断装置 10によって加熱用収容部 41Aに移し換えられて コイルヒーター 45によって加熱処理を受けることとなる。

[0034] 次の切断に際しては、加熱処理を受けたカッター刃 21を切断装置 10が取りに動作 し、一定の方位を保ったまま、つまり、前述した移動軌跡に対応する方位を保有する ことができる状態で、カッター刃保持チャック 29に装着されることとなる。

[0035] 従って、このような実施形態によれば、切断装置 10のカッター刃保持チャック 29に 対してカッター刃 21を一定の向きで自動的に装着することができるとともに、必要に 応じて加熱されたカッター刃 21を用いることができ、また、カッター刃 21に付着した 粘着剤等を溶解して刃 21Bの切断精度低下を防止することができるストック装置 11 を提供することができる。

[0036] 以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示 されている力 本発明は、これに限定されるものではない。

すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、 本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなぐ以上説明した実施形態 に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更をカロ えることができるものである。

[0037] 例えば、洗浄手段としては、有機溶剤 Lの使用に限らず、図 5に示されるように、刃 収容部 44内に洗浄手段としての回転ブラシ 50を配置し、当該回転ブラシ 50で刃 21 Bを洗浄することでもよい。この際、必要に応じて、洗浄液を刃収容部 44に充填する ことでもよ 、。

[0038] また、図 6に示されるように、刃収容部 44内に、刃 21Bの面を検査することのできる カメラ等力もなる検査手段 60を設け、当該検査手段 60で刃 21Bの欠損等を検査す るようにしてちょい。

[0039] また、前記実施形態では、有機溶剤 Lで刃 21Bに付着した粘着剤等を溶解するも のとしたが、水等を洗浄液として用い、超音波振動装置を介して刃 21Bを洗浄するよ うに構成することも可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 切断装置に着脱自在に装着されるカッター刃を収容するストック装置において、 前記カッター刃を収容するケース本体と、当該ケース本体に設けられるとともに前 記カッター刃の収容位置を一定に保つ位置決め手段とを有することを特徴とするカツ ター刃のストック装置。

[2] 前記位置決め手段は、前記カッター刃に設けられた方位決定部と、前記ケース本体 内に設けられるとともに、前記方位決定部に対応する係合部とにより構成されている ことを特徴とする請求項 1記載のカッター刃のストック装置。

[3] 前記ケース本体はカッター刃の洗浄手段を含むことを特徴とする請求項 1又は 2記載 のカッター刃のストック装置。

[4] 前記洗浄手段は、前記ケース本体内に洗浄液を収容することにより構成されているこ とを特徴とする請求項 3記載のカッター刃のストック装置。

[5] 前記洗浄手段は、前記ケース本体内に収容された洗浄液と、この洗浄液に超音波振 動を付与する超音波振動装置とにより構成されていることを特徴とする請求項 3記載 のカッター刃のストック装置。

[6] 前記洗浄手段は、ケース本体内に収容された洗浄ブラシにより構成されていることを 特徴とする請求項 3, 4又は 5記載のカッター刃のストック装置。

[7] 前記ケース本体内に、カッター刃を加熱する加熱手段が配置されていることを特徴と する請求項 1ないし 6の何れかに記載のカッター刃のストック装置。

[8] 前記ケース本体内に、カッター刃の刃を検査する検査手段が設けられていることを特 徴とする請求項 1ないし 7の何れかに記載のカッター刃のストック装置。