WO2010073902A1 - 形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置 - Google Patents

形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2010073902A1
WO2010073902A1 PCT/JP2009/070517 JP2009070517W WO2010073902A1 WO 2010073902 A1 WO2010073902 A1 WO 2010073902A1 JP 2009070517 W JP2009070517 W JP 2009070517W WO 2010073902 A1 WO2010073902 A1 WO 2010073902A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
shape memory
memory alloy
parameter
sma
target
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2009/070517
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
泰啓 本多
伸哉 三木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Opto Inc
Original Assignee
Konica Minolta Opto Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Opto Inc filed Critical Konica Minolta Opto Inc
Priority to US13/133,830 priority Critical patent/US20110242398A1/en
Priority to JP2010523210A priority patent/JP4591632B2/ja
Priority to KR1020117016925A priority patent/KR101279702B1/ko
Priority to EP09834705A priority patent/EP2375069A1/en
Priority to CN200980152416.2A priority patent/CN102265032B/zh
Publication of WO2010073902A1 publication Critical patent/WO2010073902A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/09Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/08Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03GSPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03G7/00Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
    • F03G7/06Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like
    • F03G7/061Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like characterised by the actuating element
    • F03G7/0614Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like characterised by the actuating element using shape memory elements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03GSPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03G7/00Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
    • F03G7/06Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like
    • F03G7/061Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like characterised by the actuating element
    • F03G7/0614Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like characterised by the actuating element using shape memory elements
    • F03G7/06143Wires
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03GSPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03G7/00Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
    • F03G7/06Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like
    • F03G7/066Actuator control or monitoring
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N10/00Electric motors using thermal effects
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03GSPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS; MECHANICAL-POWER PRODUCING DEVICES OR MECHANISMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR OR USING ENERGY SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03G7/00Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for
    • F03G7/06Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like
    • F03G7/062Mechanical-power-producing mechanisms, not otherwise provided for or using energy sources not otherwise provided for using expansion or contraction of bodies due to heating, cooling, moistening, drying or the like characterised by the activation arrangement

Definitions

  • the position is moved to the target position (focus point) only through the same heating process as that during sweeping (focus point search), so that accurate position control can be realized.
  • a considerable heat dissipation time is required, and it takes time to reach the target position (focus point) again.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to drive a shape memory alloy actuator capable of realizing accurate position control in a shorter time, the method thereof, and the same.
  • An imaging device is provided.
  • a pair of protrusions 5 are formed at the front end (front end in the front-rear direction) on the outer peripheral surface of the lens barrel 4, and the protrusions 5 are hooked on the arm portion 12 of the shape memory alloy actuator 11 to be 4 is displaced in the direction of the axis AX (front-rear).
  • the lens barrel 4 is mounted on the base portion 6, and the front and rear ends of the lens driving frame 3 are supported by the base portion 6 and the upper base 8 by a pair of link members 7, and are parallel to the axis AX (front and rear) direction. Displaceable.
  • the upper base portion 8 is integrated with the base portion 6 through a lateral outer wall (not shown).
  • a bias spring 10 is interposed between the front end of the lens driving frame 3 and the front cover 9.
  • FIG. 12 is a graph showing an example of the operation of a conventional autofocus sequence.
  • the left diagram shows the temperature-strain characteristics of the SMA, as in FIGS. 3 and 4. Due to the restriction of the movable range by the drive mechanism 1, the range from the mechanical reference position (the home position) to the close (macro) end is the operating range.
  • the right figure represents the change of the lens position in each process of the autofocus sequence, and the horizontal axis is the time axis.
  • the relationship between the distortion and the displacement on the vertical axis is drawn to match. The same applies to FIG. 5 according to the present embodiment.
  • step S4 the drive control calculation unit 26 drives the SMA 15 with the drive current value through the drive element 27, and after a certain time allowing for the response time required for the movement of the lens barrel 4, the microcomputer in step S5 24 acquires the temperature of the SMA 15 by the temperature sensor 22 via the temperature detection unit 23.
  • step S6 the microcomputer 24 performs focus evaluation based on the contrast at the step position, and stores it together with the temperature of the SMA 15 in step S5.
  • step S7 the microcomputer 24 determines whether or not the current step position is the focus search end position. If the current step position is not the end position, the microcomputer 24 returns to step S3 to change to the next step position.
  • the focus position is searched in the heating process shown in FIG. 3.
  • the autofocus process can be performed in the same flow in which the relationship between high / low is exchanged.
  • FIG. 9 is a block diagram showing an electrical configuration of a control circuit 31 which is a second driving device for driving the SMA actuator 11.
  • the control circuit 31 includes a resistance value detection unit 32, a comparison unit 33, a microcomputer 34, an image sensor 25, a drive control calculation unit 26, and a drive element 27, and the SMA 15 via the drive element 27. Is controlled.
  • the control circuit 31 is similar to the control circuit 21 described above, and corresponding portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the control circuit 31 uses the resistance value of the SMA 15 as a parameter relating to the expansion and contraction of the SMA 15, that is, a parameter for detecting the position of the lens barrel 4.
  • the temperature hysteresis of the Ni—Ti alloy is about 20 ° C.
  • the temperature of the Ni—Ti—Cu alloy is about 10 ° C.
  • the temperature hysteresis can be kept small.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

 本発明の形状記憶合金アクチュエータの駆動回路21は、形状記憶合金(SMA)15が温度変化によって伸縮し、その伸縮に関するパラメータ-歪み特性にヒステリシスを有し、SMA15の温度を昇温または降温させる間に、SMA15の伸縮によって変位駆動する可動部の目標位置に対応する前記パラメータ値を測定部によって測定して目標パラメータとして設定し、SMA15の結晶相がマルテンサイト相になる前であって前記測定部で測定された前記パラメータ値が前記目標パラメータを通過するように、SMA15の温度を降温または昇温させ、その後、前記測定部で測定された前記パラメータ値が前記目標パラメータとなるように、再度、SMA15の温度を昇温または降温させるものである。

Description

形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置
 本発明は、例えば、カメラ付き携帯電話機等に搭載される比較的小型の撮像装置およびその撮像装置に好適に用いられ、撮像光学系を構成するレンズユニットをフォーカス調整やズーム調整等のために駆動する形状記憶合金アクチュエータを駆動するための駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置に関する。
 近年、カメラ付き携帯電話機等に搭載される撮像素子の画素数が飛躍的に増大する等、高画質化が進んでいる。これに合わせて、撮像光学系を構成するレンズユニットの高性能化も求められている。具体的には、固定焦点式に代えて、オートフォーカス式が要求され、またズーム機能についても、デジタルズームに代えて、若しくは追加して、光学式ズームが要求されている。ここで、オートフォーカスや光学式ズームのいずれにおいても、レンズを光軸方向に移動させるアクチュエータが必要となる。
 そこで、このようなアクチュエータとしては、形状記憶合金(以下、SMA(Shape Memory Alloy)という場合がある)を用いた装置が知られている。これは、SMAを通電加熱すること等によって緊縮力を発生させ、この緊縮力を、レンズを駆動するレンズ駆動力として用いるものであり、これは、一般に、小型化、軽量化が容易であり、しかも比較的大きな力量が得られるという利点がある。
 しかしながら、一般に形状記憶合金は、その温度-歪み特性にヒステリシスを有し、温度上昇過程(加熱過程)と温度下降過程(放熱過程)とで温度に対する歪み量が異なる。ここで、前記カメラのオートフォーカスの場合、フォーカスレンズは、衝撃等に対応できるホームポジション(遠方端)に在る状態(前記SMAはマルテンサイト相(低温相))から、一旦掃引端(近接端)に在る状態(前記SMAはオーステナイト相(高温相))まで移動(加熱)される。そして、その移動の間に画像センサの出力から、コントラストが高くなってエッジが検出されること等によって、フォーカス点が検出され、フォーカスレンズは、掃引後に、前記フォーカス点に位置決めされる。したがって、温度-歪み特性に前記ヒステリシスを有すると、遠方端から近接端までの掃引(加熱)の場合に通るヒステリシスカーブと、近接端からフォーカス点まで戻る(放熱)場合に通るヒステリシスカーブとが異なることになる。このため、制御部は、フォーカス点の検出時に読み取ったSMAの温度となるように、復帰時にSMAの通電を制御すると、目標位置の手前で留まってしまうことになる(充分に戻らない)。
 そこで、このような問題に対応するために、特許文献1では、図12で示すように、一旦形状記憶合金の結晶相をマルテンサイト相(低温相)に戻す制御が行われている。すなわち、目標位置(フォーカス点)に関わらず、形状記憶合金を完全に放熱させる制御が行われている。言い換えれば、結晶相がマルテンサイト相(低温相)になるホームポジション(遠方端)まで、フォーカスレンズが一旦戻され、再度、形状記憶合金の加熱過程によって目標変位(フォーカス点)にフォーカスレンズを到達させる制御が行われている。
 上述の従来技術では、掃引(フォーカス点探索)時と同じの加熱過程だけを経て目標位置(フォーカス点)に移動させているので、正確な位置制御を実現することができる。しかしながら、前記マルテンサイト相まで戻すために、かなりの放熱時間が必要となり、再度目標位置(フォーカス点)に到達するまでに時間がかかってしまう。
国際公開第07/113478号パンフレット
 本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、より短い時間で正確な位置制御を実現することができる形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置を提供することである。
 本発明にかかる形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置は、形状記憶合金が温度変化によって伸縮し、その伸縮に関するパラメータ-歪み特性にヒステリシスを有する場合に好適に用いられ、形状記憶合金の温度を昇温または降温させる間に、形状記憶合金の伸縮によって変位駆動する可動部の目標位置に対応する前記パラメータ値を測定部によって測定して目標パラメータとして設定し、形状記憶合金の結晶相がマルテンサイト相になる前であって前記測定部で測定された前記パラメータ値が前記目標パラメータを通過するように、形状記憶合金の温度を降温または昇温させ、その後、前記測定部で測定された前記パラメータ値が前記目標パラメータとなるように、再度、形状記憶合金の温度を昇温または降温させるものである。したがって、このような構成の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置は、形状記憶合金の結晶相がマルテンサイト相まで戻す必要がないので、より短い時間で正確な位置制御を実現することができる。
 上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
本発明の実施の一形態に係る撮像装置におけるオートフォーカスレンズ駆動機構の正面図である。 図1に示すオートフォーカスレンズ駆動機構の動作を説明するための側面図である。 形状記憶合金における温度―歪み特性を示すグラフであり、加熱過程で目標位置へ変位させる場合を示す。 形状記憶合金における温度―歪み特性を示すグラフであり、放熱過程で目標位置へ変位させる場合を示す。 本発明の実施の一形態のオートフォーカスシーケンスの動作例を示すグラフである。 形状記憶合金における変位-駆動電流特性および変位―温度特性を示すグラフであり、周囲温度の違いによる変位の違いを示す。 SMAアクチュエータを駆動する本発明の実施の一形態の制御回路のブロック図である。 図7に示す制御回路によるオートフォーカス制御を説明するためのフローチャートである。 SMAアクチュエータを駆動する本発明の実施の他の形態の制御回路のブロック図である。 形状記憶合金における変位-抵抗値特性と変位-温度特性とを示すグラフである。 図9に示す制御回路によるオートフォーカス制御を説明するためのフローチャートである。 従来のオートフォーカスシーケンスの動作例を示すグラフである。
 以下、本発明にかかる実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。
 [実施の形態1]
 図1は、本発明の実施の一形態に係る撮像装置におけるオートフォーカスレンズ駆動機構1の正面図(レンズ開口面から見た図)であり、図2は、その動作を説明するための側面図である。図2(a)は、SMA15がバイアスばね10の弾発力によって伸長している場合を示し、図2(b)は、SMA15がバイアスばね10の弾発力に抗して収縮している場合を示す。この駆動機構1は、レンズ2を、その軸線AX(前後)方向に変位させることで、フォーカス合せを行う。鏡筒4は、レンズ2と、レンズ駆動枠3とを備えて構成されており、レンズ2は、レンズ駆動枠3に取付けられている。鏡筒4の外周面において、前端(前記前後方向における前端)には一対の突出部5が形成されており、その突出部5が形状記憶合金アクチュエータ11のアーム部12に引っ掛けられて、鏡筒4は、軸線AX(前後)方向に変位される。
 鏡筒4は、ベース部6上に搭載され、レンズ駆動枠3の前後端が、一対のリンク部材7によって、ベース部6と上ベース8とによって支持され、軸線AX(前後)方向に平行に変位可能となっている。この上ベース部8は、図示しない横面外壁を介してベース部6と一体になっている。レンズ駆動枠3の前端には、前カバー9との間にバイアスばね10が介在されている。
 形状記憶合金アクチュエータ11は、可動部となるアーム部12、レバー13および支持脚14と、形状記憶合金(SMA)の線材から成るSMA15とを備えて構成される。アーム部12は、正面(レンズ開口)側から見て、略くの字状(略Cの字状)に形成されており、その両端に突出部5が引っ掛けられ、その中央部がレバー13の一端に固着されている。レバー13の中央部は、支持脚14の支点14aによって揺動変位自在に支持されており、レバー13の他端には、切欠き13aが形成されている。そして、その切欠き13aに前記SMA15が巻掛けられており、これによって、鏡筒4の軸線AX(前後)方向の変位に対しても、前記SMA15のずれが防止されている。SMA15の両端は、ベース部6に立設された一対の電極16によって張架されている。
 このような構成によって、電極16間に通電されていない間では、SMA15は、周囲に自然放熱して、マルテンサイト相(低温相)となって該SMA15に張力が発生せず、バイアスばね10の弾発力によって、伸長する。したがって、図2(a)で示すように、鏡筒4は、ベース部6に押付けられたホームポジション(遠方端)にあり、衝撃等に対応できるようになっている。これに対して、電極16間に、通電が例えばパルスで行われ、そのデューティ比が高くなる(通電量が多くなる)程、SMA15は、ジュール熱を発し、この自己加熱によって収縮し、該SMA15に張力が発生する。この該SMA15の張力は、バイアスばね10の弾発力に抗して、図2(b)で示すように、レバー13を矢符18方向に揺動させる。この揺動によって、アーム部12および突出部5を介して、鏡筒4は、矢符19の前カバー9方向に押出されて行き、最もデューティが高い状態でSMA15がオーステナイト相(高温相)となって、鏡筒4は、掃引端(近接端)に到達する。
 また、側面視(図2)でL字状となるレバー13およびアーム部12において、屈曲点付近が支点14aによって支持され、アーム部12において突出部5が係合する点までの距離が、レバー13においてSMA15が係合する点までの距離よりも長く形成される。これによってSMA15の変位が拡大し、SMA15は、前記張力によって鏡筒4を変位させることができる。
 図3および図4は、SMAにおける温度―歪み(伸縮の変位量)の特性を示すグラフである。実線で示すように、SMAは、一定以下の温度では、マルテンサイト相(低温相)と呼ばれる結晶相となっており、線材は、伸長している。温度を上げて行くと、SMAは、ヒステリシスループの一方を辿り、特定の温度(As点)から急に収縮をして行き、収縮方向に変位が増加する。特定の温度(Af点)よりも温度を上げると、線材の収縮は、終わり、SMAは、オーステナイト相(高温相)と呼ばれる結晶相になる。この状態から温度を下げて行くと、SMAは、ヒステリシスループの他方を辿り、特定の温度(Ms点)から急に伸長して行き、前記収縮方向の変位が減少する。特定の温度(Mf点)よりも温度を下げると、線材の伸長は、終わり、SMAは、マルテンサイト相に戻る。そして、SMAは、一般に温度-歪み特性にこれらの図3および図4で示すようなヒステリシスを有し、Mf点<As点、Ms点<Af点の関係がある。このヒステリシスがあるために、加熱過程と放熱過程とでは、SMAは、同じ温度であっても異なる変位量を示す。
 そこで、前述のように特許文献1では、SMAを完全に放熱させて一旦マルテンサイト相(低温相)まで復帰させた後に、目標位置まで変位させる制御が行われている。このような制御を図1および図2に示す駆動機構1に適用すると、図12で示すように、時刻t0でSMA15への通電が開始され、時刻t1から鏡筒4が移動し始め、鏡筒4が移動し始めると(ホームポジションから離れると)、複数のステップにおいてフォーカス評価が行われてその評価値(フォーカス評価値)が保存されて行き、この過程で、例えば時刻t2で取得したフォーカス評価値から最適フォーカス位置らしきハイコントラスト(エッジ)の検出を行った後も、所定範囲では、掃引が行われ、時刻t3で掃引が終了し、前記時刻t2前後での正確なフォーカス位置の判定が行われる。その後、時刻t4までの充分な時間、SMA15を放熱させてSMA15をマルテンサイト相(低温相)まで確実に復帰させた後に、再びその時刻t4から通電が開始され、時刻t5で鏡筒4が前記時刻t2前後での正確なフォーカス位置まで移動すると、その温度が維持され、撮影が行われる。
 この図12は、従来のオートフォーカスシーケンスの動作例を示すグラフであり、この図12において、左の図は、前述の図3および図4と同様に、SMAの温度-歪み特性であるが、駆動機構1による可動範囲の規制のために、メカ基準位置(前記ホームポジション)から、近接(マクロ)端までの範囲が、動作範囲となっている。また、右の図は、オートフォーカスのシーケンスの各過程でのレンズ位置の変化を表しており、横軸は、時間軸である。そして、左右の図において、縦軸の歪みと変位との関係が一致するように描いている。本実施形態にかかる次の図5も同様である。
 これに対して、本実施の形態では、図5で示すように、時刻t0でSMA15への通電が開始され、時刻t1から鏡筒4が移動し始め、時刻t2で最適なフォーカス位置の検出が行われ、時刻t3で掃引が終了する。この時刻t0から時刻t3までの加熱過程は、前述の図12と同様である。ここで、本実施の形態では、この時刻t3から始まる放熱過程において、前記最適なフォーカス位置を所定値Δだけ行き過ぎた時刻t14から、再度、SMA15の通電電流値を増加させて加熱過程が始まり、時刻t15で前記最適なフォーカス位置に到達させてオートフォーカス処理が完了し、撮影が行われる。
 より具体的には、再び、図3において、この図3には、ヒステリシスループの一方を成す加熱過程において或る目標位置PTを決めた後、ヒステリシスループの他方を成す放熱過程を経て鏡筒4を復帰させ、さらに加熱した状態で前記目標位置PTに戻して再位置決めする制御動作も示されている。すなわち、破線で示すように、目標位置PTへの移動開始位置(掃引停止位置)PMから該目標位置PTに戻す際には、参照符号F1で示すような放熱過程を経ることになるが、このとき予め分かっている前記温度―歪みのヒステリシス特性を基にした前記所定値Δだけ、放熱過程の目標位置PTに相当する温度よりも低くなるようにSMA15が制御される。こうして、一旦、放熱過程で目標位置PTを通り過ぎた後、参照符号F2で示すように、再度の加熱過程で目標位置PTに相当する温度に制御することで、駆動機構1は、レンズ位置を正確に目標位置に移動することができる。
 同様に、図4では、放熱過程において或る目標位置PTを決めた後、さらに放熱した状態で目標位置に戻す制御の動作が示されている。この図4では、図3に対し、加熱と放熱との関係が逆となっているが、図3と同様の制御方法で、駆動機構1は、レンズ位置を正確に目標位置PTに移動することができる。
 図6に、SMAの変位-駆動電流(周囲温度)特性および変位―温度特性を示す。駆動電流によってジュール熱を発生させることでSMAの温度を変化させることができるので、基本的には、SMAは、前述の図3や図4の変位―温度の特性と同じようなヒステリシス特性を示す。ただし、SMAの温度は、周囲温度の影響も受けるために、変位―駆動電流特性は、周囲温度によって変化し(周囲温度に依存し)、周囲温度が高いときには同じ変位に対して駆動電流は小さく、周囲温度が低いときには同じ変位に対して駆動電流は大きい。したがって、SMAアクチュエータ11の変位を制御するためには、このような特性に応じ、駆動電流を適切に制御する必要がある。
 そこで、図7にSMAアクチュエータ11を駆動するための第1の駆動装置である制御回路21のブロック図を示す。この制御回路21は、温度センサ22と、温度検出部23と、マイコン24と、画像センサ25と、駆動制御演算部26と、駆動素子27とを備えており、駆動素子27を介してSMA15に流れる駆動電流を制御している。この制御回路21では、SMA15の伸縮に関するパラメータ、すなわち鏡筒4の位置を検出するパラメータとして、温度が用いられる。このため、SMA15付近には、測定部となる温度センサ22が設置されており、その出力は、温度検出部23で検出され、温度検出値としてマイコン24に入力される。温度センサ22は、サーミスタ、熱電対、薄膜抵抗等から成り、例えば、レバー13において、このSMA15が巻掛けられる切欠き13aの部分に設けられる。
 マイコン24には、画像センサ25の検出結果が入力されており、マイコン24は、画像センサ25の出力から、コントラストが高くなってエッジが検出されると、フォーカス点と判定する。したがって、このマイコン24は、制御部となるとともに、鏡筒4が目標変位位置に到達したことを検出する検出部となる。マイコン24は、それらの画像センサ25の出力および温度センサ22の出力に応答して、駆動電流値を演算し、駆動制御演算部26に与える。駆動制御演算部26は、前記駆動電流値に対応したデューティの駆動信号を作成し、駆動素子27を介してSMA15への通電電流値(駆動電流の電流値)を制御する。このため、マイコン24には、加熱/放熱過程および周囲温度に応じて、前記通電電流値(デューティ)を適切に設定できるように、前述の図6に示すような駆動電流および周囲温度と変位との関係が、そのメモリに予め記憶されている。周囲温度を測定するために、SMA15の温度を検出する温度センサ22とは別に温度センサが設けられてもよく、或いは、周囲温度は、通常、急激には変化しないので、SMA15への通電開始前や、所定時間通電を休止して、温度センサ22の検出結果を読込むように、マイコン24が構成されてもよい。
 図8は、前記制御回路21によるオートフォーカス制御を説明するためのフローチャートである。この図8は、前述の図3で示すような加熱過程でフォーカス位置の探索を行うものとする。オートフォーカス処理が開始されると、マイコン24は、まずステップS1で、フォーカス位置の探索を始める初期位置が最初のステップ位置とされる(図2ではベース部6上の位置)。ステップS2では、マイコン24は、温度検出部23を介して、温度センサ22による周囲温度を取得する。ステップS3では、マイコン24は、この取得した温度情報と予め記憶された加熱過程の変位―駆動電流特性とから、次のステップ位置にレンズを移動するための駆動電流値を決定し、駆動制御演算部26へ出力する。
 ステップS4では、その駆動電流値で駆動制御演算部26は、駆動素子27を介してSMA15を駆動し、鏡筒4の移動に必要な応答時間を見込んだ一定の時間後に、ステップS5で、マイコン24は、温度検出部23を介して、温度センサ22によるSMA15の温度を取得する。ステップS6では、マイコン24は、そのステップ位置でのコントラストなどから、フォーカス評価を行い、ステップS5でのSMA15の温度と共に保存する。ステップS7では、マイコン24は、現在のステップ位置がフォーカス探索の終了位置かどうかを判断し、終了位置でなければ、次のステップ位置に変更するために前記ステップS3に戻り、一方、マイコン24は、前記フォーカス評価のデフォーカス量などから、ステップ位置を終了位置と判断すると、フォーカス位置探索としての加熱過程を終了し、ステップS8で、保存されているフォーカス評価値の中で最も高い値のステップ位置を最適フォーカス位置(目標位置)とし、そのステップ位置での温度を目標温度に設定する。
 前記ステップS8から始まる各処理は、前記目標位置への移動動作に移る処理であり、マイコン24は、先ずステップS9からの放熱過程を始める。ステップS9では、マイコン24は、ステップS2で求められた周囲温度と予め記憶された放熱過程の変位―駆動電流特性とから、目標変位に相当する温度よりも低い温度であり、前記目標位置から前記所定値Δだけ行き過ぎる位置になるように駆動電流値を決定し、ステップS10で、ステップS4と同様に、SMA15を駆動する。ステップS11では、マイコン24は、ステップS5と同様に、SMA15の温度を測定し、ステップS12で、ステップS9で設定した行き過ぎ位置での温度となっているか否かを判断し、到達していなければ前記ステップS9に戻り、到達していれば放熱過程を終了し、ステップS13以降の再加熱過程に移る。
 ステップS13では、ステップS3と同様に、マイコン24は、ステップS2で求められた周囲温度と予め記憶された加熱過程の変位―駆動電流特性とから、前記目標位置に対応した駆動電流値を決定し、ステップS14で、ステップS4と同様に、SMA15を駆動する。ステップS15では、マイコン24は、ステップS5と同様に、SMA15の温度を測定し、ステップS16で、ステップS13で設定した目標位置での温度となっているか否かを判断し、到達していなければ前記ステップS13に戻り、到達していればその温度を維持して再加熱過程を終了し、撮影動作に移る。
 この図8のフローでは、図3で示す加熱過程でフォーカス位置の探索を行っているけれども、図4で示す放熱過程でフォーカス位置を探索する場合には、上述の加熱/放熱過程と、温度の高/低との関係を入れ替えた同様のフローでオートフォーカス処理を行うことができる。
 このように本実施の形態の制御回路21では、マイコン24は、SMA15への通電電流値を予め定める範囲で一方方向に掃引させ、それによる可動部の変位で、マイコン24が目標位置を通過したことを検知すると、マイコン24は、その時点での温度センサ22での測定結果を前記目標位置に対応した目標温度として読み込む。そして、その目標温度となるように駆動素子27による通電電流値を他方方向に変化させることで前記可動部を前記目標位置に再位置決めする際に、マイコン24は、図5で示すように、SMA15が有する温度-歪み特性のヒステリシス量に相当する行き過ぎ量Δだけずれた値に設定し、その値となった時点から再度前記通電電流値を前記一方方向に変化させ、前記目標位置(温度)に到達させる。このため、本実施の形態の制御回路21は、図12で示す従来技術のように結晶相を一旦マルテンサイト相(低温相)まで戻してから、目標位置に移動させる方法に比べて、より短い時間で正確な位置制御を実現することができる。
 なお、SMA15の組成として、Ni(ニッケル)-Ti(チタン)-Cu(銅)の三元系でCuを3原子%以上含むものが好ましい。それは、Ni-Ti合金の二元系の材料では、温度ヒステリシスが20℃程度に対し、前記Ni-Ti-Cu合金の三元系の材料では、10℃程度であり、前記温度ヒステリシスを小さく抑えることができるからである。前記温度ヒステリシスが小さければ、加熱/放熱過程を経由するときの時間的ロスを小さくすることができる。
 [実施の形態2]
 図9は、前記SMAアクチュエータ11を駆動するための第2の駆動装置である制御回路31の電気的構成を示すブロック図である。この制御回路31は、抵抗値検出部32と、比較部33と、マイコン34と、画像センサ25と、駆動制御演算部26と、駆動素子27とを備えており、駆動素子27を介してSMA15に流れる駆動電流を制御している。この制御回路31は、前述の制御回路21に類似し、対応する部分には同一の参照符号を付して示し、その説明を省略する。ここで、本実施の形態2では、この制御回路31では、前記SMA15の伸縮に関するパラメータ、すなわち鏡筒4の位置を検出するパラメータとして、SMA15の抵抗値が用いられる。このため、SMA15の電極16間の抵抗値が抵抗値検出部32で検出され、その検出結果と、マイコン34から与えられる目標抵抗値とが比較部33で比較され、その比較結果に対応して前記駆動電流値が設定される。
 前述の駆動素子27からSMA15に流れる駆動電流は、目標位置に応じて、前述のように定電流で、デューティが変化される。このため、抵抗値検出部32は、ONデューティの期間の既知の定電流値と、SMA15の電極16間の電圧とから、前記抵抗値を求めることができる。或いは、駆動素子27がOFFして前記駆動電流が流れていないOFFデューティの期間に、抵抗値検出部32自身が既知の探索電流をSMA15に流し、それによるSMA15の電極16間の電圧から、前記抵抗値を求めることができる。
 図10には、SMAの変位-抵抗値特性と変位-温度特性とを示す。SMAの結晶相の変化および収縮/伸長伸縮の影響のため、SMAの抵抗値は、変位によって変化する。この変位-抵抗値特性は、前述の図6で示すような温度-変位特性に比べてヒステリシスが少なく、また原理的に周囲温度の影響を受けないので、この抵抗値を検出して駆動電流にフィードバック制御する場合は、前記行き過ぎの所定値Δを小さくすることができる。こうして、直接温度を知る手段がなくとも、SMA15の抵抗値-歪み特性を利用して、前述と同様に位置を検出することができ、この目標抵抗値と変位との関係がマイコン34に予め記憶されている。
 図11は、前記制御回路31によるオートフォーカス制御を説明するためのフローチャートである。この図11の動作は、前述の図8の動作に類似し、同一の動作には同一のステップ番号を付して示し、また類似する動作には同一のステップ番号に’を付して示す。この図11の動作も、加熱過程でフォーカス位置の探索を行うものとする。オートフォーカス処理が開始されると、マイコン34は、まずステップS1で、フォーカス位置の探索を始める初期位置が最初のステップ位置とされ、ステップS3’では、マイコン34は、予め記憶された加熱過程の変位―抵抗値特性から、そのステップ位置にレンズを移動するための目標抵抗値を決定し、比較部33に設定する。
 ステップS4では、設定された目標抵抗値と現在の抵抗値とから比較部33が求めた駆動電流値で、駆動制御演算部26は、駆動素子27を介してSMA15を駆動し、鏡筒4の移動に必要な応答時間を見込んだ一定の時間後に、ステップS5’で、マイコン34は、抵抗値検出部33によって、SMA15の抵抗値を取得する。ステップS6’では、マイコン34は、そのステップ位置でのコントラストなどから、フォーカス評価を行い、ステップS5’でのSMA15の抵抗値と共に保存する。ステップS7では、マイコン34は、現在のステップ位置がフォーカス探索の終了位置かどうかを判断し、終了位置でなければ、次のステップ位置に変更するために前記ステップS3’に戻り、一方、マイコン34は、前記フォーカス評価のデフォーカス量などから、ステップ位置を終了位置と判断すると、フォーカス位置探索としての加熱過程を終了し、ステップS8’で、保存されているフォーカス評価値の中で最も高い値のステップ位置を最適フォーカス位置(目標位置)とし、そのステップ位置での抵抗値を目標抵抗値に設定する。
 前記ステップS8’から始まる各処理は、前記目標位置への移動動作に移る処理であり、マイコン34は、先ずステップS9’からの放熱過程を始める。ステップS9’では、マイコン34は、予め記憶された放熱過程の変位―抵抗値特性から、目標変位に相当する抵抗値よりも大きい抵抗値であり、前記目標位置から前記所定値Δだけ行き過ぎる位置になるように目標抵抗値を決定し、ステップS10で、ステップS4と同様に、比較部33が駆動電流値を作成してSMA15を駆動する。ステップS11’では、マイコン34は、ステップS5’と同様に、SMA15の抵抗値を測定し、ステップS12’で、ステップS9’で設定した行き過ぎ位置での目標抵抗値となっているか否かを判断し、到達していなければ前記ステップS9’に戻り、到達していれば放熱過程を終了し、ステップS13’以降の再加熱過程に移る。
 ステップS13’では、ステップS3’と同様に、マイコン34は、予め記憶された加熱過程の変位―抵抗値特性から、前記目標位置に対応した目標抵抗値を決定し、ステップS14’で、ステップS4と同様に、SMA15を駆動する。ステップS15’では、マイコン34は、ステップS5’と同様に、SMA15の抵抗値を測定し、ステップS16’で、ステップS13’で設定した目標位置での抵抗値となっているか否かを判断し、到達していなければ前記ステップS13’に戻り、到達していればその抵抗値を維持して再加熱過程を終了し、撮影動作に移る。
 このように構成することで、SMA15の抵抗値から、短時間で正確な位置制御を実現することができる。
 本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。
 一態様にかかる形状記憶合金アクチュエータの駆動装置は、通電による発熱で伸縮し、その伸縮に関するパラメータ-歪み特性にヒステリシスを有する形状記憶合金と、前記伸縮によって変位駆動される可動部とを備える形状記憶合金アクチュエータを駆動する形状記憶合金アクチュエータの駆動装置であって、前記形状記憶合金に前記通電を行う駆動回路と、前記形状記憶合金の前記伸縮に関するパラメータを測定する測定部と、前記可動部の目標変位位置を検知する目標変位位置検出部と、前記測定部および目標変位位置検出部からの出力に応答して、前記駆動回路による前記形状記憶合金への通電電流値を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記駆動回路に前記通電電流値の増減を一方方向に掃引させることで前記可動部を一方方向に変位させ、その間に前記目標変位位置検出部が前記目標変位位置を通過したことを検知すると、その時点での前記測定部での測定結果を目標パラメータとして読込み、前記駆動回路による通電電流値の増減を他方方向に変化させることで前記可動部を他方方向に移動させる際に、前記目標パラメータを、前記伸縮に関するパラメータ-歪み特性のヒステリシス量に相当する行き過ぎ量だけずれた値に設定し、その値となった時点から再度前記通電電流値の増減を一方方向に変化させることで前記可動部を一方方向に移動させて前記目標パラメータに対応した前記目標変位位置に再位置決めする。
 この構成によれば、通電による発熱で伸縮する形状記憶合金に、前記伸縮によって変位駆動される可動部を備えて構成される形状記憶合金アクチュエータは、温度-歪み特性や抵抗値-歪み特性にヒステリシスを有する。このため、形状記憶合金アクチュエータの駆動装置は、前記形状記憶合金に前記通電を行う駆動回路と、前記形状記憶合金の前記温度や抵抗値などの前記伸縮に関するパラメータを測定する測定部と、前記可動部の目標変位位置を検知する目標変位位置検出部と、前記測定部および目標変位位置検出部からの出力に応答して、前記駆動回路による前記形状記憶合金への通電電流値を制御する制御部とを備え、前記制御部は、通電電流値を予め定める範囲で一方方向に掃引させることでヒステリシスループの一方を使用して前記可動部を変位させ、その間に前記目標変位位置検出部が前記目標変位位置を通過したことを検知すると、その時点での前記測定部での測定結果を目標パラメータとして読込み、その目標パラメータとなるように前記駆動回路による通電電流値を他方方向に変化させることで前記ヒステリシスループの他方に移行させて前記可動部を前記目標変位位置に再位置決めする。この際に、前記ヒステリシスを考慮しない制御を行うと、前記ヒステリシスループの一方を使用する場合と他方を使用する場合とで実際の変位の位置にずれが生じる。そこで、正確に位置決めするために、従来の制御技術では、形状記憶合金の結晶相を一旦マルテンサイト相(低温相)まで戻してから、目標位置(前記温度や抵抗値)に移動させる方法が用いられている。しかしながら、このような従来技術では、前記マルテンサイト相まで結晶相を戻すには時間がかかってしまう。このため、前記一態様では、前記制御部は、形状記憶合金が有する伸縮に関するパラメータ(前記温度や抵抗値)-歪み特性のヒステリシス量を越える程度まで温度を変化させ、その後、目標位置(温度または抵抗値)に移動させる。
 したがって、このような構成の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置は、より短い時間で正確な位置制御を実現することができる。
 また、他の一態様では、上述の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置において、好ましくは、前記形状記憶合金の伸縮に関するパラメータは、温度であることである。
 この構成によれば、温度によって形状記憶合金の伸縮を制御することができ、形状記憶合金アクチュエータの可動部の位置を制御することができる。
 また、他の一態様では、上述の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置において、好ましくは、前記形状記憶合金の伸縮に関するパラメータは、抵抗値であることである。
 この構成によれば、温度によって形状記憶合金の伸縮を制御することができ、形状記憶合金アクチュエータの可動部の位置を制御することができる。
 また、他の一態様では、これら上述の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置において、好ましくは、前記形状記憶合金の組成が、Ni-Ti-Cuの三元系で、Cuを3原子%以上含むことである。
 この構成によれば、Ni-Ti合金の温度ヒステリシスが20℃程度に対し、前記Ni-Ti-Cu合金では10℃程度であり、前記温度ヒステリシスを小さく抑えることができる。
 そして、他の一態様にかかる撮像装置は、これら上述の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置のいずれか1つを用いるものである。
 この構成によれば、撮像装置は、これら上述の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置のいずれか1つをフォーカスレンズの駆動制御に用いることで、高速のオートフォーカスを実現することができる。
 この出願は、2008年12月24日に出願された日本国特許出願特願2008-327146を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。
 本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および/または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
 本発明によれば、形状記憶合金を利用した駆動装置および撮像装置を提供することができる。

Claims (6)

  1.  通電による発熱で伸縮し、その伸縮に関するパラメータ-歪み特性にヒステリシスを有する形状記憶合金と、前記伸縮によって変位駆動される可動部とを備える形状記憶合金アクチュエータを駆動する形状記憶合金アクチュエータの駆動装置であって、
     前記形状記憶合金に前記通電を行う駆動回路と、
     前記形状記憶合金の前記伸縮に関するパラメータを測定する測定部と、
     前記可動部の目標変位位置を検知する目標変位位置検出部と、
     前記測定部および目標変位位置検出部からの出力に応答して、前記駆動回路による前記形状記憶合金への通電電流値を制御する制御部とを備え、
     前記制御部は、前記駆動回路に前記通電電流値の増減を一方方向に掃引させることで前記可動部を一方方向に変位させ、その間に前記目標変位位置検出部が前記目標変位位置を通過したことを検知すると、その時点での前記測定部での測定結果を目標パラメータとして読込み、前記駆動回路による通電電流値の増減を他方方向に変化させることで前記可動部を他方方向に移動させる際に、前記目標パラメータを、前記伸縮に関するパラメータ-歪み特性のヒステリシス量に相当する行き過ぎ量だけずれた値に設定し、その値となった時点から再度前記通電電流値の増減を一方方向に変化させることで前記可動部を一方方向に移動させて前記目標パラメータに対応した前記目標変位位置に再位置決めすること
     を特徴とする形状記憶合金アクチュエータの駆動装置。
  2.  前記形状記憶合金の伸縮に関するパラメータは、温度であること
     を特徴とする請求項1に記載の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置。
  3.  前記形状記憶合金の伸縮に関するパラメータは、抵抗値であること
     を特徴とする請求項1に記載の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置。
  4.  前記形状記憶合金の組成が、Ni-Ti-Cuの三元系で、Cuを3原子%以上含むこと
     を特徴とする請求項1に記載の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置。
  5.  請求項1に記載の形状記憶合金アクチュエータの駆動装置を用いたことを特徴とする撮像装置。
  6.  通電による発熱で伸縮し、その伸縮に関するパラメータ-歪み特性にヒステリシスを有する形状記憶合金と、前記伸縮によって変位駆動される可動部とを備える形状記憶合金アクチュエータを駆動する形状記憶合金アクチュエータの駆動方法であって、
     前記形状記憶合金に通電される通電電流値の増減を一方方向に掃引させることで前記可動部を一方方向に変位させるステップと、
     前記可動部を一方方向に変位させている間に、前記可動部の目標変位位置を通過したことを検知した場合に、その時点での前記形状記憶合金の前記伸縮に関するパラメータ値を目標パラメータとして読み込むステップと、
     前記通電電流値の増減を他方方向に変化させることで前記可動部を他方方向に移動させる際に、前記目標パラメータを、前記伸縮に関するパラメータ-歪み特性のヒステリシス量に相当する行き過ぎ量だけずれた値に設定するステップと、
     前記可動部を他方方向に変位させている間に、前記ステップで設定された値となった時点から再度前記通電電流値の増減を一方方向に変化させることで前記可動部を一方方向に移動させて前記目標パラメータに対応した前記目標変位位置に再位置決めするステップとを備えること
     を特徴とする形状記憶合金アクチュエータの駆動方法。
PCT/JP2009/070517 2008-12-24 2009-12-08 形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置 Ceased WO2010073902A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/133,830 US20110242398A1 (en) 2008-12-24 2009-12-08 Shape memory alloy actuator drive device and method, and imaging device using the same
JP2010523210A JP4591632B2 (ja) 2008-12-24 2009-12-08 形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置
KR1020117016925A KR101279702B1 (ko) 2008-12-24 2009-12-08 형상 기억 합금 액추에이터의 구동 장치 및 그 방법, 및 그것을 사용한 촬상 장치
EP09834705A EP2375069A1 (en) 2008-12-24 2009-12-08 Shape memory alloy actuator drive device and method, and imaging device using same
CN200980152416.2A CN102265032B (zh) 2008-12-24 2009-12-08 形状记忆合金致动器的驱动装置及其驱动方法以及使用该驱动装置的成像装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008327146 2008-12-24
JP2008-327146 2008-12-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2010073902A1 true WO2010073902A1 (ja) 2010-07-01

Family

ID=42287518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2009/070517 Ceased WO2010073902A1 (ja) 2008-12-24 2009-12-08 形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110242398A1 (ja)
EP (1) EP2375069A1 (ja)
JP (1) JP4591632B2 (ja)
KR (1) KR101279702B1 (ja)
CN (1) CN102265032B (ja)
WO (1) WO2010073902A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120162402A1 (en) * 2010-07-08 2012-06-28 Olympus Medical Systems Corp. Endoscope system and method for controlling endoscope actuator
WO2012038703A3 (en) * 2010-09-22 2012-07-26 Cambridge Mechatronics Limited Optical image stabilisation
US8848064B2 (en) 2008-09-12 2014-09-30 Cambridge Mechatronics Limited Optical image stabilization comprising shape memory alloy actuators
US9684183B2 (en) 2012-11-14 2017-06-20 Cambridge Mechatronics Limited Control of an SMA actuation apparatus
US10781800B2 (en) 2016-06-08 2020-09-22 Cambridge Mechatronics Limited Centring control of an SMA actuation assembly
JP2021141811A (ja) * 2016-12-08 2021-09-16 リンテック・オブ・アメリカ・インコーポレイテッド 人工筋肉アクチュエータの改良

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5211015B2 (ja) * 2009-11-04 2013-06-12 日立マクセル株式会社 撮像装置
KR20120082460A (ko) * 2009-11-24 2012-07-23 코니카 미놀타 어드밴스드 레이어즈 인코포레이티드 구동 장치
WO2011111686A1 (ja) * 2010-03-10 2011-09-15 コニカミノルタオプト株式会社 駆動機構、駆動装置および駆動装置の製造方法
DE112013006449B4 (de) * 2013-01-18 2020-08-06 Siemens Aktiengesellschaft Elektrostatischer Betätiger und Verfahren zur Herstellung davon
DE102013110253A1 (de) * 2013-09-17 2015-03-19 Eto Magnetic Gmbh Aktuatorvorrichtung
CN104678529B (zh) * 2013-11-30 2017-12-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 形状记忆合金致动器的驱动系统和驱动方法
CN107111212B (zh) * 2014-11-12 2019-11-12 艾斯科技公司 摄像头模块自动对焦致动器及其控制方法
JP2016120462A (ja) * 2014-12-25 2016-07-07 Smk株式会社 衝撃発生アクチュエータ、タッチパネルおよび駆動方法
US9481438B1 (en) 2015-04-01 2016-11-01 Brunswick Corporation Outboard motor cowl assembly using shape memory alloy to actuate seal and/or latch
CN105388810A (zh) * 2015-11-24 2016-03-09 奇瑞汽车股份有限公司 微型无线控制平台
CN106170062B (zh) * 2016-08-31 2022-02-18 南京英锐创电子科技有限公司 智能手机摄像模组形状记忆合金驱动控制集成电路
IT201700048138A1 (it) * 2017-05-04 2018-11-04 Actuator Solutions GmbH Attuatore per auto-focus di modulo di fotocamera
CN107493421B (zh) * 2017-09-30 2020-09-11 北京小米移动软件有限公司 摄像头模组、电子设备、摄像头模组控制方法及装置
CN109959999B (zh) * 2017-12-22 2021-05-18 宁波舜宇光电信息有限公司 确定sma线的驱动功率和使用sma线驱动活动部件运动的方法
CN109990723B (zh) * 2018-11-30 2021-01-12 东莞理工学院 一种可重复使用的埋入式光栅测量装置
CN213750472U (zh) 2019-07-26 2021-07-20 台湾东电化股份有限公司 光学元件驱动机构
DE102020114529B4 (de) * 2020-05-29 2022-03-31 Alfmeier Präzision SE Schaltungsanordnung zur Ansteuerung eines Systems für eine Sitzkomfortfunktion, Verfahren zur Ansteuerung einer Schaltungsanordnung und Sitz mit einem Sitzkomfortsystem
US11368658B2 (en) 2020-06-15 2022-06-21 Microsoft Technology Licensing, Llc Amplitude and biphase control of MEMS scanning device
DE102021115618A1 (de) * 2020-06-25 2021-12-30 Alfmeier Präzision SE Schaltungsanordnung zur Steuerung von Sitzkomfortsystemen, Sitz und Verfahren zur Steuerung eines Sitzkomfortsystems
DE102021106252A1 (de) 2021-03-15 2022-09-15 Alfmeier Präzision SE Schaltungsanordnung, Steuerverfahren, Ventil, Ventilanordnung und System für eine Sitzkomfortfunktion
CN113534570B (zh) * 2021-06-23 2022-04-26 广东海德亚科技有限公司 Sma线对的驱动方法、致动结构及存储介质
CN114114690A (zh) * 2021-11-25 2022-03-01 歌尔光学科技有限公司 一种眼镜调节系统、眼镜以及眼镜的调节方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007113478A1 (en) 2006-03-30 2007-10-11 1...Limited Camera lens actuation apparatus
JP2008280879A (ja) * 2007-05-09 2008-11-20 Konica Minolta Opto Inc 駆動ユニットおよび可動モジュール

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1788157B (zh) * 2003-05-12 2011-07-20 三菱电机株式会社 驱动装置
WO2005091067A2 (en) * 2004-03-15 2005-09-29 1... Limited Camera autofocus
CN1804392A (zh) * 2006-01-19 2006-07-19 上海交通大学 柔性并联式形状记忆合金驱动器
US7974025B2 (en) * 2007-04-23 2011-07-05 Cambridge Mechatronics Limited Shape memory alloy actuation apparatus
CN101113724A (zh) * 2007-09-03 2008-01-30 北京航空航天大学 宽温域串联式形状记忆合金驱动装置
JP5029260B2 (ja) * 2007-09-28 2012-09-19 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 駆動装置
US8756933B2 (en) * 2007-12-03 2014-06-24 Cambridge Mechatronics Limited Control of a shape memory alloy actuation apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007113478A1 (en) 2006-03-30 2007-10-11 1...Limited Camera lens actuation apparatus
JP2008280879A (ja) * 2007-05-09 2008-11-20 Konica Minolta Opto Inc 駆動ユニットおよび可動モジュール

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8848064B2 (en) 2008-09-12 2014-09-30 Cambridge Mechatronics Limited Optical image stabilization comprising shape memory alloy actuators
US20120162402A1 (en) * 2010-07-08 2012-06-28 Olympus Medical Systems Corp. Endoscope system and method for controlling endoscope actuator
US8345091B2 (en) * 2010-07-08 2013-01-01 Olympus Medical Systems Corp. Endoscope system and method for controlling endoscope actuator
GB2497903B (en) * 2010-09-22 2015-01-28 Cambridge Mechatronics Ltd Optical image stabilisation
GB2497903A (en) * 2010-09-22 2013-06-26 Cambridge Mechatronics Ltd Optical image stabilisation
US8866918B2 (en) 2010-09-22 2014-10-21 Cambridge Mechatronics Limited Optical image stabilisation
WO2012038703A3 (en) * 2010-09-22 2012-07-26 Cambridge Mechatronics Limited Optical image stabilisation
US9684183B2 (en) 2012-11-14 2017-06-20 Cambridge Mechatronics Limited Control of an SMA actuation apparatus
US10781800B2 (en) 2016-06-08 2020-09-22 Cambridge Mechatronics Limited Centring control of an SMA actuation assembly
JP2021141811A (ja) * 2016-12-08 2021-09-16 リンテック・オブ・アメリカ・インコーポレイテッド 人工筋肉アクチュエータの改良
US11466671B2 (en) 2016-12-08 2022-10-11 Lintec Of America, Inc. Artificial muscle actuators
US11703037B2 (en) 2016-12-08 2023-07-18 Lintec Of America, Inc. Artificial muscle actuators
JP7343546B2 (ja) 2016-12-08 2023-09-12 リンテック・オブ・アメリカ・インコーポレイテッド 人工筋肉アクチュエータの改良
US12110879B2 (en) 2016-12-08 2024-10-08 Lintec Of America, Inc. Artificial muscle actuators

Also Published As

Publication number Publication date
CN102265032B (zh) 2014-05-14
KR20110098838A (ko) 2011-09-01
US20110242398A1 (en) 2011-10-06
EP2375069A1 (en) 2011-10-12
JP4591632B2 (ja) 2010-12-01
CN102265032A (zh) 2011-11-30
KR101279702B1 (ko) 2013-06-27
JPWO2010073902A1 (ja) 2012-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4591632B2 (ja) 形状記憶合金アクチュエータの駆動装置および該方法ならびにそれを用いた撮像装置
JP5221672B2 (ja) 形状記憶合金作動構造の制御
EP2342459B1 (en) Control of a shape memory alloy actuation arrangement
JP4957366B2 (ja) カメラモジュールおよびカメラモジュールの駆動方法
JP4952364B2 (ja) 駆動ユニットおよび可動モジュール
EP2111507B1 (en) Shape memory alloy actuation apparatus
CN101668947B (zh) 形状记忆合金驱动设备
JP4946675B2 (ja) 形状記憶合金の駆動装置およびそれを用いる撮像装置ならびに形状記憶合金の駆動方法
JP4539784B2 (ja) 形状記憶合金駆動装置
US8395855B2 (en) Shape memory alloy actuation apparatus
JPWO2012042722A1 (ja) 駆動装置およびカメラユニット
JP4857257B2 (ja) レンズ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置および光学機器
JP2009098416A (ja) 形状記憶合金アクチュエータおよびそれを備える電子機器
JPWO2011108209A1 (ja) 位置制御装置、位置制御方法、駆動装置および撮像装置
JP4811536B2 (ja) 駆動ユニット、可動モジュールおよびオートフォーカス制御方法
WO2012005072A1 (ja) 形状記憶合金アクチュエータ制御装置および光学部品駆動ユニット
JP2014055519A (ja) 形状記憶合金アクチュエータ制御装置および光学部品駆動ユニット
JP4972778B2 (ja) 駆動ユニットおよび可動モジュール
JP5045223B2 (ja) 駆動ユニットおよび可動モジュール
JP4857256B2 (ja) レンズ制御装置、レンズ鏡筒、撮像装置および光学機器
JP2010169841A (ja) 撮像装置
WO2011016411A1 (ja) 駆動装置及びレンズ駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200980152416.2

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010523210

Country of ref document: JP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 09834705

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13133830

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009834705

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20117016925

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A