WO2013107784A3 - Verfahren zum phasenabgleich mehrerer hf-leistungserzeugungseinheiten eines hf-leistungsversorgungssystems und leistungsversorgungssystem - Google Patents

Verfahren zum phasenabgleich mehrerer hf-leistungserzeugungseinheiten eines hf-leistungsversorgungssystems und leistungsversorgungssystem Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Phasenabgleich mehrerer HF-Leistungserzeugungseinheiten (12-14) eines HF-Leistungsversorgungssystems (10) mit den Verfahrensschritten: a. Messen eines Signals, das mit der an einer Last reflektierten und an einer ersten HF-Leistungserzeugungseinheit (12-14) ankommenden Leistung in Beziehung steht, b. Übermitteln zumindest eines mit dem gemessenen Signal in Beziehung stehenden Werts an eine Systemsteuerung (11) oder Übermitteln des gemessenen Signals an eine Systemsteuerung (11) und Ermitteln eines mit dem gemessenen Signal in Beziehung stehenden Werts in der Systemsteuerung (11), c. Bestimmen eines Bezugswerts für den Wert der ersten HF-Leistungserzeugungseinheit (12-14) in der Systemsteuerung (11) oder Vorgabe eines Bezugswerts für den Wert der ersten HF-Leistungserzeugungseinheit (12-14) an die Systemsteuerung (11), d. Verändern der Frequenz und/oder der Phase des Ausgangssignals der ersten HF-Leistungserzeugungseinheit (12-14), e. Erneutes Messen eines Signals, das mit der an einer Last reflektierten und an der ersten HF-Leistungserzeugungseinheit (12-14) ankommenden Leistung in Beziehung steht, f. Übermitteln eines mit dem im Schritt e. gemessenen Signal in Beziehung stehenden Werts an die Systemsteuerung (11) oder Übermittlung des im Schritt e. gemessenen Signals an die Systemsteuerung (11) und Ermitteln eines mit dem im Schritt e. gemessenen Signal in Beziehung stehenden Werts in der Systemsteuerung (11); g. Wiederholen der Schritte c. bis f. oder d. bis f. so lange bis ein vorgegebenes Ereignis eintritt, wobei h. die Schritte 1.a. - 1.g. für eine oder mehrere weitere Leistungserzeugungseinheiten (12-14) durchgeführt werden.
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