WO2007020008A3 - Dispositif de mise en mouvement a mouvement sinusoidal - Google Patents

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Abstract

La présente invention concerne un dispositif de mise en mouvement à plusieurs axes qui imprime un mouvement dans une large mesure sinusoïdal, à un élément de préhension qui est monté à l'extrémité libre d'un bras entraîné sur plusieurs axes, un moteur d'entraînement pas à pas étant associé à chaque bras, les moteurs pas à pas destinés à entraîner les axes indépendants, fonctionnant indépendamment et de façon autonome, et aucune rétroaction d'un moteur pas à pas sur l'autre n'ayant lieu. L'invention se caractérise en ce que le dispositif de mise en mouvement présente une barre d'aspiration qui constitue des deux côtés un dispositif d'aspiration destiné à prendre en charge des cartes de circuits imprimés, des substrats, des tranches de semi-conducteur ou analogues, et qui présente un support rotatif qui exécute un mouvement de rotation d'au moins 180 à 360° autour de son axe de rotation orienté de façon axiale.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3084518B1 (fr) * 2018-07-25 2020-10-30 Commissariat Energie Atomique Dispositif de prehension d'une structure monocouche ou multicouche comportant un element de prehension rotatif et thermique
TWI829201B (zh) * 2022-06-17 2024-01-11 和淞科技股份有限公司 可調式負壓吸持模組

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0135772A2 (fr) * 1983-08-29 1985-04-03 Hitachi, Ltd. Dispositif pour le contrôle de mouvements pour un robot
US5967578A (en) * 1998-05-29 1999-10-19 Sez North America, Inc. Tool for the contact-free support of plate-like substrates
WO2000078654A1 (fr) * 1999-06-17 2000-12-28 Speedfam-Ipec Corporation Appareil de maniement de plaquettes ameliore
EP1085558A2 (fr) * 1999-09-16 2001-03-21 Applied Materials, Inc. Lamelle de robot multiface pour un équipement de traitement des semiconducteurs
US6327517B1 (en) * 2000-07-27 2001-12-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for on-the-fly center finding and notch aligning for wafer handling robots
EP1464455A1 (fr) * 2001-12-04 2004-10-06 Rorze Corporation Robot du type scalaire concu pour porter un objet du type plaque plane et systeme de traitement d'objet du type plaque plane
DE102004007558A1 (de) * 2004-02-17 2005-09-08 Josef Moser Bewegungseinrichtung mit sinusförmigen Bewegungsablauf

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06318628A (ja) * 1993-05-07 1994-11-15 Fujitsu Ltd 部品搬送方法とそのための装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0135772A2 (fr) * 1983-08-29 1985-04-03 Hitachi, Ltd. Dispositif pour le contrôle de mouvements pour un robot
US5967578A (en) * 1998-05-29 1999-10-19 Sez North America, Inc. Tool for the contact-free support of plate-like substrates
WO2000078654A1 (fr) * 1999-06-17 2000-12-28 Speedfam-Ipec Corporation Appareil de maniement de plaquettes ameliore
EP1085558A2 (fr) * 1999-09-16 2001-03-21 Applied Materials, Inc. Lamelle de robot multiface pour un équipement de traitement des semiconducteurs
US6327517B1 (en) * 2000-07-27 2001-12-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for on-the-fly center finding and notch aligning for wafer handling robots
EP1464455A1 (fr) * 2001-12-04 2004-10-06 Rorze Corporation Robot du type scalaire concu pour porter un objet du type plaque plane et systeme de traitement d'objet du type plaque plane
DE102004007558A1 (de) * 2004-02-17 2005-09-08 Josef Moser Bewegungseinrichtung mit sinusförmigen Bewegungsablauf

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