WO2008106913A4 - Dispositif de transport automatique pour des substrats, en particulier des tranches pour la fabrication de cellules solaires à base de silicium - Google Patents

Dispositif de transport automatique pour des substrats, en particulier des tranches pour la fabrication de cellules solaires à base de silicium Download PDF

Info

Publication number
WO2008106913A4
WO2008106913A4 PCT/DE2008/000083 DE2008000083W WO2008106913A4 WO 2008106913 A4 WO2008106913 A4 WO 2008106913A4 DE 2008000083 W DE2008000083 W DE 2008000083W WO 2008106913 A4 WO2008106913 A4 WO 2008106913A4
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
carrier
wafer
shaped base
cover plate
automation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2008/000083
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
WO2008106913A3 (fr
WO2008106913A2 (fr
Inventor
Stefan Jonas
Lutz Redmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jonas und Redmann Automationstechnik GmbH
Original Assignee
Jonas und Redmann Automationstechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jonas und Redmann Automationstechnik GmbH filed Critical Jonas und Redmann Automationstechnik GmbH
Publication of WO2008106913A2 publication Critical patent/WO2008106913A2/fr
Publication of WO2008106913A3 publication Critical patent/WO2008106913A3/fr
Publication of WO2008106913A4 publication Critical patent/WO2008106913A4/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/15Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls

Landscapes

  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

Dispositif de transport automatique (1) pour des substrats, en particulier des tranches (10) pour la fabrication de cellules solaires à base de silicium, qui comporte deux parois (2; 3) opposées, une pluralité d'éléments de liaison (4) reliant les parois (2; 3) et une structure de retenue destinée à retenir les tranches (10) dans une position verticale, parallèles les unes aux autres et à égale distance les unes des autres dans le dispositif de transport (1) pour le chargement et le déchargement (B et E) de ce dernier. L'objet de la présente invention est la mise au point d'un dispositif de retenue exempt de charges pour différents formats de tranches lors du transport. A cet effet, les deux parois (2; 3) sont conçues sous forme de profilés de plaque de fond et de plaque de couverture identiques en forme de U qui sont reliés amovibles à quatre montants (4) orientés verticalement par rapport au dispositif de chargement et de déchargement (E et B) du dispositif de transport (1) et qui forment avec lesdits montants un châssis (5) du dispositif de transport (1). Entre les deux faces internes (27) des parties de base (26) des deux profilés de plaque de fond et de plaque de couverture opposées en forme de U (2 et 3) du châssis (5) se trouve une butée (28) qui s'étend verticalement par rapport au dispositif de chargement et de déchargement (B et E) et qui est constituée de deux profilés en U (29) en aluminium pourvus d'éléments en caoutchouc (30) enchâssés sur lesquels viennent reposer à l'abri des chocs les arêtes frontales (31) orientées vers la butée (28) des tranches (10) guidées par leurs zones de bordure latérales dans les plaques nervurées (16) opposées lors du chargement du dispositif de transport (1).
PCT/DE2008/000083 2007-03-04 2008-01-15 Dispositif de transport automatique pour des substrats, en particulier des tranches pour la fabrication de cellules solaires à base de silicium Ceased WO2008106913A2 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202007003416U DE202007003416U1 (de) 2007-03-04 2007-03-04 Automatisierungscarrier für Substrate, insbesondere für Wafer zur Herstellung siliziumbasierter Solarzellen
DE202007003416.4 2007-03-04

Publications (3)

Publication Number Publication Date
WO2008106913A2 WO2008106913A2 (fr) 2008-09-12
WO2008106913A3 WO2008106913A3 (fr) 2008-11-13
WO2008106913A4 true WO2008106913A4 (fr) 2009-01-15

Family

ID=38136193

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2008/000083 Ceased WO2008106913A2 (fr) 2007-03-04 2008-01-15 Dispositif de transport automatique pour des substrats, en particulier des tranches pour la fabrication de cellules solaires à base de silicium

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE202007003416U1 (fr)
TW (1) TWI456678B (fr)
WO (1) WO2008106913A2 (fr)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008062123A1 (de) 2008-12-16 2010-06-17 Q-Cells Se Modularer Carrier
DE102009024239A1 (de) * 2009-05-29 2010-12-02 Schmid Technology Systems Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Stapeln bzw. Transport einer Vielzahl von flachen Substraten
DE102013008100A1 (de) 2012-05-15 2013-11-21 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Vorrichtung zur Veränderung von Abständen zwischen einzelnen Substraten
EP2711978A1 (fr) 2012-09-24 2014-03-26 Meyer Burger AG Méthode de fabrication de plaquettes
EP2711979A1 (fr) * 2012-09-24 2014-03-26 Meyer Burger AG Système de découpe de tranche
EP2720258A1 (fr) 2012-10-12 2014-04-16 Meyer Burger AG Système de manipulation de tranche
EP2944444A1 (fr) 2014-05-16 2015-11-18 Meyer Burger AG Procédé de traitement de plaque
FR3114437B1 (fr) 2020-09-21 2023-03-31 Commissariat Energie Atomique Dispositif de maintien de plaquette, ensemble de traitement de plaquette et procédé de traitement de plaquette associés

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4153164A (en) * 1978-06-13 1979-05-08 Kasper Instruments, Inc. Carrier for semiconductive wafers
US4228902A (en) * 1979-02-21 1980-10-21 Kasper Instruments, Inc. Carrier for semiconductive wafers
EP0100539A3 (fr) * 1982-07-30 1985-05-22 Tecnisco Ltd. Appareil assemblé pour supporter des pastilles semi-conductrices ou semblables
ATE147045T1 (de) * 1992-07-08 1997-01-15 Daifuku Kk Behälter für scheibenähnliche gegenstände
JP3148832B2 (ja) * 1993-01-11 2001-03-26 株式会社ダイフク 物品収納容器
JPH0853187A (ja) * 1994-08-09 1996-02-27 Sony Corp 板状物品収納用キャリア
JPH09107026A (ja) * 1995-10-12 1997-04-22 Shin Etsu Polymer Co Ltd ウェーハ収納容器のウェーハカセット
JPH09129718A (ja) * 1995-11-02 1997-05-16 Kawasaki Steel Corp 板状部品収容器
JPH11302481A (ja) * 1998-04-22 1999-11-02 Idemitsu Petrochem Co Ltd スチレン系樹脂組成物及び半導体搬送用治具
US7121414B2 (en) * 2001-12-28 2006-10-17 Brooks Automation, Inc. Semiconductor cassette reducer
DE10215283B4 (de) * 2002-04-05 2004-06-03 Astec Halbleitertechnologie Gmbh Vorrichtung zur Aufnahme von Substraten
JP2004095942A (ja) * 2002-09-02 2004-03-25 Kokusai Electric Semiconductor Service Inc ウェーハカセット
US20040238623A1 (en) * 2003-05-09 2004-12-02 Wayne Asp Component handling device having a film insert molded RFID tag
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
TW200847313A (en) 2008-12-01
WO2008106913A3 (fr) 2008-11-13
TWI456678B (zh) 2014-10-11
DE202007003416U1 (de) 2007-05-31
WO2008106913A2 (fr) 2008-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008106913A4 (fr) Dispositif de transport automatique pour des substrats, en particulier des tranches pour la fabrication de cellules solaires à base de silicium
EP1031496A1 (fr) Plaque-support avec moyens de fixation dans une position d'utilisation
DE102012100318A1 (de) Trägerelement für Artikel oder Behälter
DE102014007971A1 (de) Vorrichtung zum Halten von Solarmodulrahmen
EP2364929B1 (fr) Support d'outil, en forme de récipient plastique
WO2017013114A1 (fr) Maintien en position d'un catheter
EP2179935B3 (fr) Récipient de transport et de stockage doté d'une puce de transpondeur
DE102011113143A1 (de) Stapelleiste mit Druckentlastung zum Transport von Solarmodulen
DE10259836A1 (de) Greifer und Betriebsverfahren
DE102021112497B4 (de) Retikelhalterwechselplatte zur Kopplung mit einem Arbeitsgerät
EP3041640A1 (fr) Dispositif adaptateur de pièce, combiné dispositif de support de pièce-dispositif adaptateur de pièce et machine-outil
DE102004032306C5 (de) Behälter für medizinische Instrumente
DE102009056318A1 (de) Solarpaneel-Träger
DE102016006620A1 (de) Vorrichtung zur Aufnahme von kleinen Bauteilen für die Prozessschritte Transport, Reinigung und Automatisierung
DE3728033A1 (de) Vorrichtung zum transport von klein- und grosswaren in fahrzeugen, vorzugsweise kraftfahrzeugen
DE202014104279U1 (de) Falt- und Fixierungssystem zur Sicherung der Bewegung von ein- oder mehrschichtigen Einlegezellen in Verpackungen für den Warentransport
EP2088621B1 (fr) Support de substrat
AT527589B1 (de) Vorrichtung zum Anbringen an einem plattenförmigen Gegenstand
DE102014002716A1 (de) Vorrichtung zur adaptiven Lagefixierung von Transportgegenständen
WO2018019340A4 (fr) Système de contenant pour transpondeur
EP4183296A1 (fr) Dispositif de stockage et/ou de présentation, utilisation et procédé
AT11557U2 (de) Trägerstruktur für messtechnik-module, kopplungsplatte sowie messtechnik-modul
EP2494884B1 (fr) Boîte destinée au stockage et au transport d'empreintes dentaires, de modèles et autres.
DE202007009421U1 (de) Transportvorrichtung für einen Flachdichtungsstapel
DE202005013496U1 (de) Lade

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08700870

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08700870

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2